JPH02222185A - 光半導体素子用パッケージ - Google Patents

光半導体素子用パッケージ

Info

Publication number
JPH02222185A
JPH02222185A JP1041516A JP4151689A JPH02222185A JP H02222185 A JPH02222185 A JP H02222185A JP 1041516 A JP1041516 A JP 1041516A JP 4151689 A JP4151689 A JP 4151689A JP H02222185 A JPH02222185 A JP H02222185A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pin
optical semiconductor
stem
driving
semiconductor element
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP1041516A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2709127B2 (ja
Inventor
Takuji Nakanishi
中西 卓二
Masamitsu Suzuki
正光 鈴木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NTT Inc
Original Assignee
Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Telegraph and Telephone Corp filed Critical Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority to JP1041516A priority Critical patent/JP2709127B2/ja
Publication of JPH02222185A publication Critical patent/JPH02222185A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2709127B2 publication Critical patent/JP2709127B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/50Bond wires
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/02Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/022Mountings; Housings
    • H01S5/02208Mountings; Housings characterised by the shape of the housings
    • H01S5/02212Can-type, e.g. TO-CAN housings with emission along or parallel to symmetry axis
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/06Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium
    • H01S5/062Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium by varying the potential of the electrodes
    • H01S5/06226Modulation at ultra-high frequencies
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/06Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium
    • H01S5/068Stabilisation of laser output parameters
    • H01S5/0683Stabilisation of laser output parameters by monitoring the optical output parameters
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W90/00Package configurations
    • H10W90/701Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
    • H10W90/751Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires
    • H10W90/756Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires between a chip and a stacked lead frame, conducting package substrate or heat sink

