JPH02218930A - 電磁放射検出装置 - Google Patents
電磁放射検出装置Info
- Publication number
- JPH02218930A JPH02218930A JP1290168A JP29016889A JPH02218930A JP H02218930 A JPH02218930 A JP H02218930A JP 1290168 A JP1290168 A JP 1290168A JP 29016889 A JP29016889 A JP 29016889A JP H02218930 A JPH02218930 A JP H02218930A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detector
- array
- shield
- electromagnetic radiation
- view
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 title claims description 22
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims description 17
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 28
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 17
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 15
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 11
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 claims description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N Alumina Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003190 augmentative effect Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 1
- BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N cadmium atom Chemical compound [Cd] BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 239000000112 cooling gas Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- XSOKHXFFCGXDJZ-UHFFFAOYSA-N telluride(2-) Chemical compound [Te-2] XSOKHXFFCGXDJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002470 thermal conductor Substances 0.000 description 1
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F77/00—Constructional details of devices covered by this subclass
- H10F77/30—Coatings
- H10F77/306—Coatings for devices having potential barriers
- H10F77/331—Coatings for devices having potential barriers for filtering or shielding light, e.g. multicolour filters for photodetectors
- H10F77/334—Coatings for devices having potential barriers for filtering or shielding light, e.g. multicolour filters for photodetectors for shielding light, e.g. light blocking layers or cold shields for infrared detectors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/06—Arrangements for eliminating effects of disturbing radiation; Arrangements for compensating changes in sensitivity
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、エネルギースペクトルの赤外線（ＩＲ）領域
で動作している放射検出器からの望ましくない背景電磁
放射を遮へいする新規な技術に関するものである。それ
らのＩＲ放射検出器と背景シールド（コールドシールド
と呼ばれる）とは下げられた温度で動作して、コールド
シールドが、暖かい背景放射が放射検出器に達すること
を阻止するばかジでなく、放射検出器により見られる帯
域内の放射を放出しない工うにする。この新規な技術は
、検出器の性能を制限することなしに、それらのコール
ドシールドの設計に用いられる共通の技術とは別のもの
である。
で動作している放射検出器からの望ましくない背景電磁
放射を遮へいする新規な技術に関するものである。それ
らのＩＲ放射検出器と背景シールド（コールドシールド
と呼ばれる）とは下げられた温度で動作して、コールド
シールドが、暖かい背景放射が放射検出器に達すること
を阻止するばかジでなく、放射検出器により見られる帯
域内の放射を放出しない工うにする。この新規な技術は
、検出器の性能を制限することなしに、それらのコール
ドシールドの設計に用いられる共通の技術とは別のもの
である。
効果的にコールド遮へいするためには、装置の外囲器の
制隈内で検出器からできるだけ遠くにコールドシールド
を位置すべきであることが一般に認められている。より
具体的にいえば、コールドシールドの開口部は、検出器
の上側の検出器幅の少くとも１０倍でなければならない
。検出器の幅が約０．１０２〜０．２０３Ｍ（０，００
４〜０．００８ インチ）でおる従来の技術において
は、コールドシールドは検出器の上方約１．０２〜２．
０３■（０，０４０〜ｏ、ｏｓｏインチ）であった。開
口部の寸法は検出器の視野と検出器の上方の距離とによ
り決定されるから、それらのコールドシールドは比較的
大きい。幅が約０．１５２１０１（０，００６インチ）
である検出器の典型的な視野は４５度にできる。検出器
から約１．５２１１Ｅ１１（０，０６０インチ）の距離
においては、コールドシールドの開口面は約１．５２Ｍ
（０，０６０インチ）である。このコールドシールドの
構造は金属またはアルミナ・セラミックのような良い熱
伝導体で製作せねばならず、それによフ、コールドシー
ルドにより吸収されたふく射熱が、検出器のアパーチャ
の近くにおける温度を維持しつつ、冷却手段へ伝えられ
るようにしなければならない。
制隈内で検出器からできるだけ遠くにコールドシールド
を位置すべきであることが一般に認められている。より
具体的にいえば、コールドシールドの開口部は、検出器
の上側の検出器幅の少くとも１０倍でなければならない
。検出器の幅が約０．１０２〜０．２０３Ｍ（０，００
４〜０．００８ インチ）でおる従来の技術において
は、コールドシールドは検出器の上方約１．０２〜２．
０３■（０，０４０〜ｏ、ｏｓｏインチ）であった。開
口部の寸法は検出器の視野と検出器の上方の距離とによ
り決定されるから、それらのコールドシールドは比較的
大きい。幅が約０．１５２１０１（０，００６インチ）
である検出器の典型的な視野は４５度にできる。検出器
から約１．５２１１Ｅ１１（０，０６０インチ）の距離
においては、コールドシールドの開口面は約１．５２Ｍ
（０，０６０インチ）である。このコールドシールドの
構造は金属またはアルミナ・セラミックのような良い熱
伝導体で製作せねばならず、それによフ、コールドシー
ルドにより吸収されたふく射熱が、検出器のアパーチャ
の近くにおける温度を維持しつつ、冷却手段へ伝えられ
るようにしなければならない。
一般に、検出器の間隔が検出器の幅程度であるような線
に沿ってＩＲ検出器は配置される。直線中の６０〜１８
０個の素子で構成される検出器アレイが典型的なもので
ある。上記コールドシールドは検出器の線の方向に最小
のコールドシールドを行う。コールドシールドは検出器
の視野のどの部分も妨害すなわち阻止せず、視野は検出
器の平面の非常に近くでは互いに重畳しないから、コー
ルドシールドのアパーチャはスロットの形をとる。
に沿ってＩＲ検出器は配置される。直線中の６０〜１８
０個の素子で構成される検出器アレイが典型的なもので
ある。上記コールドシールドは検出器の線の方向に最小
のコールドシールドを行う。コールドシールドは検出器
の視野のどの部分も妨害すなわち阻止せず、視野は検出
器の平面の非常に近くでは互いに重畳しないから、コー
ルドシールドのアパーチャはスロットの形をとる。
個々のコールドシールドまたは近接コールドシールドと
呼ばれる装置が開発されている。その装置は直線検出器
アレイに直接取付けられて、検出器の線に沿い素子の間
で適度のコールドシールドを行う。この個々のコールド
シールドの厚さは約０．１０２ｆｌ（約０．００４イン
チ）であって、検出器が「見る」次めに用いる個々の穴
を有する。コールドシールドの穴の間で、検出器の面の
上方の約０．１０２ｆｌ（０，００４インチ）までのウ
ェブがコールドシールドを行う。この装置は典型的には
シリコンで製作され、または米国特許第４，４３１，９
１８号明細書に記載されているようにエツチング可能な
ガラスで製作される。
呼ばれる装置が開発されている。その装置は直線検出器
アレイに直接取付けられて、検出器の線に沿い素子の間
で適度のコールドシールドを行う。この個々のコールド
シールドの厚さは約０．１０２ｆｌ（約０．００４イン
チ）であって、検出器が「見る」次めに用いる個々の穴
を有する。コールドシールドの穴の間で、検出器の面の
上方の約０．１０２ｆｌ（０，００４インチ）までのウ
ェブがコールドシールドを行う。この装置は典型的には
シリコンで製作され、または米国特許第４，４３１，９
１８号明細書に記載されているようにエツチング可能な
ガラスで製作される。
ＩＲ検出器技術は進歩している。検出器は簡単かつ小型
になってきた。しかし、コールドシールドの技術は検出
器技術と歩調をそろえて進歩してきたわけではない。本
発明は検出器のコールドシールドの現在の技術状態から
急激な進歩をとげたものである。検出器の寸法は現在は
幅が一般に約０．０２５〜０．０５１１ＥＩ（０，００
１〜０．００２インチ）である。したがって、効果的な
コールドシールドを行うためにはコールドシールドの７
パーチヤを検出器の上方約０．２５４〜０．５０８ｍ（
０，０１０〜０．０２０インチ）にする必要があるだけ
であり、アパーチャの幅は、同じ４５度の視野で、約０
．２５４〜０．５０８１１１１（０，０１０〜０．０２
０インチ）である。このコールドシールドは大幅に小型
、軽量にされ、吸収される熱ふく射も大幅に減少するか
ら、検出器の近くの温度を維持するためにコールドシ・
−ルドの材料を良い熱伝導体とする必要はもはやない。
になってきた。しかし、コールドシールドの技術は検出
器技術と歩調をそろえて進歩してきたわけではない。本
発明は検出器のコールドシールドの現在の技術状態から
急激な進歩をとげたものである。検出器の寸法は現在は
幅が一般に約０．０２５〜０．０５１１ＥＩ（０，００
１〜０．００２インチ）である。したがって、効果的な
コールドシールドを行うためにはコールドシールドの７
パーチヤを検出器の上方約０．２５４〜０．５０８ｍ（
０，０１０〜０．０２０インチ）にする必要があるだけ
であり、アパーチャの幅は、同じ４５度の視野で、約０
．２５４〜０．５０８１１１１（０，０１０〜０．０２
０インチ）である。このコールドシールドは大幅に小型
、軽量にされ、吸収される熱ふく射も大幅に減少するか
ら、検出器の近くの温度を維持するためにコールドシ・
−ルドの材料を良い熱伝導体とする必要はもはやない。
従来のコールドシールドの寸法と重量のために、そのコ
ールドシールドを検出器チップの辺に沿って冷却手段へ
取付ける必要がある。本発明の装置の寸法と重量は、コ
ールドシールドを検出器チップまたは個々のコールドシ
ールドに直接取付けられるほど十分に小さい。
ールドシールドを検出器チップの辺に沿って冷却手段へ
取付ける必要がある。本発明の装置の寸法と重量は、コ
ールドシールドを検出器チップまたは個々のコールドシ
ールドに直接取付けられるほど十分に小さい。
本発明の目的は、軽くて、表面積が小さい念めに従来の
シールドより冷却時間が短く、冷却エネルギが少く、す
なわち冷却ガスの消費量が少いガラスコールドシールド
を得ることである。
シールドより冷却時間が短く、冷却エネルギが少く、す
なわち冷却ガスの消費量が少いガラスコールドシールド
を得ることである。
本発明の別の目的は、容易に入手できる経済的な材料で
構成されたガラスコールドシールドを得ることである。
構成されたガラスコールドシールドを得ることである。
本発明の別の目的は、個々のコールドシールドへ接合す
ることにより、または特殊な固定具または特殊な工具を
用いることなしに検出器アレイに直接取付けることによ
り、容易に組立てることができるコールドシールドを得
ることである。
ることにより、または特殊な固定具または特殊な工具を
用いることなしに検出器アレイに直接取付けることによ
り、容易に組立てることができるコールドシールドを得
ることである。
本発明の別の目的は、改良し九ガラスコールドシールド
を含む電磁放射検出装置を得ることである。
を含む電磁放射検出装置を得ることである。
本発明の更に別の目的は、赤外線波長を吸収することに
より赤外線検出装置の感度を向上させるガラス材料で構
成されたコールドシールドを得ることである。
より赤外線検出装置の感度を向上させるガラス材料で構
成されたコールドシールドを得ることである。
本発明は、電磁放射検出装置の検出器のアレイによシ受
けられる放射を、装置の光学装置によジ検出器へ供給さ
れる放射まで制限するシールドに関するものである。こ
のシールドは平行な関係で増付けられて、検出器アレイ
の長さに沿ってアパーチャを形成し、光学装置により設
けられた検出器の視野の外側で発生された妨害電磁放射
からアレイの素子を遮へいする一対のガラス棒を有する
。
けられる放射を、装置の光学装置によジ検出器へ供給さ
れる放射まで制限するシールドに関するものである。こ
のシールドは平行な関係で増付けられて、検出器アレイ
の長さに沿ってアパーチャを形成し、光学装置により設
けられた検出器の視野の外側で発生された妨害電磁放射
からアレイの素子を遮へいする一対のガラス棒を有する
。
まず第１図を参照する。この図には、本発明のガラスコ
ールドシールドを用いる熱エネルギーすなわち電磁放射
検出装置が示されている。第１図に示す装置は、複数の
電磁放射検出器１４を有する検出器アレイ１５を含む。
ールドシールドを用いる熱エネルギーすなわち電磁放射
検出装置が示されている。第１図に示す装置は、複数の
電磁放射検出器１４を有する検出器アレイ１５を含む。
その電磁放射検出器１４の上には２本のガラス棒１０が
取付けられる。
取付けられる。
それらのガラス棒は、第３図に示すように検出器の視野
の外側で発生された電磁放射から検出器のアレイを運へ
いするように位置させられる。検出器１４は、シリコン
