JPH02220339A - 走査透過電子顕微鏡 - Google Patents
走査透過電子顕微鏡Info
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- JPH02220339A JPH02220339A JP1039618A JP3961889A JPH02220339A JP H02220339 A JPH02220339 A JP H02220339A JP 1039618 A JP1039618 A JP 1039618A JP 3961889 A JP3961889 A JP 3961889A JP H02220339 A JPH02220339 A JP H02220339A
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- Japan
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- image
- signal
- scanning
- diffraction
- electron beam
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は試料を透過した電子線に基づく回折像と走査透
過像を同時に表示可能にした走査透過電子顕微鏡に関す
る。
過像を同時に表示可能にした走査透過電子顕微鏡に関す
る。
〔従来の技術］
走査透過電子顕微鏡によって試料を２次元的に走査し、
この走査に伴って試料を透過した電子線を検出し、この
検出信号に基づいて試料像を表示すれば、試料の走査透
過電子顕微鏡像が表示される。この際、試料を透過した
電子線のうち試料によって回折を受けなかった透過電子
線（０次）を選択的に検出し、それに基づいて試料像を
表示すれば、前記走査透過像はいわゆる明視野像となり
、試料によって回折を受けた電子線（０次以外）、例え
ば１次の回折スポットを担った電子線のみを検出すれば
、前記像はいわゆる暗視野像となる。
この走査に伴って試料を透過した電子線を検出し、この
検出信号に基づいて試料像を表示すれば、試料の走査透
過電子顕微鏡像が表示される。この際、試料を透過した
電子線のうち試料によって回折を受けなかった透過電子
線（０次）を選択的に検出し、それに基づいて試料像を
表示すれば、前記走査透過像はいわゆる明視野像となり
、試料によって回折を受けた電子線（０次以外）、例え
ば１次の回折スポットを担った電子線のみを検出すれば
、前記像はいわゆる暗視野像となる。
従来において前記走査透過像を観察しようとする場合に
、フォトマルへの光伝送路を有するシンチレータを螢光
スクリーンの上部に挿入し、このシンチレータを０次の
透過電子線または０次以外の透過電子線の投射位置に配
置するようにしている。
、フォトマルへの光伝送路を有するシンチレータを螢光
スクリーンの上部に挿入し、このシンチレータを０次の
透過電子線または０次以外の透過電子線の投射位置に配
置するようにしている。
あるいは、螢光スクリーンの下に前述したようなシンチ
レータ等を配置しておき、スクリーンを跳ね上げて、シ
ンチレータへ偏向コイルによって０次の透過電子線また
は０次以外の透過電子線を照射して検出を行うようにし
ている。
レータ等を配置しておき、スクリーンを跳ね上げて、シ
ンチレータへ偏向コイルによって０次の透過電子線また
は０次以外の透過電子線を照射して検出を行うようにし
ている。
［発明が解決しようとする課題］
そのため、従来においては透過走査像を観察しようとす
ると、電子線回折像が観察できなくなる。
ると、電子線回折像が観察できなくなる。
又、明視野像と暗視野像を同時に観察することもできな
かった。
かった。
本発明はこのような従来の欠点を解決し、電子線回折パ
ターンを観察しながら、任意の回折スポットに対応した
走査透過像を選択して観察することのできる走査透過電
子顕微鏡を提供することを目的としている。
ターンを観察しながら、任意の回折スポットに対応した
走査透過像を選択して観察することのできる走査透過電
子顕微鏡を提供することを目的としている。
［課題を解決するための手段］
そのため本発明は、試料上に電子線を集束して照射する
ための手段と、試料上を前記電子線で２次元的に走査す
るための手段と、試料を透過した電子線の回折像を結像
するためのレンズ系と、該結像面に配置された撮像装置
と、該撮像装置よりの信号に基づいて前記回折像を表示
するための表示手段を備えた走査透過電子顕微鏡におい
て、前記表示手段に表示される回折像を構成する画素を
（Ｘｉ、Ｙｊ） （但し層、ｎをある特定値とすると
ｉ＝１、２、・・・、■ ｊ−１，２，・・・ｎ）で表
すものとするとき、該表示された回折像の特定の領域を
指示するための手段と、全てのｕ＋Ｖの値の組みの夫々
について、前記試料上を走査する電子線が画素（Ｘｕ、
Ｙｖ）（但し１≦ｕ≦ｍ且つ■≦Ｖ≦ｎ）に対応する点
に照射されている際における前記指示された領域に含ま
れる画素の信号値を積算して該画素（Ｘｕ。
ための手段と、試料上を前記電子線で２次元的に走査す
るための手段と、試料を透過した電子線の回折像を結像
するためのレンズ系と、該結像面に配置された撮像装置
と、該撮像装置よりの信号に基づいて前記回折像を表示
するための表示手段を備えた走査透過電子顕微鏡におい
て、前記表示手段に表示される回折像を構成する画素を
（Ｘｉ、Ｙｊ） （但し層、ｎをある特定値とすると
ｉ＝１、２、・・・、■ ｊ−１，２，・・・ｎ）で表
すものとするとき、該表示された回折像の特定の領域を
指示するための手段と、全てのｕ＋Ｖの値の組みの夫々
について、前記試料上を走査する電子線が画素（Ｘｕ、
Ｙｖ）（但し１≦ｕ≦ｍ且つ■≦Ｖ≦ｎ）に対応する点
に照射されている際における前記指示された領域に含ま
れる画素の信号値を積算して該画素（Ｘｕ。
Ｙｖ）に対応した信号値として記憶させるための手段と
、該記憶された各画素の信号に基づいて前記回折像の特
定の領域に対応した走査透過像を表示するための手段を
備えたことを特徴としている。
、該記憶された各画素の信号に基づいて前記回折像の特
定の領域に対応した走査透過像を表示するための手段を
備えたことを特徴としている。
［実施例］
以下、図面に基づき本発明の実施例を詳述する。
第１図は本発明を実施するための装置の一例を示すため
の図、第２図は第１図に示した各回路よりの出力信号を
例示するための図、第３図は第１゜第２の表示装置にお
ける表示例を示すための図である。
の図、第２図は第１図に示した各回路よりの出力信号を
例示するための図、第３図は第１゜第２の表示装置にお
ける表示例を示すための図である。
第１図において、１は電子銃、２は電子線、３は走査コ
イル、４は照射レンズ、５は試料、６は対物レンズ、７
は投影レンズ、８は撮像管である。
イル、４は照射レンズ、５は試料、６は対物レンズ、７
は投影レンズ、８は撮像管である。
９は第１の走査信号発生器であり、第１の走査信号発生
器９より第２図（ａ）に示すような水平走査ステップ信
号と垂直走査ステップ信号（図示せず）が発生する。こ
の走査信号は走査コイル３に送られている。第１の走査
信号発生器９よりの走査信号は第２．第３の画像メモリ
１３．１４のリードライト制御部１３ａ、１４ａに送ら
れている。
器９より第２図（ａ）に示すような水平走査ステップ信
号と垂直走査ステップ信号（図示せず）が発生する。こ
の走査信号は走査コイル３に送られている。第１の走査
信号発生器９よりの走査信号は第２．第３の画像メモリ
１３．１４のリードライト制御部１３ａ、１４ａに送ら
れている。
又、第１の走査信号発生器９よりの走査信号は第２の走
査信号発生器１０及び読み出し／消去制御信号発生回路
２２に送られている。第２の走査信号発生器１０は供給
される走査信号に基づいて第２図（ｂ）に示すような垂
直走査信号とこの信号を分周した水平走査信号を発生す
る。第２の走査信号発生器１０よりの走査信号は撮像管
８に送られていると共に、第１の画像メモリ１２のリー
ドライト制御部１２ａに送られている。１１はＡＤ変換
器であり、ＡＤ変換器１１の出力信号は第２゜第３の画
像メモリ１３．１４に送られている。第１の画像メモリ
１２よりの画像信号は加算回路１５を介して第１の像表
示装置１６に送られている。
