JPH02226598A - メモリlsiソフトエラー試験方法 - Google Patents
メモリlsiソフトエラー試験方法Info
- Publication number
- JPH02226598A JPH02226598A JP1047164A JP4716489A JPH02226598A JP H02226598 A JPH02226598 A JP H02226598A JP 1047164 A JP1047164 A JP 1047164A JP 4716489 A JP4716489 A JP 4716489A JP H02226598 A JPH02226598 A JP H02226598A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- address
- lsi
- memory lsi
- software error
- bit line
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 abstract description 2
- 230000005260 alpha ray Effects 0.000 description 4
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はメモリLSIソフトエラー試験方法に関する。
DRAMでは、そのメモリセルの情報はコンデンサの容
量として蓄えられているが、α粒子がメモリセル付近に
侵入すると、多量の負電荷がメモリセル内に入り込み、
セルのhighの内容を壊してしまう。
量として蓄えられているが、α粒子がメモリセル付近に
侵入すると、多量の負電荷がメモリセル内に入り込み、
セルのhighの内容を壊してしまう。
このような事態に陥いらないための殻少の蓄積電荷量は
約0.2PCであり、メモリセルのコンデンサ容量は最
少でも約40fFを持つ必要がある。
約0.2PCであり、メモリセルのコンデンサ容量は最
少でも約40fFを持つ必要がある。
α線ソフトエラーには普通2種類のエラーモードがある
ことが知られている。
ことが知られている。
〕つは、上述したメモリセルのコンデンサ容量に直接関
係したエラーモード(セルモード)であり、もう1つは
、メモリLSIの読出しのためのセンスアンプを活性化
している時に、ビット線にα粒子が当ってセンスすべき
電荷量の差にノイズを与えるためエラーを生ずる(ビッ
ト線モード)である。
係したエラーモード(セルモード)であり、もう1つは
、メモリLSIの読出しのためのセンスアンプを活性化
している時に、ビット線にα粒子が当ってセンスすべき
電荷量の差にノイズを与えるためエラーを生ずる(ビッ
ト線モード)である。
これらの2つのエラーモードの切り分は方は、セルモー
ドでは、情報の反転がセルhighの時しか起らないが
、ビット線モードでは、セルhigh/lowのどちら
でも生ずる点と、メモリLSIの動作周波数に依存に関
し、ビット線モ−ドでは周波数に対しエラー率は比例し
て増えるが、セルモードでは周波数依存性がない点であ
る。
ドでは、情報の反転がセルhighの時しか起らないが
、ビット線モードでは、セルhigh/lowのどちら
でも生ずる点と、メモリLSIの動作周波数に依存に関
し、ビット線モ−ドでは周波数に対しエラー率は比例し
て増えるが、セルモードでは周波数依存性がない点であ
る。
このため、メモリLSIのα線ソフトエラーの評価にお
いては、セルモードとビット線モードの2つに注目して
行なう必要がある。
いては、セルモードとビット線モードの2つに注目して
行なう必要がある。
従来、セルモードに関しては、いろいろな試験方法が考
えられている。
えられている。
例えば、DRAMの場合、セルモードがセルhighの
時しか起らないため、全セルの情報をh i g hレ
ベルに書込んで、READのみN回繰り返す方法が最悪
と考えられている。
時しか起らないため、全セルの情報をh i g hレ
ベルに書込んで、READのみN回繰り返す方法が最悪
と考えられている。
しかしながら、ビット線モードについては、単に周波数
依存性をみるだけの試験しかなされておらず、ビット線
モードについての効果的な試験が充分性なわれていると
は言い難い。
依存性をみるだけの試験しかなされておらず、ビット線
モードについての効果的な試験が充分性なわれていると
は言い難い。
次に従来のメモリLSIソフトエラー試験方法について
図面を参照して詳細に説明する。
図面を参照して詳細に説明する。
第3図は従来のメモリLSIソフトエラー試験方法の一
例を説明するためのタイムチャートであり、アドレス信
号波形の状態を示している。
例を説明するためのタイムチャートであり、アドレス信
号波形の状態を示している。
アドレス切替点2は、アドレス入力信号1の情報切替ポ
イントであり、メモリLSIの他のアドレス指定番地へ
アクセスが移っているポイントである。
イントであり、メモリLSIの他のアドレス指定番地へ
アクセスが移っているポイントである。
危険区間3は、サイクルタイム4中におけるアドレス切
替点2を含んだ狭い区間を示している。
替点2を含んだ狭い区間を示している。
アドレス切替点2付近はメモリLSIにとってα線ソフ
トエラーに対して極めて危険な区間である。
トエラーに対して極めて危険な区間である。
それは、アドレスの切換が起ると、別のアドレスの読出
しが始り、そのアドレスの情報データがメモリLSIの
ピッI−線を通じて微小な電位差がセンシングされてい
るタイミングであり、この時α線によるノイズ電荷が発
生すると、センシングの誤動作が起り、メモリセル情報
の反転が生じるからである。
しが始り、そのアドレスの情報データがメモリLSIの
ピッI−線を通じて微小な電位差がセンシングされてい
るタイミングであり、この時α線によるノイズ電荷が発
生すると、センシングの誤動作が起り、メモリセル情報
の反転が生じるからである。
したがって、この危険区間3を如何に小さくできるかが
メモリLSIにとってのソフトエラー耐力向上の鍵とな
っている。
メモリLSIにとってのソフトエラー耐力向上の鍵とな
っている。
ビット線モードにおいては、サイクルタイム4中の危険
区間3は一定であるので、ソフトエラー率は第4図に示
すようにサイクルタイム4に反比例することになる。
区間3は一定であるので、ソフトエラー率は第4図に示
