JPH02224515A

JPH02224515A - 圧電振動子及びその製造方法

Info

Publication number: JPH02224515A
Application number: JP4598389A
Authority: JP
Inventors: Toru Takahashi; 透高橋
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 1989-02-27
Filing date: 1989-02-27
Publication date: 1990-09-06

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〈産業上の利用分野〉本発明は、主として、長さ方向振動モードを利用した圧
電振動子及びその製造方法に関し、圧電素体の一面上に
設けられた入力電極及び出力電極のそれぞれに、等方性
弾性導電材でなる接触片を、互いに独立して接合するこ
とにより、組立が容易で、外部導体と電気的に接触する
接触片の位置ずれを招くことがなく、しかもコストの安
価な圧電振動子及びその製造方法を提供できるようにし
たものである。

〈従来の技術〉長さ方向振動モードを利用した圧電振動子の従来技術と
しては、例えば特開昭５８−９９０１７号公報、特開昭
５８−９９０２２号公報等に記載されたものがある。第
４図は上記公報によって開示された従来の圧電振動子を
示し、圧電素体１の１面側に長さ方向に沿って、溝Ｓｌ
を設けると共に、長さ方向の両端側に、端部から適当な
間隔を残して、前記溝５１と直交する如く、スプリアス
低減のための溝３２及びＳ３を設け、８溝Ｓｌ〜Ｓ３に
よって区画された面に、電極２１〜２３及び電極３１〜
３３を被着形成し、他面側に電極４を被着形成した構造
となっている。電極２１〜２３及び電極３１〜３３は、
一方が人力電極であるとき、他方が出力電極となる。電
極４は電極２１〜２３．３１〜３３に対して共通に対向
する共通電極となる。

上記の圧電振動子は、通常、ケース内に組込んで使用さ
れる。入出力電極となる電極２１〜２３．３１〜３３及
び共通電極４は、端子によってケース外部に導出する。

電極２１〜２３及び電極３１〜３３は、第４図に示した
ように、圧電素体１の同一面上にあり、互いに接近して
いるので、端子による電極取出しに当っては、電気的に
独立した状態で、しかも振動障害とならないような構造
が必要である。その手段として、従来は、例えば実開昭
６０−１５８３２４号に開示される如く、入出力電極と
端子との間に異方性導電ゴムを介在させていた。第５図
にその１例を示す。第５図において、５は圧電振動子、
６は異方性導電ゴム、７〜９は金属薄板でなる端子、１
ｏは絶縁樹脂等で成型されたケース、１１は蓋、１２は
外装ケースである。

圧電振動子５は電極２１〜２３．３１〜３３がケース１
０の底面側を向くように配置し、共通電極４のある上面
側に端子９のバネ片９１によるバネ圧を加えるようにな
っている。

ケース１０の底面には、端子７１．８が配置されており
、端子７．８と圧電振動子５の電極２２．３２との間に
、異方性導電ゴム６を非接着状態で介在させである。異
方性導電ゴム６は、圧電振動子の振動障害とならないよ
うに、振動の節となる長さ方向の中間部、即ち電極２２
．３３のほぼ中間部において接触するように配置す−る
。

異方性導電ゴム６は、厚み方向に導電性を持つが、厚み
方向と直交する面方向には導電性を持たない。従って、
電極２２と端子７、及び、電極３２と端子８とは、異方
性導電ゴム６の導電性により互いに電気的に導通するが
、電極２２と電極３２とは、異方性導電ゴム６を共用し
ていても電気的には互いに絶縁された状態にある。

端子７〜９の導出端部は、外装ケース１２によって全体
を覆った後に、−点鎖線で示す如く、所定の形状に折曲
げられる。

〈発明が解決しようとする問題点〉上述したように、従来の圧電振動子は、ケース内組込に
当って、異方性導電ゴム６を利用して、入出力電極とな
る電極２２．３２を端子７．８に電気的に接触させてい
た。このため、高価な異方性導電ゴム６を使用すること
が必須で、製品のコスト高を招いていた。

また、ケース１０内への組込みに当って、異方性導電ゴ
ム６をケース１０内に収納した後、その上に圧電振動子
５を載せる組立順序を経なければならず、組立工数が増
え、組立が面倒にな・る・という問題点もあった。圧電
振動子５は、幅が０．　６１１１ｍ程度の微小部品であ
り、異方性導電ゴム６はこれよりも更に小さい微小部品
となるから、異方性導電ゴム６と圧電振動子５とを別々
に扱わなければならない従来構造では、組立がきわめて
煩わしかった。

しかも、異方性導電ゴム６の上に圧電振動子５を非接着
状態で載せて、端子９のバネ片９１のバネ圧により押え
付ける構造のため、異方性導電ゴム６が位置ズレを生じ
易く、それに伴ってスプリアスが発生するという危険性
もあった。

そこで本発明の課題は、上述する従来の問題点を解決し
、組立が容易で、外部との接触部分となる接触片の位置
ずれを招くことがなく、しかもコストの安価な圧電振動
子及びその製造方法を提供することである。

〈課題を解決するための手段〉上述する課題解決のため、本発明は、圧電素体の一面側
に入力電極及び出力電極を有する圧電振動子であって、前記入力電極及び出力電極のそれぞれは、一部に外部導
体との電気的接触部となる接触片を有しており、前記接触片のそれぞれは、全方向において実質的に等し
い導電性を示す等方性弾性導電材でなり、互いに独立し
て、前記入力電極及び出力電極のそれぞれに接合されて
いることを特徴とする。

上述の圧電振動子を得るための本発明に係る製造方法は
、圧電基板の一面上に電極用導電膜を形成した後、前記
圧電基板を切断して圧電振動子単体を得る圧電振動子の
製造方法であって、前記導電膜を形成した後、前記圧電
基板を切断する前に、前記導電膜の表面上に、全方向に
おいて実質的に等しい導電性を示す等方性弾性導電材を
間隔を隔てて条状に被着させ、各圧電振動子の入力電極及び出力電極のそれぞれに、互
いに独立する等方性弾性導電片が残るように、前記圧電
基板を切断することを特徴とする。

く作用〉外部導体との電気的接触部となる接触片のそれぞれは、
全方向において実質的に等しい導電性を示す等方性弾性
導電材でなるので、従来の異方性導電ゴムと比較して、
著しくコストが安価になる。

また、接触片のそれぞれは、入力電極及び出力電極のそ
れぞれに接合されているので、接触片が圧電振動子と一
体化され、ケース内組込みが容易になると共に、位置ズ
レを生じることもなくなり、位置ズレに伴うスプリアス
発生等を回避できる。

接触片のそれぞれは、互いに独立しているので、入出力
電極間が電気的に分離され、ケース内組込みにおいて、
接触片に外部導体たる端子を接触させることにより、入
出力電極をケース外部に導出することができる。

上述の圧電振動子を得るに当り、本発明に係る製造方法
は、圧電基板上に電極用導電膜を形成した後、圧電基板
を切断する前に、導電膜の表面上に、全方向において実
質的に等しい導電性を示す等方性弾性導電材を間隔を隔
てて条状に被着させ、次に、各圧電振動子の入力電極及
び出力電極のそれぞれに、互いに独立する等方性弾性導
電片が残るように、圧電基板を切断するので、本発明に
係る圧電部品を能率良く製造できる。

〈実施例〉第１図は本発明に係る圧電振動子の斜視図である。図に
おいて、第４図と同一の参照符号は同一性ある構成部分
を示している。１３．１４は外部導体との電気的接触部
となる接触片である。接触片１３．１４のそれぞれは、
全方向において実質的に等しい導電性を示す等方性弾性
導電材で構成されている。等方性弾性導電材は、一般的
には、導電ゴムであり、従来の異方性導電ゴムと比較し
て、著しく安価である。

接触片１３．１４のそれぞれは、電極２２及び電極３２
のそれぞれに接合されている。接合手段としては、等方
性弾性導電材自体の接着力を利用するか、または、導電
性接着剤による接着等が考えられる。これにより、接触
片１３．１４と圧電振動子とが一体化され、ケース１０
内への組込みが容易になると共に、位置ズレを生じるこ
とがなくなる。

また、接触片１３．１４のそれぞれは、間隔ｄ１を介し
て、互いに独立しており、電極２２−３２間が電気的に
分離されている。間隔ｄ１は電極２１〜２３と電極３１
〜３３との間に設けられた溝Ｓ１とほぼ等しくなってい
る。

図示の長さ方向振動モードを利用した圧電振動子の場合
、接触片１３．１４は、振動の節となる長さ方向の中間
部、即ち両端からの長さ１０、ｌ。

がほぼ等しくなる位置に配置する。こうすることにより
、接触片１３．１４による振動障害を回避できる。

第２図は本発明に係る圧電振動子をケース内に組込んだ
圧電振動部品の部分断面図である。図において、第４図
と同一の参照符号は同一性ある構成部分を示している。

圧電振動子５は、第１図に示した如く、電極２２．３２
の上に接触片１３．１４を一体的に接合した構造となっ
ているから、圧電振動子５の組込みと一緒に、接触片１
３．１４も同時に組み込まれ、ケース内組込みが容易に
なる。しかも接触片１３．１４に位置ズレを生じること
がないので、位置ズレに伴うスプリアス発生を回避でき
る。

接触片１３．１４は、間隔ｄｌを隔てて互いに独立して
おり、電極２２−３２間が電気的に分離されているから
、接触片１３．１４に外部導体たる端子７．８を接触さ
せて、電極２２．３２をケース１０の外部に導出するこ
とができる。

第３図（ａ）　、（ｂ）は本発明に係る圧電振動子の製
造方法を示す図である。まず、第３図（ａ）に示すよう
に、圧電基板Ａ上に電極用導電膜Ｂ、Ｃを形成した後、
圧電基板Ａを切断する前に、導電膜Ｂの表面上に、全方
向において実質的に等しい導電性を示す等方性弾性導電
材Ｄ１〜Ｄ、を、間隔を隔てて条状に被着させる。等方
性弾性導電材Ｄ１〜Ｄｓは、導電成分と、ゴム等の有機
系弾性材と、適当な溶媒とを混合してペースト化したも
のを、所定のパターンとなるように塗布する等の手段に
よって形成できる。塗布手段としては、スクリーン印刷
等が使用できる。

次に、等方性弾性導電材り、−Ｄ、の乾燥、硬化等の工
程を経た後、第３図（ｂ）に示すように、ダイシングソ
ー等を用いて、必要な溝Ｓ１〜Ｓ３人れを行なうと共に
、分割線（Ｘ＋　　Ｘ＋）〜（Ｘ４−Ｘ４）、（ｙ＋　
−Ｙｌ）　〜（Ｙ５−Ｙｓ）に沿って分割する。これに
より、第１図に示した圧電振動子が得られる。

この製造方法によれば、微小部品である圧電素体の上に
、更に微小な接触片を一体的に接合した圧電振動子を能
率良く量産できる。

〈発明の効果〉以上述べたように、本発明に係る圧電振動子は、圧電素
体の一面側に入力電極及び出力電極を有する圧電振動子
であって、入力電極及び出力電極のそれぞれは、一部に
外部導体との電気的接触部となる接触片を有しており、
接触９片のそれぞれは、全方向において実質的に等しい
導電性を示す等方性弾性導電材でなり、互いに独立して
、入力電極及び出力電極のそれぞれに接合されユいるか
ら、ケース内組込み、組立が容易で、外部導体と電気的
に接触する接触片の位置ずれを招くことがなく、しかも
コストの安価な圧電振動子を提供できる。

また、本発明に係る製造方法によれば、上述した圧電振
動子を能率良く量産できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る圧電振動子の斜視図、第２図は本
発明に係る圧電振動子を組込んだ圧電部品の要部部分断
面図、第３図（ａ）、（ｂ）は本発明に係る圧電振動子
の製造方法を示す図、第４図は従来の圧電振動子の斜視
図、第５図は従来の圧電振動子を組込んだ圧電部品の部
分断面図である。１・・・圧電素体２１〜２３・・・入力電極または出力電極３１〜３３・
・・出力電極または人力電極４・・・共通電極１３．１４・・・接触片５１％５２、Ｓ３・・・溝第図第図第図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）圧電素体の一面側に入力電極及び出力電極を有す
る圧電振動子であって、前記入力電極及び出力電極のそれぞれは、一部に外部導
体との電気的接触部となる接触片を有しており、前記接触片のそれぞれは、全方向において実質的に等し
い導電性を示す等方性弾性導電材でなり、互いに独立し
て、前記入力電極及び出力電極のそれぞれに接合されて
いることを特徴とする圧電振動子。
（２）長さ方向振動モードを利用した圧電振動子であっ
て、前記入力電極及び出力電極は、前記圧電素体の前記一面
上に直線状に設けられた溝によって分離されており、前記接触片は、長さ方向振動における節の付近に配置さ
れていることを特徴とする圧電振動子。
（３）圧電基板の一面上に電極用導電膜を形成した後、
前記圧電基板を切断して圧電振動子単体を得る圧電振動
子の製造方法であって、前記導電膜を形成した後、前記圧電基板を切断する前に
、前記導電膜の表面上に、全方向において実質的に等し
い導電性を示す等方性弾性導電材を間隔を隔てて条状に
被着させ、各圧電振動子の入力電極及び出力電極のそれぞれに、互
いに独立する等方性弾性導電片が残るように、前記圧電
基板を切断することを特徴とする圧電振動子の製造方法。