JPH02222185A - 光半導体素子用パッケージ - Google Patents
光半導体素子用パッケージInfo
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- JPH02222185A JPH02222185A JP1041516A JP4151689A JPH02222185A JP H02222185 A JPH02222185 A JP H02222185A JP 1041516 A JP1041516 A JP 1041516A JP 4151689 A JP4151689 A JP 4151689A JP H02222185 A JPH02222185 A JP H02222185A
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- JP
- Japan
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- pin
- optical semiconductor
- stem
- driving
- semiconductor element
- Prior art date
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- Granted
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/50—Bond wires
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/022—Mountings; Housings
- H01S5/02208—Mountings; Housings characterised by the shape of the housings
- H01S5/02212—Can-type, e.g. TO-CAN housings with emission along or parallel to symmetry axis
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/06—Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium
- H01S5/062—Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium by varying the potential of the electrodes
- H01S5/06226—Modulation at ultra-high frequencies
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/06—Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium
- H01S5/068—Stabilisation of laser output parameters
- H01S5/0683—Stabilisation of laser output parameters by monitoring the optical output parameters
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W90/00—Package configurations
- H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
- H10W90/751—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires
- H10W90/756—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires between a chip and a stacked lead frame, conducting package substrate or heat sink
Landscapes
- Led Device Packages (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、半導体レーザ(以下LDと略称する)や、発
光ダイオード(以下LEDと略称する)などの光半導体
素子において、それらの高周波駆動を可能とし、かつ、
良好な気密封止歩留りが得られる光半導体素子用パッケ
ージに関するものてあ[従来の技術] 従来、例えばコンパクトディスクなどに用いられるLD
用のパッケージは、第2図に示すような構成を採ってい
た。即ち、第2図において、1はLD、2はLDIの出
力をモニタし、APC(Automatic Powe
r Control )回路(図示せず)によりLDI
の出力を制御するためのモニタフォトダイオード(PD
) 、3はヒートシンク、4はステム、5はLD駆動用
単線ピン、6はPD駆動用単線ピン、7は接地用ピン、
8はワイアボンド、9はLDlおよびPD2を外気と遮
断するためのキャップ、10はピン5およびピン6とヒ
ートシンク3の間の電気的絶縁を保ち、かつ、上記封止
の役割の一端を担う低融点ガラスである。
光ダイオード(以下LEDと略称する)などの光半導体
素子において、それらの高周波駆動を可能とし、かつ、
良好な気密封止歩留りが得られる光半導体素子用パッケ
ージに関するものてあ[従来の技術] 従来、例えばコンパクトディスクなどに用いられるLD
用のパッケージは、第2図に示すような構成を採ってい
た。即ち、第2図において、1はLD、2はLDIの出
力をモニタし、APC(Automatic Powe
r Control )回路(図示せず)によりLDI
の出力を制御するためのモニタフォトダイオード(PD
) 、3はヒートシンク、4はステム、5はLD駆動用
単線ピン、6はPD駆動用単線ピン、7は接地用ピン、
8はワイアボンド、9はLDlおよびPD2を外気と遮
断するためのキャップ、10はピン5およびピン6とヒ
ートシンク3の間の電気的絶縁を保ち、かつ、上記封止
の役割の一端を担う低融点ガラスである。
このような構成の場合、ピン5.ピン6は単線てあり、
純インダクタンス素子であるため、ピン5もしくはピン
6によって、 ■ LDの上限駆動周波数が限られる、■ 上記APC
の制御方法として、例えばピり値検出法の如く、PD2
における高周波出力成分をもモニタする場合、ピン5−
ピン6間の相互誘導により、LDの上限駆動周波数が限
られる、なとのほか、 ■ 封止を完全にするため、低融点ガラス10の熱膨張
係数をステム4、およびピン5、ピン6のそれとほぼ一
致させる必要があり、そのため、使用可能な低融点ガラ
ス10、およびピン5およびピン6の材料が限定される
ほか、該封止かLD実装歩留りを低下させる]要因とな
るなどの欠点があった。
純インダクタンス素子であるため、ピン5もしくはピン
6によって、 ■ LDの上限駆動周波数が限られる、■ 上記APC
の制御方法として、例えばピり値検出法の如く、PD2
における高周波出力成分をもモニタする場合、ピン5−
ピン6間の相互誘導により、LDの上限駆動周波数が限
られる、なとのほか、 ■ 封止を完全にするため、低融点ガラス10の熱膨張
係数をステム4、およびピン5、ピン6のそれとほぼ一
致させる必要があり、そのため、使用可能な低融点ガラ
ス10、およびピン5およびピン6の材料が限定される
ほか、該封止かLD実装歩留りを低下させる]要因とな
るなどの欠点があった。
[発明が解決しようとする課題]
本発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、LDやL
EDなどの光半導体素子において、それらの飛躍的な高
周波駆動を可能とし、かつ、高い気密封止歩留りを可能
とする光半導体素子用パッケージを提供することを目的
とする。
EDなどの光半導体素子において、それらの飛躍的な高
周波駆動を可能とし、かつ、高い気密封止歩留りを可能
とする光半導体素子用パッケージを提供することを目的
とする。
[課題を解決するだめの手段と作用]
本発明は、高周波駆動を可能とし、かつ、高い気密封止
歩留りを可能とするために、上側に光半導体素子か設置
されるステムと、該ステム−にに設置した光半導体素子
と該光半導体素子を駆動させるための外部回路とを、互
いに電気的に結合するための該ステムに設置された1本
もしくは複数本のピンとを有する光半導体素子用パッケ
ージにおいて、少なくとも該光半導体素子を直接駆動さ
せるための該ピンを、硬質の同軸線で47.i成するこ
とを特徴とするものである。
歩留りを可能とするために、上側に光半導体素子か設置
されるステムと、該ステム−にに設置した光半導体素子
と該光半導体素子を駆動させるための外部回路とを、互
いに電気的に結合するための該ステムに設置された1本
もしくは複数本のピンとを有する光半導体素子用パッケ
ージにおいて、少なくとも該光半導体素子を直接駆動さ
せるための該ピンを、硬質の同軸線で47.i成するこ
とを特徴とするものである。
[実施例]
以下図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する。
第1図は本発明の1実施例を説明するための図であって
、第2図と同一の部位には同一番号を付した。
、第2図と同一の部位には同一番号を付した。
即ち、ステム4には硬質(いわゆるセミ・リジッド)の
同軸線より構成されるLD駆動用同軸ピン5′、硬質(
いわゆるセミ・リジット)の同軸線より構成されるPD
駆動用同軸ピン6′ および接地用ピン7か貫通される
と共に、各ピン5′6′、7はステム4に金属はんた1
0′によりはんだ(−Jけされて設置される。前記LD
駆動用同軸ピン5′はLDIを駆動させるための外部回
路(図示せず)とLDlとを電気的に結合するもので、
その芯線、および外管の材料は銅であり、第1図に示す
ように、その外管が、はんだ10′により直接堅固にス
テム4に固定されている。前記PD駆動用同軸ピン6′
はPD2を駆動させるための外部回路(図示せず)とP
D2とを電気的に結合するもので、その芯線、および外
管の材料は銅であり、第1図に示すように、その外管が
、はんた10’ により直接堅固にステム4に固定され
ている。前記ステム4上の取付部]]にはヒートシンク
3を介してLDlか設置され、このLDlはワイアボン
ド8により前記LD駆動用同軸ピン5′の芯線に接続さ
れる。前記ステム4上の前記LD]の近傍にはPD2か
設置され、このPD2はワイアボンド8により前記PD
駆動用同軸ピン6′の芯線に接続される。前記ステム4
には前記LDIおよびPD2等を覆うようにしてキャッ
プ9が取イ・1けられる。
同軸線より構成されるLD駆動用同軸ピン5′、硬質(
いわゆるセミ・リジット)の同軸線より構成されるPD
駆動用同軸ピン6′ および接地用ピン7か貫通される
と共に、各ピン5′6′、7はステム4に金属はんた1
0′によりはんだ(−Jけされて設置される。前記LD