Landscapes

  • Led Device Packages (AREA)
  • Semiconductor Lasers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、半導体レーザ(以下LDと略称する)や、発
光ダイオード(以下LEDと略称する)などの光半導体
素子において、それらの高周波駆動を可能とし、かつ、
良好な気密封止歩留りが得られる光半導体素子用パッケ
ージに関するものてあ[従来の技術] 従来、例えばコンパクトディスクなどに用いられるLD
用のパッケージは、第2図に示すような構成を採ってい
た。即ち、第2図において、1はLD、2はLDIの出
力をモニタし、APC(Automatic Powe
r Control )回路(図示せず)によりLDI
の出力を制御するためのモニタフォトダイオード(PD
) 、3はヒートシンク、4はステム、5はLD駆動用
単線ピン、6はPD駆動用単線ピン、7は接地用ピン、
8はワイアボンド、9はLDlおよびPD2を外気と遮
断するためのキャップ、10はピン5およびピン6とヒ
ートシンク3の間の電気的絶縁を保ち、かつ、上記封止
の役割の一端を担う低融点ガラスである。
このような構成の場合、ピン5.ピン6は単線てあり、
純インダクタンス素子であるため、ピン5もしくはピン
6によって、 ■ LDの上限駆動周波数が限られる、■ 上記APC
の制御方法として、例えばピり値検出法の如く、PD2
における高周波出力成分をもモニタする場合、ピン5−
ピン6間の相互誘導により、LDの上限駆動周波数が限
られる、なとのほか、 ■ 封止を完全にするため、低融点ガラス10の熱膨張
係数をステム4、およびピン5、ピン6のそれとほぼ一
致させる必要があり、そのため、使用可能な低融点ガラ
ス10、およびピン5およびピン6の材料が限定される
ほか、該封止かLD実装歩留りを低下させる]要因とな
るなどの欠点があった。
[発明が解決しようとする課題] 本発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、LDやL
EDなどの光半導体素子において、それらの飛躍的な高
周波駆動を可能とし、かつ、高い気密封止歩留りを可能
とする光半導体素子用パッケージを提供することを目的
とする。
[課題を解決するだめの手段と作用] 本発明は、高周波駆動を可能とし、かつ、高い気密封止
歩留りを可能とするために、上側に光半導体素子か設置
されるステムと、該ステム−にに設置した光半導体素子
と該光半導体素子を駆動させるための外部回路とを、互
いに電気的に結合するための該ステムに設置された1本
もしくは複数本のピンとを有する光半導体素子用パッケ
ージにおいて、少なくとも該光半導体素子を直接駆動さ
せるための該ピンを、硬質の同軸線で47.i成するこ
とを特徴とするものである。
[実施例] 以下図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する。
第1図は本発明の1実施例を説明するための図であって
、第2図と同一の部位には同一番号を付した。
即ち、ステム4には硬質(いわゆるセミ・リジッド)の
同軸線より構成されるLD駆動用同軸ピン5′、硬質(
いわゆるセミ・リジット)の同軸線より構成されるPD
駆動用同軸ピン6′ および接地用ピン7か貫通される
と共に、各ピン5′6′、7はステム4に金属はんた1
0′によりはんだ(−Jけされて設置される。前記LD
駆動用同軸ピン5′はLDIを駆動させるための外部回
路(図示せず)とLDlとを電気的に結合するもので、
その芯線、および外管の材料は銅であり、第1図に示す
ように、その外管が、はんだ10′により直接堅固にス
テム4に固定されている。前記PD駆動用同軸ピン6′
はPD2を駆動させるための外部回路(図示せず)とP
D2とを電気的に結合するもので、その芯線、および外
管の材料は銅であり、第1図に示すように、その外管が
、はんた10’ により直接堅固にステム4に固定され
ている。前記ステム4上の取付部]]にはヒートシンク
3を介してLDlか設置され、このLDlはワイアボン
ド8により前記LD駆動用同軸ピン5′の芯線に接続さ
れる。前記ステム4上の前記LD]の近傍にはPD2か
設置され、このPD2はワイアボンド8により前記PD
駆動用同軸ピン6′の芯線に接続される。前記ステム4
には前記LDIおよびPD2等を覆うようにしてキャッ
プ9が取イ・1けられる。
このような構造になっているから、LD直接駆動のため
の可能」−限局波数か従来に比べ、飛躍的に大きくなっ
た。例えば、従来、ピン5の長さか5+nmの場合、そ
の帯域は約3GHzに制限されていたか、本発明の場合
、ピン5′の長さはその帯域に無関係、従って、その帯
域は8のワイアボンド長制限となり、ワイアボンド8の
長さが1.mmの場合、該帯域は約20GHzに拡大し
た。
また、従来構造の場合、LD励起時のピン5からピン6
への電気漏話が大きく、そのため、従来、AP”C方式
として、低帯域ないわゆる平均値方式しか用いることが
出来なかった。しかしながら、本発明の場合、ピン5′
、およびピン6′が同軸構造であるため、LD励起時の
ピン5′からピン6′への漏話かほぼ無くなり、その結
果、APC方式として、広帯域なピーク値検出方式など
が可能となった。その結果、従来に比してより高精度の
APC動作が可能となった。
ここで、もしLD出力のモニタが不要の場合、ピン6′
を除き、LD駆動用同軸ピン5′のみを設置すればよい
ことは勿論である。
[発明の効果] 以上説明したように、本発明は、光半導体素子用パッケ
ージにおいて、ステム上に設置した光半導体素子と、該
光半導体素子を駆動させるための外部回路とを、互いに
電気的に結合するための、該ステムに設置された1本も
しくは複数本のピンにおいて、少なくとも該光半導体素
子を直接駆動させるための該ピンを、硬質の同軸線で構
成する構造となっているため、LDやLEDなどの光半
導体素子において、それらの飛躍的な高周波駆動を可能
とし、かつ、高い気密封止歩留りを可能とするなとの利
点がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す斜視図、第2図は従来
の光半導体素子用パッケージを示す斜視図である。 ]・・半導体レーザ、2・・・モニタフォトダイオード
、3・・ヒートシンク、4・・・ステム、5′・・・L
D駆動用同軸ピン、6′・・・PD駆動用同軸ピン、7
・・・接地用ピン、8・・ワイアホント、9・・キャッ
プ、10′・・・金属はんだ。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 上側に光半導体素子が設置されるステムと、該ステム上
    に設置した光半導体素子と該光半導体素子を駆動させる
    ための外部回路とを、互いに電気的に結合するための該
    ステムに設置された1本もしくは複数本のピンとを有す
    る光半導体素子用パッケージにおいて、少なくとも該光
    半導体素子を直接駆動させるための該ピンを、硬質の同
    軸線で構成することを特徴とする光半導体素子用パッケ
    ージ。
JP1041516A 1989-02-23 1989-02-23 光半導体素子用パッケージ Expired - Fee Related JP2709127B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1041516A JP2709127B2 (ja) 1989-02-23 1989-02-23 光半導体素子用パッケージ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1041516A JP2709127B2 (ja) 1989-02-23 1989-02-23 光半導体素子用パッケージ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH02222185A true JPH02222185A (ja) 1990-09-04
JP2709127B2 JP2709127B2 (ja) 1998-02-04

Family

ID=12610541

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1041516A Expired - Fee Related JP2709127B2 (ja) 1989-02-23 1989-02-23 光半導体素子用パッケージ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2709127B2 (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003063309A3 (en) * 2002-01-18 2004-05-13 Oepic Inc High-speed to-can optoelectronic packages
US6792178B1 (en) 2000-01-12 2004-09-14 Finisar Corporation Fiber optic header with integrated power monitor
US6932522B2 (en) 1998-12-30 2005-08-23 Finisar Corporation Method and apparatus for hermetically sealing photonic devices
JP2005268362A (ja) * 2004-03-17 2005-09-29 Pioneer Electronic Corp 光ピックアップ装置
WO2011092735A1 (ja) * 2010-01-27 2011-08-04 三菱電機株式会社 半導体レーザモジュール
CN1525609B (zh) 2002-11-26 2012-02-29 三星Led株式会社 用于光拾取器的激光二极管和保护方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62219673A (ja) * 1986-03-20 1987-09-26 Hitachi Ltd 光電子装置
JPS63244695A (ja) * 1987-03-30 1988-10-12 Fujitsu Ltd 半導体発光装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62219673A (ja) * 1986-03-20 1987-09-26 Hitachi Ltd 光電子装置
JPS63244695A (ja) * 1987-03-30 1988-10-12 Fujitsu Ltd 半導体発光装置

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6932522B2 (en) 1998-12-30 2005-08-23 Finisar Corporation Method and apparatus for hermetically sealing photonic devices
US6792178B1 (en) 2000-01-12 2004-09-14 Finisar Corporation Fiber optic header with integrated power monitor
WO2003063309A3 (en) * 2002-01-18 2004-05-13 Oepic Inc High-speed to-can optoelectronic packages
US6920161B2 (en) 2002-01-18 2005-07-19 Oepic Semiconductors, Inc. High-speed TO-can optoelectronic packages
CN1525609B (zh) 2002-11-26 2012-02-29 三星Led株式会社 用于光拾取器的激光二极管和保护方法
JP2005268362A (ja) * 2004-03-17 2005-09-29 Pioneer Electronic Corp 光ピックアップ装置
WO2011092735A1 (ja) * 2010-01-27 2011-08-04 三菱電機株式会社 半導体レーザモジュール

Also Published As

Publication number Publication date
JP2709127B2 (ja) 1998-02-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4670384B2 (ja) 光送信アセンブリの製造方法
US7026655B2 (en) Light-transmitting module containing an driving device in a package
US6567439B1 (en) Radio-frequency laser module and a method for producing it
US5872881A (en) High-thermal-conductivity sealed package for fiber optic coupling to an optoelectronic device
JP3822599B2 (ja) 光モジュール
WO1998035410A1 (en) Composite laser diode enclosure and method for making the same
JP2001257412A (ja) 光送信モジュール
JPH11103120A (ja) 半導体レーザ装置
JPH10275957A (ja) 光半導体チップキャリア
JPH02222185A (ja) 光半導体素子用パッケージ
JP3583709B2 (ja) 半導体レーザモジュール
EP1602952B1 (en) Optical module and optical transmission apparatus
US7192201B2 (en) Optical transmitting module having a de-coupling inductor therein
JPH11186668A (ja) 光半導体モジュール
EP1267459A1 (en) Heatsinks for laser electronic packages
TWI863260B (zh) 半導體雷射光源裝置
JPS62124780A (ja) 光半導体モジユ−ル
JP2005259762A (ja) 半導体レーザモジュール及び光伝送器
JP2728104B2 (ja) 半導体レーザモジュール
US20260058434A1 (en) Semiconductor laser light source device
US20090185591A1 (en) Semiconductor device
JPH03259584A (ja) 半導体レーザ装置
EP4704270A1 (en) Laser diode header with thermoelectric controller
US6753615B2 (en) Optical element module
KR100583651B1 (ko) 광송신 모듈의 패키징 방법

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees