JPH02217679A - バルブの開閉装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はバルブの開ｍ装置に係り、特に既設の手動バル
ブを利用してこれを緊急遮断弁と等価の機能を行なわせ
得るバルブの開閉装置に関する。

従来の技術 例えば半導体製造工程で使用される半導体用材料ガスは
ガスの種類によって非常に毒性が強いもの、可燃性のも
の、自燃性のもの、支燃性のもの、あるいはこれらが複
合された性質のものがある。

これらの有害なガスを貯蔵するボンベは排気ダクトを備
えたボンベ収納ボックス内に収納されており、ボンベ内
のガスはこのボンベ収納ボックスから配管により工場内
の半導体製造装置に供給されている。

一方、上記のように半導体用材料ガスは有害なガスであ
るため、地震、火災等の災害発生時にガスの流出事故が
発生すると更に大きな被害を生ずる虞れがある。このた
め、最近は上記配管途中に緊急１１１断弁を配設し、緊
急時にはこの緊急遮断弁を開閉することによりガスの流
出事故、二次災害の発生を有効に防止することが行なわ
れている。

発明が解決しようとする課題 しかるに、災害時に備えて既設の配管にＷｉ急遮断弁を
設置しようとした場合、配管を切断し緊急遮断弁を取付
けるという大災りな工事を必要としてしまう。また、半
導体工場を想定した場合、周知のように半導体用材料ガ
スは高純度であることが必要であり異物混入等が生じる
と多量の不良品が発生してしまう。よって、このような
半導体工場に配設された配管に緊急遮断弁を設置する場
合には、上記設置作業に加え配管の切粉等が半導体用材
料ガスに混入しないよう清浄作業を行なう必要がある。

更には、上記各作業の間はガスを供給される故器、装置
は稼動することができなくなる。

このように、既設の配管に対し緊急遮断弁を設置するに
は多大の時間と費用を必要とするという課題があった。

本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、単に配
管に設けられているバルブに取付けるだけで緊急遮断弁
と等価の機能を行なわせることができるバルブの開閉装
置を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段 上記課題を解決するために、本発明では、配管途中に設
けられており、操作部が回動操作されることにより同閉
弁動作を行なうバルブと、このバルブの操作部と係合し
これを＠動操作するバルブ開閉機構と、 このパルプ開閉機構を駆動する駆動装置と、上記バルブ
開閉Ｂ！構及び駆動装置を上記バルブの配設位置近傍に
取付ける取付台とによりバルブのｒ＃開閉装置構成した
ことを特徴とする。

作用 上記構成のバルブの開閉装置では、配管途中に設けられ
ている手動操作によるバルブを利用し、これを遠隔操作
することが可能となる。よって、このバルブに緊急遮断
弁と等価の機能を持たせることができ、かつ装置の取付
けに際しては配管の切断作業は不要となる。

実施例 次に本発明の実施例について図面と共に説明する。第１
図は本発明の一実施例であるバルブの開用装置ｆｌ（以
下、単に装置という）の全体構成を示す断面図である。

装＠１は、例えば半導体製造工場に設置されるものであ
り、その様子を第２図に示す。

図中、２は半導体製造工場の建屋であり、また３はボン
ベ収納ボックスである。ボンベ収納ボックス３には、半
導体製造工程で使用される半導体用材料ガスが充填され
たボンベ４が収納されており、このボンベ４と半導体！
ｌｊｌ装造５は配管６により接続されている。また、ボ
ンベ４から半導体製造装置５に至る配管６の途中位置に
は一般に複数個（第２図には１個のみ示す）の手動パル
プ７が設けられている。これは、配管交換時等の便宜を
図るために通常設けられるものである。装置１は、この
手動バルブ７の配設位置近傍の建屋２の壁に取付けられ
ている。尚、上記の半導体用材料ガスが搬送される配管
６は、ガスの有害性が大であるため、配管６の不測の損
傷事故を少しても回避する面より建屋２の高所位置に配
設位置が選定されている。

第１図に房り、装置１の具体的構成について説明する。

手動バルブ７は周知の構造のものであり、操作ハンドル
８を回動操作することにより弁開度が調整され、弁開度
に応じた流量のガスが流れるよう構成されている。装置
１は、建屋２の壁に固定された取付台９に取付けられる
ことにより手動バルブ７の近傍位置に配設される。この
取付台９は１字状に折曲された金属扱であり、−辺９ａ
を植込みねじ１０により建屋の壁に固定されると共に、
他辺９ｂに装置本体１ａをボルト１１により取付けるも
のである。

装置本体１ａは、バルブ開開機構１２、及びこのパルプ
開ｒ７１機構１２の駆動装置となる〇−タリアクチュエ
ータ１３とにより構成されている。

バルブ開閉機構１２は、変速機構部１４とハンドル操作
部１５とより構成されている。変速機構部１４は〇−タ
リアクブユエータ１３の回転を減速するものであり、ハ
ウジング内に配設された複数の歯車１６ａ〜１６ｃによ
り構成されている。

また、ハンドル操作部１５は変速機溝部１４の出力０ｋ
１７に設けられている。このハンドル操伯部１５はチャ
ック１８．ユニバーサルジヨイント１９、カップリング
２０等より構成されており、手切バルブ７の操作ハンド
ル８と係合し、出力軸１７の回動に伴い操作ハンドル８
を回動させ手動バルブ７を開閉操作するものである。

ロータリアクチュエータ１３は、入力孔２０ａ。

２０ｂに選択的に所定圧力の計装空気またはＮ２ガスく
以下、駆動ガスという）が導入されることにより軸１３
ａを所定方向へ回転駆動するものである。よって、この
ロータリアクチュエータ１３が駆動すると、その回転は
変速機構部１４により操作ハンドル８を操作するに適し
た回転速度及びトルクに変速されて出力軸１７に出力さ
れ、ハンドル操作部１５を介して操作ハンドル８は回動
操作される。これにより手動バルブ７は装置１により間
開弁動作されることになり、配管６内を流れるガスの流
れを装置１にて制御することが可能となる。また、出力
軸１７の下端部には手動用ハンドル２１が設けられてお
り、手動バルブ７の操作ハンドル８は装置１による操作
だけでなく、この手動用ハンドル２１を使用することに
より操作者が直接操作することもできる構成となってい
る。

上記構成の装置１は、これを手動バルブ７に取付ける際
、当然のことながら配管６の切断作業を必要としない。

また、単に建屋２の壁等に取付台９を設けるだけで装置
１を取付けることができる。

よって、取付工事が容易になると共にラインを止める必
要らなくなり、かつ配管を切断した場合に実施しなけれ
ばならない清浄作業も不要となり、工事に要するｖｆ間
と費用を低減することができる。

また、装置１を取付けた後においては、手動バルブ７は
遠隔操作が可能となるため、災害時にロータリアクチュ
エータ１３に駆動ガスが導入されるよう構成しておくこ
とにより、手動バルブ７に緊急遮断弁と等価の働きを行
なわせることができる。。

また！！Ａ動ガスの導入量を制御することにより流量１
１　ＩＩ）弁として用いることも可能となる。

また、前記したように配管６は一般的に建屋２の高所に
配設されているため、手動バルブ７もこれに対応して高
い位置に配設されていた。このため、手動バルブ７を操
作する必要が生じた場合、これを容易に操作することが
できず不便であったが、装置１を設けることによりこの
ような不都合も解決された。

尚、ロータリアクチュエータ１３の下部には軸１３ａの
回動に対応して回動するインジケータ２２が配設されて
おり、外部より手動バルブ７のＷ１閉状態を確認し得る
よう構成されている。更に本実施例の装置１には軸１３
ａの回動に伴い空気信号を生成するメカニカルバルブ２
３．２４が配設されており、このメカニカルバルブ２３
．２４からの信号を用いて手動バルブ７の開閉度の自助
制御を行なうことも可能である。

上記してきた実施例では、装置１を半導体製造工場に既
設されている配管６に設けられた手動バルブ７に取付け
られた構成について説明したが、他の配管に設けられた
手動バルブ等に対しても広く適用できることは勿論であ
る。

発明の効果 上述の如く、本発明によれば、配管に設けられたバルブ
を遠閘操作することが可能となるため、バルブを緊急遮
断弁等として機能させることが可能となり、また装置の
取付けに際しては配管の切断工事及び清浄作業が不要と
なり、かつ配管が設けられたラインを停止させる必要も
なくなるため、取付は工事に要する費用と時間を低減す
ることができる等の特長を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例である装置を説明するための
図、第２図は本発明に係る装置の実施例を示す図である
。 １・・・装置（バルブの開閉装置）、１ａ・・・装置本
体、６・・・配管、７・・・手動バルブ、８・・・操作
ハンドル、９・・・取付台、１２・・・パルプ間開ａＦ
ｔ４．１３・・・ロータリアクチュエータ、１５・・・
ハンドル操作部。 特許出願人　ト　キ　コ　株式会社 第 図 １ハ゛几７°の閤開表バ！ 第２ 図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 配管途中に設けられており、操作部が回動操作されるこ
   とにより開閉弁動作を行なうバルブと、該バルブの操作
   部と係合しこれを回動操作するバルブ開閉機構と、 該バルブ開閉機構を駆動する駆動装置と、 上記バルブ開閉機構及び駆動装置を上記バルブの配設位
   置近傍に取付ける取付台とにより構成されることを特徴
   とするバルブの開閉装置。