駆動用同軸ピン5′はLDIを駆動させるための外部回
路(図示せず)とLDlとを電気的に結合するもので、
その芯線、および外管の材料は銅であり、第1図に示す
ように、その外管が、はんだ10′により直接堅固にス
テム4に固定されている。前記PD駆動用同軸ピン6′
はPD2を駆動させるための外部回路(図示せず)とP
D2とを電気的に結合するもので、その芯線、および外
管の材料は銅であり、第1図に示すように、その外管が
、はんた10’ により直接堅固にステム4に固定され
ている。前記ステム4上の取付部]]にはヒートシンク
3を介してLDlか設置され、このLDlはワイアボン
ド8により前記LD駆動用同軸ピン5′の芯線に接続さ
れる。前記ステム4上の前記LD]の近傍にはPD2か
設置され、このPD2はワイアボンド8により前記PD
駆動用同軸ピン6′の芯線に接続される。前記ステム4
には前記LDIおよびPD2等を覆うようにしてキャッ
プ9が取イ・1けられる。
このような構造になっているから、LD直接駆動のため
の可能」−限局波数か従来に比べ、飛躍的に大きくなっ
た。例えば、従来、ピン5の長さか5+nmの場合、そ
の帯域は約3GHzに制限されていたか、本発明の場合
、ピン5′の長さはその帯域に無関係、従って、その帯
域は8のワイアボンド長制限となり、ワイアボンド8の
長さが1.mmの場合、該帯域は約20GHzに拡大し
た。
の可能」−限局波数か従来に比べ、飛躍的に大きくなっ
た。例えば、従来、ピン5の長さか5+nmの場合、そ
の帯域は約3GHzに制限されていたか、本発明の場合
、ピン5′の長さはその帯域に無関係、従って、その帯
域は8のワイアボンド長制限となり、ワイアボンド8の
長さが1.mmの場合、該帯域は約20GHzに拡大し
た。
また、従来構造の場合、LD励起時のピン5からピン6
への電気漏話が大きく、そのため、従来、AP”C方式
として、低帯域ないわゆる平均値方式しか用いることが
出来なかった。しかしながら、本発明の場合、ピン5′
、およびピン6′が同軸構造であるため、LD励起時の
ピン5′からピン6′への漏話かほぼ無くなり、その結
果、APC方式として、広帯域なピーク値検出方式など
が可能となった。その結果、従来に比してより高精度の
APC動作が可能となった。
への電気漏話が大きく、そのため、従来、AP”C方式
として、低帯域ないわゆる平均値方式しか用いることが
出来なかった。しかしながら、本発明の場合、ピン5′
、およびピン6′が同軸構造であるため、LD励起時の
ピン5′からピン6′への漏話かほぼ無くなり、その結
果、APC方式として、広帯域なピーク値検出方式など
が可能となった。その結果、従来に比してより高精度の
APC動作が可能となった。
ここで、もしLD出力のモニタが不要の場合、ピン6′
を除き、LD駆動用同軸ピン5′のみを設置すればよい
ことは勿論である。
を除き、LD駆動用同軸ピン5′のみを設置すればよい
ことは勿論である。
[発明の効果]
以上説明したように、本発明は、光半導体素子用パッケ
ージにおいて、ステム上に設置した光半導体素子と、該
光半導体素子を駆動させるための外部回路とを、互いに
電気的に結合するための、該ステムに設置された1本も
しくは複数本のピンにおいて、少なくとも該光半導体素
子を直接駆動させるための該ピンを、硬質の同軸線で構
成する構造となっているため、LDやLEDなどの光半
導体素子において、それらの飛躍的な高周波駆動を可能
とし、かつ、高い気密封止歩留りを可能とするなとの利
点がある。
ージにおいて、ステム上に設置した光半導体素子と、該
光半導体素子を駆動させるための外部回路とを、互いに
電気的に結合するための、該ステムに設置された1本も
しくは複数本のピンにおいて、少なくとも該光半導体素
子を直接駆動させるための該ピンを、硬質の同軸線で構
成する構造となっているため、LDやLEDなどの光半
導体素子において、それらの飛躍的な高周波駆動を可能
とし、かつ、高い気密封止歩留りを可能とするなとの利
点がある。
第1図は本発明の一実施例を示す斜視図、第2図は従来
の光半導体素子用パッケージを示す斜視図である。 ]・・半導体レーザ、2・・・モニタフォトダイオード
、3・・ヒートシンク、4・・・ステム、5′・・・L
D駆動用同軸ピン、6′・・・PD駆動用同軸ピン、7
・・・接地用ピン、8・・ワイアホント、9・・キャッ
プ、10′・・・金属はんだ。
の光半導体素子用パッケージを示す斜視図である。 ]・・半導体レーザ、2・・・モニタフォトダイオード
、3・・ヒートシンク、4・・・ステム、5′・・・L
D駆動用同軸ピン、6′・・・PD駆動用同軸ピン、7
・・・接地用ピン、8・・ワイアホント、9・・キャッ
プ、10′・・・金属はんだ。
Claims (1)
- 上側に光半導体素子が設置されるステムと、該ステム上
に設置した光半導体素子と該光半導体素子を駆動させる
ための外部回路とを、互いに電気的に結合するための該
ステムに設置された1本もしくは複数本のピンとを有す
る光半導体素子用パッケージにおいて、少なくとも該光
半導体素子を直接駆動させるための該ピンを、硬質の同
軸線で構成することを特徴とする光半導体素子用パッケ
ージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1041516A JP2709127B2 (ja) | 1989-02-23 | 1989-02-23 | 光半導体素子用パッケージ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1041516A JP2709127B2 (ja) | 1989-02-23 | 1989-02-23 | 光半導体素子用パッケージ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02222185A true JPH02222185A (ja) | 1990-09-04 |
| JP2709127B2 JP2709127B2 (ja) | 1998-02-04 |
Family
ID=12610541
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1041516A Expired - Fee Related JP2709127B2 (ja) | 1989-02-23 | 1989-02-23 | 光半導体素子用パッケージ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2709127B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003063309A3 (en) * | 2002-01-18 | 2004-05-13 | Oepic Inc | High-speed to-can optoelectronic packages |
| US6792178B1 (en) | 2000-01-12 | 2004-09-14 | Finisar Corporation | Fiber optic header with integrated power monitor |
| US6932522B2 (en) | 1998-12-30 | 2005-08-23 | Finisar Corporation | Method and apparatus for hermetically sealing photonic devices |
| JP2005268362A (ja) * | 2004-03-17 | 2005-09-29 | Pioneer Electronic Corp | 光ピックアップ装置 |
| WO2011092735A1 (ja) * | 2010-01-27 | 2011-08-04 | 三菱電機株式会社 | 半導体レーザモジュール |
| CN1525609B (zh) | 2002-11-26 | 2012-02-29 | 三星Led株式会社 | 用于光拾取器的激光二极管和保护方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62219673A (ja) * | 1986-03-20 | 1987-09-26 | Hitachi Ltd | 光電子装置 |
| JPS63244695A (ja) * | 1987-03-30 | 1988-10-12 | Fujitsu Ltd | 半導体発光装置 |
-
1989
- 1989-02-23 JP JP1041516A patent/JP2709127B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62219673A (ja) * | 1986-03-20 | 1987-09-26 | Hitachi Ltd | 光電子装置 |
| JPS63244695A (ja) * | 1987-03-30 | 1988-10-12 | Fujitsu Ltd | 半導体発光装置 |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6932522B2 (en) | 1998-12-30 | 2005-08-23 | Finisar Corporation | Method and apparatus for hermetically sealing photonic devices |
| US6792178B1 (en) | 2000-01-12 | 2004-09-14 | Finisar Corporation | Fiber optic header with integrated power monitor |
| WO2003063309A3 (en) * | 2002-01-18 | 2004-05-13 | Oepic Inc | High-speed to-can optoelectronic packages |
| US6920161B2 (en) | 2002-01-18 | 2005-07-19 | Oepic Semiconductors, Inc. | High-speed TO-can optoelectronic packages |
| CN1525609B (zh) | 2002-11-26 | 2012-02-29 | 三星Led株式会社 | 用于光拾取器的激光二极管和保护方法 |
| JP2005268362A (ja) * | 2004-03-17 | 2005-09-29 | Pioneer Electronic Corp | 光ピックアップ装置 |
| WO2011092735A1 (ja) * | 2010-01-27 | 2011-08-04 | 三菱電機株式会社 | 半導体レーザモジュール |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2709127B2 (ja) | 1998-02-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |