JPH02219043A - 走査露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、各種の複写装置、プリンター　印刷機等に通
用される走査露光装置に関する。

詳しくは、スリット走査露光において、フレアーの露光
面への侵入を減少した走査露光装置に関する。

〈従来の技術〉 各種の複写装置、プリンター　印刷機等に通用される露
光装置は、静止画像を一度に露光する面露光に比べて、 ■　露光面積を小さくでき露光装置を小型化できる、 ■　光源の光量を小さくできる 等の理由より、スリット走査露光が多く用いられている
。

例えば、複写装置に適用される走査露光装置は、基本的
に、原稿台上に載置された原稿の下面を走査しながら原
稿を照射する露光用光源と、原稿からの反射光を所定の
方向に反射する複数のミラーと、この反射光を感光材料
上に結像させる結像レンズと、この反射光が結像する露
光面の直前で、主に結像レンズを通過した反射光の走査
方向の巾を規定するスリット等を有するものである。

このような走査露光装置においては、露光用光源が所定
の速度にて走査しながら原稿を照射する。

この原稿からの反射光（以下、反射光とする）は、Ｂ動
可能な少なくとも一枚のミラーにて所定の方向に反射さ
れ、結像レンズに入射し、露光面にて結像するように調
光される。

結像レンズを通過した反射光は、露光面の手前に配置さ
れたスリットを通過し、露光面にて露光用光源の走査に
同期して搬送される感光材料を露光する。

〈発明が解決しようとする課題〉 ところで、通常の走査露光装置においては、結像レンズ
およびミラーの位置を、反射光の進行方向の前後方向に
移動することにより、光露長を変化させ、露光倍率を変
化させ、形成する画像の拡大・縮小を行なえるように構
成される。

つまり、原稿から結像面までの光路長は倍率に応じて変
化するので、結像レンズを結像面より遠ざけることによ
り露光倍率を拡大し、逆に結像レンズを結像面に近づけ
ることにより露光倍率を縮小する。

このような走査露光装置においては、露光面にて結像し
た反射光の走査方向の巾（以下、走査巾とする）は露光
倍率によって異なるものであり、例えば、等信置光の際
が１０ｍｍに設定されているとすると、２倍露光の際に
は２０ｍｍ、１／２露先の際には５ｍｌ１となる。

従って、露光面直前に配置されるスリットの巾は、等信
置光の走査巾が１０１１１１１で、１／２倍〜２倍の露
光ができる走査露光装置においては、通常１６〜２０１
１ｍ程度とされている。

ここで、露光面直前のスリット巾が１６ｍｍであったと
すると、等信置光や縮小露光（拡大露光においても倍率
１．６倍未満の場合には）を行なう際には、スリット巾
よりも走査巾が小さく、スリットにおいて反射光の走査
方向上下に間隙、つまり、等信置光の際には走査巾は１
〇−膳であるので上下にそれぞれ約３１．１／２倍の縮
小露光に至っては、走査が５ＩＩＩｌであるので上下に
それぞれ約５．５ｍｍもの間隙が生じてしまう。

そのため、この間隙より結像レンズの乱反射光や外部か
らの光等の、いわゆるフレアー光が露光面に侵入し、画
像不鮮明、輪郭ボケ等が起こり良好な画像を得ることが
できない。

本発明の目的は、前記従来技術の問題点を解決すること
にあり、拡大露光および縮小露光が可能なスリット走査
露光装置であって、等信置光、拡大露光および縮小露光
いずれの場合においても露光面に露光を妨害する余分な
光が侵入することがなく、常に好適な状態にてスリット
走査露光を行なうことかできる走査露光装置を提供する
ことにある。

く課題を解決するための手段〉 前記目的を達成するために、本発明は、露光用光源と、
複数のミラーと、少なくとも露光光束の進行方向の前後
方向に移動可能な結像レンズとを備え、拡大露光および
縮小露光°が可能な走査露光装置において、変倍倍率に
応じてスリット巾を変える可変スリットを露光面の近傍
に少なくとも一つ設けたことを特徴とする走査露光装置
を提供する。

〈発明の作用〉 本発明の走査露光装置は、拡大・縮小が可能な走査露光
装置であって、露光倍率に応じてスリット巾を変えるこ
とができる可変スリットを露光面近傍に少なくとも一つ
有するものである。