査信号発生器１０及び読み出し／消去制御信号発生回路
２２に送られている。第２の走査信号発生器１０は供給
される走査信号に基づいて第２図（ｂ）に示すような垂
直走査信号とこの信号を分周した水平走査信号を発生す
る。第２の走査信号発生器１０よりの走査信号は撮像管
８に送られていると共に、第１の画像メモリ１２のリー
ドライト制御部１２ａに送られている。１１はＡＤ変換
器であり、ＡＤ変換器１１の出力信号は第２゜第３の画
像メモリ１３．１４に送られている。第１の画像メモリ
１２よりの画像信号は加算回路１５を介して第１の像表
示装置１６に送られている。
第１の画像メモリ１２の読み出し番地を制御するため、
第１の画像表示装置１６から第１の画像メモリ１２のリ
ードライト制御部１２ａに走査信号が送られている。１
８は第１の像表示装置１６の表示画面中の特定の領域を
指示するだめの領域指示操作部である。１９は領域表示
信号発生回路であり、領域表示信号発生回路１９は、領
域指示操件部１８よりの信号に基づいて、第１の画像表
示装置１６の画面上に領域指示操作部１８の指示に応じ
た位置と大きさを有する輝線を表示するための信号を発
生する。第３図（ａ）にこのような画面中に表示された
輝線りの例を示す。２０は読み出し領域指示信号発生回
路であり、読み出し領域指示信号発生回路２０は領域指
示操作部１８よりの信号に基づいて、前記輝線して囲ま
れた領域に含まれる画素の信号のみ第２の画像メモリ１
３より読み出されるように制御するための信号を第２の
画像メモリ１３のリードライト制御部１３ａに送る。２
１は第２の画像メモリ１３より送られる信号を積算する
ための積算回路であり、積算回路２１よりの信号は第３
の画像メモリ１４に送り得るようになっている。又、前
記読み出し／消去制御信号発生回路２２は前記第１の走
査信号発生器９よりの走査信号に基づいて第２図（ｃ）
に示す読み出し走査信号（実際にはデジタル信号）を作
成して、第２の画像メモリ１３のリードライト制御部１
３ａに送ると共に、第２図（ｄ）に示す消去信号を発生
してこのリードライト制御部１３ａに送る。
第１の画像表示装置１６から第１の画像メモリ１２のリ
ードライト制御部１２ａに走査信号が送られている。１
８は第１の像表示装置１６の表示画面中の特定の領域を
指示するだめの領域指示操作部である。１９は領域表示
信号発生回路であり、領域表示信号発生回路１９は、領
域指示操件部１８よりの信号に基づいて、第１の画像表
示装置１６の画面上に領域指示操作部１８の指示に応じ
た位置と大きさを有する輝線を表示するための信号を発
生する。第３図（ａ）にこのような画面中に表示された
輝線りの例を示す。２０は読み出し領域指示信号発生回
路であり、読み出し領域指示信号発生回路２０は領域指
示操作部１８よりの信号に基づいて、前記輝線して囲ま
れた領域に含まれる画素の信号のみ第２の画像メモリ１
３より読み出されるように制御するための信号を第２の
画像メモリ１３のリードライト制御部１３ａに送る。２
１は第２の画像メモリ１３より送られる信号を積算する
ための積算回路であり、積算回路２１よりの信号は第３
の画像メモリ１４に送り得るようになっている。又、前
記読み出し／消去制御信号発生回路２２は前記第１の走
査信号発生器９よりの走査信号に基づいて第２図（ｃ）
に示す読み出し走査信号（実際にはデジタル信号）を作
成して、第２の画像メモリ１３のリードライト制御部１
３ａに送ると共に、第２図（ｄ）に示す消去信号を発生
してこのリードライト制御部１３ａに送る。
このような構成において、第１の走査信号発生器９より
第２図（ａ）に示す走査信号を発生させて電子線２によ
り試料５上を走査する。このとき、撮像管８上には試料
５によって回折された電子線の回折パターンが投影され
ており、電子線２を試料５に平行照射すればこのパター
ンは電子線２の走査にかかわらず管面上に動がずに投影
される。
第２図（ａ）に示す走査信号を発生させて電子線２によ
り試料５上を走査する。このとき、撮像管８上には試料
５によって回折された電子線の回折パターンが投影され
ており、電子線２を試料５に平行照射すればこのパター
ンは電子線２の走査にかかわらず管面上に動がずに投影
される。
そこで、第２の走査信号発生器１ｏより第２図（ｂ）に
示す走査信号を発生させて撮像管８を走査すると共に、
撮像管８より得られる画像信号をＡＤ変換器１１により
デジタル信号に変換して第２、第３の画像メモリ１２．
１３に供給する。第１の画像メモリ１２においては、撮
像管８より所定フレーム分の画像信号が供給された時点
で、図示していない制御回路により画像信号の積算が停
止される。この停止の直後に第１の画像表示装置１６よ
りの読み出し制御信号に基づいて、第１の画像メモリよ
りその画像信号が読み出され、この読み出された信号に
基づいて第１の表示装置１６には第３図（ａ）に示すよ
うな回折パターンが表示される。そこで、領域指示操作
部１８を操作して領域表示信号発生回路１９よりの信号
に基づいて前記輝線りの位置及び大きさを調整し、第３
図（ａ）に示すように、輝線りが１次の回折スポットの
一つを囲むようにする。このとき、読み出し領域指示信
号発生回路２０よりこの輝線して囲まれた領域に対応す
る読み出し領域指示信号が第２の画像メモリ１３のリー
ドライト制御部１３ａに送られる。第２の画像メモリ１
３には第２の走査信号発生器１０よりの走査信号に同期
して画像信号が送られてくる。従って、第２図（ｂ）に
示す各垂直走査信号が終了した直後においては、第２の
画像メモリ１３にはそのときの電子線照射点に応じた明
るさの回折パターン像が記憶されている。
示す走査信号を発生させて撮像管８を走査すると共に、
撮像管８より得られる画像信号をＡＤ変換器１１により
デジタル信号に変換して第２、第３の画像メモリ１２．
１３に供給する。第１の画像メモリ１２においては、撮
像管８より所定フレーム分の画像信号が供給された時点
で、図示していない制御回路により画像信号の積算が停
止される。この停止の直後に第１の画像表示装置１６よ
りの読み出し制御信号に基づいて、第１の画像メモリよ
りその画像信号が読み出され、この読み出された信号に
基づいて第１の表示装置１６には第３図（ａ）に示すよ
うな回折パターンが表示される。そこで、領域指示操作
部１８を操作して領域表示信号発生回路１９よりの信号
に基づいて前記輝線りの位置及び大きさを調整し、第３
図（ａ）に示すように、輝線りが１次の回折スポットの
一つを囲むようにする。このとき、読み出し領域指示信
号発生回路２０よりこの輝線して囲まれた領域に対応す
る読み出し領域指示信号が第２の画像メモリ１３のリー
ドライト制御部１３ａに送られる。第２の画像メモリ１
３には第２の走査信号発生器１０よりの走査信号に同期
して画像信号が送られてくる。従って、第２図（ｂ）に
示す各垂直走査信号が終了した直後においては、第２の
画像メモリ１３にはそのときの電子線照射点に応じた明
るさの回折パターン像が記憶されている。
この記憶されている回折パターン像に対応する信号は、
第２図°（Ｃ）に示す読み出し／消去制御信号発生回路
２２よりの信号をアドレス指定信号として読み出される
が、このとき全てのアドレスの信号が読み出されるので
はなく、読み出し領域指示信号発生回路２０よりの信号
によって指示されたアドレス以外のものは読み出しが阻
止される。
第２図°（Ｃ）に示す読み出し／消去制御信号発生回路
２２よりの信号をアドレス指定信号として読み出される
が、このとき全てのアドレスの信号が読み出されるので
はなく、読み出し領域指示信号発生回路２０よりの信号
によって指示されたアドレス以外のものは読み出しが阻
止される。
即ち、前記第１の表示手段に表示される回折像を構成す
る画素を（ｘｔ、Ｙｊ） （但しｍ、ｎをある特定値と
すると １＝１．２．−、ｓ ｊ−１，２，−ｎ）で
表すものとすると、前記輝線して囲まれた領域に含まれ
る画素に対応するアドレスの信号のみが読み出されて積
算回路２１に送られる。積算回路２１は送られて来た各
画素の信号を積算し、積算回路２１よりの信号は第１の
走査信号発生器９よりの信号でアドレス指定された、即
ち第３の画像メモリ１４内の試料上の電子線照射点に対
応するアドレスに記憶される。第２図（ｃ）に示す信号
に基づいて第２の画像メモリ１３の信号の読み出しが終
了する毎に、第２の画像メモリ１３の記憶内容は第２図
（ｄ）に示す読み出し／消去制御信号発生回路２２より
の消去信号により消去される。このようにして、全ての
Ｕ、Ｖの値の組みの夫々について、前記試料上を走査す
る電子線２が画素（Ｘｕ、Ｙｖ）（但し１≦Ｕ≦層且つ
１≦ｖ≦ｎ）に対応する点に照射されている際に、指定
領域内画素信号の積算と、この積算値信号の第３の画像
メモリ１４内における画素（Ｘｕ、Ｙｖ）対応アドレス
への記憶が行なわれる。従って、電子線２が試料５を１
フレーム走査し終えた段階においては、第３の画像メモ
リ１４には１画面分の画像信号が記憶される。
る画素を（ｘｔ、Ｙｊ） （但しｍ、ｎをある特定値と
すると １＝１．２．−、ｓ ｊ−１，２，−ｎ）で
表すものとすると、前記輝線して囲まれた領域に含まれ
る画素に対応するアドレスの信号のみが読み出されて積
算回路２１に送られる。積算回路２１は送られて来た各
画素の信号を積算し、積算回路２１よりの信号は第１の
走査信号発生器９よりの信号でアドレス指定された、即
ち第３の画像メモリ１４内の試料上の電子線照射点に対
応するアドレスに記憶される。第２図（ｃ）に示す信号
に基づいて第２の画像メモリ１３の信号の読み出しが終
了する毎に、第２の画像メモリ１３の記憶内容は第２図
（ｄ）に示す読み出し／消去制御信号発生回路２２より
の消去信号により消去される。このようにして、全ての
Ｕ、Ｖの値の組みの夫々について、前記試料上を走査す
る電子線２が画素（Ｘｕ、Ｙｖ）（但し１≦Ｕ≦層且つ
１≦ｖ≦ｎ）に対応する点に照射されている際に、指定
領域内画素信号の積算と、この積算値信号の第３の画像
メモリ１４内における画素（Ｘｕ、Ｙｖ）対応アドレス
への記憶が行なわれる。従って、電子線２が試料５を１
フレーム走査し終えた段階においては、第３の画像メモ
リ１４には１画面分の画像信号が記憶される。
そこで、第２の表示装置１７より読み出し制御信号を発
生させて第３の画像メモリ１４に記憶されている画像信
号を読み出し、この読み出された信号に基づいて試料像
を表示すれば、第２の表示装置１７の画面上には、１次
の回折スポットを担う電子線の検出に基づく第３図（ｂ
）に示すような走査透過暗視野像が表示される。
生させて第３の画像メモリ１４に記憶されている画像信
号を読み出し、この読み出された信号に基づいて試料像
を表示すれば、第２の表示装置１７の画面上には、１次
の回折スポットを担う電子線の検出に基づく第３図（ｂ
）に示すような走査透過暗視野像が表示される。
この走査透過像は暗視野像であるが、明視野像を表示し
ようとする場合には、領域指示操作部１８を操作して輝
ｆｊＩＬを移動させ、輝線が第３図（ａ）のＬ゛で示す
ように０次の回折スポットを囲むようにする。このよう
にすれば、輝線Ｌ′で囲まれた画素の信号の積算値に基
づいて透過走査像が表示されるため、第２の像表示装置
１７に明視野像が表示される。このようにして、電子線
回折像を観察しながら、任意の回折スポットに対応した
走査透過像を選択して観察することが可能になる。
ようとする場合には、領域指示操作部１８を操作して輝
ｆｊＩＬを移動させ、輝線が第３図（ａ）のＬ゛で示す
ように０次の回折スポットを囲むようにする。このよう
にすれば、輝線Ｌ′で囲まれた画素の信号の積算値に基
づいて透過走査像が表示されるため、第２の像表示装置
１７に明視野像が表示される。このようにして、電子線
回折像を観察しながら、任意の回折スポットに対応した
走査透過像を選択して観察することが可能になる。
上述した実施例は本発明の一実施例に過ぎず、本発明は
様々に変形して実施することができる。
様々に変形して実施することができる。
例えば上述した実施例においては、画像表示装置に表示
された回折パターンの特定の領域を指示するため、正方
形の輝線を用いたが、第３図（Ｃ）に示すような円形の
輝線を２個表示させるようにし、この２個の輝線で囲ま
れた領域の画素の信号に基づいて透過走査像を表示させ
るようにしても良い。
された回折パターンの特定の領域を指示するため、正方
形の輝線を用いたが、第３図（Ｃ）に示すような円形の
輝線を２個表示させるようにし、この２個の輝線で囲ま
れた領域の画素の信号に基づいて透過走査像を表示させ
るようにしても良い。
又、領域の指示はマウス等を用いて曲線で指示するよう
にしても良いし、又ライトベン等で指示するようにして
も良い。
にしても良いし、又ライトベン等で指示するようにして
も良い。
又、輝線によらずに指示領域を色の違いにより識別させ
るようにしても良い。
るようにしても良い。
又、第４図に示すように輝線Ｌｌ及びＬ２等によって回
折像のうちの第１の領域のみならず、第２の領域を同時
に指示できるようにすると共に、電子線が各画素（Ｘｕ
、Ｙｖ）に対応した試料上の点に照射されている際にお
ける第２の領域に含まれる画素の信号を積算して画素（
Ｘｕ、Ｙｖ）に対応した記憶領域に記憶させるための構
成を付加させ、例えば輝線Ｌ１で０次の回折スポット領
域を指示し、輝線Ｌ２で第２の回折スポットを指示する
ことにより、回折パターンと透過走査明視野像と透過走
査暗視野像を同時に表示させることもできる。
折像のうちの第１の領域のみならず、第２の領域を同時
に指示できるようにすると共に、電子線が各画素（Ｘｕ
、Ｙｖ）に対応した試料上の点に照射されている際にお
ける第２の領域に含まれる画素の信号を積算して画素（
Ｘｕ、Ｙｖ）に対応した記憶領域に記憶させるための構
成を付加させ、例えば輝線Ｌ１で０次の回折スポット領
域を指示し、輝線Ｌ２で第２の回折スポットを指示する
ことにより、回折パターンと透過走査明視野像と透過走
査暗視野像を同時に表示させることもできる。
又、積算回路２１によって積算した信号は、撮像管の１
フレーム走査によって得られた信号であったが、数フレ
ーム分の信号を第２の画像メモリで画素毎に積算して、
この積算された画像信号に基づいて積算回路２１による
積算を行うようにしても良い。
フレーム走査によって得られた信号であったが、数フレ
ーム分の信号を第２の画像メモリで画素毎に積算して、
この積算された画像信号に基づいて積算回路２１による
積算を行うようにしても良い。
又、第１の画像メモリを第２の画像メモリで兼用させる
ことにより、第１の画像メモリを用いずに実施すること
もできる。
ことにより、第１の画像メモリを用いずに実施すること
もできる。
又、撮像管を直接表示装置に接続すると共に、撮像管よ
り順次送られてくる信号を指示された領域に含まれる画
素に対応したものか否かリアルタイムで判定し、含まれ
る画素の信号のみ積算回路に導くことにより、第１の画
像メモリのみならず、第２の画像メモリを省いて実施す
ることもできる。
り順次送られてくる信号を指示された領域に含まれる画
素に対応したものか否かリアルタイムで判定し、含まれ
る画素の信号のみ積算回路に導くことにより、第１の画
像メモリのみならず、第２の画像メモリを省いて実施す
ることもできる。
又、２次元的な画像検出手段として撮像管を用いたが、
ＣＣＤ素子等の他の検出手段を用いても良い。
ＣＣＤ素子等の他の検出手段を用いても良い。
又、第１の表示装置と第２の表示装置を用いずに、１台
の表示装置に回折パターンと走査透過像を画面を分割し
て表示させたり、１台の表示装置に透過走査明視野像と
透過走査暗視野像を表示させるようにしても良い。
の表示装置に回折パターンと走査透過像を画面を分割し
て表示させたり、１台の表示装置に透過走査明視野像と
透過走査暗視野像を表示させるようにしても良い。
更に又、上述した実施例は各回路をハード的に構成して
実施するようにしたが、代替可能な機能をソフトウェア
で代替させて実施することもできる。
実施するようにしたが、代替可能な機能をソフトウェア
で代替させて実施することもできる。
［発明の効果］
上述した説明から明らかなように、本発明においては、
表示手段に表示される回折像を構成する画素を（Ｘｉ、
Ｙｊ） （但し履、ｎをある特定値とすると １＝１．
２．−、ｓ ｊ−１，２，−ｎ）で表すものとすると
き、該表示された回折像の特定の領域を指示するための
手段と、全てのＵ、Ｖの値の組みの夫々について、前記
試料上を走査する電子線が画素（ＸＬｌ、ＹＶ） （但
し１５ｕ Ｓｓ且つｌ≦Ｖ≦ｎ）に対応する点に照射さ
れている際における前記指示された領域に含まれる画素
の信号値を積算して該画素に対応した信号値として記憶
させるための手段と、該記憶された値に基づいて前記回
折像の特定の領域に対応した走査透過像を表示するため
の手段を備えるようにしたため、電子線回折像を観察し
ながら、任意の回折スポットに対応した走査透過像を選
択して観察することが可能な走査透過電子顕微鏡が提供
される。
表示手段に表示される回折像を構成する画素を（Ｘｉ、
Ｙｊ） （但し履、ｎをある特定値とすると １＝１．
２．−、ｓ ｊ−１，２，−ｎ）で表すものとすると
き、該表示された回折像の特定の領域を指示するための
手段と、全てのＵ、Ｖの値の組みの夫々について、前記
試料上を走査する電子線が画素（ＸＬｌ、ＹＶ） （但
し１５ｕ Ｓｓ且つｌ≦Ｖ≦ｎ）に対応する点に照射さ
れている際における前記指示された領域に含まれる画素
の信号値を積算して該画素に対応した信号値として記憶
させるための手段と、該記憶された値に基づいて前記回
折像の特定の領域に対応した走査透過像を表示するため
の手段を備えるようにしたため、電子線回折像を観察し
ながら、任意の回折スポットに対応した走査透過像を選
択して観察することが可能な走査透過電子顕微鏡が提供
される。
第１図は本発明を実施するための装置の一例を示すため
の図、第２図は第１図に示した各回路よりの出力信号を
例示するための図、第３図は第１、第２の表示装置にお
ける表示例を示すための図、第４図は他の実施例におけ
る表示画面を例示するための図である。 １：電子銃 ２：電子線 ３：走査コイル ４：照射レンズ５：試料
６：対物レンズ７：投影レンズ ８：撮
像管 ９．１０：走査信号発生器 １１：ＡＤ変換器 １２．１３．１４：画像メモリ １２ａ、１３ａ、１４ａ ：リードライト制御部１５：
加算回路 １６．１７：画像表示装置 １８：領域指示信号操作部 は９：領域表示信号発生回路 ２０：読み出し領域指示信号発生回路 ２１：積算回路 ２２：読み出し／消去制御信号発生回路り、Ｌ−、ＬＬ
、Ｌ２ ：輝線 第２図 第４図 （ｃＬ） 第３図 ＣＧ） （ｂ）
の図、第２図は第１図に示した各回路よりの出力信号を
例示するための図、第３図は第１、第２の表示装置にお
ける表示例を示すための図、第４図は他の実施例におけ
る表示画面を例示するための図である。 １：電子銃 ２：電子線 ３：走査コイル ４：照射レンズ５：試料
６：対物レンズ７：投影レンズ ８：撮
像管 ９．１０：走査信号発生器 １１：ＡＤ変換器 １２．１３．１４：画像メモリ １２ａ、１３ａ、１４ａ ：リードライト制御部１５：
加算回路 １６．１７：画像表示装置 １８：領域指示信号操作部 は９：領域表示信号発生回路 ２０：読み出し領域指示信号発生回路 ２１：積算回路 ２２：読み出し／消去制御信号発生回路り、Ｌ−、ＬＬ
、Ｌ２ ：輝線 第２図 第４図 （ｃＬ） 第３図 ＣＧ） （ｂ）
Claims (1)
- 試料上に電子線を集束して照射するための手段と、試料
上を前記電子線で２次元的に走査するための手段と、試
料を透過した電子線の回折像を結像するためのレンズ系
と、該結像面に配置された撮像装置と、該撮像装置より
の信号に基づいて前記回折像を表示するための表示手段
を備えた走査透過電子顕微鏡において、前記表示手段に
表示される回折像を構成する画素を（Ｘｉ、Ｙｊ）（但
しｍ、ｎをある特定値とするとｉ＝１、２、・・・、ｍ
ｊ＝１、２、・・・ｎ）で表すものとするとき、該表
示された回折像の特定の領域を指示するための手段と、
全てのｕ、ｖの値の組みの夫々について、前記試料上を
走査する電子線が画素（Ｘｕ、Ｙｖ）（但し１≦ｕ≦ｍ
且つ１≦ｖ≦ｎ）に対応する点に照射されている際にお
ける前記指示された領域に含まれる画素の信号値を積算
して該画素（Ｘｕ、Ｙｖ）に対応した信号値として記憶
させるための手段と、該記憶された各画素の信号に基づ
いて前記回折像の特定の領域に対応した走査透過像を表
示するための手段を備えたことを特徴とする走査透過電
子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1039618A JPH02220339A (ja) | 1989-02-20 | 1989-02-20 | 走査透過電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1039618A JPH02220339A (ja) | 1989-02-20 | 1989-02-20 | 走査透過電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02220339A true JPH02220339A (ja) | 1990-09-03 |
Family
ID=12558098
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1039618A Pending JPH02220339A (ja) | 1989-02-20 | 1989-02-20 | 走査透過電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02220339A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2002068944A1 (ja) * | 2001-02-28 | 2004-06-24 | 株式会社日立製作所 | 微小領域物性計測方法及び装置 |
| JP2005203106A (ja) * | 2004-01-13 | 2005-07-28 | Jeol Ltd | 透過電子顕微鏡 |
| JP2011065860A (ja) * | 2009-09-17 | 2011-03-31 | Jeol Ltd | 共焦点ｓｔｅｍ像取得方法及び装置 |
| WO2014061690A1 (ja) * | 2012-10-18 | 2014-04-24 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡 |
| US9076632B2 (en) | 2012-02-12 | 2015-07-07 | El-Mul Technologies Ltd. | Position sensitive STEM detector |
| JP2018088321A (ja) * | 2016-11-28 | 2018-06-07 | 日本電子株式会社 | 走査透過電子顕微鏡および画像生成方法 |
-
1989
- 1989-02-20 JP JP1039618A patent/JPH02220339A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2002068944A1 (ja) * | 2001-02-28 | 2004-06-24 | 株式会社日立製作所 | 微小領域物性計測方法及び装置 |
| US7385198B2 (en) | 2001-02-28 | 2008-06-10 | Hitachi, Ltd. | Method and apparatus for measuring the physical properties of micro region |
| JP2005203106A (ja) * | 2004-01-13 | 2005-07-28 | Jeol Ltd | 透過電子顕微鏡 |
| JP2011065860A (ja) * | 2009-09-17 | 2011-03-31 | Jeol Ltd | 共焦点ｓｔｅｍ像取得方法及び装置 |
| US9076632B2 (en) | 2012-02-12 | 2015-07-07 | El-Mul Technologies Ltd. | Position sensitive STEM detector |
| WO2014061690A1 (ja) * | 2012-10-18 | 2014-04-24 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡 |
| JP2018088321A (ja) * | 2016-11-28 | 2018-06-07 | 日本電子株式会社 | 走査透過電子顕微鏡および画像生成方法 |
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