のような適当なベース材料すなわち基体材料の上に取付
けられる、水銀・カドミウム・テルル化物のような任意
の感熱物質で構成できる。装置の光学装置にＬｖ設定さ
れる検出器の視野は、ターゲット領域から集められる希
望の放射の円錐形である。この視野の外側から発生され
九放射はいずれも望ましくなく、たとえば赤外線検出装
置内の検出器の動作を妨害する。検出器の視野内の入来
放射を検出器内を透過させ、妨害放射をできるだけ多く
阻止するようにガラス棒１０は位置させられる。ガラス
棒１０は平行関係で整列させられて、第１図に矢印１２
で示されているようにアレイの方向に沿ってアパーチャ
すなわち通路を形成する。したがって、ガラスコールド
シールドは検出器アレイの長手方向に沿って妨害背景放
射を阻止する。
の外側で発生された電磁放射から検出器のアレイを運へ
いするように位置させられる。検出器１４は、シリコン
のような適当なベース材料すなわち基体材料の上に取付
けられる、水銀・カドミウム・テルル化物のような任意
の感熱物質で構成できる。装置の光学装置にＬｖ設定さ
れる検出器の視野は、ターゲット領域から集められる希
望の放射の円錐形である。この視野の外側から発生され
九放射はいずれも望ましくなく、たとえば赤外線検出装
置内の検出器の動作を妨害する。検出器の視野内の入来
放射を検出器内を透過させ、妨害放射をできるだけ多く
阻止するようにガラス棒１０は位置させられる。ガラス
棒１０は平行関係で整列させられて、第１図に矢印１２
で示されているようにアレイの方向に沿ってアパーチャ
すなわち通路を形成する。したがって、ガラスコールド
シールドは検出器アレイの長手方向に沿って妨害背景放
射を阻止する。
本発明の別の実施例が第２図に示されている。
この実施例では、一対のガラス棒１０で形成され九本発
明のガラスコールドシールドが個々のコールドシールド
２０に直接取付けられる。そのコールド＝五μ字アレイ
は検出器アレイ１５に増付けられる。ガラスコールドシ
ールドは、アレイの方向に沿って、および個々に検出器
の遮へいを改善するために、個々のコールドシールドと
協働する。
明のガラスコールドシールドが個々のコールドシールド
２０に直接取付けられる。そのコールド＝五μ字アレイ
は検出器アレイ１５に増付けられる。ガラスコールドシ
ールドは、アレイの方向に沿って、および個々に検出器
の遮へいを改善するために、個々のコールドシールドと
協働する。
近接コールドシールドとしばしば呼ばれる個々のコール
ドシールドはシリコン材料で典型的に構成され、この分
野において周知の方法に従って製作される。個々のコー
ルドシールドの機能は、検出器素子の間の放射を阻止す
ることにより個々の各検出器を遮へいすることである。
ドシールドはシリコン材料で典型的に構成され、この分
野において周知の方法に従って製作される。個々のコー
ルドシールドの機能は、検出器素子の間の放射を阻止す
ることにより個々の各検出器を遮へいすることである。
典型的な個々のコールドシールドの厚さは約０．１０２
咽（４ミル）である。
咽（４ミル）である。
第１図と第２図を再び参照して、本発明の好適な実施例
においては、ガラスコールドシールドは半径が約０．０
２５１ｍ１ｌ（約０．００１インチ）のオーダーの鋭い
縁部を持たなければならない。第２図に示す実施例にお
いては、典型的には約０．３８１〜０．６３５６（０，
０１５〜０．０２５インチ）の範囲で、それは検出器の
近くに設けられる。そのような鋭い縁部は、念とえば標
準的なダイシング鋸、または他の類似するガラス切りを
用いて形成できる。したがって、コールドシールドの費
用は非常に少い。本発明の好適な実施例においては、ガ
ラスコールドシールドは個々のコールドシールドへ、１
次は検出器アレイ自体へ、周知の接合技術と周知の材料
を用いて直接接合される。この接合は高価な固定具ま念
は特殊な工具を用いずに行うことができる。その理由は
、本発明の一実施例においては、検出器アレイが、それ
らの検出器の製作中に典型的に用いられる種類の顕微鏡
の視野内に入るからである。
においては、ガラスコールドシールドは半径が約０．０
２５１ｍ１ｌ（約０．００１インチ）のオーダーの鋭い
縁部を持たなければならない。第２図に示す実施例にお
いては、典型的には約０．３８１〜０．６３５６（０，
０１５〜０．０２５インチ）の範囲で、それは検出器の
近くに設けられる。そのような鋭い縁部は、念とえば標
準的なダイシング鋸、または他の類似するガラス切りを
用いて形成できる。したがって、コールドシールドの費
用は非常に少い。本発明の好適な実施例においては、ガ
ラスコールドシールドは個々のコールドシールドへ、１
次は検出器アレイ自体へ、周知の接合技術と周知の材料
を用いて直接接合される。この接合は高価な固定具ま念
は特殊な工具を用いずに行うことができる。その理由は
、本発明の一実施例においては、検出器アレイが、それ
らの検出器の製作中に典型的に用いられる種類の顕微鏡
の視野内に入るからである。
本発明のガラスコールドシールドは従来の金属スロット
シールドよりはるかに小さい。質量と表面＆（すなわち
、放射熱負荷）も従来のスロットシールドより小さい。
シールドよりはるかに小さい。質量と表面＆（すなわち
、放射熱負荷）も従来のスロットシールドより小さい。
この実施例の一例においては、達成された質重軽減は、
従来のスロットシールドの０．３６ グラムからガラス
コールドシールドの０．００４６ グラムである。更
に、本発明の別の実施例においては、ガラスコールドシ
ールドに必要な表面積は、類似の装置において用いられ
ている公知のスロットシールドと比較して約６．４５平
方回だけ減少した。このように表面積と質量を減少した
結果として、装置の冷却が一層促進され、そのためにＮ
８の消費量が減少する。
従来のスロットシールドの０．３６ グラムからガラス
コールドシールドの０．００４６ グラムである。更
に、本発明の別の実施例においては、ガラスコールドシ
ールドに必要な表面積は、類似の装置において用いられ
ている公知のスロットシールドと比較して約６．４５平
方回だけ減少した。このように表面積と質量を減少した
結果として、装置の冷却が一層促進され、そのためにＮ
８の消費量が減少する。
本発明の好適な実施例について詳しく説明したが、ここ
で、赤外線装置のような典型的な電磁放射検出装置にお
ける本発明の応用について説明する。第３図に示すよう
に、そのような装置は電磁放射を見るための光学装置を
通常含む。この光学装置は光景を見るようにする。光学
装置３６は光学的走査器を含むことができ、あるいは電
磁検出装置は星印をつけｐ （ｓｔａｒｒｉｎｇ）
センサを用いることもできる。この電磁検出装置は、検
出器に入射した放射を表す電気信号を発生するために光
学装置の焦点面内に設けられた検出器のアレイ１５も含
む。本発明に従って、その電磁検出装置は、アレイの素
子を検出器の視野の外側で発生された妨害電磁放射を遮
へいするように、アレイの方向に沿ってアパーチャを形
成する平行関係で設けられる一対のガラス棒を有するシ
ールド１７も含む。
で、赤外線装置のような典型的な電磁放射検出装置にお
ける本発明の応用について説明する。第３図に示すよう
に、そのような装置は電磁放射を見るための光学装置を
通常含む。この光学装置は光景を見るようにする。光学
装置３６は光学的走査器を含むことができ、あるいは電
磁検出装置は星印をつけｐ （ｓｔａｒｒｉｎｇ）
センサを用いることもできる。この電磁検出装置は、検
出器に入射した放射を表す電気信号を発生するために光
学装置の焦点面内に設けられた検出器のアレイ１５も含
む。本発明に従って、その電磁検出装置は、アレイの素
子を検出器の視野の外側で発生された妨害電磁放射を遮
へいするように、アレイの方向に沿ってアパーチャを形
成する平行関係で設けられる一対のガラス棒を有するシ
ールド１７も含む。
この電磁放射装置は検出アレイおよびシールドの両方の
ための冷却手段３４も含む。検出器アレイの電気的出力
端子へ結合された電気−光学装置３５が、光学装置によ
り見られた光景の表示を形成する電気信号を発生する。
ための冷却手段３４も含む。検出器アレイの電気的出力
端子へ結合された電気−光学装置３５が、光学装置によ
り見られた光景の表示を形成する電気信号を発生する。
２本のガラス棒１０で構成された本発明のガラスコール
ドシールドを除き、第３図に示されている他の素子の全
てはこの分野において周知であって、当業者がわかるで
あろうように、種々の態様で構成できる。
ドシールドを除き、第３図に示されている他の素子の全
てはこの分野において周知であって、当業者がわかるで
あろうように、種々の態様で構成できる。
第１図は本発明のガラスコールドシールドを含む熱エネ
ルギー検出装置の電磁放射を示す概略斜視図、第２図は
個々のコールドシールドにより更に遮へいした第１図に
示す装置を示す概略斜視図、第３図は赤外線その他の電
磁エネルギー検出装置のブロック図である。 １０・・・・ガラス棒、１４・・・・電磁放射検出器、
１５・・・・検出器アレイ、１７・・・・シールド、２
０・・・・個々のコールドシールド、３４・・・・冷却
手段、３５・・・・電気−光学装置、３６・・・・光学
装置。 特許出願人 ハネウェル・インコーボレーテッド復代
理人 山 川 政 樹 手続補正書Ｑ太） ｌ、事件の表示 平成／年特 許願第２ヂρｙｂｓ号 ２、イど０目の名称 」濡べ身目支ｔ（置 ３、補正をする者 事件との関係 特 許出願人名称（氏名） ｌ＼ネシエ１し・１シコー木ルーヲット１補正命令 □の８１寸 平成 ２年 Ｚｎ １’１ 日 （４）図面の浄書（内容に変更なし）
ルギー検出装置の電磁放射を示す概略斜視図、第２図は
個々のコールドシールドにより更に遮へいした第１図に
示す装置を示す概略斜視図、第３図は赤外線その他の電
磁エネルギー検出装置のブロック図である。 １０・・・・ガラス棒、１４・・・・電磁放射検出器、
１５・・・・検出器アレイ、１７・・・・シールド、２
０・・・・個々のコールドシールド、３４・・・・冷却
手段、３５・・・・電気−光学装置、３６・・・・光学
装置。 特許出願人 ハネウェル・インコーボレーテッド復代
理人 山 川 政 樹 手続補正書Ｑ太） ｌ、事件の表示 平成／年特 許願第２ヂρｙｂｓ号 ２、イど０目の名称 」濡べ身目支ｔ（置 ３、補正をする者 事件との関係 特 許出願人名称（氏名） ｌ＼ネシエ１し・１シコー木ルーヲット１補正命令 □の８１寸 平成 ２年 Ｚｎ １’１ 日 （４）図面の浄書（内容に変更なし）
Claims (3)
- （１）（ａ）光景の視野を供給し、その光景をみる光学
装置と、 （ｂ）光学装置の視野の光路中に設けられ、検出器に入
射する電磁放射を表す電気信号を発生する検出器の直線