従って、本発明の走査露光装置によれば、拡大露光、等
信置光および縮小露光いずれの場合でも、例えば、等信
置光における走査巾が１０＋ａｍであれば等信置光にお
いては１０ｍｍ、１／２倍の縮小露光の際には５ＩＩｆ
ｆｌ、２倍の拡大露光の際には２０ＩＩ１１と、露光面
前のスリットの走査方向の巾を、その露光倍率における
走査中に応じた最適なものとすることができ、結像レン
ズの乱反射光、外部からの光等のフレアーが露光面に侵
入しない良好な状態で感光材料の露光を行なうことがで
きる。

なお、本発明において、露光面近傍とは露光面からの距
離が４０ｍｇ＋以内のことである。

〈実施態様〉 以下、本発明の走査露光装置について、添付の図面に示
される好適な実施例を基に詳細に説明する。

第１図に、本発明の走査露光装置の好適な一実施例が示
される。

第１図に示される走査露光装置１５０は、ガラス等の原
稿台８０上に載置され、原ＩＩ４抑え１５にて原稿台８
０に固定される原稿１３０の画像を、押圧板５６にてガ
ラス板５４に押圧されつつ、搬送ローラ５８および６０
に走査搬送される感光材料Ａに露光面４６ａにてスリッ
ト走査露光するものである。

このような走査露光装置１５０は、基本的に矢印ａで示
される走査方向に移動可能な光源ユニット１５２と、光
源ユニット１５２と同方向に１／２の速度で移動するミ
ラーユニット１５４と、光路りに沿って前後方向に移動
可能なレンズユニット１５６と、シャッタ１５８と、セ
ンサ１６０と、露光面４６ａ近傍である、感光材料供給
部ユニット１６との隔壁１６２の直前（以下、前方とは
、反射光進行方向前方とする）に配置される可変スリッ
ト１６４とから構成される。

光源ユニット１５２は、原稿１３０を照射する、ハロゲ
ンランプ、蛍光灯等からなる露光用光源１６６と、露光
用光源から照射された光を原稿１３０に反射するりフレ
フタ１６８と、原稿１３０からの反射された反射光（以
下、反射光とする）を所定の方向に反射するミラー１７
０とが一体的に形成され、図示しない手段にて矢印ａで
示される走査方向に原稿台８０の下面を移動可能に構成
される。

なお、リフレクタ１６８には反射光が通過する際に、そ
の走査方向の巾を規定するためのスリット１７２が形成
される。

ミラーユニット１５４は、一体的に形成された２枚のミ
ラー１７４および１７６とを有し、図示しない手段にて
光源ユニット１５２と同方向の矢印すで示される方向に
、光源ユニット１５２の１／２の速度で移動し、反射光
を光路りで示される所定の方向に反射する。

レンズユニット１５６は、結像レンズと、反射光の光量
・光質を調整する調光装置とを組合せたもので、結像レ
ンズであるレンズ前群１７８およびレンズ後群１８０と
、このレンズ前群１７８および後群１８０の間に配置さ
れる、素通し、シアンフィルタ、マゼンタフィルタから
なる第１色フィルタ１８２と、固定絞り１８４と、素通
し、シアンフィルタ、イエローフィルタからなる第２色
フィルタ１８６と、さらにレンズ後群１８０の後方に配
置される、対の絞り板１８８ａおよび１８８ｂからなる
可変絞りとを有するものである。

このレンズユニット１５６は、光路りの前後方向に移動
可能であり、走査露光装置１５０においては、露光の際
にこのレンズユニット１５６を前方に移動させることに
より拡大露光を行ない、また後方に移動させることによ
り縮小露光を行なうものである。

なお、このレンズユニット１５６は、原稿台８０上にお
ける原稿１３０の所定の載置位置が原稿台８０上の走査
方向と垂直方向両端部のいずれかである場合は、光路り
と同一平面を、前後方向斜めに移動可能とする。

シャッタ１５８は、光路りをセンサ１６０側と、露光面
４６ａ側とに切り替えるもので、支軸１９０にて図示実
線で示される位置および点線で示される位置に回動可能
に支持される。

このシャッタ１５８は、通常の露光時には図示実線で示
される位置に配置されて光路りを露光面４６ａ側にし、
また、プレスキャン、ホワイトバランスの調整時等には
図示点線で示される位置に回動して光路りをセンサ１６
０側に切り替える。

