JPH0222597U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0222597U JPH0222597U JP10027988U JP10027988U JPH0222597U JP H0222597 U JPH0222597 U JP H0222597U JP 10027988 U JP10027988 U JP 10027988U JP 10027988 U JP10027988 U JP 10027988U JP H0222597 U JPH0222597 U JP H0222597U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heater
- ceramic molded
- combination piece
- horizontal
- insulating material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 2
- 238000002791 soaking Methods 0.000 claims description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 1
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- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 229910052845 zircon Inorganic materials 0.000 description 1
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Landscapes
- Resistance Heating (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Furnace Details (AREA)
Description
第１図は本考案成形ヒータの一実施例の構成を
一部を破断して示した側面図、第２図はその横断
面図、第３図は同じくその要部の側断面図、第４
図は従来成形ヒータの一例の構成を一部を破断し
て示した側面図、第５図はその横断面図、第６図
は同じくその一部の側断面図である。 １……ヒータエレメント、２……ヒータ内面（
ジルコン）コート、３……セラミツクフアイバー
ブロツク、４……断熱材、５……ヒータ端板、１
０……均熱管保持用組合せピース、１１……段差
。
一部を破断して示した側面図、第２図はその横断
面図、第３図は同じくその要部の側断面図、第４
図は従来成形ヒータの一例の構成を一部を破断し
て示した側面図、第５図はその横断面図、第６図
は同じくその一部の側断面図である。 １……ヒータエレメント、２……ヒータ内面（
ジルコン）コート、３……セラミツクフアイバー
ブロツク、４……断熱材、５……ヒータ端板、１
０……均熱管保持用組合せピース、１１……段差
。
Claims (1)
- 横形半導体製造装置に使用されるセラミツク成
形ヒータ内部下面に、高絶縁物製の均熱管保持用
組合せピース１０を配置すると共にヒータ端板５
に段差１１を設け、ヒータ内面コート２上に組合
せピース１０とこの段差１１とで均熱管を保持せ
しめてなる横形セラミツク成形ヒータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10027988U JPH0222597U (ja) | 1988-07-27 | 1988-07-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10027988U JPH0222597U (ja) | 1988-07-27 | 1988-07-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0222597U true JPH0222597U (ja) | 1990-02-15 |
Family
ID=31328219
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10027988U Pending JPH0222597U (ja) | 1988-07-27 | 1988-07-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0222597U (ja) |
-
1988
- 1988-07-27 JP JP10027988U patent/JPH0222597U/ja active Pending