すようにサイクルタイム4に反比例することになる。
上述した従来のメモリLSIソフトエラー試験方法は、
ビット線モードの最悪条件を意識した試験となっておら
ないという欠点があった。
ビット線モードの最悪条件を意識した試験となっておら
ないという欠点があった。
本発明のメモリLSIソフトエラー試験方法は、被試@
LSIの最大動作周波数のもとで、複数本からなるアド
レス入力およびデータ入力に対し任意のズレを与え、1
回の全セル書込み後多数回の全セル読出し動作を継続す
る。
LSIの最大動作周波数のもとで、複数本からなるアド
レス入力およびデータ入力に対し任意のズレを与え、1
回の全セル書込み後多数回の全セル読出し動作を継続す
る。
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第1図は本発明の一実施例を説明するためのタイムチャ
ートである。
ートである。
アドレス切替点2は、各アドレス人力AO〜Al毎にズ
ラしている。
ラしている。
こうすることにより、次の指定されるアドレスまでに過
渡的なアドレスが別々にアクセスされる状態が発生する
。これは、情報データのセンシング期間が、それだけ長
くなったことに相当し、危険期間3は最も早いアドレス
の切換えポイントと最も遅いアドレスの切換えポイント
を含んだ期間となり、サイクルタイム4中に占る時間は
かなり長いものとなる。
渡的なアドレスが別々にアクセスされる状態が発生する
。これは、情報データのセンシング期間が、それだけ長
くなったことに相当し、危険期間3は最も早いアドレス
の切換えポイントと最も遅いアドレスの切換えポイント
を含んだ期間となり、サイクルタイム4中に占る時間は
かなり長いものとなる。
こういうアドレスの切換えのズレ(スキュー)を任意に
与えることにより、ワースト条件でのビット線モードの
ソフトエラー試験が可能となる。
与えることにより、ワースト条件でのビット線モードの
ソフトエラー試験が可能となる。
本来、メモリLSIを使用した装置において、アドレス
スキューは最大値が設計上背っており、無制限にスキュ
ー値が大きくなることはない。
スキューは最大値が設計上背っており、無制限にスキュ
ー値が大きくなることはない。
こういう点を考慮すれば、第2図の如くOスキューと最
大スキューとの間にワーストスキュー幅というものが存
在する筈である。このポイントがビット線モードでのソ
フトエラー最悪条件と考えられる。
大スキューとの間にワーストスキュー幅というものが存
在する筈である。このポイントがビット線モードでのソ
フトエラー最悪条件と考えられる。
アドレススキニーをコントロールする方法は、さまざま
なやり方が考えられる。
なやり方が考えられる。
例えば、メモリLSIテストシステムなら、各アドレス
信号を別々のテスタクロックに割当ててもよいし、また
はテストシステムがスキュー補正回路を有しているなら
ば、逆にそのスキュー補正回路を逆用(スキューを拡げ
る方向)してスキューを発生させることもできる。
信号を別々のテスタクロックに割当ててもよいし、また
はテストシステムがスキュー補正回路を有しているなら
ば、逆にそのスキュー補正回路を逆用(スキューを拡げ
る方向)してスキューを発生させることもできる。
本発明のメモリLSIソフトエラー試験方法は、メモリ
LSIのアドレスやデータ入力信号波形にズレを生じさ
せることにより、α線ソフトエラーのビット線モード試
験に対してのワーストテスト条件を与えることができる
という効果がある。
LSIのアドレスやデータ入力信号波形にズレを生じさ
せることにより、α線ソフトエラーのビット線モード試
験に対してのワーストテスト条件を与えることができる
という効果がある。
キュー幅とエラービット数の関係を示すグラフ、第3図
は従来の一例を説明するためのタイムチャート、第4図
はサイクルタイムとエラービット数の関係を示すグラフ
である。
は従来の一例を説明するためのタイムチャート、第4図
はサイクルタイムとエラービット数の関係を示すグラフ
である。
1・・・・・・アドレス入力信号、2・・・・・・アド
レス切替点、3・・・・・・危険区間、4・・・・・・
サイクルタイム。
レス切替点、3・・・・・・危険区間、4・・・・・・
サイクルタイム。
代理人 弁理士 内 原 晋
第1図は本発明の一実施例を説明するためのタイムチャ
ート、第2図は第1図に示すアドレス信号ご 図 第 4 図 フイクルヱム
ート、第2図は第1図に示すアドレス信号ご 図 第 4 図 フイクルヱム
Claims (1)
- 被試験LSIの最大動作周波数のもとで、複数本からな
るアドレス入力およびデータ入力に対し任意のズレを与
え、1回の全セル書込み後多数回の全セル読出し動作を
継続することを特徴とするメモリLSIソフトエラー試
験方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1047164A JPH02226598A (ja) | 1989-02-27 | 1989-02-27 | メモリlsiソフトエラー試験方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1047164A JPH02226598A (ja) | 1989-02-27 | 1989-02-27 | メモリlsiソフトエラー試験方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02226598A true JPH02226598A (ja) | 1990-09-10 |
Family
ID=12767432
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1047164A Pending JPH02226598A (ja) | 1989-02-27 | 1989-02-27 | メモリlsiソフトエラー試験方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02226598A (ja) |
-
1989
- 1989-02-27 JP JP1047164A patent/JPH02226598A/ja active Pending
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