アレイと、 （ｃ）検出器の直線アレイの長さ方向に沿つて検出器の
視野の外側で発生された妨害電磁放射からアレイを遮へ
いするように、相互に、かつ検出器の直線アレイに平行
な関係で設けられた一対のガラス棒を含むシールドと、 （ｄ）検出器の直線アレイとシールドとのための冷却手
段と、 （ｅ）アレイの電気的出力端子へ結合され、光学装置に
より見られた光景の表示を形成する電気−光学装置と、 を備えることを特徴とする電磁放射検出装置。 - （２）検出器素子の直線アレイの検出器素子を妨害電磁
放射から遮へいするように、平行関係で設けられて、ア
レイの長手方向に沿つてアパーチャを形成する一対のガ
ラス棒を備えることを特徴とする、検出器素子の直線ア
レイを有する赤外線検出装置に使用するコールドシール
ド。 - （３）（ａ）光景の視野を供給する光景を見る光学装置
と、 （ｂ）光学装置の視野の光路中に設けられ、検出器に入
射する電磁放射を表す電気信号を発生する検出装置の直
線アレイと、 （ｃ）検出器アレイ素子の間で検出器アレイに装着され
、検出器の視野の外側の放射を阻止する個々のコールド
シールドを含むシールドと、（ｄ）互いに平行な関係で
装置され、検出器の視野の外側の妨害電磁放射から検出
器アレイを遮へいするように、検出器アレイの長さ方向
に沿つて平行なアパーチャを形成する一対のガラス棒を
含むシールドと、 （ｅ）検出器アレイとシールドとを冷却する冷却手段と
、 （ｆ）アレイの電気的出力端子へ結合され、光学装置に
より見られた光景の表示を形成する電気−光学装置と、 を備えることを特徴とする電磁放射検出装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US269,121 | 1988-11-09 | ||
| US07/269,121 US4914299A (en) | 1988-11-09 | 1988-11-09 | Glass cold shield |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02218930A true JPH02218930A (ja) | 1990-08-31 |
Family
ID=23025889
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1290168A Pending JPH02218930A (ja) | 1988-11-09 | 1989-11-09 | 電磁放射検出装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4914299A (ja) |
| EP (1) | EP0368245A3 (ja) |
| JP (1) | JPH02218930A (ja) |
| IL (1) | IL92117A0 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2651315B1 (fr) * | 1989-08-22 | 1991-11-15 | Detecteurs Infra Rouges Ste Fs | Dispositif de detection infra-rouge. |
| US5075553A (en) * | 1989-10-23 | 1991-12-24 | General Electric Company | IR sensor for a scanned staggered element linear array having improved cold shielding |
| US5017786A (en) * | 1989-12-19 | 1991-05-21 | Honeywell Inc. | V2 O3 protection for IR detector arrays against intense thermal radiation |
| US5378892A (en) * | 1990-09-28 | 1995-01-03 | Martin Marietta Corporation | Angle filter for use in an infrared optical system |
| US5258621A (en) * | 1992-02-25 | 1993-11-02 | General Electric Company | Cold shield for a scanned linear IR detector array |
| US5525801A (en) * | 1994-11-14 | 1996-06-11 | Litton Systems, Inc. | Two-color photo-conductive linear detector |
| US7060991B2 (en) * | 2002-04-11 | 2006-06-13 | Reilly Thomas L | Method and apparatus for the portable identification of material thickness and defects along uneven surfaces using spatially controlled heat application |