センサ１６０は、プレスキャン、ホワイトバランスの際
に光量・光質等を測定するもので、この測定結果に応じ
、前述のレンズユニット１５６での色フィルタの種類・
挿入量等や、また可変絞りでの光量調整量が決定され、
調整される。

露光面４６ａ近傍の隔壁１６２の直前には可変スリット
１６４が配置される。

本発明の走査露光装置１５０においては、この可変スリ
ット１６４を露光面４６ａの近傍に有することにより、
露光面４６ａ前における反射光の走査方向の巾を規定す
るスリットを、等倍露光、拡大露光および縮小露光いか
なる場合においても、その倍率の際の走査巾に応じ反射
光の走査方向上下に間隙が生じない最適なものとするこ
とができ、フレアー光が露光面４６ａに侵入しない良好
な状態で露光を行なうことができる。

第２図に、このような可変スリット１６４の一例が示さ
れる。

第２図に示される可変スリット１６４は、基本的に板カ
ム１９４と、絞り板１９６と１９８とからなるものであ
る。

板カム１９４には、露光光束が通過する開口２００と、
第２図上において右下がりの傾斜溝２０２ａ、２０２ｂ
および右上がりの傾斜溝２０４ａ、２０４ｂと、ラック
２０６とが形成される。

ラック２０６には減速ギヤ２０８、ギヤ２１０を介して
ステッピングモータ２１２が配置される。

このような板カム１９４は、開口２００の短手方向（走
査方向）の上下方向（以下、上下方向とする）には固定
、長手方向の左右方向（以下、左右方向とする）には可
動に配置され、ステッピングモータ２１２が時計方向に
回転することにより右方向に、ステッピングモータ２１
２が反時計方向に回転することにより左方向に移動する
。

絞り板１９δと１９８は互い接離することによりスリッ
ト巾を調整するものであり、絞り板１９６の裏面（光路
りにおける反射光の進行方向の後方面）にはピン１９６
ａおよびピン１９６ｂが、また、絞り板１９８の裏面に
はピン１９８ａおよび１９８ｂが配され、ピン１９６ａ
は傾斜溝２０２ａに、ピン１９６ｂは傾斜溝２０２ｂに
、ピン１９８ａは傾斜溝２０４８に、ピン１９８ｂは傾
斜溝２０４ｂにそれぞれ挿入され、図示しない手段にて
上下方向には可動、左右方向には固定されて保持される
。

このような絞り板１９６および１９８は、板カム１９４
が左方向に移動することにより、Ｈ’）　板１９６　ハ
傾斜満２０２　ａ　、　２０２　ｂ　ニ沿って降下し、
一方、絞り板１９８は傾斜溝２０４ａ、２０４ｂに沿っ
て上昇し、両絞り板が近接してスリット巾を狭くする。

　また、板カム１９４が右方向に移動すると、逆に各絞
り板は傾斜溝に沿って離れ、スリット巾は広くなる。

本発明の走査露光装置においては、このような可変スリ
ット１６４が少なくとも露光面の近傍、図示例において
は隔壁１６２の直前に配置され、前述のように露光倍率
に応じて、そのスリット巾を調整する。

本発明の走査露光装置１５０に適用される可変スリット
１６４は、等倍露光の際には、第３ａ図に示されるよう
に、等倍露光の際の走査巾に応じて、反射光の走査方向
上下に間隙が生じないスリット巾となっている。

これが拡大露光の際には、前述のようにして絞り板１９
６および１９８が離れてスリット巾が広くなり、第３ｂ
図に示されるように、可変スリット１６４のスリット巾
は、その拡大倍率の際の走査巾に応じ、反射光の走査方
向上下に間隙が生じないスリット巾（２倍露光であれば
３８図に示されるスリット巾の２倍）に設定される。

一方、縮小露光の際には、前述のようにして両方の絞り
板が近接してスリット巾が狭くなり、第３ｃ図に示され
るように、可変スリット１６４のスリット巾はその縮小
倍率の際の走査中に応じ、反射光の走査方向上下に間隙
が生じないスリット巾（１／２倍露光であれば３８図に
示されるスリット巾の１／２倍）に設定される。

本発明の走査露光装置においては、露光面近傍に配置さ
れたこのような可変スリットにより、露光倍率に応じて
スリット巾を調整することが可能であるので、可変スリ
ットを反射光の走査方向上下に間隙の無いに調整するこ
とにより、結像レンズの乱反射、外部光等のフレアー光
が露光面に侵入することのない、良好な露光を行なうこ
とが可能である。

本発明の走査露光装置においては、このような可変スリ
ットは露光面近傍に配置されるものである。　ここで、
本発明における露光面近傍とは露光面からの距離が４０
ｍａ＋以内のことである。

なお、本発明において、このような可変スリットの配置
位置は露光面４６ａに近いほど好ましく、好ましくは、
露光面より２０＋ｓａ＋以内の位置に配置されるのが良
い。

また、本発明の適用される可変スリットは、前述のもの
に限定されるものではなく、２枚の絞り板をラックアン
ドピニオン等にて駆動させる方法等の各種の方法が通用
可能である。

第１図に示される例においては、レンズユニット１５６
に可変絞りを有するものであったが、本発明においては
、露光面近傍に少なくとも一つの可変スリットを有する
ため、この可変絞りは必ずしも必要ではない、　なお、
この際の光量調整は、露光面近傍に配される可変スリッ
トにて行えばよい。

以上の説明は、本発明を光源移動型の走査露光装置に適
用した例について行ったが、本発明においてはこれに限
定されるものではなく、原稿台移動型の走査露光装置に
も好適に適用されるのは勿論のことである。

第４図に、このような本発明の走査露光装置１５０を、
銀塩写真式複写装置に適用した際の一例が示される。

同図に示される銀塩写真式複写装置１０（以下、複写装
置１０という）は、その右側に感光材料供給部ユニット
１６が、上方に露光部ユニット１８およびその下方に処
理部ユニット２０が設けられている。

ここで、露光部ユニット１８は、前述の走査露光装置１
５０を適用したものである。

感光材料供給部ユニット１６は、感光材料供給部フレー
ム２８内に感光材料の搬送路を有し、上下に一対のマガ
ジン３０．３２が着脱自在に取り付けられ、これらの内
部には感光材料３４．３６がそれぞれロール状に収容さ
れ、先端部から感光材料供給部ユニット１６へ取り出さ
れるようになっている。　−例として３４はカラー印刷
原稿の複写に最適な感光材料であり、３６はカラー写真
原稿の複写に最適な感光材料となっている。

マガジン３０の前方には感光材料３４を引出すための搬
送ローラ４２が、次いで感光材料３４を所定の長さに切
断するためのカッタ４４が配置される。

このカッタ４４と露光部４６との間には感光材料搬送ガ
イド４８ａ、４８ｂ、４８ｃおよび搬送ローラ５０．５
２が配置されて、切断後の感光材料３４を露光部４６へ
と案内するようになっている。

露光部４６は感光材料３４の露光面４６ａを規定する部
分であって、この露光部４６では露光部ユニット１８の
結像光学系に面してガラス板５４が固定され、このガラ
ス板５４へ押圧板５６が圧着されている。

露光部４６の上流側（上側）および下流側（下側）には
、それぞれ一対の搬送ローラ５８および搬送ローラ６０
が設けられている。

露光部４６の下方には垂直に露光後の感光材１１３４を
下方へ案内する搬送ガイド６２が配置され、その上下方
向中間部には、感光材料３４（３６）の搬送路を分岐搬
送ガイド６６を経て処理部ユニット２０へと切換える切
換ガイド６４が設けられる。

一方、マガジン３０の下方に配置されるマガジン３２に
もその感光材料３６に対応して搬送ローラ６８およびカ
ッタ７０が、またその前方には、搬送ガイド７２ａ、７
２ｂおよび搬送ローラ７４が配置され感光材料３６を搬
送ガイド４８ａへと搬送する。

露光部ユニット１８は、露光部フレーム９８内に、前述
の走査露光装置１５０を通用・配置したものであるので
、同じ部材には同じの番号を付し、その説明は省略する
。

処理部ユニット２０は処理部２２と乾燥部２４とから構
成される。　処理部２２内に現像槽１０２、漂白・定着
槽１０４、水洗槽１０６．１０８が連続して設けられ、
これらの内部へ充填される処理液によって現像、漂白、
定着、水洗が行なわれた感光材料３４（３６）が乾燥部
２４へと送られるようになっている。

乾燥部２４では水洗後の感光材料３４ （３６）を乾燥して取出トレイ１１０上へ送り出すよう
になっている。

以下、本発明の走査露光装置１５０の作用と共に、複写
装置１０を用い原稿１３０の複写を行なう際の作用を説
明する。

まず、原稿台８０に原稿１３０が載置され、原稿抑え１
５が閉じられる。

次いで、複写倍率が設定され、複写装置１０の複写開始
ボタン（図示せず）が押圧されると、露光用光源１６６
が点灯して、光源ユニット１５２が走査を開始し、プレ
スキャンが開始される。

反射光は、ミラー１７０に入射し、反射され、走査速度
の１／２の速度で光源ユニット１５２と同方向に移動す
るミラーユニット１５４の各ミラーで反射され、レンズ
ユニット１５６を通過し、シャッタ１５８により反射さ
れてセンサ１６０に入射し、画像情報がセンサ１６０で
読み取られ、露光修正条件が設定される。

プレスキャン終了後、光源ユニット１５２およびミラー
ユニット１５４は走査開始位置に戻り、また、可変スリ
ット１６４は露光倍率（複写倍率）に応じたスリット巾
に調整される。

一方、上述のプレスキャンおよび色フィルタ、絞りの補
正が行なわれている間に、原稿に応じた複写に必要な感
光材料が選択される。

−例として、原稿１３０がカラー写真原稿であった際に
は、感光材料３６が選択され、図示しない搬送用モータ
が駆動されると、搬送ローラ６８，７４が感光材料３６
を所定長さだけ送り出し、カッタフＯにより感光材料３
６が必要長さに切断される。

その後再び前記搬送用モータが駆動されて感光材料３６
は露光部４６へと送られ、露光面４６ａの直前で待機す
る。

シャッタ１５８が実線の位置に回動して露光が可能にな
り、光源ユニット１５２が原ｆル１３０の主走査を開始
すると、同時に露光部４６の搬送ローラ５８および６ｏ
は感光材料３６を光源ユニット１５２の走査速度と同期
して走査搬送を開始する。

主走査の間、光源ユニット１５２の光源１６６に照射さ
れ、ミラー１７０で反射された反射光は、光源ユニット
１５２の１／２の速度で同方向に移動するミラーユニッ
ト１５４の各ミラーに反射され、色および絞りが好適に
調整されたレンズユニット１５６を通過し、次いで、露
光倍率に応じてスリット巾が好適に調整された可変スリ
ット１６４を通過し、露光面４６ａにおいて結像して、
ローラ対５８および６０にて、光源ユニット１５２に同
期して走査搬送される感光材料３６を露光する。

ここで、複写装置１０は本発明の走査露光装置１５０を
適用したものであるので、露光面４６ａにフレアーの侵
入しない良好な状態での露光が可能である。

この露光の進行に従い、感光材料３６は搬送ローラ５８
と６０との間から搬送ガイド６２を通って下方へと送ら
れる。　この場合、切換ガイド６４は感光材料搬送路に
作用せず、露光部４６から送られる感光材料３６は搬送
ガイド６２内を垂直下方へと６動する。

露光が全て終了するとシャッタ９６が第４図点線で示さ
れる位置に回動し、また可変スリット１６４は閉じる。

　次いで、各搬送ローラが一時的に逆方向に回転し、露
光後の感光材料３６は搬送ガイド６２を上昇し、一部が
搬送ガイド４８ｃ内へと送られる。

この逆方向の搬送は感光材料３６の先端部が切換ガイド
６４よりも上流側で停止される。

その後再び各搬送ローラは最初の搬送方向と同方向に回
転される。　この場合、切換ガイド６２は前記感光材料
搬送路に作用し、感光材料３６の先端部を分岐搬送ガイ
ド６６へと送り出す。　このため感光材料３６の先端部
は分岐搬送ガイド６６を通って処理部ユニット２０の処
理部２２へと送られる。

処理部２２内に送られた露光情感光材料３６は現像槽１
０２で現像され、漂白・定着４ｉ　１０４で漂白・定着
され、水洗槽１０６゜１０８において十分に水洗が行な
われた後に乾燥部２４へと送られ、乾燥後に取出トレイ
１１０上へと取り出される。

本発明に係る走査露光装置は以上のように構成されるが
、本発明はこれに限定されるわけではなく、本発明の要
旨を逸脱しない範囲において種々の改良並びに設計の変
更が可能なことは勿論である。

〈発明の効果〉 本発明の走査露光装置は、少なくとも露光面の近傍に、
露光倍率に応じてスリット巾を変えることができる可変
スリットが配置される。

そのため、拡大露光、等着露光および縮小露光いずれの
場合においても、例えば等着露光における走査中が１０
ｍｍであれば、等着露光においては１０ｍｍ、１／２倍
の縮小露光の際には５ｍｇ＋、２倍の拡大露光の際には
２０ｍｍと、露光面前にて反射光の走査方向の巾を規定
するスリットを、その露光倍率に応じて反射光の走査方
向上下に間隙の生じない、最適なスリット巾とすること
ができる。

そのため、感光材料等の露光の際に、結像レンズの乱反
射光、外部からの光等のフレアー光の露光面への侵入を
大幅に減少することができ、良好な状態で感光材料の露
光を行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の走査露光装置の一例を示す概略図で
ある。 第２図は、本発明の走査露光装置に適用され作用を示す
概略図である。 第４図は、第１図に示される走査露光装置を銀塩写真式
複写装置に適用した例の概略図である。 符号の説明 １０・・・複写装置、 １２・・・装置本体、 １５・・・原稿抑え、 １６・・・感光材料供給部ユニット、 １８・・・露光部ユニット、 ２０・・・処理部ユニット、 ２２・・・処理部、２４・・・乾燥部、２８・・・感光
材料供給部フレーム、 ３０．３２・・・マガジン、 ３４．３６・・・感光材料、 ３８・・・開閉蓋、 ４２．６８・・・搬送ローラ、 ４６・・・露光部、 ４６ａ・・・露光面、 ５４・・・ガラス板、 ５６・・・押圧板、 ５８．６０・・・搬送ローラ、 ６４・・・切換ガイド、 ８０・・・原稿台、 ９８・・・露光部フレーム、 １０２・・・現像槽、 １０４・・・漂白・定着槽、 １０６．１０８・・・水洗槽、 １１０・・・取出トレイ、 １３０・・・原稿、 １５０・・・走査露光装置、 １５２・・・光源ユニット、 １５４・・・ミラーユニット、 １５６・・・レンズユニット、 １５８・・・シャッタ、 １６０・・・センサ、 １６２・・・隔壁、 １６４・・・可変スリット、 １６６・・・露光用光源、 １６８・・・リフレクタ、 １７０．１７４，１７６゜ １９２・・・ミラー １　７　２　・・・　ス　リ　　ッ　　ト　、１７８・
・・レンズ前群、 １８０・・・レンズ後群、 １８２・・・第１色フィルタ、 １８４・・・固定絞り、 １８６・・・第２色フィルタ、 １８８ａ、１８８ｂ、１９６，１９８−絞り板、 １９０・・・支軸、 １９４・・・板カム、 １９６ａ、１９６ｂ、１９８ａ。 １９８ｂ・・・ビン、 ２００・・・開口、 ２０２ａ、２０２ｂ、２０４ｃ。 ２０４ｄ・・・傾斜溝、 ２０６・・・ラック、 ２０８・・・減速ギヤ、 ２１０・・・ギヤ、 ２１２・・・ステッピングモータ ＦＩＧ、３ｂ 手続ネ甫正（）（自発） １．事件の表示 平成０１年特許願第０４０００６号 ２、発明の名称 走査露光装置 ３、補正をする者 事件との関係　　　特許出願人 名　　称　　（５２０）富士写真フィルム株式会社４、
代理人 住　　所 〒１０１　　電話８６４−４４９８ 東京都千代田区岩本町３丁目２番２号 明細書の「発明の詳細な説明」の欄 ６、補正の内容 （１）明細書第５ページ第５行目の「生じてしまう、」
の記載の後に「また、２倍露光の際には光量的にも損失
が大キ＜、なってしまう。」の記載を挿入する。 （２）同第７ページ第４行目の「侵入しない」の記載を
、「侵入せず、しかも拡大露光時の光量損失を防止した
」と補正する。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）露光用光源と、複数のミラーと、少なくとも露光
   光束の進行方向の前後方向に移動可能な結像レンズとを
   備え、拡大露光および縮小露光が可能な走査露光装置に
   おいて、変倍倍率に応じてスリット巾を変える可変スリ
   ットを露光面の近傍に少なくとも一つ設けたことを特徴
   とする走査露光装置。