JPH02225342A - 超微粒子分散ガラス及びその製造方法 - Google Patents

超微粒子分散ガラス及びその製造方法

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JPH02225342A
JPH02225342A JP23186089A JP23186089A JPH02225342A JP H02225342 A JPH02225342 A JP H02225342A JP 23186089 A JP23186089 A JP 23186089A JP 23186089 A JP23186089 A JP 23186089A JP H02225342 A JPH02225342 A JP H02225342A
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glass
metal
dispersed
gel
temperature
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JP23186089A
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Toshinobu Miura
三浦 敏信
Hiroyuki Sakai
裕之 坂井
Yoshiyuki Asahara
浅原 慶之
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Hoya Corp
Original Assignee
Hoya Corp
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C14/00Glass compositions containing a non-glass component, e.g. compositions containing fibres, filaments, whiskers, platelets, or the like, dispersed in a glass matrix
    • C03C14/004Glass compositions containing a non-glass component, e.g. compositions containing fibres, filaments, whiskers, platelets, or the like, dispersed in a glass matrix the non-glass component being in the form of particles or flakes
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2214/00Nature of the non-vitreous component
    • C03C2214/08Metals
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    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2214/00Nature of the non-vitreous component
    • C03C2214/32Nature of the non-vitreous component comprising a sol-gel process

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、超微粒子分散ガラス及びその製造方法に関す
る。本発明の超微粒子分散ガラスは、光学機器において
用いられる赤外線透過フィルターやカラーフィルター、
さらには非線形光学材料等に利用される。
[従来の技術] 従来超微粒子分散ガラスは高温での熔融工程を含む、下
記3工程を経て作製されてきた。即ち先ずマトリックス
となるガラス組成に見合った複数種の原料に、超微粒子
