JPH02227618A - 直結駆動高速揺動回折格子付き分光計 - Google Patents
直結駆動高速揺動回折格子付き分光計Info
- Publication number
- JPH02227618A JPH02227618A JP2000347A JP34790A JPH02227618A JP H02227618 A JPH02227618 A JP H02227618A JP 2000347 A JP2000347 A JP 2000347A JP 34790 A JP34790 A JP 34790A JP H02227618 A JPH02227618 A JP H02227618A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- motor
- diffraction grating
- grating
- counter
- speed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 25
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims abstract description 19
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims abstract description 12
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 4
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 claims 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 11
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 9
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000004044 response Effects 0.000 description 5
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 3
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 2
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 102100025490 Slit homolog 1 protein Human genes 0.000 description 1
- 101710123186 Slit homolog 1 protein Proteins 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000012417 linear regression Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000011435 rock Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/06—Scanning arrangements arrangements for order-selection
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
- H02P7/00—Arrangements for regulating or controlling the speed or torque of electric DC motors
- H02P7/03—Arrangements for regulating or controlling the speed or torque of electric DC motors for controlling the direction of rotation of DC motors
- H02P7/04—Arrangements for regulating or controlling the speed or torque of electric DC motors for controlling the direction of rotation of DC motors by means of a H-bridge circuit
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/06—Scanning arrangements arrangements for order-selection
- G01J2003/062—Scanning arrangements arrangements for order-selection motor-driven
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J2003/1213—Filters in general, e.g. dichroic, band
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J2003/1273—Order selection
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はサンプルを狭波長帯域光により解析するように
設計された光学装置に関し、更に詳しくは、光の狭波長
帯域が高周期率で揺動する回折格子を有する分光計によ
って発生するシステムに関する。（従来の技術およびそ
の間朋点）本発明の一般的なタイプの装置は、ランダ特
許（米国特許）第４．２８４．２０５号に開示されてい
る。この特許に開示されているように、受光をスペクト
ルに分散する光回折格子は、共役カムにより高周期率で
揺動する。共役カムは、高周期率で揺動を達成するだけ
なく、回折格子を入力軸の回転の各等増分について波長
の等増分を回転させるカム機構に、入力駆動軸に対して
回折格子の回転をも与える。したがって、等増分ごとに
分光計から目盛りを読み取ることにより、サンプルから
の目盛りが等波長増分、例えば、２ナノメートル増分ご
とに得られる。
設計された光学装置に関し、更に詳しくは、光の狭波長
帯域が高周期率で揺動する回折格子を有する分光計によ
って発生するシステムに関する。（従来の技術およびそ
の間朋点）本発明の一般的なタイプの装置は、ランダ特
許（米国特許）第４．２８４．２０５号に開示されてい
る。この特許に開示されているように、受光をスペクト
ルに分散する光回折格子は、共役カムにより高周期率で
揺動する。共役カムは、高周期率で揺動を達成するだけ
なく、回折格子を入力軸の回転の各等増分について波長
の等増分を回転させるカム機構に、入力駆動軸に対して
回折格子の回転をも与える。したがって、等増分ごとに
分光計から目盛りを読み取ることにより、サンプルから
の目盛りが等波長増分、例えば、２ナノメートル増分ご
とに得られる。
上記装置は、効果的な光解析装置であるが、共役カムが
高価な機構であるという欠点、および、装置を初期設定
するときにカムを正確に調節するのに比較的骨の折れる
手順が必要とされるという欠点を有する。また、カム機
構には必ず遊びがあり、その結果、ランダ特許の装置に
よって行われた測定は、正確に繰り返すことができない
。この反復性の欠如は、カム機構内のベアリングが装置
の使用と共に摩耗するにつれて悪くなる。また、カム機
構は、装置の重さとサイズを増加する大きなモーターを
必要とした。また、カム機構は、装置の使用中に大量の
ノイズを発生する。
高価な機構であるという欠点、および、装置を初期設定
するときにカムを正確に調節するのに比較的骨の折れる
手順が必要とされるという欠点を有する。また、カム機
構には必ず遊びがあり、その結果、ランダ特許の装置に
よって行われた測定は、正確に繰り返すことができない
。この反復性の欠如は、カム機構内のベアリングが装置
の使用と共に摩耗するにつれて悪くなる。また、カム機
構は、装置の重さとサイズを増加する大きなモーターを
必要とした。また、カム機構は、装置の使用中に大量の
ノイズを発生する。
そこで本発明は、カム機構を除去することにより、前述
の装置の上記欠点の全てを克服できる光学装置を提供す
ることを目的とした。
の装置の上記欠点の全てを克服できる光学装置を提供す
ることを目的とした。
（間朋点を酵決するための手段）
前記目的を達成するために、本発明に係る光学測定は、
揺動するように設けられた光回折格子と、光放射線をス
ペクトルに分散するために前記回折格子を光放射線で照
明するための手段と、前記回折格子によって分散された
スペクトルの挟帯域幅を受け取るための手段と、モータ
ーと前記回折格子とが一個として回転するように前記回
折格子に固定されたローターを有するモーターと、前記
回折格子を揺動し、前記受け取り手段により受け取られ
る挟波長帯域を前記スペクトルを介して精査するために
前記ローターが揺動するように前記モーターを作動させ
るためのモーター制御手段と、からなることを特徴する
。
揺動するように設けられた光回折格子と、光放射線をス
ペクトルに分散するために前記回折格子を光放射線で照
明するための手段と、前記回折格子によって分散された
スペクトルの挟帯域幅を受け取るための手段と、モータ
ーと前記回折格子とが一個として回転するように前記回
折格子に固定されたローターを有するモーターと、前記
回折格子を揺動し、前記受け取り手段により受け取られ
る挟波長帯域を前記スペクトルを介して精査するために
前記ローターが揺動するように前記モーターを作動させ
るためのモーター制御手段と、からなることを特徴する
。
（作用）
本発明にしたがって、モーター軸は、回折格子が１ｔｆ
ｆｉされる軸に直接連結される。高速揺動は、モーター
をモーター速度によって制御されるデユーティ−サイク
ルを有するパルス変調器で駆動することにより達成され
る。モーターが駆動される方向は、モーターの回線に与
えられるパルス変調された信号の極性によって制御され
る。回折格子は、モーターにより限界点の間で急速で揺
動される。回折格子が限界点の一つに到達するごとに、
回線に対するパルス駆動の極性が逆になり、モーター速
度に応じたパルス変調の制御により、モーターが限界点
の一つでの各角速度の逆転後に所望角速度に素早く加速
させる。その結果、高速揺動が、回折格子が逆転する限
界点の間で一定の用事の回転で達成される。ランダ特許
の装置におけると同様に、回折格子の揺動の多数の周期
にわたって目盛りが読み取られて平均される。しかしな
がら、本発明の装置においては、等波長増分ごとに目盛
りを読み取る代わりに、各等増分についての平均値を得
るために等角増分ごとに目盛りが読み取られる。その後
、等波長増分ごとに対応する値が、等角増分ごとに平均
値間で補間することにより決定される。
ｆｉされる軸に直接連結される。高速揺動は、モーター
をモーター速度によって制御されるデユーティ−サイク
ルを有するパルス変調器で駆動することにより達成され
る。モーターが駆動される方向は、モーターの回線に与
えられるパルス変調された信号の極性によって制御され
る。回折格子は、モーターにより限界点の間で急速で揺
動される。回折格子が限界点の一つに到達するごとに、
回線に対するパルス駆動の極性が逆になり、モーター速
度に応じたパルス変調の制御により、モーターが限界点
の一つでの各角速度の逆転後に所望角速度に素早く加速
させる。その結果、高速揺動が、回折格子が逆転する限
界点の間で一定の用事の回転で達成される。ランダ特許
の装置におけると同様に、回折格子の揺動の多数の周期
にわたって目盛りが読み取られて平均される。しかしな
がら、本発明の装置においては、等波長増分ごとに目盛
りを読み取る代わりに、各等増分についての平均値を得
るために等角増分ごとに目盛りが読み取られる。その後
、等波長増分ごとに対応する値が、等角増分ごとに平均
値間で補間することにより決定される。
本発明のシステムは回折格子を高速で揺動させるための
カム機構を使用しないので、カム機構の欠点が回避され
る。また、速度制御システムが各方向の逆転後に回折格
子を所望速度に急速に加速するので、装置のよい性能を
維持するために回折格子の回転の最大角率を十分に小さ
く維持しながら、高率の揺動を得ることができる。
カム機構を使用しないので、カム機構の欠点が回避され
る。また、速度制御システムが各方向の逆転後に回折格
子を所望速度に急速に加速するので、装置のよい性能を
維持するために回折格子の回転の最大角率を十分に小さ
く維持しながら、高率の揺動を得ることができる。
（実施例）
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図に示されるように、本発明のシステムは、ランダ
特許（米国特許）第４．２６４．２０５号に開示されて
いる分光光度計と類似している分光光度計１１からなる
。分光光度計１１は、その分光計チャンバー内に揺動す
るように設けられた光反射回折格子１３を有する。回折
格子１３は、入口スリット１４を介して光を受け取り、
反射し、その受光を出口スリット１６を超えて伸びてい
るスペクトルに分散する。回折格子１３が揺動するにつ
れて、出口スリット１６を通過している狭帯域の波長が
スペクトルを介して精査される。出口スリット１６を通
過している光は、出ロスリットオプティクス１８により
受光され、解析されることになるサンプル２０上に導か
れる。サンプル２０からの反射光は、光検出器２２によ
り検出され、光検出器２２はサンプルからの反射の強度
に対応する出力信号を出口スリットを介して伝達されて
いる波長で発生する。光検出器出力信号は増幅器２４に
より増幅され、増幅器出力信号の連続サンプルはＡＤ変
換器２６によりデジタル値に変換され、ＡＤ変換器２６
はそのデジタル値をコンピューター４７に供給し、コン
ピューター４７においてデジタル値が解析される。
特許（米国特許）第４．２６４．２０５号に開示されて
いる分光光度計と類似している分光光度計１１からなる
。分光光度計１１は、その分光計チャンバー内に揺動す
るように設けられた光反射回折格子１３を有する。回折
格子１３は、入口スリット１４を介して光を受け取り、
反射し、その受光を出口スリット１６を超えて伸びてい
るスペクトルに分散する。回折格子１３が揺動するにつ
れて、出口スリット１６を通過している狭帯域の波長が
スペクトルを介して精査される。出口スリット１６を通
過している光は、出ロスリットオプティクス１８により
受光され、解析されることになるサンプル２０上に導か
れる。サンプル２０からの反射光は、光検出器２２によ
り検出され、光検出器２２はサンプルからの反射の強度
に対応する出力信号を出口スリットを介して伝達されて
いる波長で発生する。光検出器出力信号は増幅器２４に
より増幅され、増幅器出力信号の連続サンプルはＡＤ変
換器２６によりデジタル値に変換され、ＡＤ変換器２６
はそのデジタル値をコンピューター４７に供給し、コン
ピューター４７においてデジタル値が解析される。
第２図に示されるように、光反射回折格子１３は分光光
度計チャンバー内でモーター１７により直接駆動される
軸１５に揺動できるように固定され、モーター１７は、
回折格子を高い率、好ましくは１秒間につき０． ５周
期以上、および１秒間につき少なく己も０． １周期で
揺動するように作動する。モーター１７のローター、軸
１５および回折格子１３は、一体として揺動するように
固定されている。モーター１７は、揺動出力を発生する
ように段重され、単一磁石コイルにより駆動される永久
磁石ローターからなり、コイルにより駆動される軸１５
の回転方向はコイルの作動方向に依存している。また、
モーター１７は従来のＤＣモーターであってもよい。軸
１５に固定されたエンコーダ１９は、矩形波形の形状の
２重チャンネル出力信号を二つのチャンネルに発生し、
その相対的位相は軸１５の回転方向に依存している。矩
形波形は、それぞれ５０％のデユーティ−サイクルを有
する。
度計チャンバー内でモーター１７により直接駆動される
軸１５に揺動できるように固定され、モーター１７は、
回折格子を高い率、好ましくは１秒間につき０． ５周
期以上、および１秒間につき少なく己も０． １周期で
揺動するように作動する。モーター１７のローター、軸
１５および回折格子１３は、一体として揺動するように
固定されている。モーター１７は、揺動出力を発生する
ように段重され、単一磁石コイルにより駆動される永久
磁石ローターからなり、コイルにより駆動される軸１５
の回転方向はコイルの作動方向に依存している。また、
モーター１７は従来のＤＣモーターであってもよい。軸
１５に固定されたエンコーダ１９は、矩形波形の形状の
２重チャンネル出力信号を二つのチャンネルに発生し、
その相対的位相は軸１５の回転方向に依存している。矩
形波形は、それぞれ５０％のデユーティ−サイクルを有
する。
第３図に示されるように、エンコーダ１９によって発生
した矩形波形はチャンネル２３を介して位相ディコーダ
２５に供給され、ディコーダ２５はチャンネル２３の各
矩形波形の各上昇および下降時間について狭出力パルス
トレインを出力チャンネル２７に発生する。位相ディコ
ーダ２５は、チャンネル２３の信号の相対的位相に対応
し、回折格子１３の回転方向を示している第２出力信号
をチャンネル２９に発生する。チャンネル２７のパルス
およびチャンネル２９の信号はカウンター３１に供給さ
れ、カウンター３１は、チャンネル２９の信号が一方向
の回転を示すときにチャンネル２７のパルスに応じて一
方向にカウントし、チャンネル２９の信号が反対方向の
回転を示すときにチャンネル２７のパルスに応じて反対
方向にカウントする。また、ディコーダ１９は、軸１５
が基準位置を通過するごとにカウンター３１を基準値に
再設定するために出力パルスを発生する。その結果、カ
ウンター３１のカウントは回折格子１３の角位置を示す
ことになる。また、チャンネル２７で発生した出力パル
スはカウンター３５のリセット入力に供給され、カウン
ター３５は高周波数パルスをクロックパルスソース３７
から受信する。カウンター３５はクロックパルスソース
３７からのパルスを数え、クロックパルスソース３７は
カウンター３５によって位相ディコーダ２５から受信さ
れた周波数より高い周波数でパルスを発生する。
した矩形波形はチャンネル２３を介して位相ディコーダ
２５に供給され、ディコーダ２５はチャンネル２３の各
矩形波形の各上昇および下降時間について狭出力パルス
トレインを出力チャンネル２７に発生する。位相ディコ
ーダ２５は、チャンネル２３の信号の相対的位相に対応
し、回折格子１３の回転方向を示している第２出力信号
をチャンネル２９に発生する。チャンネル２７のパルス
およびチャンネル２９の信号はカウンター３１に供給さ
れ、カウンター３１は、チャンネル２９の信号が一方向
の回転を示すときにチャンネル２７のパルスに応じて一
方向にカウントし、チャンネル２９の信号が反対方向の
回転を示すときにチャンネル２７のパルスに応じて反対
方向にカウントする。また、ディコーダ１９は、軸１５
が基準位置を通過するごとにカウンター３１を基準値に
再設定するために出力パルスを発生する。その結果、カ
ウンター３１のカウントは回折格子１３の角位置を示す
ことになる。また、チャンネル２７で発生した出力パル
スはカウンター３５のリセット入力に供給され、カウン
ター３５は高周波数パルスをクロックパルスソース３７
から受信する。カウンター３５はクロックパルスソース
３７からのパルスを数え、クロックパルスソース３７は
カウンター３５によって位相ディコーダ２５から受信さ
れた周波数より高い周波数でパルスを発生する。
カウンター３５は、位相ディコーダ２５からパルスを受
信するごとにゼロにリセットされ、位相デイコーダ２５
から受信される次のパルスによってリセットされ名とき
に、軸１５の回転速度に反比例するカウントまで数える
。カウンター３５がリセットされるごとに、カウンター
３５に登録されたカウントはレジスター３９に伝達され
、レジスター３９は位相ディコーダ２５からのチャンネ
ル２７のパルスに応じて数を登録する。したがって、レ
ジスター３９のデジタル値は、カウンター３５がリセッ
トされるときに軸１５の回転速度と反比例して変化する
値であり、レジスター３９のこの値はチャンネル２７の
パルストレインによってしめされるエンコーダ１９から
の各増分出力で更新される。レジスター３９のデジタル
値はＤＡ変換器４１に供給され、変換器４１は軸１５の
回転の角速度と反比例して変化する出力アナログ信号電
圧を発生し、このアナログ信号電圧をパルス幅変調器４
３に供給する。また、パルス幅変調器４３は、駆動され
ることになる軸１５の目標速度を表しているアナログ信
号電圧をもＤＡ変換器４５から受信する。ＤＡ変換器４
５は、目標速度を表しているデジタル信号をレジスター
４６から受信し、受信デジタル信号に対応するアナログ
信号をパルス幅変調器４３に供給゛する。レジスター４
６は、コンピューター４７により目標速度を表している
値にセットされる。パルス幅変調器４３は、ユニトロド
積分回路社（Ｕｎｉｔｒｏｄｅ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ
Ｃ１ｒｃｕｉｔｓ）により販売されている０ｆｆ−ｔ
ｈｅ−ｓｈｅｌｆ積分回路で、モデルＮｏ、ＬＪＣ１６
３７のＤＣモーター駆動用のスイッチモードコントロー
ラーとしての変調器である。パルス幅変調器４３は、Ｄ
Ａ変換器４５から受信されたアナログ信号とＤＡ変換器
４１から受信されたアナログ信号との差に対応するデユ
ーティ−サイクルを有する出力パルストレインを発生し
、デユーティ−サイクルはＤＡ変換器４１の出力信号と
直接変化する。軸１５の速度はＤＡ変換器４１の出力信
号に対応減少を生じながら増加するので、パルス幅変調
器４３によって発生した出力パルストレインのデユーテ
ィ−サイクルは減少する。軸１５の速度はＤＡ変換器４
１の出力信号に対応増加を生じながら減少するので、パ
ルス幅変調器４３によって発生した出力パルストレイン
のデュニティーサイクルは増加する。パルス幅変調器４
３からの出力信号トレインは、Ｈ−ドライブ回路４９を
介してモーター１７のコイル２１に供給され、供給され
たパルストレインにしたがってモータートルクを制御す
る。Ｈ−ドライブ回路４９は、パルストレインがコイル
２２に与えられる方向または極性を制御し、したがって
コイル２１の作動によりモーター１７が駆動されること
になる方向を制御する。Ｈ−ドライブ４９は、フリップ
−フロップ５１によって制御され、フリップ−７０ツブ
５１はデジタル比較器５４と５６およびレジスター５８
と６０を介してコンピューター４７とカウンター３１に
よって制御される。コンピューター４７は、回折格子１
３がモーター１７により角限界点の間で揺動することに
なるその角限界点を表すデジタル値をレジスター５８と
６０に設定する。これらのデジタル値は、カウンター３
１のカウントが回折格子１３の角位置を表すのと同じ単
位で同じ角基準点である。カウンター３１に登録された
カウントはデジタル比較器５４と５６に与えられ、比較
器５４と５６はそれぞれレジスター５８と６０からデジ
タル値を受信するように連結さている。揺動回折格子１
３が、揺動の限界点の間で時計方向に回転しながら、レ
ジスター５８の値により表された限界点に到達したとき
に、デジタル比較器５４がこの限界点を検出しフリップ
−フロップ５１に信号を供給し、フリップ−フロップ５
１は反時計方向の回転を引き起こす状態にスイッチし、
したがってＨ−ドライブ４９がコイル２１に与えられた
パルストレインの極性を逆転する。その結果、Ｈ−ドラ
イブ４９はモーター１７を逆方向に駆動し始める。同様
な方法で、揺動回折格子１３が、揺動の限界点の間で反
時計方向に回転しながら、レジスター６０の値により表
された限界点に到達したときに、デジタル比較器５６は
フリップ−フロップ５１を時計方向の回転を引き起こす
状態にスイッチし、したがってモーター１７の方向が逆
転する。このような方法で、回折格子１３はコンピュー
ター４７によって決定された限界点の間で揺動する。単
にレジスター５８とｄＯにおける値を変えることにより
、揺動の限界点、したがって精査されるスペクトルの部
分を変化させることができる。
信するごとにゼロにリセットされ、位相デイコーダ２５
から受信される次のパルスによってリセットされ名とき
に、軸１５の回転速度に反比例するカウントまで数える
。カウンター３５がリセットされるごとに、カウンター
３５に登録されたカウントはレジスター３９に伝達され
、レジスター３９は位相ディコーダ２５からのチャンネ
ル２７のパルスに応じて数を登録する。したがって、レ
ジスター３９のデジタル値は、カウンター３５がリセッ
トされるときに軸１５の回転速度と反比例して変化する
値であり、レジスター３９のこの値はチャンネル２７の
パルストレインによってしめされるエンコーダ１９から
の各増分出力で更新される。レジスター３９のデジタル
値はＤＡ変換器４１に供給され、変換器４１は軸１５の
回転の角速度と反比例して変化する出力アナログ信号電
圧を発生し、このアナログ信号電圧をパルス幅変調器４
３に供給する。また、パルス幅変調器４３は、駆動され
ることになる軸１５の目標速度を表しているアナログ信
号電圧をもＤＡ変換器４５から受信する。ＤＡ変換器４
５は、目標速度を表しているデジタル信号をレジスター
４６から受信し、受信デジタル信号に対応するアナログ
信号をパルス幅変調器４３に供給゛する。レジスター４
６は、コンピューター４７により目標速度を表している
値にセットされる。パルス幅変調器４３は、ユニトロド
積分回路社（Ｕｎｉｔｒｏｄｅ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ
Ｃ１ｒｃｕｉｔｓ）により販売されている０ｆｆ−ｔ
ｈｅ−ｓｈｅｌｆ積分回路で、モデルＮｏ、ＬＪＣ１６
３７のＤＣモーター駆動用のスイッチモードコントロー
ラーとしての変調器である。パルス幅変調器４３は、Ｄ
Ａ変換器４５から受信されたアナログ信号とＤＡ変換器
４１から受信されたアナログ信号との差に対応するデユ
ーティ−サイクルを有する出力パルストレインを発生し
、デユーティ−サイクルはＤＡ変換器４１の出力信号と
直接変化する。軸１５の速度はＤＡ変換器４１の出力信
号に対応減少を生じながら増加するので、パルス幅変調
器４３によって発生した出力パルストレインのデユーテ
ィ−サイクルは減少する。軸１５の速度はＤＡ変換器４
１の出力信号に対応増加を生じながら減少するので、パ
ルス幅変調器４３によって発生した出力パルストレイン
のデュニティーサイクルは増加する。パルス幅変調器４
３からの出力信号トレインは、Ｈ−ドライブ回路４９を
介してモーター１７のコイル２１に供給され、供給され
たパルストレインにしたがってモータートルクを制御す
る。Ｈ−ドライブ回路４９は、パルストレインがコイル
２２に与えられる方向または極性を制御し、したがって
コイル２１の作動によりモーター１７が駆動されること
になる方向を制御する。Ｈ−ドライブ４９は、フリップ
−フロップ５１によって制御され、フリップ−７０ツブ
５１はデジタル比較器５４と５６およびレジスター５８
と６０を介してコンピューター４７とカウンター３１に
よって制御される。コンピューター４７は、回折格子１
３がモーター１７により角限界点の間で揺動することに
なるその角限界点を表すデジタル値をレジスター５８と
６０に設定する。これらのデジタル値は、カウンター３
１のカウントが回折格子１３の角位置を表すのと同じ単
位で同じ角基準点である。カウンター３１に登録された
カウントはデジタル比較器５４と５６に与えられ、比較
器５４と５６はそれぞれレジスター５８と６０からデジ
タル値を受信するように連結さている。揺動回折格子１
３が、揺動の限界点の間で時計方向に回転しながら、レ
ジスター５８の値により表された限界点に到達したとき
に、デジタル比較器５４がこの限界点を検出しフリップ
−フロップ５１に信号を供給し、フリップ−フロップ５
１は反時計方向の回転を引き起こす状態にスイッチし、
したがってＨ−ドライブ４９がコイル２１に与えられた
パルストレインの極性を逆転する。その結果、Ｈ−ドラ
イブ４９はモーター１７を逆方向に駆動し始める。同様
な方法で、揺動回折格子１３が、揺動の限界点の間で反
時計方向に回転しながら、レジスター６０の値により表
された限界点に到達したときに、デジタル比較器５６は
フリップ−フロップ５１を時計方向の回転を引き起こす
状態にスイッチし、したがってモーター１７の方向が逆
転する。このような方法で、回折格子１３はコンピュー
ター４７によって決定された限界点の間で揺動する。単
にレジスター５８とｄＯにおける値を変えることにより
、揺動の限界点、したがって精査されるスペクトルの部
分を変化させることができる。
回折格子１３が方向を反対にすると、軸１５の回転速度
がゼロ速度となり、回折格子１３の方向の逆転直後に、
低速度がレジスター３９の対応する高デジタルナンバー
により示され、高デジタルナンバーがＤＡ変換器４１に
よりパルス幅変調器４３に与えられる。その結果、パル
ス幅変調器４３は、モーター１７を素早＜ＤＡ変換器４
５の出力信号によって示された目標値に加速するために
コイル２１を１００パーセントデユーティ−サイクルで
作動する。１００パーセントデユーティ−サイクルでは
、パルス幅変調器４５からの出力は、パルストレインで
はなくて、゛連続り、 Ｃ，動力である。回折格子１３
の角回転がレジスター４６に貯蔵されたデジタル値によ
り表された目標値に近付（につれて、レジスター３９の
デジタル値は減少し、ＤＡ変換器４１と４５から与えら
れたアナログ信号に応答しているパルス幅変調器４３は
、モーター１７のコイル２１に与えられたパルストレイ
ンのデユーティ−サイクルをＨ−ドライブ４９を介して
減少する。モーターの速度がレジスター３９に貯蔵され
たデジタル値により表された目標値に到達すると、与え
られたアナログ信号に応答しているパルス幅変調器４３
は、回折格子１３が受ける摩擦と空気抵抗を打ち勝ち回
転角速度を目標値で一定に維持するのにちょうど十分な
大きさのデユーティ−サイクルで、パルストレインを発
生する。このような方法で、回折格子１３の回転速度は
、回折格子の回転方向が逆転するごとに目標速度に素早
く駆動されて、回折格子が再び逆転されることになる角
位置に到達するまで、目標値に対応する一定速度で回転
し、その後サイクルが繰り返す。レジスター４６に設定
されている目標速度値を変えることにより、コンピュー
ターは、目標速度を変化させることができ、したがって
、０．６２５サイクル／秒と２１／２サイクル／秒との
間で揺動率を変化させることができる。揺動の周期率が
おそければ測定結果を改良するが、最も良い結集は０．
６２５サイクルで達成されるので、回折格子を０．□６
２５サイクル／秒以下で揺動させても利点はない。
がゼロ速度となり、回折格子１３の方向の逆転直後に、
低速度がレジスター３９の対応する高デジタルナンバー
により示され、高デジタルナンバーがＤＡ変換器４１に
よりパルス幅変調器４３に与えられる。その結果、パル
ス幅変調器４３は、モーター１７を素早＜ＤＡ変換器４
５の出力信号によって示された目標値に加速するために
コイル２１を１００パーセントデユーティ−サイクルで
作動する。１００パーセントデユーティ−サイクルでは
、パルス幅変調器４５からの出力は、パルストレインで
はなくて、゛連続り、 Ｃ，動力である。回折格子１３
の角回転がレジスター４６に貯蔵されたデジタル値によ
り表された目標値に近付（につれて、レジスター３９の
デジタル値は減少し、ＤＡ変換器４１と４５から与えら
れたアナログ信号に応答しているパルス幅変調器４３は
、モーター１７のコイル２１に与えられたパルストレイ
ンのデユーティ−サイクルをＨ−ドライブ４９を介して
減少する。モーターの速度がレジスター３９に貯蔵され
たデジタル値により表された目標値に到達すると、与え
られたアナログ信号に応答しているパルス幅変調器４３
は、回折格子１３が受ける摩擦と空気抵抗を打ち勝ち回
転角速度を目標値で一定に維持するのにちょうど十分な
大きさのデユーティ−サイクルで、パルストレインを発
生する。このような方法で、回折格子１３の回転速度は
、回折格子の回転方向が逆転するごとに目標速度に素早
く駆動されて、回折格子が再び逆転されることになる角
位置に到達するまで、目標値に対応する一定速度で回転
し、その後サイクルが繰り返す。レジスター４６に設定
されている目標速度値を変えることにより、コンピュー
ターは、目標速度を変化させることができ、したがって
、０．６２５サイクル／秒と２１／２サイクル／秒との
間で揺動率を変化させることができる。揺動の周期率が
おそければ測定結果を改良するが、最も良い結集は０．
６２５サイクルで達成されるので、回折格子を０．□６
２５サイクル／秒以下で揺動させても利点はない。
第２図に示されるように、フィルター載置板６１が分光
計１１のチャンバー内で出口スリット１６の近傍に旋回
可能に設けられている。フィルター載置板６１は、フィ
ルター板６３と６５を載置し、各フィルター板６３と６
５はそれぞれフィルターセグメント６３ａ、６３ｂと６
５ａ、６５ｂに分割されている。フィルター板６１は、
ステップモーター６７により５個の異なった位置に旋回
可能である。第２図に示される第１の位置においては、
載置板６１は、回折格子１３により分散されたスペクト
ルからの狭帯域が出口スリット１６を通過する前にフィ
ルターセグメント６３ｂを通過するように、フィルター
セグメント６３ｂを出口スリット１６の上に位置させる
。載置板６１の第２の位置においては、フィルターセグ
メント６３ａが出口スリット１６の上に位置する。第３
の位置においては、フィルターセグメント６５ｂが出口
スリット１６の上に位置し、第４の位置においては、フ
ィルターセグメント６５ａが出口スリット１６の上に位
置する。第５の位置においては、載置板６１の不透明セ
グメント６１ａが出口スリット１６を遮断する。運転中
、サンプルが１１００ナノメートルから２５００ナノメ
ートルまでの近赤外範囲の光で精査されているきは、フ
ィルターセグメント６３ａと６３ｂおよび不透明セグメ
ント６１ａのみが使用される。回折格子が１１００ナノ
メートルと２５００ナノメートルとの間で出口スリット
１６を通過しているスペクトルを精査しながら揺動する
ので、載置板６１は、フィルターセグメント６３ａと６
３ｂの−っを出口スリット１６の上に位置させるために
、最初に第１の位置に位置し、次にステップモーター６
７はセグメント６３ａと６３ｂの他方を出口ステップの
前に移動させるために板６１を旋回させる。フィルター
セグメント６３ａと６３ｂは、−次分散のみが出口スリ
ット１６を通過するように、高次分散を出口スリット１
６を通過している光から除去するように機能子る。二つ
のフィルターセグメントが必要とされる理由は、二次分
散が一次分散の波長の半分であり、その結果、例えば、
−次分散の２４００ナノメートルが出口スリットを介し
て伝達されているとき、１２００ナノメートルでの二次
分散の光も出口スリットに導かれるがらである。
計１１のチャンバー内で出口スリット１６の近傍に旋回
可能に設けられている。フィルター載置板６１は、フィ
ルター板６３と６５を載置し、各フィルター板６３と６
５はそれぞれフィルターセグメント６３ａ、６３ｂと６
５ａ、６５ｂに分割されている。フィルター板６１は、
ステップモーター６７により５個の異なった位置に旋回
可能である。第２図に示される第１の位置においては、
載置板６１は、回折格子１３により分散されたスペクト
ルからの狭帯域が出口スリット１６を通過する前にフィ
ルターセグメント６３ｂを通過するように、フィルター
セグメント６３ｂを出口スリット１６の上に位置させる
。載置板６１の第２の位置においては、フィルターセグ
メント６３ａが出口スリット１６の上に位置する。第３
の位置においては、フィルターセグメント６５ｂが出口
スリット１６の上に位置し、第４の位置においては、フ
ィルターセグメント６５ａが出口スリット１６の上に位
置する。第５の位置においては、載置板６１の不透明セ
グメント６１ａが出口スリット１６を遮断する。運転中
、サンプルが１１００ナノメートルから２５００ナノメ
ートルまでの近赤外範囲の光で精査されているきは、フ
ィルターセグメント６３ａと６３ｂおよび不透明セグメ
ント６１ａのみが使用される。回折格子が１１００ナノ
メートルと２５００ナノメートルとの間で出口スリット
１６を通過しているスペクトルを精査しながら揺動する
ので、載置板６１は、フィルターセグメント６３ａと６
３ｂの−っを出口スリット１６の上に位置させるために
、最初に第１の位置に位置し、次にステップモーター６
７はセグメント６３ａと６３ｂの他方を出口ステップの
前に移動させるために板６１を旋回させる。フィルター
セグメント６３ａと６３ｂは、−次分散のみが出口スリ
ット１６を通過するように、高次分散を出口スリット１
６を通過している光から除去するように機能子る。二つ
のフィルターセグメントが必要とされる理由は、二次分
散が一次分散の波長の半分であり、その結果、例えば、
−次分散の２４００ナノメートルが出口スリットを介し
て伝達されているとき、１２００ナノメートルでの二次
分散の光も出口スリットに導かれるがらである。
したがって、−次分散の長波端が出口スリットを通過し
ているときは、載置板６１はセグメント６３ａが出口ス
リットの前に位置するように移動する。フィルターセグ
メント６３ａは、−次スベクトルの一次分散の長波端か
らの光を伝達するが、短波端からの光を伝達しない。回
折格子１３が、−次スベクトルの短波端が出口スリット
１６を介して伝達されている位置に揺動したときは、ス
テップモーター６７はフィルターセグメント６３ｂを出
口スリット１６の前に位置させる。フィルターセグメン
ト６３ｂは、１１００と２５００ナノメートルとの間の
一次スベクトルの短波端が伝達されるように、１１００
ナノメートル以上の波長を有する光を伝達する。ステッ
プモーター６７は、回折格子１３の角位置を表している
カウンター３１のデジタル出力カウントを受け取るコン
ピューター４７によって制御されている。回折格子が、
−次スベクトルの中間点が出口スリット１６を通過して
いる点を、通過するごとに、コンピューター４７は、フ
ィルターセグメント６３ａが一次スベクトルの長波端で
出口スリット１６の前に位置し、フィルターセグメント
６３ｂが一次スベクトルの短波端で出口スリット１６の
上に位置するように、ステップモーター６７を進めてフ
ィルター板６１を移動させる。また、ステップモーター
６７は、回折格子の揺動の各サイクルの終わりで、回折
格子の揺動の限界点の一つで不透明セグメント６１ａを
出口スリット１６の上に位置させる。
ているときは、載置板６１はセグメント６３ａが出口ス
リットの前に位置するように移動する。フィルターセグ
メント６３ａは、−次スベクトルの一次分散の長波端か
らの光を伝達するが、短波端からの光を伝達しない。回
折格子１３が、−次スベクトルの短波端が出口スリット
１６を介して伝達されている位置に揺動したときは、ス
テップモーター６７はフィルターセグメント６３ｂを出
口スリット１６の前に位置させる。フィルターセグメン
ト６３ｂは、１１００と２５００ナノメートルとの間の
一次スベクトルの短波端が伝達されるように、１１００
ナノメートル以上の波長を有する光を伝達する。ステッ
プモーター６７は、回折格子１３の角位置を表している
カウンター３１のデジタル出力カウントを受け取るコン
ピューター４７によって制御されている。回折格子が、
−次スベクトルの中間点が出口スリット１６を通過して
いる点を、通過するごとに、コンピューター４７は、フ
ィルターセグメント６３ａが一次スベクトルの長波端で
出口スリット１６の前に位置し、フィルターセグメント
６３ｂが一次スベクトルの短波端で出口スリット１６の
上に位置するように、ステップモーター６７を進めてフ
ィルター板６１を移動させる。また、ステップモーター
６７は、回折格子の揺動の各サイクルの終わりで、回折
格子の揺動の限界点の一つで不透明セグメント６１ａを
出口スリット１６の上に位置させる。
この時、増幅器２４の出力信号はＤＡ変換器によってデ
ジタル値に変換され、デジタル値はコンピューター４７
によって受信される。この測定（ダーク期間測定）は、
出口スリットを通過しているスペクトルからの狭帯域光
に応じてなされた測定から引算されるこになるゼロまた
はナル値を与える。
ジタル値に変換され、デジタル値はコンピューター４７
によって受信される。この測定（ダーク期間測定）は、
出口スリットを通過しているスペクトルからの狭帯域光
に応じてなされた測定から引算されるこになるゼロまた
はナル値を与える。
また、本廃明のシステムは、短い波長スペクトル、即ち
４００から１１００ナノメートルのスペクトルにおいて
測定するのに使用することもできる。これらの測定を行
うために、−次分散が用いられ、また、セグメント６３
ａと６３ｂが１１００ナノメートルから２５００ナノメ
ートルまでの一次スベクトルにおいて作用したのと同様
の方法で、高次スペクトルを濾過するためにフィルター
セグメント６５ａと６５ｂが用いられる。
４００から１１００ナノメートルのスペクトルにおいて
測定するのに使用することもできる。これらの測定を行
うために、−次分散が用いられ、また、セグメント６３
ａと６３ｂが１１００ナノメートルから２５００ナノメ
ートルまでの一次スベクトルにおいて作用したのと同様
の方法で、高次スペクトルを濾過するためにフィルター
セグメント６５ａと６５ｂが用いられる。
光検出器２２の出力信号は、サンプルを現に照明してい
る波長でのサンプル２０からの反射の強度を表す。この
信号は、増幅器２４により増幅され、ＡＤ変換器２６に
よりデジタル値に変換される。ＡＤ変換器２６は、位相
ディコーダ２５からパルスを受信する。位相ディコーダ
２５が出力パルスをチャンネル２７に発生するごとに、
ＡＤ変換器は光検出器２２から受信されたアナログ信号
をデジタル値に変換し、デジタル値はコンピューター４
７によって受信される。位相ディコーダ２５は回折格子
１３の等角増分ごとに出力信号を発生するので、サンプ
ルからの反射の強度を表しているデジタル値も回折格子
の等角増分ごとに受信される。コンピューター４７は、
スペクトルの数回の精査または回折格子１３の数回の揺
動にわたって各等増分で受信された値を平均するように
プログラムされている。平均した後、コンピューターは
回折格子１３の各角増分でのサンプルからの反射強度の
平均値を貯蔵する。出口スリットを介して伝達された狭
帯域の波長は、次式に基づいた回折格子１３の角位置と
共に変化する Ａ＝ＫＩ ５ｉｎｅ（θ）＋に２ ｃｏｓｉｎｅ Ｏこ
こに、Ａは出口スリットを介して伝達される波長、Ｋ（
とＫｚは分光光度計の設計に依存し幾分相互に異なって
いる定数、θは回折格子の角位置である。定数に１とに
２は、ある波長で公知のピーク反射率を有する標準サン
プルを使用することにより、各装置について決定される
。これらのピークが装置に生じる角度から、定数に１と
に２は線形回帰により決定される。その後、これらの定
数はコンピューター４７のメモリに永久的に貯蔵される
。
る波長でのサンプル２０からの反射の強度を表す。この
信号は、増幅器２４により増幅され、ＡＤ変換器２６に
よりデジタル値に変換される。ＡＤ変換器２６は、位相
ディコーダ２５からパルスを受信する。位相ディコーダ
２５が出力パルスをチャンネル２７に発生するごとに、
ＡＤ変換器は光検出器２２から受信されたアナログ信号
をデジタル値に変換し、デジタル値はコンピューター４
７によって受信される。位相ディコーダ２５は回折格子
１３の等角増分ごとに出力信号を発生するので、サンプ
ルからの反射の強度を表しているデジタル値も回折格子
の等角増分ごとに受信される。コンピューター４７は、
スペクトルの数回の精査または回折格子１３の数回の揺
動にわたって各等増分で受信された値を平均するように
プログラムされている。平均した後、コンピューターは
回折格子１３の各角増分でのサンプルからの反射強度の
平均値を貯蔵する。出口スリットを介して伝達された狭
帯域の波長は、次式に基づいた回折格子１３の角位置と
共に変化する Ａ＝ＫＩ ５ｉｎｅ（θ）＋に２ ｃｏｓｉｎｅ Ｏこ
こに、Ａは出口スリットを介して伝達される波長、Ｋ（
とＫｚは分光光度計の設計に依存し幾分相互に異なって
いる定数、θは回折格子の角位置である。定数に１とに
２は、ある波長で公知のピーク反射率を有する標準サン
プルを使用することにより、各装置について決定される
。これらのピークが装置に生じる角度から、定数に１と
に２は線形回帰により決定される。その後、これらの定
数はコンピューター４７のメモリに永久的に貯蔵される
。
公知サンプルの各角増分についての平均が測定されコン
ピューター４７に貯蔵された後、コンピューター４７は
２ナノメートルの等波長増分でサンプルからの反射強度
を決定する。この計算は、２ナノメートルの増分が生じ
る角度を決定するための上記式を使用し、各２ナノメー
トルの増分についての値を決定するために各等角増分で
測定された値の間で補間するこにより、行われる。各２
ナノメートルの増分に対する補間された値は、次式から
決定される・ （Ｗ、−Ａυ（Ｒ，。＋−ＲυバＡｔ−ｔ −Ａ＋）
＋ Ｒここに、Ｗ、は２ナノメートルの増分が生じる角
位置、Ａ１とＡ、□は反射率測定が各角増分ごとに及び
Ｗ、が生じる間で行われる隣接した角位置、Ｒ１とＲ，
、、は角位ｒＩＩＡｌとＡ、＋、について決定すした平
均反射率値である。
ピューター４７に貯蔵された後、コンピューター４７は
２ナノメートルの等波長増分でサンプルからの反射強度
を決定する。この計算は、２ナノメートルの増分が生じ
る角度を決定するための上記式を使用し、各２ナノメー
トルの増分についての値を決定するために各等角増分で
測定された値の間で補間するこにより、行われる。各２
ナノメートルの増分に対する補間された値は、次式から
決定される・ （Ｗ、−Ａυ（Ｒ，。＋−ＲυバＡｔ−ｔ −Ａ＋）
＋ Ｒここに、Ｗ、は２ナノメートルの増分が生じる角
位置、Ａ１とＡ、□は反射率測定が各角増分ごとに及び
Ｗ、が生じる間で行われる隣接した角位置、Ｒ１とＲ，
、、は角位ｒＩＩＡｌとＡ、＋、について決定すした平
均反射率値である。
第４図のフローチャートはコンピューター４７に用いら
れるコ、ンビュータープログラムを示し、第１ステツプ
は数周期の揺動にわたって反射率値を平均し、第２のス
テップは各２ナノメートルの増分での反射率値を決定す
る。
れるコ、ンビュータープログラムを示し、第１ステツプ
は数周期の揺動にわたって反射率値を平均し、第２のス
テップは各２ナノメートルの増分での反射率値を決定す
る。
第５図は位相ディコーダ２５の詳細を説明するブロック
線図であり、位相ディコーダ２５は、エンコーダ１９か
らチャンネル２３上の二つの方形波信号を受信するよう
に連結された二つのフリップ−フロップ７１と７２から
なる。フリップ−フロップ７１と７２は、クロックパル
スソース７４からの高周波クロックパルス信号により同
期するように連結され、フリップ−フロップ７１と７２
がクロックパルスソース７４からクロックパルス信号を
受信するときは、チャンネル２３の一つの入力方形波と
同じ状態にスイッチするように作用する。その結果、チ
ャンネル２３の入力方形波と一致するための７リツプー
フロツプ７１と７２のスイッチングは、ソース７２から
のクロックパルスの上昇時間と同期する。フリップ−フ
ロップ７１と７２からの出力方形波はＯＲゲート７６に
与えられる。ＯＲゲート７６は、ソース７４からのクロ
ックパルスによって同期されたチャンネル２３上の波形
の上昇と下降時間に対応する上昇と下降時間で、ヂャン
ネル２３上の方形波の２倍の周波数で、方形波トレイン
出力を発生する。ＯＲゲート７６からの出力はフリップ
−フロップ７８に与えられ、フリップ−フロップ７８は
フリップ−フロップ７１．７２と同じ方法でクロックパ
ルスソース７４からの出力パルスによって同期される。
線図であり、位相ディコーダ２５は、エンコーダ１９か
らチャンネル２３上の二つの方形波信号を受信するよう
に連結された二つのフリップ−フロップ７１と７２から
なる。フリップ−フロップ７１と７２は、クロックパル
スソース７４からの高周波クロックパルス信号により同
期するように連結され、フリップ−フロップ７１と７２
がクロックパルスソース７４からクロックパルス信号を
受信するときは、チャンネル２３の一つの入力方形波と
同じ状態にスイッチするように作用する。その結果、チ
ャンネル２３の入力方形波と一致するための７リツプー
フロツプ７１と７２のスイッチングは、ソース７２から
のクロックパルスの上昇時間と同期する。フリップ−フ
ロップ７１と７２からの出力方形波はＯＲゲート７６に
与えられる。ＯＲゲート７６は、ソース７４からのクロ
ックパルスによって同期されたチャンネル２３上の波形
の上昇と下降時間に対応する上昇と下降時間で、ヂャン
ネル２３上の方形波の２倍の周波数で、方形波トレイン
出力を発生する。ＯＲゲート７６からの出力はフリップ
−フロップ７８に与えられ、フリップ−フロップ７８は
フリップ−フロップ７１．７２と同じ方法でクロックパ
ルスソース７４からの出力パルスによって同期される。
その結果、フリップ−フロップ７８は、ＯＲゲート７６
の方形波から１クロックパルス時間だけ遅れた方形波出
力を発生する。フリップ−フロップ７８からの方形波出
力とＯＲゲート７６からの方形波出力は、ＯＲゲート８
０に与えられる。ＯＲゲート８０は、ソース７４からの
クロックパルス幅に対応するパルス幅を有し、ＯＲゲー
ト７６の方形波の各上昇と下降時間、即ち、エンコーダ
１９によりチャンネル２３に発生した方形波の各上昇と
下降時間に対応する時間に発生する出力パルストレイン
を、発生する。ＯＲゲート８０からの出力はチャンネル
２７を介してカウンター３５、レジスター３９及びＡＤ
変換器２６に与えられる。
の方形波から１クロックパルス時間だけ遅れた方形波出
力を発生する。フリップ−フロップ７８からの方形波出
力とＯＲゲート７６からの方形波出力は、ＯＲゲート８
０に与えられる。ＯＲゲート８０は、ソース７４からの
クロックパルス幅に対応するパルス幅を有し、ＯＲゲー
ト７６の方形波の各上昇と下降時間、即ち、エンコーダ
１９によりチャンネル２３に発生した方形波の各上昇と
下降時間に対応する時間に発生する出力パルストレイン
を、発生する。ＯＲゲート８０からの出力はチャンネル
２７を介してカウンター３５、レジスター３９及びＡＤ
変換器２６に与えられる。
フリップ−フロップ７２からの出力もフリップ−フロッ
プ８２に与えられる。フリップ−フロップ８２は、フリ
ップ−フロップ７１．７２と同じ方法でクロックパルス
ソース７４からのクロックパルスによって同期される。
プ８２に与えられる。フリップ−フロップ８２は、フリ
ップ−フロップ７１．７２と同じ方法でクロックパルス
ソース７４からのクロックパルスによって同期される。
その結果、フリップ−フロップ８２は、１クロックパル
ス時間だけ遅れたフリップ−フロップ７２からの出力に
対応する方形波出力を発生する。この方形波はフリップ
−フロップ８４に与えられ、フリップ−フロップ８４は
クロック７４によって同期されフリップ−フロップ７１
．７２と同じ方法で作用する。その結果、フリップ−フ
ロップ８４は、フリップ−フロップ７２からの方形波出
力から２クロック時間だけ遅れた出力を発生する。この
方形波はＯＲゲート８６に与えられ、ＯＲゲート８６は
フリップ−フロップ７１からの方形波出力を受信する。
ス時間だけ遅れたフリップ−フロップ７２からの出力に
対応する方形波出力を発生する。この方形波はフリップ
−フロップ８４に与えられ、フリップ−フロップ８４は
クロック７４によって同期されフリップ−フロップ７１
．７２と同じ方法で作用する。その結果、フリップ−フ
ロップ８４は、フリップ−フロップ７２からの方形波出
力から２クロック時間だけ遅れた出力を発生する。この
方形波はＯＲゲート８６に与えられ、ＯＲゲート８６は
フリップ−フロップ７１からの方形波出力を受信する。
その結果、ＯＲゲート８６は、位相ディコーダが出力チ
ャンネル２７にパルスを発生するときは、入力チャンネ
ル２３に与えられた信号の相対的位相を示す出力を発生
し、したがって、回折格子１３の回転方向を示す出力を
発生する。ＯＲゲート８６の出力信皓は、カウンター３
１がチャンネル２７に発生した各パルスにしたがってカ
ウントする方向を制御するために、チャンネル２９を介
してカウンター３１に与えらる。
ャンネル２７にパルスを発生するときは、入力チャンネ
ル２３に与えられた信号の相対的位相を示す出力を発生
し、したがって、回折格子１３の回転方向を示す出力を
発生する。ＯＲゲート８６の出力信皓は、カウンター３
１がチャンネル２７に発生した各パルスにしたがってカ
ウントする方向を制御するために、チャンネル２９を介
してカウンター３１に与えらる。
上述のシステムにより、回折格子は高率の速度で揺動す
る。この揺動において、回折格子は各逆転後に素早く最
高率の速度に到達し、回折格子が再び逆転される位置に
到達するまで、一定の用事を維持する。これにより、回
折格子は、コンピューターの捕捉時間により許容される
できるだけ早い速度で、および各角増分で読み出される
帯幅の過度の不明瞭を引き起こすことなく、駆動される
ことが可能である。前記不明瞭は、回折格子が非常に早
い速度で回転するときに生じる現象である。
る。この揺動において、回折格子は各逆転後に素早く最
高率の速度に到達し、回折格子が再び逆転される位置に
到達するまで、一定の用事を維持する。これにより、回
折格子は、コンピューターの捕捉時間により許容される
できるだけ早い速度で、および各角増分で読み出される
帯幅の過度の不明瞭を引き起こすことなく、駆動される
ことが可能である。前記不明瞭は、回折格子が非常に早
い速度で回転するときに生じる現象である。
回折格子の回転の角速度は、得られている反射データの
正確さに悪影響を与えながら増加するので、読み出され
ている帯幅の限界点が移動する傾向がある。回折格子を
所望の速度に素早く加速し、その所望速度で回転速度を
一定に維持することにより、回折格子は、好ましくない
不明瞭を避け、コンピューター４７の捕捉時間により許
容された可能限り高い周波数で揺動する。
正確さに悪影響を与えながら増加するので、読み出され
ている帯幅の限界点が移動する傾向がある。回折格子を
所望の速度に素早く加速し、その所望速度で回転速度を
一定に維持することにより、回折格子は、好ましくない
不明瞭を避け、コンピューター４７の捕捉時間により許
容された可能限り高い周波数で揺動する。
（効果）
本発明のシステムは回折格子を高速で揺動させるための
カム機構を使用しないので、カム機構の欠点が回避され
る。また、速度制御システムが各方向の逆転後に回折格
子を所望速度に急速に加速するので、装置のよい性能を
維持するために回折格子の回転の最大角率を十分に小さ
く維持しながら、高率の揺動を得ることができる。
カム機構を使用しないので、カム機構の欠点が回避され
る。また、速度制御システムが各方向の逆転後に回折格
子を所望速度に急速に加速するので、装置のよい性能を
維持するために回折格子の回転の最大角率を十分に小さ
く維持しながら、高率の揺動を得ることができる。
第１図は本発明のシステムが用いられる本発明の装置を
示す概略図、第２図は本発明の装置に用いられる分光光
度計の透視図、第３図は分光計の回折格子を駆動する揺
動モーターを制御するために本発明のシステムの用いら
れる電子回路装置を説明するブロック線図、第４図は本
発明の分光光度計によって得られた反射率読み取りを平
均し補間するために本発明のシステムのコンピューター
に用いられるプログラムを示すフローチャート、第５図
は第４図に示されるモーター制御システムに用いられる
位相弁別器のブロック線図である。 図面において： １１・・・・・・分光光度計、 １３・・・・・・回折格子、 １４・・・・・・入口スリット、 １５・・・・・・軸、 １６・・・・・−出口スリット、 １７・・・・・・モーター １８・・・・・・出ロスリットオプティクス、１９・・
・・・・エンコーダ、 ２０・・・・・・サンプル、 ２２・・・・・・光検出器、 ２３・・・・・・チャンネル、 ２４・・・・・・増幅器、 ２５・・・・・・位相ディコーダ、 ２６・・・・・・ＡＤ変換器、 ２７・−・・・・チャンネル、 ３１・・・・・・カウンター ３５・・・・・・カウンター ３７・・・・・・クロックパルスソース、３９・・・・
・・ レジスター ４３・・・・・・パルス幅変調器、 ４６・・・・・・ レジスター ４７・・・・・・コンピューター ４９・・・・・・Ｈドライブ、 ５１・・・・・・フリップ−フロップ、５４．５６・・
−・・・デジタル比較器、５８．６０・・・・・・ レ
ジスター ６１・・・・・・フィルター載置板、 ６３．６５・・・、・・・フィルター板、６３ａ、６３
ｂ、６５ａ、６５ｂ−・・−セグメント、 ６７・・・・・・ステップモーター
示す概略図、第２図は本発明の装置に用いられる分光光
度計の透視図、第３図は分光計の回折格子を駆動する揺
動モーターを制御するために本発明のシステムの用いら
れる電子回路装置を説明するブロック線図、第４図は本
発明の分光光度計によって得られた反射率読み取りを平
均し補間するために本発明のシステムのコンピューター
に用いられるプログラムを示すフローチャート、第５図
は第４図に示されるモーター制御システムに用いられる
位相弁別器のブロック線図である。 図面において： １１・・・・・・分光光度計、 １３・・・・・・回折格子、 １４・・・・・・入口スリット、 １５・・・・・・軸、 １６・・・・・−出口スリット、 １７・・・・・・モーター １８・・・・・・出ロスリットオプティクス、１９・・
・・・・エンコーダ、 ２０・・・・・・サンプル、 ２２・・・・・・光検出器、 ２３・・・・・・チャンネル、 ２４・・・・・・増幅器、 ２５・・・・・・位相ディコーダ、 ２６・・・・・・ＡＤ変換器、 ２７・−・・・・チャンネル、 ３１・・・・・・カウンター ３５・・・・・・カウンター ３７・・・・・・クロックパルスソース、３９・・・・
・・ レジスター ４３・・・・・・パルス幅変調器、 ４６・・・・・・ レジスター ４７・・・・・・コンピューター ４９・・・・・・Ｈドライブ、 ５１・・・・・・フリップ−フロップ、５４．５６・・
−・・・デジタル比較器、５８．６０・・・・・・ レ
ジスター ６１・・・・・・フィルター載置板、 ６３．６５・・・、・・・フィルター板、６３ａ、６３
ｂ、６５ａ、６５ｂ−・・−セグメント、 ６７・・・・・・ステップモーター
Claims (10)
- （１）揺動するように設けられた光回折格子と、光放射
線をスペクトルに分散するために前記回折格子を光放射
線で照明するための手段と、前記回折格子によって分散
されたスペクトルの挟帯域幅を受け取るための手段と、
モーターと前記回折格子とが一個として回転するように
前記回折格子に固定されたローターを有するモーターと
、前記回折格子を揺動し、前記受け取り手段により受け
取られる挟波長帯域を前記スペクトルを介して精査する
ために前記ローターが揺動するように前記モーターを作
動させるためのモーター制御手段と、からなることを特
徴とした光学装置。 - （２）前記モーター制御手段が、前記回折格子の角位置
を指示すための手段と、前記角位置指示手段が前記回折
格子の揺動の二つの所定の限界点の一つで角位置を指示
するごとに前記モーターの回転方向を逆にするための手
段とを含むことを特徴とした請求項第１項記載の光学装
置。 - （３）前記モーター制御手段が、前記モーターの回転方
向がモーター揺動の限界点の一つで逆転するごとにモー
ター速度を素早く目標速度に加速して前記回折格子の角
位置がモーター揺動の限界点の他方に到達するまで前記
モーターの回転速度を前記目標速度で維持するための速
度制御手段を含むことを特徴とした請求項第１項記載の
光学装置。 - （４）前記モーターがコイルの作動に従ってローターを
回転するように配置されたコイルを含み、前記速度制御
手段が前記モーターの速度と反比例して変化すデューテ
ィーサイクルを有するパルストレインで前記コイルを作
動するための手段を含むことを特徴とした請求項第３項
記載の光学装置。 - （５）前記速度制御手段が、高周波数クロックパルスを
数えるように連結されたカウンターと、前記回折格子が
角増分を回転するごとに前記カウンターをリセットする
ための手段と、前記カウンターがリセットされるごとに
前記モーターの速度を前記限界点の間で前記カウンター
のカウントにしたがって制御するための手段と、を含む
ことを特徴とした請求項第３項記載の光学装置。 - （６）揺動するように設けられた光回折格子と、限界点
間で前記回折格子を揺動させるために前記回折格子に連
結されたモーターとを有し、前記モーターがコイルの作
動に従って前記モーターを回転するように配置されたコ
イルを有する光学装置において、前記限界点間で前記モ