| US8692172B2 (en) * | 2009-04-21 | 2014-04-08 | Raytheon Company | Cold shield apparatus and methods |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3963926A (en) * | 1975-01-09 | 1976-06-15 | Texas Instruments Incorporated | Detector cold shield |
| US4431918A (en) * | 1981-03-27 | 1984-02-14 | Honeywell Inc. | Etchable glass cold shield for background limited detectors |
| JPS60117662A (ja) * | 1983-11-30 | 1985-06-25 | Fujitsu Ltd | 赤外線検知器とその製造方法 |
| JPS62151728A (ja) * | 1985-12-25 | 1987-07-06 | Fujitsu Ltd | 赤外線検知器 |
-
1988
- 1988-11-09 US US07/269,121 patent/US4914299A/en not_active Expired - Fee Related
-
1989
- 1989-10-25 IL IL92117A patent/IL92117A0/xx unknown
- 1989-11-07 EP EP19890120601 patent/EP0368245A3/en not_active Withdrawn
- 1989-11-09 JP JP1290168A patent/JPH02218930A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0368245A3 (en) | 1991-04-03 |
| US4914299A (en) | 1990-04-03 |
| IL92117A0 (en) | 1990-07-12 |
| EP0368245A2 (en) | 1990-05-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3963926A (en) | Detector cold shield | |
| US4609820A (en) | Optical shield for image sensing device | |
| US4990782A (en) | Radiation shield for thermoelectrically cooled infrared detectors | |
| US4576679A (en) | Method of fabricating a cold shield | |
| JPH11132857A (ja) | 赤外線検出器 | |
| US3020406A (en) | Energy detection apparatus | |
| JPH02218930A (ja) | 電磁放射検出装置 | |
| US5075553A (en) | IR sensor for a scanned staggered element linear array having improved cold shielding | |
| US4431918A (en) | Etchable glass cold shield for background limited detectors | |
| Peterson et al. | Development of imaging bolometers for magnetic fusion reactors | |
| JP3674012B2 (ja) | 固体撮像装置 | |
| US3107302A (en) | Two color background elimination detector | |
| JPS6117082A (ja) | 放射線検出器 | |
| US5017786A (en) | V2 O3 protection for IR detector arrays against intense thermal radiation | |
| JPH0249124A (ja) | サーモパイル | |
| US4513201A (en) | Thermocouple detector | |
| US6403962B1 (en) | Fibre optic X-ray camera | |
| EP0236128A2 (en) | Infrared ray sensing device | |
| CN116242489A (zh) | 基于双频超表面吸波结构的太赫兹探测器及系统 | |
| JPH08193880A (ja) | 赤外線検出装置 | |
| JPH06100496B2 (ja) | 放射冷却器 | |
| US3942008A (en) | Thermal imaging device | |
| JPH0212552Y2 (ja) | ||
| US5698853A (en) | Infrared image pickup apparatus | |
| JPS6242209A (ja) | 光学装置 |