の原料となる金属又は金属化合物を加え、1300℃以
上の温度で均一に撹拌しながら熔融し、−度冷却して固
化したガラスを得る(熔融工程)。次にこのガラスを適
当な大きさに加工した後、1100℃程度に再度加熱し
、超微粒子を構成する元素を再びイオン化させ、これを
急冷することにより超微粒子の存在しないガラスとする
(色消し工程)。さらにこのガラスを500〜800℃
で一定時間加熱することによりガラス体内に超微粒子を
析出させる(発色熱処理工程)。
[発明が解決しようとする課題] 上記3工程を経て超微粒子分散ガラスが製造されている
が、この方法においてはマトリックスとなるガラスとし
て、多成分系ガラスを用いる必要がある。その理由は、
多成分系ガラスを用いると、熔融し易く、さらに結晶化
に対するガラスの安定性も得られるからである。即ちマ
トリックスを石英単成分ガラスとした場合には、熔融温
度が1600℃以上となり電気炉を構成する発熱体や耐
火物が劣化し易く、また特性上量産が困難になるうえ、
結晶化に対するガラスの安定性が悪く失透し易くなり、
さらに分散超微粒子を構成する物質の蒸発量が多くなり
所望のガラス特性が得にくく生産性が悪くなるからであ
る。このため他の成分、例えばアルカリ金属酸化物、ア
ルカリ土類金属酸化物、酸化鉛、酸化亜鉛などの修飾成
分を加えることで熔融温度を下げ、−結晶化に対する安
定性を改善している。
しかし石英ガラスをガラスマトリックスとした場合に比
べ、多成分ガラスをマトリックスにした場合、多成分ガ
ラスは通常ガラス転移温度が約560℃以下と低いため
、耐熱性が低く、高温で使用できないという欠点があっ
た。また化学的耐久性や耐環境性が低下する等の欠点も
あった。また、分散超微粒子中に、亜鉛やアルカリ金属
等のガラスマトリックス成分が不純物として混入する可
能性があるため、光非線形性に悪影響を及ぼずことが予
想される。
従って、本発明の第1の目的は、従来の超微粒子分散ガ
ラスの欠点を解消し、耐熱性、化学的耐久性、耐環境性
等にすぐれているとともに超微粒子中に不純物の少ない
超微粒子分散ガラスを提供することにある。
また本発明の第2の目的は、耐熱性、化学的耐久性、耐
環境性等にすぐれているとともに超微粒子中に不純物の
少ない、上記超微粒子分散ガラスを生産性良く製造する
ことが可能な方法を提供することにある。
[課題を解決するための手段] 本発明の第1の目的は、石英ガラスに粒径1μm以下の
金属及び/又は金属酸化物の超微粒子を分散させてなる
ことを特徴とする超微粒子分散ガラスによって達成され
た。
また本発明の第2の目的は、 アルキルシリケート及び/又はその加水分解物と、金属
化合物とを含む水溶液を調製する第1工程と、 前記水溶液を加水分解及び脱水縮合処理することにより
金属化合物含有シリカゲルとする第2工程と、 前記ゲルを加熱して金属化合物を金属及び/又は金属酸
化物に分解し、次いで前記ゲルを焼結し、金属及び/又
は金属酸化物の超微粒子を分散させた石英ガラスを得る
第3工程と、 を含むことを特徴とする、超微粒子分散ガラスの製造方
法によって達成された。
本発明の好ましい態旧こよれば、前記超微粒子分散ガラ
スの製造方法の第1工程において調製される水溶液にシ
ランカップリング剤及び/又はジメチルホルムアミドを
含有させると、これらを含有させない場合に比べ、ガラ
スマトリックス中の超微粒子の分散性が著るしく向上す
る。
以下、本発明の詳細な説明する。
本発明の超微粒子分散ガラスは、石英ガラスがマトリッ
クスとなっているため、耐熱性、化学的耐久性、耐環境
性等に優れている。
またこの石英ガラスマトリックス中に分散されている金
属及び/又は金属酸化物の超微粒子は、マトリックスが
石英単成分からなるため、多成分系ガラスからなるもの
に比べ不純物の混入が少ない。金属及び/又は金属酸化
物の超微粒子の粒径は1μm以下に限定される。1μm
以下に限定した理由は、1μmを超えると、光の散乱が
起こり、透過率が低下するからである。
本発明の超微粒子分散ガラスは、赤外線透過フイルター
