JPH02220508A - 圧電振動子の周波数調整方法 - Google Patents
圧電振動子の周波数調整方法Info
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- JPH02220508A JPH02220508A JP4070389A JP4070389A JPH02220508A JP H02220508 A JPH02220508 A JP H02220508A JP 4070389 A JP4070389 A JP 4070389A JP 4070389 A JP4070389 A JP 4070389A JP H02220508 A JPH02220508 A JP H02220508A
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- Japan
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- thin film
- frequency
- metal
- piezoelectric vibrator
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は圧電振動子の周波数調整方法に関する。
（従来の技術ｌ
従来の圧電振動子の周波数調整方法を第６図の正面図、
第７図の断面図により説明する。
第７図の断面図により説明する。
音叉形圧電発振片５０の周波数調整部５１（以下Ｆ調部
と呼ぶ）は音叉形圧電発振片５０の先端側にあり、この
Ｆ調部５１にＣｒやＡｇ、Ａｕ等の金属薄膜５２を蒸着
やスパッタ等の手段を用いてつけていた。
と呼ぶ）は音叉形圧電発振片５０の先端側にあり、この
Ｆ調部５１にＣｒやＡｇ、Ａｕ等の金属薄膜５２を蒸着
やスパッタ等の手段を用いてつけていた。
そして、周波数調整の際にはこのＦ調部にＹＡＧレーザ
−５３等の比較的出力の弱いレーザーを用いて５０ｐｍ
位のスポット径で音叉形圧電発振片５０の周波数測定、
加工を交互に繰り返しながら、Ｆ調部５１の金属７ＩＪ
ＩＩｌ１５２を除去し、周波数が設定値に達するまでこ
の加工を行なっていた。
−５３等の比較的出力の弱いレーザーを用いて５０ｐｍ
位のスポット径で音叉形圧電発振片５０の周波数測定、
加工を交互に繰り返しながら、Ｆ調部５１の金属７ＩＪ
ＩＩｌ１５２を除去し、周波数が設定値に達するまでこ
の加工を行なっていた。
第８図は音叉形圧電発振片５０の別の周波数調整方法を
示しである。
示しである。
Ｆ調部５１に真空中でＡｇ５４等の金属を蒸着により付
着させることにより周波数を調整する方法である。
着させることにより周波数を調整する方法である。
レーザーによる加工は金属薄膜を除去しながら周波数を
調整する方法であるのに対し、これは金属薄膜を面状に
蒸着させて周波数を調整する方法である。
調整する方法であるのに対し、これは金属薄膜を面状に
蒸着させて周波数を調整する方法である。
第９図は矩形圧電発振片５５の周波数調整方法を示す。
中心の主電極のＦ調部５６に同寸法もしくは−よねり小
さい寸法のパターン形状でマスク（図示せず）により真
空中でＡｇ５４等の金属を蒸着により付着させていた。
さい寸法のパターン形状でマスク（図示せず）により真
空中でＡｇ５４等の金属を蒸着により付着させていた。
［発明が解決しようとする課題１
しかし、従来の技術ではレーザー加工をスポット状で行
なうためスポットを移動させるための桟＋ｉ’ｆｆと加
工時間がかかっていた。
なうためスポットを移動させるための桟＋ｉ’ｆｆと加
工時間がかかっていた。
更に、レーザーのパワー調整が難しく〜、比較的パワー
の弱いＹＡＧレーザーを用いても表裏を貫通してしまい
、微調整がｉｌｌ Ｌかった。このため高精度の加工は
難しかった。
の弱いＹＡＧレーザーを用いても表裏を貫通してしまい
、微調整がｉｌｌ Ｌかった。このため高精度の加工は
難しかった。
かつ、加工面には第１Ｏ図に示すようにレーザーの熱に
よる金属薄膜の溶融で金属カス５７が付若し、これが振
動等により落下するため周波数が変化したり、ショート
の原因となっていた。
よる金属薄膜の溶融で金属カス５７が付若し、これが振
動等により落下するため周波数が変化したり、ショート
の原因となっていた。
蒸着による周波数調整は真空中で行なうため真空引きの
ための時間がかかり、かつ、自動化しにくいという欠点
があった。
ための時間がかかり、かつ、自動化しにくいという欠点
があった。
そこで本発明の目的とするところはエキシマレーザ−で
金属薄膜を面状又はスポット状又はその組合わせで何層
にも分けて除去することにより加工時間が早く、金属カ
スがでに＜＜、自動化しやすく、高精度加工の容易な圧
電振動子の周波数調整方法を提供するところにある。
金属薄膜を面状又はスポット状又はその組合わせで何層
にも分けて除去することにより加工時間が早く、金属カ
スがでに＜＜、自動化しやすく、高精度加工の容易な圧
電振動子の周波数調整方法を提供するところにある。
〔課題を解決するための手段１
１）圧電振動子の周波数調整部の金属薄膜なエキシマレ
ーザ−を用いて除去したことを特徴とする。
ーザ−を用いて除去したことを特徴とする。
２）請求項１の金属薄膜の除去をエキシマレーザ−の焦
点をずらして、面状に何層にも分けて行なったことを特
徴とする。
点をずらして、面状に何層にも分けて行なったことを特
徴とする。
３）請求項１の金属薄膜の除去をエキシマレーザ−によ
りスポット状で何層にも分けて行なったことを特徴とす
る。
りスポット状で何層にも分けて行なったことを特徴とす
る。
４）請求項１の金属薄膜の除去をエキシマレーザにより
面状とスポット状を組合わせて何層にも分けて行なった
ことを特徴とする。
面状とスポット状を組合わせて何層にも分けて行なった
ことを特徴とする。
［実 施 例］
本発明の実施例を第１図により説明する。
音叉形圧電発振片２の表裏に蒸着やスパッタ等の手段を
用いて金属薄膜４を形成する。
用いて金属薄膜４を形成する。
そして、音叉形圧電発振片２の場合は先端側にＦ調部３
を設け、ここをエキシマレーザ−１により面状に金属薄
ＩＩＩ ４を除去していく。
を設け、ここをエキシマレーザ−１により面状に金属薄
ＩＩＩ ４を除去していく。
この際、面状にするためにエキシマレーザ−１の焦点を
ずらして、Ｆ調部３にエキシマレーザ−１が面状にあた
るようにする。
ずらして、Ｆ調部３にエキシマレーザ−１が面状にあた
るようにする。
第２図はＦ調部の拡大図である。
エキシマレーザ−１はＹＡＧレーザーのように金属薄膜
４を溶融させるのではなく、金属表面の分子間結合を破
壊することにより金属薄１１１４を除去していく方法で
ある。
４を溶融させるのではなく、金属表面の分子間結合を破
壊することにより金属薄１１１４を除去していく方法で
ある。
このためＦ調部３の金属薄１ｔ＠４を面状に何層にも分
けて除去することが可能となり、発熱も少なく、溶融金
属カスもな（、短時間で高精度の加工ができる。
けて除去することが可能となり、発熱も少なく、溶融金
属カスもな（、短時間で高精度の加工ができる。
第３図は音叉形圧電発振片２の正面図を示しである。
音叉形圧電発賑片２はＦ調部３が二ヶ所に分かれている
ため、従来のＹＡＧレーザーでの加工は片方づつ加工し
ていたが本発明のエキシマレーザ−１の加工では面状に
加工が容易なため加工範囲５のように２ケ所同時加工が
できる。
ため、従来のＹＡＧレーザーでの加工は片方づつ加工し
ていたが本発明のエキシマレーザ−１の加工では面状に
加工が容易なため加工範囲５のように２ケ所同時加工が
できる。
このため左右の加工エアレバランスもなくなり、加工時
間も早く、高精度の加工ができる。
間も早く、高精度の加工ができる。
又、第４図のようにスポット状に加工を行なえば加工時
間は長（なるが、溶融による金属カスもないきれいな加
工面が（司られ、１回当たりの金属薄膜４の取れる量が
少ないため、周波数の微調整がしやすく、高精度向きの
加工が可能となる。
間は長（なるが、溶融による金属カスもないきれいな加
工面が（司られ、１回当たりの金属薄膜４の取れる量が
少ないため、周波数の微調整がしやすく、高精度向きの
加工が可能となる。
第５図は矩形圧電発振片８の正面図を示す。
矩形圧電発振片５の表裏に蒸着やスパッタ等の手段を用
いて金属薄ＩＩＩ ６でパターンを形成する。
いて金属薄ＩＩＩ ６でパターンを形成する。
周波数調整はＦ調部７の金属７ＩＩ２６をエキシマレー
ザ−１により除去する。
ザ−１により除去する。
エキシマレーザ−１によりＦ調部７の金に薄膜６を面状
に何層にも分けて除去するため加工時間ら早く、溶融に
よる金属カスもなく、高精度の加工が可能となる。
に何層にも分けて除去するため加工時間ら早く、溶融に
よる金属カスもなく、高精度の加工が可能となる。
又、エキシマレーザ−１による金属薄膜６の除去方法と
して、面状とスポットを組合わせて加工することもでき
る。
して、面状とスポットを組合わせて加工することもでき
る。
Ｆ調部７の金属薄膜６を最初は面状で何層にも分けて加
工し、最後の微調整をスポット状で行なえば加工時間も
早（、高精度で周波数バラツキの少ない周波数調整方法
が可能である。
工し、最後の微調整をスポット状で行なえば加工時間も
早（、高精度で周波数バラツキの少ない周波数調整方法
が可能である。
［発明の効果１
本発明の圧電振動子の周波数調整方法はエキシマレーザ
−を用いて、Ｆ調部の金属薄膜の除去を面状、スポット
状、面状とスポット状の組合わせにより何層にも分けて
除去することにより、溶融による金属カスが出にくく、
加工時間が早く、自動化しやすく、高精度加工の容易な
圧電振動子の周波数調整方法を提供するところにある。
−を用いて、Ｆ調部の金属薄膜の除去を面状、スポット
状、面状とスポット状の組合わせにより何層にも分けて
除去することにより、溶融による金属カスが出にくく、
加工時間が早く、自動化しやすく、高精度加工の容易な
圧電振動子の周波数調整方法を提供するところにある。
第１図は本発明の圧電振動子の周波数調整方法の実施例
を示す断面図。 第２図は本発明の圧電振動子の周波数調整方法のＦ調部
の拡大図。 第３図は本発明の音叉ＩＦｇ圧電発振片の周波数調整方
法の正面図。 ４図は本発明の音叉上圧電発振片の周波数調整方法の他
の実施例を示す斜視図。 第５図は本発明の矩形圧電弁１辰片の周波数調整方法を
示す正面図。 第６図は従来の圧？ｌｔ振動子Ｑ周波数調整方法を示す
正面図。 第７図は従来の圧電振動子の周波数調整方法を示す断面
図。 第８図は従来の音叉上圧電発振片の使の周波数調整方法
を示す断面図。 第９図は従来の矩形圧電発振片の周波数調整方法を示す
正面図。 第１０図は従来のＹＡＧレーザー加工によるＦ調部を示
す斜視図。 エキシマレーザ− 音叉上圧電発振片 Ｆ調部 金ｌ１ｌＥ薄膜 加工範囲 金属薄膜 Ｆ調部 矩形圧電発振片 音叉形圧電発賑片 Ｆｖ４部 金属薄膜 ＹＡＧレーザ− ｇ ・矩形圧電発振片 ・Ｆ調部 ・金属カス 以上
を示す断面図。 第２図は本発明の圧電振動子の周波数調整方法のＦ調部
の拡大図。 第３図は本発明の音叉ＩＦｇ圧電発振片の周波数調整方
法の正面図。 ４図は本発明の音叉上圧電発振片の周波数調整方法の他
の実施例を示す斜視図。 第５図は本発明の矩形圧電弁１辰片の周波数調整方法を
示す正面図。 第６図は従来の圧？ｌｔ振動子Ｑ周波数調整方法を示す
正面図。 第７図は従来の圧電振動子の周波数調整方法を示す断面
図。 第８図は従来の音叉上圧電発振片の使の周波数調整方法
を示す断面図。 第９図は従来の矩形圧電発振片の周波数調整方法を示す
正面図。 第１０図は従来のＹＡＧレーザー加工によるＦ調部を示
す斜視図。 エキシマレーザ− 音叉上圧電発振片 Ｆ調部 金ｌ１ｌＥ薄膜 加工範囲 金属薄膜 Ｆ調部 矩形圧電発振片 音叉形圧電発賑片 Ｆｖ４部 金属薄膜 ＹＡＧレーザ− ｇ ・矩形圧電発振片 ・Ｆ調部 ・金属カス 以上
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）圧電振動子の周波数調整部の金属薄膜をエキシマレ
ーザーを用いて除去したことを特徴とする圧電振動子の
周波数調整方法。 ２）請求項１記載の金属薄膜の除去をエキシマレーザー
の焦点をずらして、面状に何層にも分けて行なったこと
を特徴とする圧電振動子の周波数調整方法。 ３）請求項１記載の金属薄膜の除去をエキシマレーザー
によりスポット状で何層にも分けて行なったことを特徴
とする圧電振動子の周波数調整方法。 ４）請求項１記載の金属薄膜の除去をエキシマレーザー
により面状とスポット状を組合わせて何層にも分けて行
なったことを特徴とする圧電振動子の周波数調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4070389A JPH02220508A (ja) | 1989-02-21 | 1989-02-21 | 圧電振動子の周波数調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4070389A JPH02220508A (ja) | 1989-02-21 | 1989-02-21 | 圧電振動子の周波数調整方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02220508A true JPH02220508A (ja) | 1990-09-03 |
Family
ID=12587936
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4070389A Pending JPH02220508A (ja) | 1989-02-21 | 1989-02-21 | 圧電振動子の周波数調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02220508A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06204777A (ja) * | 1993-01-07 | 1994-07-22 | Mitsubishi Electric Corp | 水晶振動子の調整方法 |
| JP2002164759A (ja) * | 2000-11-24 | 2002-06-07 | Daishinku Corp | 音叉型振動子の周波数調整装置及び周波数調整方法並びにその方法によって周波数調整された音叉型振動子 |
| JP2006222522A (ja) * | 2005-02-08 | 2006-08-24 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動子、発振器、及び電子機器 |
| JP2009200648A (ja) * | 2008-02-19 | 2009-09-03 | Daishinku Corp | 圧電振動デバイスの周波数調整方法 |
| WO2018116651A1 (ja) * | 2016-12-22 | 2018-06-28 | 株式会社大真空 | 音叉型振動片、音叉型振動子及びその製造方法 |
-
1989
- 1989-02-21 JP JP4070389A patent/JPH02220508A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06204777A (ja) * | 1993-01-07 | 1994-07-22 | Mitsubishi Electric Corp | 水晶振動子の調整方法 |
| JP2002164759A (ja) * | 2000-11-24 | 2002-06-07 | Daishinku Corp | 音叉型振動子の周波数調整装置及び周波数調整方法並びにその方法によって周波数調整された音叉型振動子 |
| JP2006222522A (ja) * | 2005-02-08 | 2006-08-24 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動子、発振器、及び電子機器 |
| JP2009200648A (ja) * | 2008-02-19 | 2009-09-03 | Daishinku Corp | 圧電振動デバイスの周波数調整方法 |
| WO2018116651A1 (ja) * | 2016-12-22 | 2018-06-28 | 株式会社大真空 | 音叉型振動片、音叉型振動子及びその製造方法 |
| JPWO2018116651A1 (ja) * | 2016-12-22 | 2019-10-24 | 株式会社大真空 | 音叉型振動片、音叉型振動子及びその製造方法 |
| US11563413B2 (en) | 2016-12-22 | 2023-01-24 | Daishinku Corporation | Tuning fork-type vibrating reed, tuning fork-type vibrator and manufacturing method therefor |
| US11824509B2 (en) | 2016-12-22 | 2023-11-21 | Daishinku Corporation | Tuning fork-type vibrating reed, tuning fork-type vibrator and manufacturing method therefor |
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