JPH0221914A - 真空ポンプ用潤滑油の再生方法 - Google Patents
真空ポンプ用潤滑油の再生方法Info
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- JPH0221914A JPH0221914A JP63172879A JP17287988A JPH0221914A JP H0221914 A JPH0221914 A JP H0221914A JP 63172879 A JP63172879 A JP 63172879A JP 17287988 A JP17287988 A JP 17287988A JP H0221914 A JPH0221914 A JP H0221914A
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- oil
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- lubricating oil
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上辺上■１団
本発明は濾過方法に関し、特に真空ポンプ用潤滑油の再
生方法に関する。
生方法に関する。
従来少肢素
真空ポンプ、特に半導体製造装置に使用する真空ポンプ
は多量の腐食性ガスが混入し、多種のガスの反応生成物
が随伴し、一部は排気装置で処理されるが真空ポンプ油
に混合した部分は油を汚染劣化させる。このため、真空
ポンプの安定した作動のためにはこれらの夾雑物（酸、
酸化生成物。
は多量の腐食性ガスが混入し、多種のガスの反応生成物
が随伴し、一部は排気装置で処理されるが真空ポンプ油
に混合した部分は油を汚染劣化させる。このため、真空
ポンプの安定した作動のためにはこれらの夾雑物（酸、
酸化生成物。
金属粉、ごみ等）を濾過し除去する必要がある。
このための従来の技法には次の各種がある。
１、フィルタ一方式（セルローズ、グラスファイバー、
焼結材等） ２、吸着剤フィルタ一方式（活性アルミナフィルター３
活性白土フイルター等） ３、静電濾過方式 ４、組合せ方式 ５、抽出分離方式（油中に水又は水溶液を添加して汚染
物質を水中に抽出し、比重差で分離）１、フィルタ一方
式 この方式にはプリーツ型フィルターとロールティッシュ
型フィルターとがあり、濾材表面で夾雑物を除去する。
焼結材等） ２、吸着剤フィルタ一方式（活性アルミナフィルター３
活性白土フイルター等） ３、静電濾過方式 ４、組合せ方式 ５、抽出分離方式（油中に水又は水溶液を添加して汚染
物質を水中に抽出し、比重差で分離）１、フィルタ一方
式 この方式にはプリーツ型フィルターとロールティッシュ
型フィルターとがあり、濾材表面で夾雑物を除去する。
この形式のフィルターは固体夾雑物のみを除去し、濾過
精度は比較的低く、フィルター交換時に油の損失が多い
。
精度は比較的低く、フィルター交換時に油の損失が多い
。
２ 吸着剤フィルタ一方式
主として活性アルミナを使用するフィルタであり、濾過
性能を上げるために粉末を微細にずれば目詰りを生じ易
い。酸の吸着量は充填量で定まるため吸着量を増加すれ
ば大型になる。フィルターが高価であり、フィルター交
換時に油の損失が多い。
性能を上げるために粉末を微細にずれば目詰りを生じ易
い。酸の吸着量は充填量で定まるため吸着量を増加すれ
ば大型になる。フィルターが高価であり、フィルター交
換時に油の損失が多い。
３ 静電濾過方式
対向極板間の静電気による捕集装置であり、静電気発生
のための装置が大型になる。電流の流れ易い条件下、即
ち酸価の高い油、水分の混入した油、高汚染油等は使用
できない。酸の除去機能がない。更に使用油量が多く、
濾過速度が遅い。
のための装置が大型になる。電流の流れ易い条件下、即
ち酸価の高い油、水分の混入した油、高汚染油等は使用
できない。酸の除去機能がない。更に使用油量が多く、
濾過速度が遅い。
４ 組合せ方式
Ａ プリーツ型と活性アルミナフィルタープリーツ型フ
ィルターで大きな夾雑物を除去し活性アルミナフィルタ
ーで小さい夾雑物の除去と酸の吸着を行う。
ィルターで大きな夾雑物を除去し活性アルミナフィルタ
ーで小さい夾雑物の除去と酸の吸着を行う。
使用油量が多く、フィルター交換時に油の損失が著しく
多い。更に大型になり高価になる。
多い。更に大型になり高価になる。
Ｂ 静電濾過と活性アルミナ吸着フィルタースペースの
制約上活性アルミナの充填量が少なく、酸の処理量が少
なく、油の損失が多く、高価になる。
制約上活性アルミナの充填量が少なく、酸の処理量が少
なく、油の損失が多く、高価になる。
５ 抽出分離方式
油中に水溶液等を添加して汚染物を抽出し、比重で分離
する。
する。
水溶性汚染物質には有効であるが、各種夾雑物の共存す
る場合は濾過精度が悪い。
る場合は濾過精度が悪い。
日（枦
本発明の目的は上述の既知の濾過方式の欠点を解消し、
真空ポンプ潤滑油の中の汚染物質及び固体夾雑物の除去
に好適な油再生方法を提供するにある。
真空ポンプ潤滑油の中の汚染物質及び固体夾雑物の除去
に好適な油再生方法を提供するにある。
１ ′ るための
本発明による水溶性汚染物質を含有する真空ポンプ用潤
滑油の再生方法であって、濾過エレメントを使用して循
環濾過する場合に、濾過エレメントは含水させたアクリ
ル系吸水性繊維を含む。
滑油の再生方法であって、濾過エレメントを使用して循
環濾過する場合に、濾過エレメントは含水させたアクリ
ル系吸水性繊維を含む。
立朋
アクリル系吸水性繊維を使用した濾過エレメントは構成
繊維の表面に水分層を有するため、真空ポンプ油に混在
する酸を除去できる。更に、この繊維は吸水時にも高い
繊維弾性を有するため濾過剤密度が過度に増加すること
がなく、所要の濾過抵抗を維持できる。このため一種の
エレメントを使用して夾雑物の除去と酸の除去とを高精
度に行い得る。
繊維の表面に水分層を有するため、真空ポンプ油に混在
する酸を除去できる。更に、この繊維は吸水時にも高い
繊維弾性を有するため濾過剤密度が過度に増加すること
がなく、所要の濾過抵抗を維持できる。このため一種の
エレメントを使用して夾雑物の除去と酸の除去とを高精
度に行い得る。
災胤炭
本発明を例示とした実施例並びに図面について説明する
。
。
図は本発明の方法を密閉循環式濾過装置に適用した例を
示す。真空ポンプ１０は吸気口１２と排気口１４とを有
し、吸気口１２を所要の機器に接続する。
示す。真空ポンプ１０は吸気口１２と排気口１４とを有
し、吸気口１２を所要の機器に接続する。
潤滑油回路はドレン口１６からポンプ２０．濾過装置２
２を経て給油口１日に接続する回路３２を形成する。
２を経て給油口１日に接続する回路３２を形成する。
濾過装置２２のフィルター槽２４に底入口２６から油を
導入し、油は上昇して環状のフィルターエレメント２８
内を通り、底出口３０から給油口１８に戻る。
導入し、油は上昇して環状のフィルターエレメント２８
内を通り、底出口３０から給油口１８に戻る。
上述の構成に好適なフィルターエレメント２８の実施の
例は下記の通りである。
例は下記の通りである。
形状、外径１Ｂ（１ｍｍ、高さ１１５ｍｍのドーナツ型
繊維充填率５−５０χ 繊維含水率０．１−３０χ 繊維の種類 アクリル系吸水性繊維 他の繊維、不織布、綿状エレメント、糸巻き状エレメン
ト等を混入し得る。
繊維充填率５−５０χ 繊維含水率０．１−３０χ 繊維の種類 アクリル系吸水性繊維 他の繊維、不織布、綿状エレメント、糸巻き状エレメン
ト等を混入し得る。
ポンプ 加圧型油循環ポンプ（０，１−１５Ｉｔ／ｍ１
ｎ）図示の構成は真空ポンプを直結した連続循環密閉式
濾過装置であるが１回路にバイパスを形成し又は真空ポ
ンプはタンクから油を供給させ、濾過装置はこのタンク
又は別のタンクの使用済み潤滑油の再生を行うこともで
きることは勿論である。
ｎ）図示の構成は真空ポンプを直結した連続循環密閉式
濾過装置であるが１回路にバイパスを形成し又は真空ポ
ンプはタンクから油を供給させ、濾過装置はこのタンク
又は別のタンクの使用済み潤滑油の再生を行うこともで
きることは勿論である。
本発明の図示の濾過装置の実施の例を塩素系ドライエツ
チング工程における真空ポンプ油の再生例として以下に
示す。
チング工程における真空ポンプ油の再生例として以下に
示す。
再生処理条件
オイル 弗素系合成油（ＢＡＲＲＩＥＲＴＡ Ｊ２５）
処理油量 １０１を 循環ポンプ流量 １．３ Ｉｔ／ｍｉｎフィルタ槽容量