やカラーフィルター、さらには非線形光学材料等に利用
され、上記のように耐熱性、化学的耐久性、耐環境性等
に優れているため、高温及び/又は多湿状態においても
使用可能であるという特長を有する。また不純物の混入
の少ない金属及び/又は金庫酸化物の超微粒子が石英ガ
ラスマトリックスに分散されていることから、優れた光
学材料となる。
上述の如く、石英ガラスをマトリックスとした超微粒子
分散ガラスは、従来の熔融法では製造困難であったが、
上記第1、第2及び第3工程を含む本発明の方法により
製造可能となった。以下、これら3工程を順次説明する
先ず第1工程において、石英ガラスの原料となるアルキ
ルシリケート及び/又はその加水分解物と、超微粒子の
原料となる金属化合物とを水に加えて均一な水溶液とす
る。
アルキルシリケートとしては、式 %式%) (式中、Rはメチル、エチル、プロピル、ブチル基等の
炭素数1〜4個のアルキル基である)で示されるものが
用いら−れる。
またアルキルシリケートの代りに又はアルキルシリケー
トと共にアルキルシリケートの部分加水分解物、すなわ
ち Si (OR)3  (OH) S i (OR) 2 (OH)t S t (OR)(OH)3 や完全加水分解物、すなわち 5i(OH)a を用いても良い。これらのアルキルシリケート及び/又
はその加水分解物は、高純度のものを用いるのが好まし
い。
金属化合物としては、例えばマンガン、銅、金、白金な
どの金属の硝酸塩、硫酸塩、酢酸塩、塩化物や、HAu
Cl4などのクロロ金属酸塩(一般式HxMyC1z:
Mは金属r  X*  y、zは整数)等の、水やアル
コール等の溶媒に可溶で、かつ後記第3工程におけるゲ
ルの焼結(無孔化)温度以下の温度で分解が終了し金属
及び/又は金属酸化物となるものであれば、いずれも使
用できる。上で例示した金属化合物以外に、金属の酸溶
液も本発明で用いられる金属化合物に包含される。これ
らの金属化合物も高純度のものを用いるのが好ましい。
なお、水とともにメタノール、エタノール等のアルコー
ル溶媒を使用することにより、アルキルシリケートや金
属化合物の溶解性を高めることもできる。
水又は水−アルコール溶媒等に加えられたアルキルシリ
ケート及び/又はその加水分解物と金属化合物とは、と
(に金属化合物が偏在しないように均一に混合される。
この第1工程においては、アルキルシリケ−1・及び/
又はその加水分解物と金属化合物とともにシランカップ
リング剤及び/又はジメチルホルムアミドを用いること
もでき、これらの物質の少なくとも一方を用いることに
より、最終的に得られる超微粒子ガラスにおいてガラス
マトリックス中に分散された超微粒子の濃度分布を、こ
れらの物質を用いない場合よりも均一にすることができ
る。
シランカップリング剤としては水又は水−アルコール溶
媒等に可溶であり、金属化合物又はこれから生成する金
属及び/又は金属酸化物とマトリックスとを一時的に繋
ぎ止めておく効果があり、且つ、後記第3工程における
ゲルの焼結(無孔化)温度以下の温度で分解が終了して
炭素や窒素が残らないガラスを得ることができるもので
あればいずれも使用できるが、好ましいものとしてアミ
ン系シランカップリング剤、アルキルシランカップリン
グ剤、チタン系シランカップリング剤等が挙げられる。
ジメチルホルムアミドは、シランカップリング剤と同様
にガラスマトリックス中に分散された超微粒子の濃度分
布の均一性の向上に寄与するが、さらに後記第2工程で
のゲルの製造時における乾燥による亀裂の発生や割れを
防止するという作用も有する。
シランカップリング剤及び/又はジメチルホルムアミド
の好ましい添加量は金属化合物11モルに対して0.5
〜4モルである。その量が0.5モル以下であると超微
粒子の濃度分布の均一性を向上させる効果が少なく、逆
に4モルを超えるとゲル化する時間が短かくなりすぎて
好ましくないからである。
次に第2工程において、第1工程で得られた均一溶液を
加水分解および脱水縮合処理することによりゲル化し、
金属化合物含有シリカゲルを得る。
なお、石英ガラスマトリックス用原料としてアルキルシ
リケートの完全加水分解物のみを用いた場合には、上記
加水分解は行なわれず、脱水縮合のみが行なわれる。こ
のとき金属化合物はアルキルシリケート及び/又はその
加水分解物の加水分解及び脱水縮合で得られるゲルの微
細な細孔内に存在する。第1工程においてシランカップ
リング剤及び/又はジメチルホルムアミドを用いた場合
には、アルキルシリケート及び/又はその加水分解物と
金属化合物は、シランカップリング剤及び/又はジメチ
ルホルムアミドの存在によって水素結合などの弱い結合
により、より均一に分散しさらに固定化される。
次に第3工程において、第2工程で得られたゲルを加熱
して金属化合物を金属及び/又は金属酸化物に分解し、
次いで前記ゲルを焼結し、金属及び/又は金属酸化物の
超微粒子を均一に分散させた石英ガラスを得る。この第
3工程において、先ずゲルを加熱して、金属化合物を目
的の金属及び/又は金属酸化物に変化させるだめの分解
を完全に行なう必要がある。その理由は金属化合物の金
属及び/又は金属酸化物への分解が不充分であると、後
続の焼結段階でガスが発生し、閉気孔や発泡の原因とな
るからである。このような観点から金属化合物の金属及
び/又は金属酸化物への分解段階での温度は、200〜
600℃、時間は3〜30時間とするのが好ましい。
また焼結段階において、ゲルの無孔化のための加熱温度
が不足したり、時間が不足した場合にはガラス内に細孔
が残留し、光の散乱の原因となるので好ましくない。ま
た逆に温度を上げすぎた場合には石英と金属及び/又は
金属酸化物とが反応し結晶が析出したり、金属及び/又
は金属酸化物の巨大化、失透を起こすことがある。即ち
ゲルが無孔化し、金属及び/又は金属酸化物の超微粒子
が石英ガラスマトリックス中に均一に分散する条件を選
択する必要がある。このような観点から焼結段階の温度
は、800〜1200℃、時間は1〜10時間とするの
が好ましい。
また出発溶液のpHを調整することにより、得られるゲ
ルの細孔径を変化させ無孔化温度を変化させることも可
能である。
従来の熔融法により石英ガラスを得るためには、160
0℃以上の熔融温度が必要であり、装置上の問題や量産
が困難であるという問題があったが、本発明の方法によ
れば、上述の如(それよりも低温、獣ば1200℃以下
の温度で石英ガラスを得ることが可能であり、装置上の
問題や量産が困難であるという問題が解消され、耐熱性
、化学的耐久性、耐環境性、光学特性等に優れた超微粒
子分散ガラスを生産性良く得ることができる。
また本発明の方法により得られた超微粒子分散ガラスは
、シランカップリング剤及び/又はジメチルホルムアミ
ドを用いることにより、濃度分布の均一性が向上する。
[実施例] 以下、実施例により本発明の詳細な説明する。
実施例1 出発原料には市販のテトラメチルオルソシリケート(7
MO8)、テトラエチルオルソシリケー) (TE01
)、エタノール、硝酸マンガン(以上全て特級試薬)及
び蒸留水を用いた。
第1工程として、先ず15℃の水浴中のポリプロピレン
製200m1容器に7MO815,2g、TE01 2
0.8g、エタノール46.0gを入れた。これに撹拌
しながら硝酸マンガン1゜6gを蒸留水14.4gとと
もに滴下して加え、さらに10分間撹拌を続けて均一な
混合液を得た。
次に第2工程として、この混合液を縦8cm、横5cm
、高さ2cmの蓋付きのポリプロピレン製容器に30m
1づつ分取し密閉し、これを70℃に保ち加水分解反応
を起させると同時に脱水縮合を起させゲル化させた。1
日後、容器の蓋に直径1mmの穴を4ケあけ70°Cの
状態を保つことで前記ゲルを乾燥させ、乾燥ゲルを得た
。この乾燥ゲル中には硝酸マンガンが均一に分散してい
る。
次に第3工程として、容器から取り出した前記乾燥ゲル
を酸素雰囲気の加熱炉内に入れ、100cc/m1nの
酸素を流しながら室温から2時間かけて150℃まで昇
温した。150℃で残留アルコールを除去するため5時
間保持し、続いて25°C/hrの昇温速度で450℃
まで温度を上昇させ、この温度で10時間保持し、残留
有機物の燃焼除去及び硝酸マンガンのマンガン酸化物へ
の分解ヲ起させた。次に再び25℃/hrの昇温速度で
加熱し、700℃となった時点で炉内の雰囲気をヘリウ
ムガスに置換し、以降ヘリウムガスを100cc/m1
0流しながら加熱し、さらに昇温を続け950°Cで4
時間保持した。上記温度プログラムによりゲルは焼結し
、無孔化することにより石英ガラス体が生成するととも
に、該石英ガラス体中にマンガン酸化物超微粒子が析出
した。
得られた超微粒子分散ガラス体を研磨した後、SEM(
走査型電子顕Y鏡)により観察した結果、0.5μm以
下の大きさの粒子が分散していることが判明した。
このガラス体を粉砕し粉末状とした試料のX線回折図(
Cuのにα線を使用)を第1図に示す。
これによりd値として3.84人、2.72人。
2.35人、1.66人、1.42人が得られ、これを
JPCDSカードで確認することにより、Mn2O3の
結晶が析出していることが判明した。
得られたガラス体を厚さ150μmに研磨した試料につ
いて250nmから2000nmの範囲の波長の光に対
する透過率を測定した。この測定結果を第2図に示すと
、800nmで約50%を超える透過率を示し、赤外線
透過フィルターやカラーフィルターとして用いることが
できることが確認された。
又、得られたガラスの熱特性及び粉末法による化学的耐
久性を測定した結果、ガラス転移点(Tg)が850℃
で、耐水性(Dw)が0.01%、耐酸性(Da)が0
.03%(Tg、Dw及びDaは日本光学硝子工業会規
格JOGIS−1975により測定)であり、耐熱性と
化学的耐久性、耐環境性に優れていることが明らかとな
った。
実施例2 実施例1で用いなかったアミン系シランカップリング剤
を用いた以外は実施例1と同様にしてマンガン酸化物超
微粒子分散ガラス体を得た。
すなわち、出発原料には市販のテトラメチルオルソシリ
ケ−1−(7MO8) 、テトラエチルオルソシリケー
ト(TE01) 、エタノール、硝酸マンガン、N−2
−アミノエチルアミノプロビルトリメトキシシラン(ア
ミン系シランカップリング剤)(以上全て特級試薬)及
び蒸留水を用いた。
第1工程として、先ず5°Cの水浴中のポリプロピレン
製200m1容器に7MO815,2g−。
TE01 20.8g、エタノール 46.0g、アミ
ン系シランカップリング剤0.81gを入れた。これに
撹拌しながら硝酸マンガン1.6gを蒸留水14.4g
とともに滴下して加え、さらに10分間撹拌を続けて均
ユな混合液を得た。
次に第2工程として、この混合液を直径6.5cm、高
さ9CIIIのポリプロピレン製容器に20m1ずつ分
取し、直径1mlのピンホールの空いた蓋をかぶせ、こ
れを70℃に保ち加水分解を促進させると同時に脱水縮
合を起こさせゲル化させた。さらに70℃に保つことに
より前記ゲルを乾燥させ乾燥ゲルを得た。この乾燥ゲル
中に硝酸マンガンは均一に分布している。
次に第3工程として、容器から取り出した前記乾燥ゲル
を酸素雰囲気の加熱炉内に入れ、100ee/winの
酸素を流しながら室温から150℃/hの昇温速度で5
00℃まで上げ、この温度で1時間保持し、残留有機物
の燃焼除去及び硝酸マンガンのマンガン酸化物への分解
を起こさせた。次に再び150℃/hの昇温速度で加熱
を続け1125℃で3時間保持した。上記温度プログラ
ムによりゲルは焼結し無孔化することにより直径約3C
I111厚さ3mmの石英ガラス体が生成するとともに
、石英ガラス体中にマンガン酸化物超微粒子が均一に析
出した。
得られた超微粒子分散ガラス体を鏡面研磨後、SEM(
走査型電子顕微鏡)により観察した結果、0.5μm以
下の大きさの粒子が分散していることが判明した。
このガラス体を厚さ150μmに研磨した試料について
250n1m〜2000nmの範囲の波長に対する透過
率を測定したところ第2図と同様の透過率が得られ、8
00nmで約50%を超え、赤外線透過フィルターやカ
ラーフィルターとして用いることができることが確認さ
れた。
この円板状ガラス体の厚さ方向及び横方向のマンガン酸
化物の濃度分布をE PMA (electronpr
obe m1cro−analyser)にて測定した
。その結果を第3図に示す。同図によりマンガン酸化物
の濃度分布は厚さ方向及び横方向で極めて均一であるこ
とが判明した。
また得られたガラスの熱特性及び粉末法による化学的耐
久性を測定した結果、ガラス転移点(Tg)が850℃
で、耐水性(D w )が0.01%、耐酸性(Da)
が0.03%(Tg、Dw及びDaは日本光学硝子工業
規格JOGIS−1975により測定)であり、耐熱性
と化学的耐久性、耐環境性に優れていることが明らかと
なった。
実施例3 アミン系シランカップリング剤の代りにアルキルシラン
カップリング剤(メチルトリメトキシシラン)を用いた
以外は、実施例2と同様の方法によりマンガン酸化物超
微粒子分散ガラス体を得た。
こうして得られた超微粒子分散ガラス体は実施例2で得
られた超微粒子分散ガラス体と同様にマンガン酸化物超
微粒子が均一に分散しており、また測定した透過率は実
施例2の超微粒子分散ガラス体の透過率と同様であって
、実施例2の超微粒子分散ガラス体と同様の性質を有し
ていた。
実施例4 出発原料には市販のテトラメチルオルソシリケート(7
MO3) 、テトラエチルオルソシリケー) (TE0
1) 、エタノール、塩化金(以上全て特級試薬)及び
蒸留水を用いた。
第1工程として、先ず5°Cの水浴中のポリプロピレン
製2QOIll容器に7MO33,04g、TE01 
4.16g、エタノール9.20gを入れた。これに撹
拌しながら塩化金0.012gを蒸留水2.26gに溶
解した溶液を滴下して加え、さらに10分間撹拌を続け
て均一な混合液を得た。
次に第2工程として、この混合液を直径1.5cm、高
さ10cmのポリメチルペンテン製容器にIQi+1ず
つ分取し直径1mmのビンンホールの空いた蓋をかぶせ
、これを70℃に保ち加水分解を促進させると同時に脱
水縮合を起こさせゲル化させた。
さらに70℃に保つことにより前記ゲルを乾燥させ乾燥
力1ルを得た。この乾燥ゲル中には塩化金が均一に分散
している。
次に第3工程として、容器から取り出した前記乾燥ゲル
を酸素雰囲気の加熱炉内に入れ、100Cc/winの
酸素を流しながら室温から2時間かけて150℃まで温
度を上げ、この温度で5時間保持し残留アルコールの除
去を行なった。続いて12.5℃/hの昇温速度で50
0℃まで上げこの温度で5時間保持し残留有機物の燃焼
除去及び塩化金の金への分解を起こさせた。さらに続い
て12.5℃/hの昇温速度で700℃まで上げた。
この時点で雰囲気をヘリウムガスに置換し以降100C
,C,/rA1nのヘリウムガスを流しながら、12゜
5℃/hの昇温速度で1000℃まで上げこの温度で1
0時間保持した。上記温度プログラムによりゲルは焼結
しガラス体中に全超微粒子が析出した。
この全超微粒子分散ガラス体を厚さ150μmに研磨し
た試料について250nm〜2000nmの範囲の波長
に対する透過率を測定した。この測定結果を第4図に示
すと、550nmの波長域で選択的に吸収が起っている
ことから、赤外線透過フィルターやカラーフィルターと
して用いることができることが確認された。
実施例5 実施例4で用いなかったジメチルホルムアミドを用いた
以外は実施例4と同様にして全超微粒子分散ガラス体を
得た。
すなわち、出発原料には市販のテトラメチルオルソンリ
ケ−1−(TM01) 、テトラエチルオルソシリケ−
1・(TE01) 、エタノール、塩化金、ジメチルホ
ルムアミド(以上全て特級試薬)及び蒸留水を用いた。
第1工程として、先ず5℃の水浴中のポリプロピレン製
200m1容器にTM01 3.04g。
TE01 4.16g、エタノール9..20g。
ジメチルホルムアミド3.2gを入れた。これに撹拌し
ながら塩化金0.012gを蒸留水2.66gに溶解し
た溶液を滴下して加え、さらに10分間撹拌を続けて均
一な混合液を得た。
次に第2工程として、この混合液を直径1.5Cm、高
さ10cmのポリメチルペンテン製容器にIQmlずつ
分取し直径1mmのピンホールの空いた蓋をかぶせ、こ
れを70℃に保ち加水分解を促進させると同時に脱水縮
合を起こさせゲル化させた。
さらに70℃に保つことにより前記ゲルを乾燥させ乾燥
ゲルを得た。この乾燥ゲル中に塩化金は均一に分布して
いる。
次に第3工程として、容器から取り出した前記乾燥ゲル
を酸素雰囲気の加熱炉内に入れ、100cc/winの
酸素を流しながら室温から2時間かけて150℃まで温
度を上げ、この温度で5時間保持し残留アルコールの除
去を行なった。続いて12.5℃/hの昇温速度で50
0℃まで上げ、この温度で5時間保持し、残留有機物の
燃焼除去及び塩化金の金への分解を起こさせた。さらに
続いて12.5℃/hの昇温速度で700℃まで上げた
。この時点で雰囲気をヘリウムガスに置換し、以降10
 C)ec/ll1nのヘリウムガスを流しながら、1
2.5℃/hの昇温速度で1000℃まで上げ、この温
度で10時間保持した。上記温度プログラムによりゲル
は焼結し無孔化することにより直径5III+!、高さ
3cmの石英ガラス体が生成するとともに、ガラス体中
に全超微粒子が均一に析出した。
得られた超微粒子分散ガラス体を研磨後、SEM(走査
型電子顕微鏡)により観察した結果、0゜5μm以下の
大きさの粒子が分散していることが判明した。
このガラス体を厚さ150μmに研磨した試料について
250nm 〜2000nmの範囲の波長に対する透過
率を測定した結果、実施例4のガラス体と同様に550
nmの波長域で選択的に吸収が起っていることから、赤
外線透過フィルターやカラーフィルターとして用いるこ
とができることが確認された。
この円筒状ガラス体の上方及び下方における金の濃度分
布をE PMA (electron probe m
1cr。
analyser)にて測定した。その結果を第5図に
示す。これより金の濃度分布は円筒の上方及び下方にお
いて横方向に均一であることが判明した。
また得られたガラスの熱特性及び粉末法による化学的耐
久性を測定した結果、ガラス転移点(T g)が850
℃で、耐水性(Dw)が0.01%、耐酸性(Da)が
0.03%(Tg、Dw及びDaは日本光学硝子工業規
格JOGIS−1975にて測定)であり、耐熱性、化
学的耐久性、耐環境性に優れていることが明らかとなっ
た。
実施例6 塩化金0.012gの代りに塩化第2銅(CuC1g)
0.14gを用いた以外は、実施例5と同様の方法によ
り銅酸化物超微粒子分散ガラス体を作成した。こうして
得られた超微粒子分散ガラス体は実施例うで得られた超
微粒子分散ガラス体同様に超微粒子が均一に分散したも
のであった。
このガラス体を厚さ150μmに研磨した試料について
250nm〜2000nmの範囲の波長に対する透過率
を測定した。この測定結果を第6図に示すと、750n
mと400nmより短波長の波長域で選択的に吸収が起
こっていることからカラーフィルターとして用いること
ができることが確認された。
実施例7 塩化金0.012gの代りに白金塩酸溶液0゜003g
相当白金量を用いた以外は、実施例5と同様の方法によ
り白金超微粒子分散ガラス体を作成した。こうして得ら
れたガラス体は実施例5で得られたガラス体と同様に超
微粒子が均一に分散したものであった。
このガラス体を厚さ150μmに研磨した試料について
25Or+m〜11000nの範囲の波長に対する透過
率を測定した。この測定結果を第7図に示すと、500
nmより短波長の波長域で選択的に吸収が起こっている
ことから、赤外線透過フィルターやカラーフィルターと
して用いることかできることが確認された。
[発明の効果] 以上の通り、本発明の超微粒子分散ガラスは、石英ガラ
スに粒径1μm以下の金属及び/又は金属酸化物の超微
粒子を分散させてなるので、耐熱性、化学的耐久性、耐
環境性等にすぐれているとともに、超微粒子中に不純物
が少ないので、高温及び/又は高湿状態においても使用
可能な赤外線透過フィルターやカラーフィルターとして
好ましく利用される。
また本発明の超微粒子分散ガラスの製造方法によれば、
上記のすぐれた性質を有する超微粒子分散ガラスを装置
上の問題もなく、低エネルギー使用量で生産性良く得る
ことができる。
また本発明の超微粒子分散ガラスの製造方法の好ましい
態様によれば、シランカップリング剤及び/又はジメチ
ルホルムアミドを用いることにより、ガラスマトリック
ス中の超微粒子の濃度分布の均一性を特に向上させるこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例1により得られたマンガン酸化
物超微粒子分散ガラスのX線回折ピークを示す図、 第2図は本発明の実施例1により得られたマンガン酸化
物超微粒子分散ガラスの透過率曲線を示す図、 第3図は本発明の実施例2により得られた、円板状のマ
ンガン酸化物超微粒子分散ガラスの厚さ方向及び横方向
のマンガン酸化物濃度分布を示す図、 第4図は本発明の実施例4により得られた金超微粒子分
散ガラスの透過率曲線を示す図、第5図は本発明の実施
例5により得られた、円筒状の金超微粒子分散ガラスの
上方及び下方における全濃度分布を示す図、 第6図は本発明の実施例6により得られた銅酸化物超微
粒子分散ガラスの透過率曲線を示す図、第7図は本発明
の実施例7により得られた白金超微粒子分散ガラスの透
過率曲線を示す図である。 第3図 (b)

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)石英ガラスに粒径1μm以下の金属及び/又は金
    属酸化物の超微粒子を分散させてなることを特徴とする
    超微粒子分散ガラス。
  2. (2)アルキルシリケート及び/又はその加水分解物と
    、金属化合物とを含む水溶液を調製する第1工程と、 前記水溶液を加水分解及び脱水縮合処理することにより
    金属化合物含有シリカゲルとする第2工程と、 前記ゲルを加熱して金属化合物を金属及び/又は金属酸
    化物に分解し、次いで前記ゲルを焼結し、金属及び/又
    は金属酸化物の超微粒子を分散させた石英ガラスを得る
    第3工程と、 を含むことを特徴とする、請求項(1)に記載された超
    微粒子分散ガラスの製造方法。
  3. (3)前記第1工程において調製される水溶液が更にシ
    ランカップリング剤及び/又はジメチルホルムアミドを
    含む、請求項(2)に記載の超微粒子分散ガラスの製造
    方法。
JP23186089A 1988-11-18 1989-09-07 超微粒子分散ガラス及びその製造方法 Pending JPH02225342A (ja)

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JP29211588 1988-11-18
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06183782A (ja) * 1992-10-22 1994-07-05 Mitsuboshi Belting Ltd 超微粒子分散ガラス状物とその製造方法
JP2007269599A (ja) * 2006-03-31 2007-10-18 Toshiba Corp 金属とセラミックの複合体及びその製造方法、並びに、電子注入型屈折率変化素子及びその製造方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06183782A (ja) * 1992-10-22 1994-07-05 Mitsuboshi Belting Ltd 超微粒子分散ガラス状物とその製造方法
JP2007269599A (ja) * 2006-03-31 2007-10-18 Toshiba Corp 金属とセラミックの複合体及びその製造方法、並びに、電子注入型屈折率変化素子及びその製造方法

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