JPH0651088B2 - 真空ポンプ用潤滑油の再生方法 - Google Patents
真空ポンプ用潤滑油の再生方法Info
- Publication number
- JPH0651088B2 JPH0651088B2 JP63172879A JP17287988A JPH0651088B2 JP H0651088 B2 JPH0651088 B2 JP H0651088B2 JP 63172879 A JP63172879 A JP 63172879A JP 17287988 A JP17287988 A JP 17287988A JP H0651088 B2 JPH0651088 B2 JP H0651088B2
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- Japan
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- oil
- vacuum pump
- lubricating oil
- filter
- fiber
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- Filtration Of Liquid (AREA)
- Lubricants (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、真空ポンプ用潤滑油の再生方法に関する。
真空ポンプ、特に半導体製造装置に使用する真空ポンプ
は多量の腐食性ガスが混入し、多種のガスの反応生成物
が随伴し、一部は排気装置で処理されるが真空ポンプ油
に混合した部分は油を汚染劣化させる。このため、真空
ポンプの安定した作動のためにはこれらの夾雑物（酸、
酸化生成物、金属粉、ごみ等）を濾過し除去する必要が
ある。このための従来の技法には次の各種がある。
は多量の腐食性ガスが混入し、多種のガスの反応生成物
が随伴し、一部は排気装置で処理されるが真空ポンプ油
に混合した部分は油を汚染劣化させる。このため、真空
ポンプの安定した作動のためにはこれらの夾雑物（酸、
酸化生成物、金属粉、ごみ等）を濾過し除去する必要が
ある。このための従来の技法には次の各種がある。
1.フィルター方式（セルローズ，グラスファイバー，焼
結材等） 2.吸着剤フィルター方式（活性アルミナフィルター，活
性白土フィルター等） 3.静電濾過方式 4.組合せ方式 5.抽出分離方式（油中に水又は水溶液を添加して汚染物
質を水中に抽出し、比重差で分離） 1.フィルター方式 この方式にはプリーツ型フィルターとロールティッシュ
型フィルターとがあり、瀘材表面で夾雑物を除去する。
この形式のフィルターは固体夾雑物のみを除去し、濾過
精度は比較的低く、フィルター交換時に油の損失が多
い。
結材等） 2.吸着剤フィルター方式（活性アルミナフィルター，活
性白土フィルター等） 3.静電濾過方式 4.組合せ方式 5.抽出分離方式（油中に水又は水溶液を添加して汚染物
質を水中に抽出し、比重差で分離） 1.フィルター方式 この方式にはプリーツ型フィルターとロールティッシュ
型フィルターとがあり、瀘材表面で夾雑物を除去する。
この形式のフィルターは固体夾雑物のみを除去し、濾過
精度は比較的低く、フィルター交換時に油の損失が多
い。
このフィルター方式としては、特開昭５６−７６０９号
公報および実開昭６２−２４９０４号公報のフィルター
が知られている。前者のフィルターは、外層部の一部が
親水性架橋重合体、残部がアクリロニトリル系重合体な
どの重合体で構成された水膨潤性繊維を含有する繊維集
合体を使用し、後者のフィルターは親水性基に置換した
アクリル系またはセルローズ系などの長繊維高吸水体か
ら構成されている。しかしながら、これらのフィルター
は油中の水分を除去することはできても、油中の酸性成
分を除去することはできず、真空ポンプの潤滑油の完全
な再生には使用ができない問題があった。
公報および実開昭６２−２４９０４号公報のフィルター
が知られている。前者のフィルターは、外層部の一部が
親水性架橋重合体、残部がアクリロニトリル系重合体な
どの重合体で構成された水膨潤性繊維を含有する繊維集
合体を使用し、後者のフィルターは親水性基に置換した
アクリル系またはセルローズ系などの長繊維高吸水体か
ら構成されている。しかしながら、これらのフィルター
は油中の水分を除去することはできても、油中の酸性成
分を除去することはできず、真空ポンプの潤滑油の完全
な再生には使用ができない問題があった。
2.吸着剤フィルター方式 主として活性アルミナを使用するフィルタであり、濾過
性能を上げるために粉末を微細にすれば目詰まりを生じ
易い。酸の吸着量は充填量で定まるため吸着量を増加す
れば大型になる。フィルターが高価であり、フィルター
交換時に油の損失が多い。
