JPH02220210A - Production of magnetic head - Google Patents
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は磁気ヘッドの製造方法に関し、詳しくはＦＤＤ
装置等に使用される高密度記録用磁気ヘッドの製造方法
に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a method for manufacturing a magnetic head, and more particularly, to a method for manufacturing a magnetic head.
The present invention relates to a method of manufacturing a magnetic head for high-density recording used in devices and the like.
ＦＤＤ装置等に使用される高密度記録用磁気ヘッドには
、シングルギャップを有するＭＩＧ（Ｍｅｔａｌ Ｉｎ
Ｇａｐ） ヘッドがある。このＭＩＧヘッドは、第８
図及び第９図に示すように強磁性体材料であるＭｎ −
Ｚｎフェライトからなる第１、第２のコア（１）（２）
を高融点ガラス（３）（３）で接合一体化したコアチッ
プ（４）で構成される。このコアチップ（４）の、磁気
ディスクが摺接する頂端面（５）には、トラック幅が異
なる磁気ギャップｇが形成され、その両側方から上記高
融点ガラス（３）（３）で磁気ギャップｇを保護してい
る。この磁気ギャップｇでは、図中矢印で示すように磁
気ディスクの走行に対して先行するリーディング側の第
１のコア（１）のトラック幅（Ｔ１）を、後行するトレ
ーリング側の第２のコア（２）のトラック幅（Ｔｔ）よ
りも大きく設定することにより、漏れ磁束によるフリン
ジング作用を利用し、書込み時と読出し時での磁気ディ
スクに対する磁気ギャップｇの位置決めに誤差が生じて
も確実な情報の読出しを実行し得るようにしている。上
記第１、第２のコア（１）（２）と磁気ギヤ７１５間に
は、高飽和磁束密度を有するセンダスト等の強磁性体金
属薄膜（６）（７）が配設され、これにより磁気ディス
クへの高密度記録を実現している。尚、図示しないが、
上記コアチップ（４）の脚部（８）（９）には所定ター
ン数巻回された絶縁被覆処理の線材が装着されてバック
コアが取付けられ、更にコアチップ（４）の両側方にス
ライダが接着固定される。MIG (Metal In
Gap) There is a head. This MIG head is the 8th
As shown in Fig. 9 and Fig. 9, Mn − is a ferromagnetic material.
First and second cores (1) (2) made of Zn ferrite
It consists of a core chip (4) which is integrally bonded with high melting point glass (3) (3). A magnetic gap g with different track widths is formed on the top end surface (5) of this core chip (4) where the magnetic disk comes into sliding contact, and the magnetic gap g is closed from both sides by the high melting point glasses (3) (3). Protecting. In this magnetic gap g, as shown by the arrow in the figure, the track width (T1) of the first core (1) on the leading side that precedes the running of the magnetic disk is the same as that of the second core (1) on the trailing side that follows. By setting the track width (Tt) larger than the track width (Tt) of the core (2), the fringing effect caused by leakage magnetic flux is used to ensure accuracy even if errors occur in the positioning of the magnetic gap g relative to the magnetic disk during writing and reading. This makes it possible to read out specific information. Between the first and second cores (1, 2) and the magnetic gear 715, ferromagnetic metal thin films (6, 7) such as Sendust, which have a high saturation magnetic flux density, are disposed, thereby making the magnetic This realizes high-density recording on discs. Although not shown,
A back core is attached to the legs (8) and (9) of the core chip (4) with an insulated wire wound around a predetermined number of turns, and sliders are bonded to both sides of the core chip (4). Fixed.
次に上記ＭＩＧヘッドの製造方法の従来例を第１０図乃
至第１４図を参照しながら説明する。Next, a conventional method of manufacturing the MIG head will be described with reference to FIGS. 10 to 14.
まず、第１０図に示すように強磁性体材料であるＭｎ
−Ｚｎフェライトからなる略直方体形状の第１、第２の
コアブロック（１０） （１１）を用意する。そして
、上記第１、第２のコアブロック（１０） （１１）
の内側面（１０ａ ） （ｌｌａ ）にその長手方向
に沿って凹溝（１２） （１３）を切削加工する０次
に、第１１図に示すように第１、第２のコアブロック（
１０） （１１）の内側面（１０ａ）（ｌｌａ）にそ
の短手方向に沿って第１、第２のトラック幅（ＴυＣｒ
ｔ＞ （’ｒ＋ ＞’ｒｔ ］を残して複数の第１、第
２のトラック溝（１４）・・・（１５）・・・を同一の
定ピツチで切削加工する。ここで、上記第１、第２のト
ラック溝（１４）・・・（１５）・・・は、第１、第２
のコアブロック（１０） （１１）の内側面（１０ａ
） （１１ａ ）と直交する垂直面（１６）・・・
（１７）・・・を有するストレート形状である。この第
１、第２のトラック溝（１４）・・・（１５）・・・の
形成後、第１２図に示すように第１、第２のコアブロッ
ク（１０） （１１）の内側面（１０ａ ） （ｌ
ｌａ ）に、高飽和磁束密度を有するセンダスト等の強
磁性体金属薄膜（１８） （１９）をスパッタリング
により被着形成する。更に、図示しないが、上記第１、
或いは第２のコアブロック（１０） （１１）の内側
面（１０ａ ） （ｌｌａ ）に、ギャップスペーサ
となるＳｉＯ□等の非磁性体薄膜を被着形成した後、第
１３図に示すように第１、第２のコアブロック（１０）
（１１）を上下逆さにした状態でその内側面（１０
ａ ） （ｌｌａ ）を突合わせて位置決め固定し、
上記第１、第２のコアブロック（１０）（１１）の凹溝
（１２） （１３）内に高融点ガラス棒（２０）を挿
入配置し、この状態で第１、第２のコアブロック（１０
） （１１）ごと６００℃程度で高温加熱して上記高
融点ガラス棒（２０）を溶融させ、第１．第２のトラッ
ク溝（１４）・・・（１５）・・・に高融点ガラス（２
１）・・・を充填して第１、第２のコアブロック（１０
） （１１）を接合一体化する、その後、第１４図に
示すように第１、第２のコアブロック（１０） （１
１）の下部中央及び両側を切削除去して脚部（２２）
（２３）を形成し、第１、第２のトラック溝（１４）
・・・（１５）・・・毎に所定の厚さでスライスして第
８図及び第９図に示すコアチップ（４）を得る。First, as shown in Figure 10, Mn, which is a ferromagnetic material,
- First and second core blocks (10) and (11) each having a substantially rectangular parallelepiped shape and made of Zn ferrite are prepared. And the first and second core blocks (10) (11)
Next, the first and second core blocks (
10) First and second track widths (TυCr
A plurality of first and second track grooves (14)...(15)... are cut at the same fixed pitch, leaving t>('r+>'rt].Here, the first and second track grooves (14)...(15)... , the second track grooves (14)...(15)... are the first and second track grooves (14)...(15)...
The inner surface (10a) of the core block (10) (11)
) Vertical plane (16) perpendicular to (11a)...
(17) It has a straight shape. After forming the first and second track grooves (14)...(15)..., as shown in FIG. 12, the inner surfaces ( 10a) (l
A ferromagnetic metal thin film (18) (19) such as sendust having a high saturation magnetic flux density is deposited on (la) by sputtering. Furthermore, although not shown, the above first,
Alternatively, after forming a non-magnetic thin film such as SiO□ to serve as a gap spacer on the inner surfaces (10a) (lla) of the second core blocks (10) (11), as shown in FIG. 1. Second core block (10)
(11) upside down and its inner surface (10
a) Position and fix (lla) against each other,
The high melting point glass rods (20) are inserted into the grooves (12) (13) of the first and second core blocks (10) and (11), and in this state, the first and second core blocks ( 10
) (11) was heated at a high temperature of about 600°C to melt the high melting point glass rod (20). The second track grooves (14)...(15)...
1) Fill the first and second core blocks (10
) (11), and then, as shown in FIG. 14, the first and second core blocks (10) (1
Cut and remove the lower center and both sides of 1) to create the legs (22).
(23), and first and second track grooves (14).
...(15)... are sliced to a predetermined thickness to obtain core chips (4) shown in FIGS. 8 and 9.
ところで、前述したようにＭＩＧヘッドの製造において
、第１、第２のコアブロック（１０）（ＩＩ）での第１
、第２のトラック溝（１４）・・・（１５）・・・が、
第１、第２のコアブロック（１０）（１１）の内側面（
１０ａ ） （ｌｌａ ）と直交する垂直面（１６）
・・・（１７）・・・を有するストレート形状であるた
め、第８図及び第９図に示すＭＩＧヘッドにて磁気ディ
スクに一旦書込んだ情報の上に、新たな情報を書直すオ
ーバーライド時、第９図に示すように磁気ディスクに対
するＭＩＧヘッドの位置決め誤差により古い情報の左右
側いずれかに若干ずれて新しい情報が書込まれることに
なる。そのため、新しい情報の左右いずれか一方に古い
情報の一部が残存し、新しい情報を読出す時に残存した
古い情報がノイズとなり良好なオフトラック特性が得ら
れないという問題があった。By the way, as mentioned above, in manufacturing the MIG head, the first
, second track grooves (14)...(15)...,
The inner surfaces of the first and second core blocks (10) (11) (
10a) Vertical plane (16) orthogonal to (lla)
(17) Since it has a straight shape with ..., it is possible to overwrite new information on top of the information that has been written on the magnetic disk by the MIG head shown in FIGS. 8 and 9. As shown in FIG. 9, new information is written slightly shifted to either the left or right side of the old information due to a positioning error of the MIG head with respect to the magnetic disk. Therefore, there is a problem in that part of the old information remains on either the left or right side of the new information, and when the new information is read out, the remaining old information becomes noise and good off-track characteristics cannot be obtained.
また、第１、第２のコアブロック（１０） （１１）
を接合一体化するに際し、高融点ガラス（２１）充填す
るために、第１、第２のコアブロック（１０） （１
１）を６００℃程度で高温加熱するので、強磁性体金属
＊ｓ （１８） （１９） カ劣化シ”’ＣＴＩＩ気
特性が大幅に低下すると共に、第１、第２のコアブロッ
ク（１０） （１１）のＭｎ−Ｚｎフェライトに対す
る付着力が大きくないので、上記ガラス溶着時や後工程
での切削加工等の機械加工時に剥離する式もあった。ま
た、第１、第２のコアブロック（１０） （ＩＩＬ強
磁性体金属薄Ｉｆ！ （１８）（１９）及び高融点ガラ
ス（２１）の熱膨張係数が異なるため、高温接合での熱
応力歪により所定のチップ強度を得るための各部材の熱
膨張係数の選定が非常に困難であった。In addition, the first and second core blocks (10) (11)
When joining and integrating the first and second core blocks (10) (1) to fill the high melting point glass (21),
1) is heated at a high temperature of about 600°C, the ferromagnetic metal*s (18) (19) deteriorates, the CTII characteristics deteriorate significantly, and the first and second core blocks (10) Since the adhesion force of (11) to Mn-Zn ferrite is not large, there was a method in which it peeled off during the above-mentioned glass welding or during machining such as cutting in the later process.In addition, the first and second core blocks ( 10) (IIL ferromagnetic metal thin If! Because the thermal expansion coefficients of (18) and (19) and the high melting point glass (21) are different, each member is required to obtain a predetermined chip strength by thermal stress strain during high temperature bonding. It was extremely difficult to select the thermal expansion coefficient of
そこで、本発明は上記問題点に鑑みて提案されたもので
、その目的とするところは、オーバーライド時でのオフ
トラック特性を改善し、所定のチップ強度が得られるよ
うにした磁気ヘッドの製造方法を提供することにある。The present invention has been proposed in view of the above problems, and its purpose is to improve the off-track characteristics during override and to obtain a predetermined chip strength. Our goal is to provide the following.
〔課題を解決するための手段］
本発明における上記目的を達成するための技術的手段は
、強磁性体材料からなる略直方体形状の一対のコアブロ
ックの少なくとも一方の内側面に、その短手方向に沿っ
て所定のトラック幅を残して７字形状を有する複数のト
ラック溝を形成する工程と、少なくとも一方のコアブロ
ックの内側面に、コアブロックに対して付着力の大きい
金属薄膜、高飽和磁束密度を有する強磁性体金属薄膜、
ギャップスペーサとなる非磁性体薄膜を順次積層形成す
る工程と、上記コアブロックの内側面を突合わせて加熱
し、各トラック溝にガラスを充填してコアブロックを接
合一体化する工程とを含む磁気ヘッドの製造方法である
。[Means for Solving the Problems] The technical means for achieving the above object of the present invention is to provide an inner surface of at least one of a pair of substantially rectangular parallelepiped core blocks made of a ferromagnetic material in the lateral direction thereof. a step of forming a plurality of track grooves having a figure 7 shape with a predetermined track width left along the core block; ferromagnetic metal thin film with density,
Magnetic technology, which includes the steps of sequentially laminating non-magnetic thin films to serve as gap spacers, and heating the inner surfaces of the core blocks and filling each track groove with glass to join and integrate the core blocks. This is a method for manufacturing a head.
本発明方法では、コアブロックのトラック溝形成工程に
おいて、コアブロックの内側面とトラック溝の傾斜面と
のなす角度を１１０°〜１６０゜にし、また、コアブロ
ックの薄膜形成工程において、コアブロックに対して付
着力の大きい金属ＷＩ膜例えばＣｒの膜厚を１００〜５
００Å、高飽和磁束密度を有する強磁性体金属薄膜の膜
厚を８〜２０−に設定し、更に、熱膨張係数が９５〜１
１５ｘｌＱ−’、、、−１のＭｎ−Ｚｎフェライトから
なるコアブロックの内側面に、Ａｌが３〜７重量％、Ｓ
、ｉが７〜１１重量％で残部がＦｅである組成を主成分
とし、且つ、熱膨張係数が１２０〜１４０Ｘ１０−’ｄ
ｍｓのＦｅ−Ｍ−３ｉセンダストからなる強磁性体金属
薄膜を被着形成し、熱膨張係数が９０〜１１０×ｉｏ−
’ａｓｓ−’で軟化点が４２０〜４４０″Ｃのガラスで
コアブロックを接合一体化することが望ましい。In the method of the present invention, in the step of forming track grooves on the core block, the angle between the inner surface of the core block and the inclined surface of the track groove is set to 110° to 160°, and in the step of forming a thin film on the core block, On the other hand, the film thickness of metal WI film with strong adhesion force, such as Cr, is 100 to 5.
The thickness of the ferromagnetic metal thin film having a high saturation magnetic flux density of 00 Å and a high saturation magnetic flux density is set to 8 to 20, and the thermal expansion coefficient is set to 95 to 1.
The inner surface of the core block made of Mn-Zn ferrite of 15xlQ-',,-1 is coated with 3 to 7% by weight of Al and S
, has a composition in which i is 7 to 11% by weight and the balance is Fe, and has a coefficient of thermal expansion of 120 to 140X10-'d
A ferromagnetic metal thin film made of Fe-M-3i sendust with a thermal expansion coefficient of 90 to 110 x io-
It is desirable to bond and integrate the core block with glass having a softening point of 420 to 440''C.
本発明方法によれば、コアブロックのトラック溝形成工
程において、コアブロックの内側面とトラック溝の傾斜
面とのなす角度を１１０°〜１６０＠にしたＶ字形状の
トラック溝を形成することによりオーバーライド時での
オフトラック特性を改善する。また、コアブロックの薄
膜形成工程において、コアブロックに対して付着力の大
きい金属薄膜例えばＣｒの膜厚を１００〜５００Å、高
飽和磁束密度を有する強磁性体金属薄膜の膜厚を８〜２
０−に設定し、上記金属薄膜、強磁性体金属薄膜、非磁
性体薄膜を順次積層形成することにより、上記強磁性体
金属薄膜のコアブロックに対する付着力を強化する。更
に、熱膨張係数が９５〜１１５Ｘ１０−’ｎａ、−１の
Ｍｎ −Ｚｎフェライトからなるコアブロックの内側面
に、Ａｌが３〜７重量％、Ｓｉが７〜１１重量％で残部
がＰａである組成を主成分とし、且つ、熱膨張係数が１
２０〜１４０Ｘ１０−’ａｓｓ−’のＦｅ−Ａｌ−３ｉ
センダストからなる強磁性体金属薄膜を被着形成し、熱
膨張係数が９０〜１１０ Ｘ １０− ’ａ＊＊−’で
軟化点が４２０〜４４０℃のガラスでコアブロックを接
合一体化することにより適正な組合せが実現できてチッ
プ強度の向上が図れる。According to the method of the present invention, in the track groove forming step of the core block, V-shaped track grooves are formed in which the angle between the inner surface of the core block and the inclined surface of the track groove is 110° to 160°. Improves off-track characteristics when overriding. In addition, in the thin film forming process of the core block, the thickness of a metal thin film with strong adhesion to the core block, such as Cr, is 100 to 500 Å, and the thickness of a ferromagnetic metal thin film having a high saturation magnetic flux density is 8 to 2 Å.
0-, and by sequentially laminating the metal thin film, ferromagnetic metal thin film, and nonmagnetic thin film, the adhesion of the ferromagnetic metal thin film to the core block is strengthened. Further, on the inner surface of a core block made of Mn-Zn ferrite with a coefficient of thermal expansion of 95 to 115X10-'na, -1, 3 to 7% by weight of Al, 7 to 11% by weight of Si, and the balance is Pa. The composition is the main component, and the coefficient of thermal expansion is 1.
20~140X10-'ass-' Fe-Al-3i
By depositing a ferromagnetic metal thin film made of sendust and bonding and integrating the core block with glass having a thermal expansion coefficient of 90 to 110 x 10-'a**-' and a softening point of 420 to 440°C. A proper combination can be realized and the chip strength can be improved.
本発明に係る磁気ヘッドの製造方法の一実施例を第１図
乃至第７図を参照しながら説明する。An embodiment of the method for manufacturing a magnetic head according to the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 7.
まず、第１図に示すように強磁性体材料であるＭｎ −
Ｚｎフェライトからなる略直方体形状の第１、第２のコ
アブロック（３０） （３１）を用意する。この第１
、第２のコアブロック（３０） （３１）は、熱膨張
係数が９５〜１１５Ｘ１０−’ｍｓ書−１のＭｎ−Ｚｎ
フェライトを使用する。そして、上記第１、第２のコア
ブロック（３０） （３１）の内側面（３０ａ）（３
１ａ）にその長手方向に沿って凹溝（３２）（３３）を
切削加工する０次に、第２図に示すように第１、第２の
コアブロック（３０） （３１）の内側面（３０ａ
） （３１ａ ）にその短手方向に沿って第１、第２
のトラック幅（’ｒ＋） （’ｒｚ）（’ｒ。First, as shown in Fig. 1, Mn − is a ferromagnetic material.
First and second core blocks (30) (31) made of Zn ferrite and having a substantially rectangular parallelepiped shape are prepared. This first
, the second core block (30) (31) is made of Mn-Zn with a thermal expansion coefficient of 95 to 115
Use ferrite. Then, the inner surfaces (30a) (3) of the first and second core blocks (30) (31)
1a). Next, as shown in FIG. 2, the inner surfaces ( 30a
) (31a) along the width direction of the first and second
track width ('r+) ('rz) ('r.
〉Ｔ！〕を残してＶ字形状を有する複数の第１、第２の
トラック溝（３４）・・・（３５）・・・を同一の定ピ
ツチで切削加工する。ここで、上記第１、第２のコアブ
ロック（３０） （３１）の内側面（３０ａ）（３１
ａ）と第１、第２のトラック溝（３４）・・・（３５）
・・・の傾斜面（３６）・・・（３７）・・・とのなす
角度θを１１０６〜１６０°に設定し、この角度θは１
３５°が最適値をなす、上記第１、第２のトラック溝（
３４）・・・（３５）・・・の傾斜面（３６）・・・（
３７）・・・の角度θが１１０°以下では、従来の第１
、第２のトラック溝（１４）・・・（１５）・・・のよ
うに第１、第２のコアブロック（１０） （１１）の
内側面（１０ａ ） （ｌｌａ ）と直交する垂直面
（１６） ・・・（１７）・・・を有するストレート形
状に近づくため（第１１図参照）、オーバーライド時で
のオフトラック特性の改善が図れない、また上記角度θ
が１６０°以上では、ＭＩＧヘッドの製造上、第１、第
２のコアブロック（３０） （３１）の内側面（３０
ａ ） （３１ａ ）を研磨加工して第１１第２のト
ラック幅（Ｔ、）（Ｔ２）を所定寸法に制御する際に、
その研磨量によって寸法誤差が大きくなるのでトラック
幅制御が非常に困難なものとなる。尚、上記角度θの設
定は、後述するコアチップのトレーリング側のみでもよ
い。〉T! ), a plurality of V-shaped first and second track grooves (34)...(35)... are cut at the same fixed pitch. Here, the inner surfaces (30a) (31) of the first and second core blocks (30) (31)
a) and the first and second track grooves (34)...(35)
The angle θ between the inclined surfaces (36)...(37)... is set to 1106 to 160°, and this angle θ is 1
The first and second track grooves have an optimum value of 35° (
34)...(35)... sloped surface (36)...(
37) When the angle θ of... is 110° or less, the conventional first
, second track grooves (14)...(15)..., which are perpendicular to the inner surfaces (10a) (lla) of the first and second core blocks (10) (11). 16) ... (17) ... (see Fig. 11), it is not possible to improve off-track characteristics during override, and the above angle θ
is 160° or more, the inner surfaces (30
a) When controlling the 11th and 2nd track width (T,) (T2) to a predetermined dimension by polishing (31a),
Since dimensional errors increase depending on the amount of polishing, track width control becomes extremely difficult. Note that the angle θ may be set only on the trailing side of the core chip, which will be described later.
上記第１、第２のトラック溝（３４）・・・（３５）・
・・の形成後、第３図に示すように第１、第２のコアブ
ロック（３０） （３１）の内側面（３０ａ）（３１
ａ）に、後述するセンダストの強磁性体金属ｆｌｉ１ｗ
Ａの下地として、第１、第２のコアブロック（３０）
（３１）を組成するＭｎ −Ｚｎフェライトに対して
付着力の大きいＣｒの金属薄膜（３８） （３９）を
スパッタリングにより１００〜５００人の膜厚で被着形
成する。ここで、上記金属薄膜（３８）（３９）の膜厚
が１００Å以下であると、第１、第２のコアブロック（
３０） （３１）への密着性が低下し、逆に５００Å
以上になると、金属薄膜（３８）（３９）が疑似ギャッ
プとなって、情報の読出し時、疑似パルスが発生して正
確な情報の記録及び再生が困難となる。The first and second track grooves (34)...(35).
After the formation of the inner surfaces (30a) (31) of the first and second core blocks (30) (31) as shown in FIG.
In a), Sendust's ferromagnetic metal fli1w, which will be described later, is used.
First and second core blocks (30) as the base for A
A metal thin film (38) (39) of Cr, which has a strong adhesion force to the Mn--Zn ferrite comprising (31), is formed by sputtering to a thickness of 100 to 500 mm. Here, if the thickness of the metal thin film (38) (39) is 100 Å or less, the first and second core blocks (
30) The adhesion to (31) decreases, and on the contrary, 500 Å
In this case, the metal thin films (38) and (39) become pseudo gaps, generating pseudo pulses when reading information, making it difficult to accurately record and reproduce information.
その後、第１、第２のコアブロック（３０）（３１）の
内側面（３０ａ ） （３１ａ ）に、高飽和磁束密
度を有するＦｅ−Ｍ−Ｓｉセンダストの強磁性体金属薄
膜（４０） （４１）をスパッタリングにより８〜４
０−の膜厚で被着形成する。ここで、上記強磁性体金属
薄膜（４０） （４１）の膜厚が８−以下であると、
磁気ディスクへの書込み能力が大幅に低下し、逆に２０
．ｎ以上であると、第１、第２のコアブロック（３０）
（３１）のガラス溶着時等の後工程で強磁性体金属
薄膜（４０） （４１）が剥離する虞が出てくるとい
う不具合が生じる、また、上記強磁性体金属薄膜（４０
） （４１）はＡｌが３〜７重量％、Ｓｉが７〜１１
重量％で残部がＦｅである組成を主成分としてルテニウ
ム、チタン、ニッケル等の他の添加物を含有し、熱膨張
係数が１２０〜１４０Ｘ１０−’４＊＊−’を有する。Thereafter, a ferromagnetic metal thin film (40) (41) of Fe-M-Si Sendust having a high saturation magnetic flux density is applied to the inner surfaces (30a) (31a) of the first and second core blocks (30) (31). ) by sputtering 8-4
Deposit with a film thickness of 0-. Here, if the film thickness of the ferromagnetic metal thin film (40) (41) is 8- or less,
The ability to write to magnetic disks has decreased significantly, and on the contrary
．． If n or more, the first and second core blocks (30)
(31) There is a risk that the ferromagnetic metal thin film (40) (41) will peel off in the subsequent process such as glass welding.
) (41) contains 3 to 7% by weight of Al and 7 to 11% of Si.
It has a composition in which the balance by weight is Fe as a main component, and other additives such as ruthenium, titanium, and nickel, and has a thermal expansion coefficient of 120 to 140X10-'4**-'.
そして、上記第１、或いは第２のコアブロック（３０）
（３１）の内側面（３０ａ）（３１ａ）に、ギャッ
プスペーサとなるＳｉｎ、の非磁性体薄膜（図示せず）
をスパッタリングにより０．４−程度の膜厚で被着形成
する。And the first or second core block (30)
(31) A non-magnetic thin film (not shown) of Sin, which serves as a gap spacer, is placed on the inner surfaces (30a) and (31a).
is deposited to a thickness of about 0.4 mm by sputtering.
次に、第４図に示すように第１１第２のコアブロック（
３０） （３１）を上下逆さにした状態でその内側面
（３０ａ ） （３１ａ ）を突合わせて位置決め固
定し、上記第１、第２のコアブロック（３０） （３
１）の凹溝（３２） （３３）内に、熱膨張係数が９
０〜１１０ Ｘ １０− ’ａｍｔｓ−’で軟化点が４
２０〜４４０℃の高融点ガラス棒（４２）を挿入配置し
、この状態で第１、第２のコアブロック（３０） （
３１）ごと５００℃程度で高温加熱して上記高融点ガラ
ス棒（４２）を溶融させ、第１、第２のトラック溝（３
４）・・・（３５）・・・に高融点ガラス（４３）を充
を接合一体化する。その後、第５図に示すように第１、
第２のコアブロック（３０） （３１）の下部中央及
び両側を切削除去して脚部（４４） （４５）を形成
し、第１、第２のトラック溝（３４）・・・（３５）・
・・毎に所定の厚さでスライスして第６図及び第７図に
示すコアチップ（４６）を得る。Next, as shown in FIG. 4, the 11th and 2nd core blocks (
30) (31) is held upside down and its inner surfaces (30a) (31a) are butted against each other to position and fix the first and second core blocks (30) (31).
The thermal expansion coefficient is 9 in the grooves (32) and (33) of 1).
Softening point is 4 at 0~110 x 10-'amts-'
A high melting point glass rod (42) with a temperature of 20 to 440°C is inserted and arranged, and in this state the first and second core blocks (30) (
31) are heated at a high temperature of about 500°C to melt the high melting point glass rod (42) and form the first and second track grooves (3
4) A high melting point glass (43) is bonded and integrated with (35). After that, as shown in FIG.
The lower center and both sides of the second core block (30) (31) are cut and removed to form leg portions (44) (45), and the first and second track grooves (34)...(35) are formed.・
... is sliced to a predetermined thickness to obtain a core chip (46) shown in FIGS. 6 and 7.
上述のようにして製造されたコアチップ（４６）は、図
示しないがその脚部（４７） （４８）に絶縁被覆処
理の線材を所定ターン数巻回した上でバックコアを貼着
し、更にコアチップ（４６）の両側方にセラミック製の
スライダを接着固定することによりＭＩＧヘッドとなる
０本発明方法により製造されたＭＩＧヘッドでは、第６
図及び第７図に示すようにコアチップ（４６）の、磁気
ディスクが摺接する頂端面（４９）において、磁気ギャ
ップｇを挟んで、リーディング側の第１のコア（５０）
のトラック幅（Ｔ、）及びトレーリング側の第２のコア
（５１）のトラック幅（Ｔ２）の両側方が、７字形状を
有する第１、第２のトラック溝（３４）・・・（３５）
・・・形成による傾斜面（３６） （３７）となるた
め、オーバーライド時でのオフトラック特性は良好とな
る。即ち、第７図に示すように磁気ディスクに一旦書き
込んだ古い情報の上に、新たな情報を書直す際に、Ｍｔ
Ｃヘッドの磁気ギャップｇが古い情報の左右いずれかに
位置ずれして新しい情報の左右いずれかに古い情報が残
存しても、新しい情報を読出す時、新しい情報の記録方
向と古い情報の記録方向とが前述した傾斜面（３６）
（３７）により一致しないので、残存した古い情報が
ノイズとなることはない。Although not shown, the core chip (46) manufactured as described above has its legs (47) and (48) wound with a predetermined number of turns of insulated wire, and then a back core is attached to the core chip. The MIG head is made by adhesively fixing ceramic sliders on both sides of (46).
As shown in the figure and FIG. 7, at the top end surface (49) of the core chip (46) on which the magnetic disk comes into sliding contact, the first core (50) on the leading side is placed across the magnetic gap g.
The track width (T, ) of the second core (51) on the trailing side and the track width (T2) of the second core (51) have a figure-7 shape on both sides of the first and second track grooves (34)...( 35)
. . . Since the formed inclined surfaces (36) (37) are formed, the off-track characteristics at the time of overriding are good. That is, as shown in FIG. 7, when new information is rewritten on old information that has been written on the magnetic disk,
Even if the magnetic gap g of the C head shifts to either the left or right of the old information and the old information remains on the left or right of the new information, when reading new information, the recording direction of the new information and the recording of the old information will be changed. The direction is the above-mentioned slope (36)
(37), so the remaining old information does not become noise.
本発明方法によれば、コアブロックに適正な傾斜面を有
するＶ字形状のトラック溝を形成するようにしたから、
オーバーライド時において良好なオフトラック特性が得
られる。また、強磁性体金属薄膜とコアブロック間に付
着力の大きい金属薄膜を介在させるので、コアブロック
のガラス溶着時等の後工程で上記強磁性体金属薄膜が剥
離することなく、而も適正な膜厚及び熱膨張係数によっ
て組合わすことによりチップ強度も大幅に向上して、歩
留り向上並び信頼性の向上が容易に図れる。According to the method of the present invention, since V-shaped track grooves having appropriate inclined surfaces are formed in the core block,
Good off-track characteristics can be obtained during override. In addition, since a metal thin film with strong adhesion is interposed between the ferromagnetic metal thin film and the core block, the ferromagnetic metal thin film does not peel off in subsequent processes such as glass welding of the core block. By combining film thickness and thermal expansion coefficient, chip strength can be greatly improved, and yield and reliability can be easily improved.
第１図乃至第７図は本発明方法の一実施例を説明するた
めのもので、第１図乃至第５図は各製造工程でのコアブ
ロックを示す各斜視図、第６図は本発明方法により得ら
れたコアチップを示す斜視図、第７図は第６図の平面図
である。
第８図乃至第１４図は従来のＭＩＧヘッドの製造方法を
説明するためのもので、第８図はＭＩＧヘッドのコアチ
ップを示す斜視図、第９図は第８図の平面図、第１０図
乃至第１４図は各製造工程でのコアブロックを示す各斜
視図である。
（３０） （３１）−・コアブロック、＜３０ａ）（
３１ａ）−内側面、
（３４） （３５）・・−トラック溝、（３６）
（３７）・−・傾斜面、
（３Ｂ） （３９）−金属薄膜、
（４１）・−強磁性棒金ａ薄膜、
（４３）・−・ガラス。
特
許
出
願
人
関西日本電気株式会社
代
理
人
江
原
省
第４
図
第５図
第６
図
第７図
第８
図Figures 1 to 7 are for explaining one embodiment of the method of the present invention, Figures 1 to 5 are perspective views showing the core block in each manufacturing process, and Figure 6 is a diagram showing the core block according to the present invention. FIG. 7 is a perspective view showing the core chip obtained by the method, and FIG. 7 is a plan view of FIG. 6. 8 to 14 are for explaining a conventional method of manufacturing an MIG head. FIG. 8 is a perspective view showing the core chip of the MIG head, FIG. 9 is a plan view of FIG. 8, and FIG. 1 to 14 are perspective views showing the core block in each manufacturing process. (30) (31)- Core block, <30a) (
31a)-Inner surface, (34) (35)...-Track groove, (36)
(37) -- Inclined surface, (3B) (39) - Metal thin film, (41) - Ferromagnetic bar gold a thin film, (43) - Glass. Patent Applicant Kansai NEC Co., Ltd. Agent Gangwon Province Figure 4 Figure 5 Figure 6 Figure 7 Figure 8
Claims (4)
ブロックの少なくとも一方の内側面に、その短手方向に
沿って所定のトラック幅を残してＶ字形状を有する複数
のトラック溝を形成する工程と、 少なくとも一方のコアブロックの内側面に、コアブロッ
クに対して付着力の大きい金属薄膜、高飽和磁束密度を
有する強磁性体金属薄膜、ギャップスペーサとなる非磁
性体薄膜を順次積層形成する工程と、 上記コアブロックの内側面を突合わせて加熱し、各トラ
ック溝にガラスを充填してコアブロックを接合一体化す
る工程と、 を含むことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。(1) A plurality of V-shaped track grooves are formed on the inner surface of at least one of a pair of substantially rectangular parallelepiped core blocks made of ferromagnetic material, leaving a predetermined track width along the short side thereof. A thin metal film with strong adhesion to the core block, a thin ferromagnetic metal film with high saturation magnetic flux density, and a thin non-magnetic film to serve as a gap spacer are sequentially laminated on the inner surface of at least one of the core blocks. and a step of joining and integrating the core blocks by abutting and heating the inner surfaces of the core blocks and filling each track groove with glass.
アブロックの内側面とトラック溝の傾斜面とのなす角度
を１１０°〜１６０°にしたことを特徴とする請求項１
記載の磁気ヘッドの製造方法。(2) Claim 1, characterized in that in the track groove forming step of the core block, the angle between the inner surface of the core block and the inclined surface of the track groove is 110° to 160°.
A method of manufacturing the described magnetic head.
ックに対して付着力の大きい金属薄膜の膜厚を１００〜
５００Å、高飽和磁束密度を有する強磁性体金属薄膜の
膜厚を８〜２０μｍに設定したことを特徴とする請求項
１記載の磁気ヘッドの製造方法。(3) In the core block thin film formation process, the thickness of the metal thin film with strong adhesion to the core block is 100~
2. The method of manufacturing a magnetic head according to claim 1, wherein the ferromagnetic metal thin film having a high saturation magnetic flux density of 500 Å has a thickness of 8 to 20 μm.
ｅ＿ｓ＾−＾１のＭｎ−Ｚｎフェライトからなるコアブ
ロックの内側面に、Ａｌが３〜７重量％、Ｓｉが７〜１
１重量％で残部がＦｅである組成を主成分とし、且つ、
熱膨張係数が１２０〜１４０×１０＾−＾７＿ｄ＿ｅ＿
ｓ＾−＾１のＦｅ−Ａｌ−Ｓｉセンダストからなる強磁
性体金属薄膜を被着形成し、熱膨張係数が９０〜１１０
×１０＾−＾７＿ｄ＿ｅ＿ｓ＾−＾１で軟化点が４２０
〜４４０℃のガラスでコアブロックを接合一体化したこ
とを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドの製造方法。(4) Thermal expansion coefficient is 95 to 115 x 10^-^7_d_
The inner surface of the core block made of e_s^-^1 Mn-Zn ferrite contains 3 to 7% by weight of Al and 7 to 1% by weight of Si.
The main component is 1% by weight and the balance is Fe, and
Thermal expansion coefficient is 120 to 140 x 10^-^7_d_e_
A ferromagnetic metal thin film made of Fe-Al-Si sendust of s^-^1 is deposited and has a thermal expansion coefficient of 90 to 110.
×10^-^7_d_e_s^-^1 and the softening point is 420
2. The method of manufacturing a magnetic head according to claim 1, wherein the core block is integrally bonded with glass having a temperature of 440[deg.] C.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4106789A JPH02220210A (en) | 1989-02-20 | 1989-02-20 | Production of magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4106789A JPH02220210A (en) | 1989-02-20 | 1989-02-20 | Production of magnetic head |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02220210A true JPH02220210A (en) | 1990-09-03 |
Family
ID=12598094
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4106789A Pending JPH02220210A (en) | 1989-02-20 | 1989-02-20 | Production of magnetic head |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02220210A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0668414A (en) * | 1992-08-20 | 1994-03-11 | Nec Kansai Ltd | Mig type magnetic head and its production |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS6136135A (en) * | 1984-07-27 | 1986-02-20 | Hitachi Ltd | Filling glass for magnetic recording head |
| JPS62125512A (en) * | 1985-11-26 | 1987-06-06 | Hitachi Metals Ltd | Composite magnetic head |
| JPS63263613A (en) * | 1987-04-20 | 1988-10-31 | Hitachi Metals Ltd | Magnetic head core |
| JPS641109A (en) * | 1987-03-25 | 1989-01-05 | Seiko Epson Corp | Magnetic head |
-
1989
- 1989-02-20 JP JP4106789A patent/JPH02220210A/en active Pending
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