ーターの速度と反比例して変化するデューティーサイク
ルを有するパルストレインで前記コイルを作動するため
の手段からなることを特徴とした光学装置。 - （７）前記パルストレインのデューティーサイクルが前
記限界点での１００％から前記回折格子の回転の角率を
選択された目標速度で維持するのに十分な大きさの最小
デューティーサイクルに変化することを特徴とした請求
項第６項記載の光学装置。 - （８）前記選択された目標速度が選択的に変化可能であ
ることを特徴とした請求項第７項記載の光学装置。 - （９）前記モーターを作動するための前記手段が、高周
波数クロックパルスを数えるように連結されたカウンタ
ーと、前記回折格子が所定の角増分を回転するごとに前
記カウンターをリセットするための手段と、前記カウン
ターがリセットされるごとに前記デューティーサイクル
を前記カウンターのカウントにしたがって制御するため
の手段と、を含むことを特徴とした請求項第６項記載の
光学装置。 - （１０）揺動するように設けられた光回折格子と、前記
回折格子に連結されたモーターと、限界点で前記回折格
子を揺動するように前記モーターを作動するための手段
とを有する光学装置において、前記モーターを作動する
ための手段が、前記モーターが前記限界点の一つで逆転
するごとに前記モーターを素早く目標値に加速するため
のモーター速度制御手段を含み、前記モーター速度制御
手段が、高周波数クロックパルスを数えるように連結さ
れたカウンターと、前記回折格子が角増分を回転するご
とに前記カウンターをリセットするための手段と、前記
カウンターがリセットされるごとに前記モーターの速度
を前記限界点の間で前記カウンターのカウントにしたが
って制御するための手段とを含むことを特徴とした光学
装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/294,679 US4969739A (en) | 1989-01-09 | 1989-01-09 | Spectrometer with direct drive high speed oscillating grating |
| US294,679 | 1989-01-09 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02227618A true JPH02227618A (ja) | 1990-09-10 |
| JP3098751B2 JP3098751B2 (ja) | 2000-10-16 |
Family
ID=23134468
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02000347A Expired - Lifetime JP3098751B2 (ja) | 1989-01-09 | 1990-01-05 | 直結駆動高速揺動回折格子付き分光計 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4969739A (ja) |
| EP (1) | EP0378108B1 (ja) |
| JP (1) | JP3098751B2 (ja) |
| CA (1) | CA2007272C (ja) |
| DE (1) | DE69019993T2 (ja) |
| DK (1) | DK0378108T3 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1038798A (ja) * | 1996-04-16 | 1998-02-13 | Perstorp Analytical Inc | ライブラリ安定演算法を用いた吸収スペクトル判定方法 |
| JPH1048128A (ja) * | 1996-05-13 | 1998-02-20 | Perstorp Analytical Inc | Ｎｉｒ分光法によって物質を同定する方法 |
Families Citing this family (26)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5251006A (en) * | 1991-03-07 | 1993-10-05 | Nirsystems Incorporated | Automatic spectrophotometer calibration system |
| US5132538A (en) * | 1991-05-24 | 1992-07-21 | Nirsystems Incorporated | Measuring percentage of protein in whole grain samples |
| KR940007163B1 (ko) * | 1991-07-09 | 1994-08-06 | 삼성전자 주식회사 | 캠코더의 피사체 자동추적장치 |
| US5233405A (en) * | 1991-11-06 | 1993-08-03 | Hewlett-Packard Company | Optical spectrum analyzer having double-pass monochromator |
| US5491391A (en) * | 1993-09-16 | 1996-02-13 | International Business Machines Corporation | Start up circuit for continuous sine-wave commutated brushless motors |
| US5684582A (en) * | 1994-03-18 | 1997-11-04 | Lucid Technologies, Inc. | Spectrophotometry |
| US5673144A (en) * | 1994-09-14 | 1997-09-30 | International Business Machines, Corporation | Oblique viewing microscope system |
| US5477322A (en) | 1994-10-13 | 1995-12-19 | Nirsystems Incorporated | Spectrophotometer with light source in the form of a light emitting diode array |
| US5652654A (en) * | 1996-08-12 | 1997-07-29 | Asimopoulos; George | Dual beam spectrophotometer |
| JP3783400B2 (ja) * | 1998-04-17 | 2006-06-07 | 株式会社島津製作所 | モノクロメータ |
| US6207956B1 (en) * | 1998-09-04 | 2001-03-27 | The Toro Company | Method and apparatus for quantitative determination of turfgrass color |
| NZ504536A (en) * | 2000-05-12 | 2001-11-30 | Agres Ltd | Remote analysis and calibration of near infra-red spectrophotometer data |
| US6560546B1 (en) | 2000-08-07 | 2003-05-06 | Infrasoft Llc | Remote analysis system |
| EP1393026A1 (en) * | 2001-06-01 | 2004-03-03 | CiDra Corporation | Optical channel monitor |
| US7253897B2 (en) | 2001-06-01 | 2007-08-07 | Cidra Corporation | Optical spectrum analyzer |
| WO2003069289A1 (de) | 2002-02-13 | 2003-08-21 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. | Spektrometer |
| KR100634498B1 (ko) * | 2004-01-12 | 2006-10-13 | 삼성전자주식회사 | 체내성분 측정장치 및 방법 |
| US7193701B2 (en) * | 2004-08-06 | 2007-03-20 | Mark Howard L | Gray optical standard |
| US7202956B2 (en) * | 2004-10-08 | 2007-04-10 | Asm Technology Singapore Pte Ltd. | Translation mechanism for opto-mechanical inspection |
| US7483134B2 (en) * | 2005-02-10 | 2009-01-27 | Unity Scientific, Llc | Scanning monochromator with direct drive grating |
| US8903577B2 (en) | 2009-10-30 | 2014-12-02 | Lsi Industries, Inc. | Traction system for electrically powered vehicles |
| US7598683B1 (en) | 2007-07-31 | 2009-10-06 | Lsi Industries, Inc. | Control of light intensity using pulses of a fixed duration and frequency |
| US8604709B2 (en) | 2007-07-31 | 2013-12-10 | Lsi Industries, Inc. | Methods and systems for controlling electrical power to DC loads |