３．５ ｉｔ 処理温度 常温 エレメント １８０ ΦＸ １１５ｍｍ繊維充填率
２０χ 繊維含水率 １０χ 分析結果 処理前の分析値 重量汚染度 １０６ ｍｇ／１００ｍ１強酸価 １
５０ ｍｇ／ｌ 処理後の分析値 処理時間 ｈｒ ０１２３ 重量汚染度ｍｇ／１００ｍ１１０６ １３ １．２ ０
強酸価 ｍｇ／ｌ １５０ ２２ １．８ ０弗
素系ドライエツチング工程における連続使用の実施の例
を他の既知の濾過方式と同様の条件で使用した例を以下
の表１に示す。
処理油量 １０１を 循環ポンプ流量 １．３ Ｉｔ／ｍｉｎフィルタ槽容量
３．５ ｉｔ 処理温度 常温 エレメント １８０ ΦＸ １１５ｍｍ繊維充填率
２０χ 繊維含水率 １０χ 分析結果 処理前の分析値 重量汚染度 １０６ ｍｇ／１００ｍ１強酸価 １
５０ ｍｇ／ｌ 処理後の分析値 処理時間 ｈｒ ０１２３ 重量汚染度ｍｇ／１００ｍ１１０６ １３ １．２ ０
強酸価 ｍｇ／ｌ １５０ ２２ １．８ ０弗
素系ドライエツチング工程における連続使用の実施の例
を他の既知の濾過方式と同様の条件で使用した例を以下
の表１に示す。
表 １
粘度７３．６ ｃｓｔ／４０゜
全酸価Ｏ
重量汚染度 Ｏ
真空ポンプ 日本真空技研ｏ−９５０
使用雰囲気ガス フロン
従来の処理方式に比較して１粘度、全酸価、汚染度を長
期間に亘って維持制御することが可能となった。
期間に亘って維持制御することが可能となった。
光所夏肱果
■、酸の除去
本発明によるアクリル系吸水性繊維フィルタエレメント
は０．１−３０χ含水させることができ、油中の酸が水
に置換し、酸価の上昇を抑制し、中和効果を生ずる。
は０．１−３０χ含水させることができ、油中の酸が水
に置換し、酸価の上昇を抑制し、中和効果を生ずる。
２、夾雑物及び反応生成物の除去
繊維表面に夾雑物が付着し、順次堆積して夾雑物を処理
除去する。
除去する。
３、酸と夾雑物が共存している場合の除去繊維表面に夾
雑物が付着し、酸は水分層に置換されて除去される。
雑物が付着し、酸は水分層に置換されて除去される。
４、 使用条件に対する適応性
本発明のフィルターエレメントは密度調整、含水率調整
、各種形状の加工が容易であり、各種の使用条件に容易
に適合できる。
、各種形状の加工が容易であり、各種の使用条件に容易
に適合できる。
即ち、夾雑物生成物の混入の多い場合は密度を小とする
。酸の混入の多い場合は含水率を大きくする。この作業
はフィルターエレメントの調整。
。酸の混入の多い場合は含水率を大きくする。この作業
はフィルターエレメントの調整。
充填に際して容易に行うことができる。
本発明の濾過装置の使用によって、真空ポンプの使用済
み油を所要の規格に再生でき、半導体製造に際して著し
く有効である。
み油を所要の規格に再生でき、半導体製造に際して著し
く有効である。
図は本発明による真空ポンプ潤滑油の再生方法の一例を
示す図である。 １００．真空ポンプ １２３．吸気口 １４９．排気口
１６１．ドレン口 １８１．給油口 ２００．循環ポン
プ２２．６濾過装置 ２４０．フィルター槽２８゜、フ
ィルターエレメント
示す図である。 １００．真空ポンプ １２３．吸気口 １４９．排気口
１６１．ドレン口 １８１．給油口 ２００．循環ポン
プ２２．６濾過装置 ２４０．フィルター槽２８゜、フ
ィルターエレメント
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、水溶性汚染物質を含有する真空ポンプ用潤滑油の再
生方法であって、濾過エレメントを使用して循環濾過す
る場合に、 該濾過エレメントは含水させたアクリル系吸水性繊維を
含むことを特徴とする真空ポンプ用潤滑油の再生方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63172879A JPH0651088B2 (ja) | 1988-07-12 | 1988-07-12 | 真空ポンプ用潤滑油の再生方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63172879A JPH0651088B2 (ja) | 1988-07-12 | 1988-07-12 | 真空ポンプ用潤滑油の再生方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0221914A true JPH0221914A (ja) | 1990-01-24 |
| JPH0651088B2 JPH0651088B2 (ja) | 1994-07-06 |
Family
ID=15950004
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63172879A Expired - Fee Related JPH0651088B2 (ja) | 1988-07-12 | 1988-07-12 | 真空ポンプ用潤滑油の再生方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0651088B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6699022B2 (en) | 2000-12-21 | 2004-03-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Vacuum exhaust apparatuses and vacuum exhaust methods |
| JP2007509335A (ja) * | 2003-10-23 | 2007-04-12 | エブロ、エレクトロニック、ゲゼルシャフト、ミット、ベシュレンクテル、ハフツング、ウント、コムパニー、コマンデイト、ゲゼルシャフト | 油又は脂肪の測定方法、油又は脂肪用ろ過装置、及び測定装置 |
| CN101954206A (zh) * | 2010-08-26 | 2011-01-26 | 常州亿晶光电科技有限公司 | 一种液态润滑油过滤装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS567609A (en) * | 1979-06-29 | 1981-01-26 | Japan Exlan Co Ltd | Dewatering filter for liquids |
| JPS6224904U (ja) * | 1985-07-31 | 1987-02-16 |
-
1988
- 1988-07-12 JP JP63172879A patent/JPH0651088B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS567609A (en) * | 1979-06-29 | 1981-01-26 | Japan Exlan Co Ltd | Dewatering filter for liquids |
| JPS6224904U (ja) * | 1985-07-31 | 1987-02-16 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6699022B2 (en) | 2000-12-21 | 2004-03-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Vacuum exhaust apparatuses and vacuum exhaust methods |
| JP2007509335A (ja) * | 2003-10-23 | 2007-04-12 | エブロ、エレクトロニック、ゲゼルシャフト、ミット、ベシュレンクテル、ハフツング、ウント、コムパニー、コマンデイト、ゲゼルシャフト | 油又は脂肪の測定方法、油又は脂肪用ろ過装置、及び測定装置 |
| CN101954206A (zh) * | 2010-08-26 | 2011-01-26 | 常州亿晶光电科技有限公司 | 一种液态润滑油过滤装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0651088B2 (ja) | 1994-07-06 |
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Legal Events
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