性能を上げるために粉末を微細にすれば目詰まりを生じ
易い。酸の吸着量は充填量で定まるため吸着量を増加す
れば大型になる。フィルターが高価であり、フィルター
交換時に油の損失が多い。
3.静電濾過方式 対向極板間の静電気による捕集装置であり、静電気発生
のための装置が大型になる。電流の流れ易い条件下、即
ち酸価の高い油、水分の混入した油、高汚染油等は使用
できない。酸の除去機能がない。更に使用油量が多く、
濾過速度が遅い。
のための装置が大型になる。電流の流れ易い条件下、即
ち酸価の高い油、水分の混入した油、高汚染油等は使用
できない。酸の除去機能がない。更に使用油量が多く、
濾過速度が遅い。
4.組合せ方式 Ａ プリーツ型と活性アルミナフィルター プリーツ型フィルターで大きな夾雑物を除去し活性アル
ミナフィルターで小さい夾雑物の除去と酸の吸着を行な
う。
ミナフィルターで小さい夾雑物の除去と酸の吸着を行な
う。
使用油量が、フィルター交換時に油の損失が著しく多
い。更に大型になり高価になる。
い。更に大型になり高価になる。
Ｂ 静電濾過と活性アルミナ吸着フィルター スペースの制約上活性アルミナの充填量が少なく、酸の
処理量が少なく、油の損失が多く、高価になる。
処理量が少なく、油の損失が多く、高価になる。
5.抽出分離方式 油中に水溶液等を添加して汚染物を抽出し、比重で分離
する。
する。
水溶性汚染物質には有効であるが、各種夾雑物の共存す
る場合は濾過精度が悪い。
る場合は濾過精度が悪い。
このように従来による方法はいずれも真空ポンプの潤滑
油の再生に対し、問題を有しており、特に潤滑油に悪影
響を与える酸性成分の除去には不十分な方法となってい
た。
油の再生に対し、問題を有しており、特に潤滑油に悪影
響を与える酸性成分の除去には不十分な方法となってい
た。
本発明は、上記事情を考慮してなされたものであり、真
空ポンプの潤滑油の再生に際し、酸性成分を効率良く除
去して、その長期の循環使用を可能とした再生方法を提
供することを目的とする。
空ポンプの潤滑油の再生に際し、酸性成分を効率良く除
去して、その長期の循環使用を可能とした再生方法を提
供することを目的とする。
本発明の再生方法は、含水率０．１〜３０％の範囲内で
含水させたアクリル系吸水性繊維を含む濾過エレメント
に真空ポンプ内の潤滑油を循環供給して、潤滑油内の酸
性成分を除去することを特徴とする。
含水させたアクリル系吸水性繊維を含む濾過エレメント
に真空ポンプ内の潤滑油を循環供給して、潤滑油内の酸
性成分を除去することを特徴とする。
含水したアクリル系吸水性繊維を備えた濾過エレメント
は構成繊維の表面に水分層を有しており、この表面の水
分層が真空ポンプの潤滑油内に混在する酸性成分を除去
するように作用する。すなわち、含水によって繊維表層
部に形成された水分層は、繊維内部に存在する酸置換基
を活性化すると共に、水分層に接触した酸性物質を強力
に捕捉する機能を備え、これにより初期酸中和効率を高
めるためである。従って、濾過エレメントに真空ポンプ
内の潤滑油を循環供給することにより、潤滑油内の酸性
成分が徐々に除去され、最終的な潤滑油の再生を効率良
く行なうことができる。
は構成繊維の表面に水分層を有しており、この表面の水
分層が真空ポンプの潤滑油内に混在する酸性成分を除去
するように作用する。すなわち、含水によって繊維表層
部に形成された水分層は、繊維内部に存在する酸置換基
を活性化すると共に、水分層に接触した酸性物質を強力
に捕捉する機能を備え、これにより初期酸中和効率を高
めるためである。従って、濾過エレメントに真空ポンプ
内の潤滑油を循環供給することにより、潤滑油内の酸性
成分が徐々に除去され、最終的な潤滑油の再生を効率良
く行なうことができる。
このような、酸性成分除去機能を有する含水率の範囲
は、０．１〜３０％より好ましくは３〜１５％である。
含水率が０．１％以下では酸性成分除去機能が十分でな
く、また含水率が３０％以上ではアクリル系繊維の繊維
弾性が喪失して、濾過エレメントとしての形状維持がで
きなくなるためである。
は、０．１〜３０％より好ましくは３〜１５％である。
含水率が０．１％以下では酸性成分除去機能が十分でな
く、また含水率が３０％以上ではアクリル系繊維の繊維
弾性が喪失して、濾過エレメントとしての形状維持がで
きなくなるためである。
本発明を例示とした実施例並びに図面について説明す
る。
る。
図は本発明の方法を密閉循環式濾過装置に適用した例を
示す。真空ポンプ１０は吸気口１２と排気口１４とを有
し、吸気口１２を所要の機器に接続する。潤滑油回路は
ドレン口１６からポンプ２０，濾過装置２２を経て給油
口１８に接続する回路３２を形成する。濾過装置２２の
フィルター槽２４に底入口２６から油を導入し、油は上
昇して環状のフィルターエレメント２８内を通り、底出
口３０から給油口１８に戻る。
示す。真空ポンプ１０は吸気口１２と排気口１４とを有
し、吸気口１２を所要の機器に接続する。潤滑油回路は
ドレン口１６からポンプ２０，濾過装置２２を経て給油
口１８に接続する回路３２を形成する。濾過装置２２の
フィルター槽２４に底入口２６から油を導入し、油は上
昇して環状のフィルターエレメント２８内を通り、底出
口３０から給油口１８に戻る。
上述の構成に好適なフィルターエレメント２８の実施の
例は下記の通りである。
例は下記の通りである。
形状，外径１８０mm，高さ１１５mmのドーナツ型 繊維充填率５−５０％ 繊維含水率０．１−３０％ 繊維の種類 アクリル系吸水性繊維 他の繊維，不織布，綿状エレメント，糸巻き状エレメン
ト等を混入して得る。
ト等を混入して得る。
ポンプ 加圧型油循環ポンプ （0.1-15 lt/min） 図示の構成は真空ポンプを直結した連続循環密閉式濾過
装置であるが、回路にバイパスを形成し又は真空ポンプ
のタンクから油を供給させ、濾過装置はこのタンク又は
別のタンクの使用済み潤滑油の再生を行なうこともでき
ることは勿論である。
装置であるが、回路にバイパスを形成し又は真空ポンプ
のタンクから油を供給させ、濾過装置はこのタンク又は
別のタンクの使用済み潤滑油の再生を行なうこともでき
ることは勿論である。
本発明の図示の濾過装置の実施の例を塩素系ドライエッ
チング工程における真空ポンプ油の再生例として以下に
示す。
チング工程における真空ポンプ油の再生例として以下に
示す。
再生処理条件 オイル 弗素系合成油（BARRIERTA J25 ） 処理油量 10 lt 循環ポンプ流量 1.3 lt/min フィルタ槽容量 3.5 lt 処理温度 常温 エレメント 180 φ X 115mm 繊維充填率 20％ 繊維含水率 10％ 分析結果 処理前の分析値 重量汚染度 106 mg/100ml 強酸価 150 mg/l 処理後の分析値 処理時間 hr ０ １ ２ ３ 重量汚染度mg/100ml 106 13 1.2 ０ 強酸価 mg/l 105 22 1.8 ０ 弗素系ドライエッチング工程における連続使用の実施の
例を他の既知の濾過方式と同様の条件で使用した例を以
下の表１に示す。
例を他の既知の濾過方式と同様の条件で使用した例を以
下の表１に示す。
使用条件 使用油 松村石油研究所 MR-200 粘度 73.6 cst/40 ゜ 全酸価 ０ 重量汚染度 ０ 真空ポンプ 日本真空技研 D-950 使用雰囲気ガス フロン 従来の処理方式に比較して、粘度、全酸価、汚染度を長
期間に亘って維持制御することが可能となった。
期間に亘って維持制御することが可能となった。
表２は真空ポンプ（D-950,日本真空技術（株）製）の潤
滑油として、弗素系合成油１０を使用し、この潤滑油
を各含水率をアクリル系吸水性繊維を有した濾過エレメ
ントに循環供給した場合の結果を示す。同表から含水率
０．１〜３０％、好ましくは３〜１５％の範囲におい
て、良好な酸性成分除去を有していることが判る。
滑油として、弗素系合成油１０を使用し、この潤滑油
を各含水率をアクリル系吸水性繊維を有した濾過エレメ
ントに循環供給した場合の結果を示す。同表から含水率
０．１〜３０％、好ましくは３〜１５％の範囲におい
て、良好な酸性成分除去を有していることが判る。
〔発明の効果〕 1.酸の除去 本発明によるアクリル系吸水性繊維フィルタエレメント
は０．１−30％含水させることにより、油中の酸が水に
置換し、酸化の上昇を制御し、中和効果を生ずる。従っ
て、真空ポンプの潤滑油を循環供給することにより、酸
性成分を確実に除去することができる。
は０．１−30％含水させることにより、油中の酸が水に
置換し、酸化の上昇を制御し、中和効果を生ずる。従っ
て、真空ポンプの潤滑油を循環供給することにより、酸
性成分を確実に除去することができる。
2.夾雑物及び反応生成物の除去 繊維表面に夾雑物が付着し、順次堆積して夾雑物を処理
除去する。
除去する。
3.酸と夾雑物が共存している場合の除去 繊維表面に夾雑物が付着し、酸は水分層に置換されて除
去される。
去される。
4.使用条件に対する適応性 本発明のフィルターエレメントは密度調整、含水率調
整、各種形状の加工が容易であり、各種の使用条件に容
易に適合できる。
整、各種形状の加工が容易であり、各種の使用条件に容
易に適合できる。
即ち、夾雑物生成物の混入の多い場合は密度を小とす
る。酸の混入の多い場合は含水率を大きくする。この作
業はフィルターエレメントの調整、充填に際して容易に
行なうことができる。
る。酸の混入の多い場合は含水率を大きくする。この作
業はフィルターエレメントの調整、充填に際して容易に
行なうことができる。
また、本発明の含水したアクリル系吸水性繊維は、その
含水により繊維の表面が活性化されており、強力な吸着
力を有している。このため繊維密度がラフであっても、
酸や夾雑物、その他の有害物質を除去することができ、
目詰まりも長じることなく、長期間使用することができ
る。そして、これら有害物質の除去により真空ポンプの
潤滑油の再生を確実に行なうことができる。
含水により繊維の表面が活性化されており、強力な吸着
力を有している。このため繊維密度がラフであっても、
酸や夾雑物、その他の有害物質を除去することができ、
目詰まりも長じることなく、長期間使用することができ
る。そして、これら有害物質の除去により真空ポンプの
潤滑油の再生を確実に行なうことができる。
本発明の濾過装置の使用によって、真空ポンプの使用済
み油を所要の規格に再生でき、半導体製造に際して著し
く有効である。
み油を所要の規格に再生でき、半導体製造に際して著し
く有効である。
図は本発明による真空ポンプ潤滑油の再生方法の一例を
示す図である。 １０……真空ポンプ １２……吸気口 １４……排気口 １６……ドレン口 １８……給油口 ２０……循環ポンプ ２２……濾過装置 ２４……フィルター槽 ２８……フィルターエレメント
示す図である。 １０……真空ポンプ １２……吸気口 １４……排気口 １６……ドレン口 １８……給油口 ２０……循環ポンプ ２２……濾過装置 ２４……フィルター槽 ２８……フィルターエレメント
Claims (1)
- 【請求項１】含水率０．１〜３０％の範囲内で含水させ
たアクリル系吸水性繊維を含む濾過エレメントに真空ポ
ンプ内の潤滑油を循環供給して、潤滑油内の酸性成分を
除去することを特徴とする真空ポンプ用潤滑油の再生方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63172879A JPH0651088B2 (ja) | 1988-07-12 | 1988-07-12 | 真空ポンプ用潤滑油の再生方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63172879A JPH0651088B2 (ja) | 1988-07-12 | 1988-07-12 | 真空ポンプ用潤滑油の再生方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0221914A JPH0221914A (ja) | 1990-01-24 |
| JPH0651088B2 true JPH0651088B2 (ja) | 1994-07-06 |
Family
ID=15950004
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63172879A Expired - Fee Related JPH0651088B2 (ja) | 1988-07-12 | 1988-07-12 | 真空ポンプ用潤滑油の再生方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0651088B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002188589A (ja) | 2000-12-21 | 2002-07-05 | Canon Inc | 真空排気装置および真空排気方法 |
| DE10349741A1 (de) * | 2003-10-23 | 2005-06-02 | Ebro Electronic Gmbh & Co. Kg | Verfahren zum Messen von Fetten oder Ölen sowie entsprechende Filtriereinrichtung und Messvorrichtung |
| CN101954206B (zh) * | 2010-08-26 | 2014-03-05 | 常州亿晶光电科技有限公司 | 一种液态润滑油过滤装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS567609A (en) * | 1979-06-29 | 1981-01-26 | Japan Exlan Co Ltd | Dewatering filter for liquids |
| JPH0227842Y2 (ja) * | 1985-07-31 | 1990-07-26 |
-
1988
- 1988-07-12 JP JP63172879A patent/JPH0651088B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0221914A (ja) | 1990-01-24 |
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Legal Events
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