| US8108170B1 (en) | 2008-01-22 | 2012-01-31 | Unity Scientific | Method and system for increasing optical instrument calibration and prediction accuracy within and across different optical instrument platforms |
| CN113014175B (zh) * | 2019-12-19 | 2022-06-10 | 广东汉邦激光科技有限公司 | 振镜电机控制装置及控制方法 |
| US11639873B2 (en) * | 2020-04-15 | 2023-05-02 | Viavi Solutions Inc. | High resolution multi-pass optical spectrum analyzer |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3995207A (en) * | 1974-11-14 | 1976-11-30 | Beckman Instruments, Inc. | Digitally controlled repetitive scanning in a radiant energy analyzer |
| US4070111A (en) * | 1976-06-10 | 1978-01-24 | Nicolas James Harrick | Rapid scan spectrophotometer |
| US4264205A (en) * | 1977-08-16 | 1981-04-28 | Neotec Corporation | Rapid scan spectral analysis system utilizing higher order spectral reflections of holographic diffraction gratings |
| DE2754444C2 (de) * | 1977-12-07 | 1979-12-06 | Bodenseewerk Perkin-Elmer & Co Gmbh, 7770 Ueberlingen | Spektrometer |
| US4469441A (en) * | 1982-03-04 | 1984-09-04 | Allied Corporation | Scanning monochromator system with direct coupled dispersing element-electromagnetic drive transducer assembly |
| US4487504A (en) * | 1982-09-01 | 1984-12-11 | Pacific Scientific Instruments Company | Reflectance measuring instrument with integrating sphere |
| US4540282A (en) * | 1983-03-21 | 1985-09-10 | Isaac Landa | Apparatus for optically analyzing a sample |
| US4766551A (en) * | 1986-09-22 | 1988-08-23 | Pacific Scientific Company | Method of comparing spectra to identify similar materials |
-
1989
- 1989-01-09 US US07/294,679 patent/US4969739A/en not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-01-04 DK DK90100152.9T patent/DK0378108T3/da active
- 1990-01-04 DE DE69019993T patent/DE69019993T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1990-01-04 EP EP90100152A patent/EP0378108B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1990-01-05 CA CA002007272A patent/CA2007272C/en not_active Expired - Lifetime
- 1990-01-05 JP JP02000347A patent/JP3098751B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1038798A (ja) * | 1996-04-16 | 1998-02-13 | Perstorp Analytical Inc | ライブラリ安定演算法を用いた吸収スペクトル判定方法 |
| JPH1048128A (ja) * | 1996-05-13 | 1998-02-20 | Perstorp Analytical Inc | Ｎｉｒ分光法によって物質を同定する方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE69019993T2 (de) | 1996-02-22 |
| US4969739A (en) | 1990-11-13 |
| EP0378108A3 (en) | 1991-11-21 |
| EP0378108B1 (en) | 1995-06-14 |
| DK0378108T3 (da) | 1995-10-30 |
| CA2007272C (en) | 1999-12-14 |
| JP3098751B2 (ja) | 2000-10-16 |
| CA2007272A1 (en) | 1990-07-09 |
| EP0378108A2 (en) | 1990-07-18 |
| DE69019993D1 (de) | 1995-07-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH02227618A (ja) | 直結駆動高速揺動回折格子付き分光計 | |
| US6587196B1 (en) | Oscillating mechanism driven monochromator | |
| JP2703680B2 (ja) | 光源の同時的変調、スイッチング及び波長選定手段を有した分光光度計 | |
| JPH08101065A (ja) | 光スペクトル測定装置 | |
| JPH09145408A (ja) | エンコーダ装置 | |
| CA2143900C (en) | Scanner mechanism for use in differential optical absorption spectroscopy (doas) | |
| US5504576A (en) | Monochromator | |
| JPH11241948A (ja) | 分光測定装置 | |
| JPH0771909A (ja) | マイケルソン干渉計 | |
| JP2001235368A (ja) | マイクロスペクトロメータ | |
| JPS5985918A (ja) | 直接比率式の分光光度計 | |
| JP7136959B1 (ja) | 光スペクトラムアナライザ及び波長校正制御方法 | |
| JP2000310563A (ja) | モノクロメータ | |
| US2865246A (en) | Spectrophotometer | |
| US4560276A (en) | Diffraction grating mounting device for scanning monochromator | |
| US4488051A (en) | Apparatus for sensing linear and rotational position between a screw element and a threaded member | |
| JPS63167226A (ja) | 分光光度計 | |
| JP3142817B2 (ja) | 波長選択用受光器及び光スペクトラム分析装置 | |
| JPH1030964A (ja) | ２周波レーザ光源の波長測定装置 | |
| SU1318856A1 (ru) | Устройство дл измерени индикатрис рассе ни света | |
| JPH0633386Y2 (ja) | 波長走査型放射温度計 | |
| CN111238643A (zh) | 一种傅立叶变换光谱仪 | |
| SU552542A1 (ru) | Прибор дл исследовани спектров люминесценции | |
| RU2276336C1 (ru) | Спектрорадиометр | |
| JP2004093326A (ja) | 分光特性を高速に収集する装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070811 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080811 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090811 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090811 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100811 Year of fee payment: 10 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100811 Year of fee payment: 10 |