JPH02228434A - 水素吸蔵合金の製造方法 - Google Patents
水素吸蔵合金の製造方法Info
- Publication number
- JPH02228434A JPH02228434A JP5049789A JP5049789A JPH02228434A JP H02228434 A JPH02228434 A JP H02228434A JP 5049789 A JP5049789 A JP 5049789A JP 5049789 A JP5049789 A JP 5049789A JP H02228434 A JPH02228434 A JP H02228434A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal
- hydrogen
- alloy
- storage alloy
- hydrogen storage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 title claims abstract description 49
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 49
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 44
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 44
- 239000000956 alloy Substances 0.000 title claims abstract description 44
- 238000003860 storage Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 31
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 31
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 11
- 229910000765 intermetallic Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 claims abstract description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 2
- 238000007712 rapid solidification Methods 0.000 abstract description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 description 16
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 5
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 238000010791 quenching Methods 0.000 description 3
- 230000000171 quenching effect Effects 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 229910004247 CaCu Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004269 CaCu5 Inorganic materials 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005338 heat storage Methods 0.000 description 1
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 1
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Continuous Casting (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(イ)産業上の利用分野
本発明は、蓄熱、熱輸送システム等の熱利用システムに
用いる水素吸蔵合金の製造方法に関する。
用いる水素吸蔵合金の製造方法に関する。
(ロ)従来の技術
熱利用システムに使用するこの種の水素吸蔵合金には、
特に使用条件下で単位重量当りの水素吸収量が多いこと
が挙げられる。
特に使用条件下で単位重量当りの水素吸収量が多いこと
が挙げられる。
斯る条件を満足させるべく、特願昭63−218907
号では、組成式A−B (但し、Aは水素を発熱吸収す
る型の金属、Bは水素を吸熱吸収する型の金属)で表わ
される金属間化合物であって、金属Bに対する金属Aの
化学量論比を増大させることを提案している。このもの
は、量論比が1.3程度では水素吸収量の増加が認めら
れる。
号では、組成式A−B (但し、Aは水素を発熱吸収す
る型の金属、Bは水素を吸熱吸収する型の金属)で表わ
される金属間化合物であって、金属Bに対する金属Aの
化学量論比を増大させることを提案している。このもの
は、量論比が1.3程度では水素吸収量の増加が認めら
れる。
(ハ)発明が解決しようとする課題
しかし、従来例は、量論比が1.3を越えると、むしろ
水素吸収量が減少する。
水素吸収量が減少する。
本発明は、斯る従来例を改良して水素吸収量の増大化を
図るものである。
図るものである。
詳しくは、従来例では水素の吸放出が容易な母相に対し
て、母合金の化学量論比がずれすぎると、水素吸放出の
難しい結晶相が析出して合金中の母相部分が減少し、合
金の水素吸収量が減少していたことに着目し、この水素
吸放出の難しい結晶相の析出を量論比増大時にあっても
抑制せんとするものである。
て、母合金の化学量論比がずれすぎると、水素吸放出の
難しい結晶相が析出して合金中の母相部分が減少し、合
金の水素吸収量が減少していたことに着目し、この水素
吸放出の難しい結晶相の析出を量論比増大時にあっても
抑制せんとするものである。
(ニ)課題を解決するための手段
本発明による解決手段は、組成式A−B (但し、Aは
水素を発熱吸収する型の金属、Bは水素吸熱吸収する型
の金属)で表わされる水素吸蔵合金にあって、金属間化
合物を形成する化学量論比から金属Bに対して金属Aを
増加させ、且つ急冷凝固させて成る水素吸蔵合金の製造
方法である。
水素を発熱吸収する型の金属、Bは水素吸熱吸収する型
の金属)で表わされる水素吸蔵合金にあって、金属間化
合物を形成する化学量論比から金属Bに対して金属Aを
増加させ、且つ急冷凝固させて成る水素吸蔵合金の製造
方法である。
(ホ)作用
急冷凝固することにより、化学量論比がずれても、合金
中の母相部分の減少及び不均質化現象を大幅に抑制でき
、化学量論比増大による水素吸収量増加効果を確保する
ものである。
中の母相部分の減少及び不均質化現象を大幅に抑制でき
、化学量論比増大による水素吸収量増加効果を確保する
ものである。
(へ)実施例
[実施例1]
Mn(La含有15wt%)、Ni、Co、A2及びM
nの各市販金属原料を使用し、アルゴン不活性雰囲気ア
ーク炉を用い、組成式AxByの金属間化合物である水
素吸蔵合金を、Xの値を1.0〜2.0の範囲で変化さ
せて作成した。但し、金属A i! M mであり、金
属Bはyの値を 5゜0とし、N l 31COAJ!
61Mno、*の組成式で表わされる。
nの各市販金属原料を使用し、アルゴン不活性雰囲気ア
ーク炉を用い、組成式AxByの金属間化合物である水
素吸蔵合金を、Xの値を1.0〜2.0の範囲で変化さ
せて作成した。但し、金属A i! M mであり、金
属Bはyの値を 5゜0とし、N l 31COAJ!
61Mno、*の組成式で表わされる。
以下、急冷凝固法として液体急冷法を用いた場合につい
て説明する。まず、上記の合金を5〜15−角程度の小
片に砕いた後に、透明石英ノズル(ノズル穴1.0
m1llφ)の中に入れ、高純度アルゴンガス(4Nu
p)で置換し、この後に高周波加熱コイルに200KH
z、3KWの高周波を加えることにより、加熱した。合
金が溶解した後、透明石英ノズル内をアルゴンガスによ
って加圧し、アルゴンガス雰囲気下(1atm)で、高
速回転(200r、l)、m ) している大容量の銅
製ローラー(300mmφ、幅40−)の上に、合金溶
湯を噴出させ、このローラー上で急冷させてリボン状の
水素吸蔵合金を得た。
て説明する。まず、上記の合金を5〜15−角程度の小
片に砕いた後に、透明石英ノズル(ノズル穴1.0
m1llφ)の中に入れ、高純度アルゴンガス(4Nu
p)で置換し、この後に高周波加熱コイルに200KH
z、3KWの高周波を加えることにより、加熱した。合
金が溶解した後、透明石英ノズル内をアルゴンガスによ
って加圧し、アルゴンガス雰囲気下(1atm)で、高
速回転(200r、l)、m ) している大容量の銅
製ローラー(300mmφ、幅40−)の上に、合金溶
湯を噴出させ、このローラー上で急冷させてリボン状の
水素吸蔵合金を得た。
この急冷凝固法で得られたA、、、Bの組成の合金と、
従来例で得られたA、1.B の組成の合金とをX線回
折分析結果に基づいて考察した。尚、金属Aは、Laを
15wt%含有のMm、金属BはN i 3.zc O
A l o、 tMn a *である。
従来例で得られたA、1.B の組成の合金とをX線回
折分析結果に基づいて考察した。尚、金属Aは、Laを
15wt%含有のMm、金属BはN i 3.zc O
A l o、 tMn a *である。
而して、本実施例の合金は、CaCu+型結晶構造だけ
を観察できたが、従来例の合金ではCaCu5型結晶構
造だけでなく、Ce□Niy型及びPuN1n型結晶構
造が顕著に観察できた。
を観察できたが、従来例の合金ではCaCu5型結晶構
造だけでなく、Ce□Niy型及びPuN1n型結晶構
造が顕著に観察できた。
更に、金属Aの金属Bに対する化学量論比(x)を、1
≦X≦2の範囲として結晶構造を調べたが、本実施例で
は全範囲に亘って均質性が保持され、従来例では1.4
以上の範囲で上記Ce HN 1、型結晶構造等が観察
された。
≦X≦2の範囲として結晶構造を調べたが、本実施例で
は全範囲に亘って均質性が保持され、従来例では1.4
以上の範囲で上記Ce HN 1、型結晶構造等が観察
された。
斯る[実施例1]の水素吸収量比は第1表で示すとおり
であり:従来例に比して著しく改善されている。また、
熱伝導率について光交流法を用いて測定したところ、従
来の粉末状のものでは約0.5w/m−にであったが、
本実施例の合金では約20w/m−kに向上した。
であり:従来例に比して著しく改善されている。また、
熱伝導率について光交流法を用いて測定したところ、従
来の粉末状のものでは約0.5w/m−にであったが、
本実施例の合金では約20w/m−kに向上した。
[実施例2コ
急冷IHiil法としてスパッタ法を用いた場合につい
て説明する。MmxN i 31CoA164Mn6、
の合金にあって、そのXの値を1.0≦X≦2゜0の範
囲で変化させた合金を各々スパッタゲート(4inch
φ×5InLIItのディスク)ニ成型シ、高周波マグ
ネトロンスパッタ装置により、アルゴンガス雰囲気下(
1,X 10−To r r)でニッケル基板上に上記
合金のスパッタ膜を形成した。
て説明する。MmxN i 31CoA164Mn6、
の合金にあって、そのXの値を1.0≦X≦2゜0の範
囲で変化させた合金を各々スパッタゲート(4inch
φ×5InLIItのディスク)ニ成型シ、高周波マグ
ネトロンスパッタ装置により、アルゴンガス雰囲気下(
1,X 10−To r r)でニッケル基板上に上記
合金のスパッタ膜を形成した。
高周波電力は、出力500W、 13.56MH2と
し、スパッタリングを10時間行なった後にニッケル基
板をスパッタ装置から取り出し、基板に付着した該合金
のスパッタ膜を、スクレーバー(ステンレス製)により
剥離させ、該合金の薄片を約8g得た。
し、スパッタリングを10時間行なった後にニッケル基
板をスパッタ装置から取り出し、基板に付着した該合金
のスパッタ膜を、スクレーバー(ステンレス製)により
剥離させ、該合金の薄片を約8g得た。
斯る[実施例2〕の水素吸収量比は第1表で示すとおり
であった。
であった。
[実施例3]
急冷凝固法としてフラッシュ蒸着法を用いた場合にライ
て説明する。MmxN i s、coAlo、zMn6
1の合金にあって、その原料金属の粉末(純3Nup、
100−300mesh)をXの値が1.0≦X≦2.
0の範囲となるように、秤量後よく混合した。
て説明する。MmxN i s、coAlo、zMn6
1の合金にあって、その原料金属の粉末(純3Nup、
100−300mesh)をXの値が1.0≦X≦2.
0の範囲となるように、秤量後よく混合した。
この混合粉末をフラッシュ蒸着装置に導入し、ニッケル
基板上に蒸着膜を形成させた。即ち、混合粉末は、アル
ゴン雰囲気下(I X 10−”To rr)で、18
00℃に加熱されたタングステンボード上に少量ずつ連
続的に落下され、約100μmの膜厚の蒸着膜を形成す
る。そして、蒸着膜をスクレーバー(ステンレス製)で
剥離させ、該合金の薄片を得た。
基板上に蒸着膜を形成させた。即ち、混合粉末は、アル
ゴン雰囲気下(I X 10−”To rr)で、18
00℃に加熱されたタングステンボード上に少量ずつ連
続的に落下され、約100μmの膜厚の蒸着膜を形成す
る。そして、蒸着膜をスクレーバー(ステンレス製)で
剥離させ、該合金の薄片を得た。
斯る[実施例3]の水素吸収量比は第1表で示すとおり
であった。
であった。
以上の[実施例1]、[実施例2]、[実施例3]、[
従来例コの水素吸収量比を比較したものが第1表であり
、特性比較図である。
従来例コの水素吸収量比を比較したものが第1表であり
、特性比較図である。
以下余白
次に、急冷凝固法としては[実施例1]で示す液体急冷
法を用い、合金種を変化させた他の実施例を[実施例4
〕〜[実施例8]として以下に説明する。
法を用い、合金種を変化させた他の実施例を[実施例4
〕〜[実施例8]として以下に説明する。
[実施例4]
組成式TixCrMno、yの合金を1.0≦X≦2.
0 の範囲で急冷凝固法により作成した。この結果は第
2表で示しており、水素吸収量は同合金の従来例(有効
水素吸収量0.7w’t%)に比して増加した。
0 の範囲で急冷凝固法により作成した。この結果は第
2表で示しており、水素吸収量は同合金の従来例(有効
水素吸収量0.7w’t%)に比して増加した。
[実施例5]
組成式Z r xMn、、Coo、sAgo、tの合金
を1.0≦X≦2.0の範囲で急冷凝固法により作成し
た。この結果は第2表で示しており、水素吸収量は同合
金の従来例(有効水素吸収量0.7 wt%)に比し
て増加した。
を1.0≦X≦2.0の範囲で急冷凝固法により作成し
た。この結果は第2表で示しており、水素吸収量は同合
金の従来例(有効水素吸収量0.7 wt%)に比し
て増加した。
[実施例6]
組成式CaxNi、の合金を1.0≦X≦2.0の範囲
で急冷凝固法により作成した。この結果は、第2表で示
してあり、水素吸収量は同合金の従来例(有効水素吸収
量0.8wt%)に比して増加した。
で急冷凝固法により作成した。この結果は、第2表で示
してあり、水素吸収量は同合金の従来例(有効水素吸収
量0.8wt%)に比して増加した。
[実施例7]
組成式MgxNi、の合金を1.0≦X≦2.0の範囲
で急冷凝固法により作成した。この結果は第2表で示し
ており、水素吸収量は同合金の従来例(有効水素吸収量
2.Owt%)に比して増加した。
で急冷凝固法により作成した。この結果は第2表で示し
ており、水素吸収量は同合金の従来例(有効水素吸収量
2.Owt%)に比して増加した。
[実施例8]
組成式VxNio xMno +の合金を1.0≦X≦
2.0 の範囲で急冷凝固法により作成した。この結果
は第2表で示しており、水XII&収量は同合金の従来
例(有効水素吸収量1.0 wt%)に比して増加し
た。
2.0 の範囲で急冷凝固法により作成した。この結果
は第2表で示しており、水XII&収量は同合金の従来
例(有効水素吸収量1.0 wt%)に比して増加し
た。
以下余白
(ト)発明の効果
本発明に依れば、金属間化合物を形成する化学量論比か
ら金属Aを金属Bに対して増加させても、合金の均質性
を保持でき、水素吸収量を増加させた水素吸蔵合金が得
られる。従って、熱利用システムで使用することにより
、システムの高性能化を図ることができるものである。
ら金属Aを金属Bに対して増加させても、合金の均質性
を保持でき、水素吸収量を増加させた水素吸蔵合金が得
られる。従って、熱利用システムで使用することにより
、システムの高性能化を図ることができるものである。
図は本発明方法による水素吸蔵合金の特性比較図である
。
。
Claims (1)
- (1)組成式A−B(但し、Aは水素を発熱吸収する型
の金属、Bは水素を吸熱吸収する型の金属)で表わされ
る水素吸蔵合金にあって、金属間化合物を形成する化学
量論比から金属Bに対して金属Aを増加させ、且つ急冷
凝固させて成る水素吸蔵合金の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1050497A JP2755661B2 (ja) | 1989-03-01 | 1989-03-01 | 水素吸蔵合金の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1050497A JP2755661B2 (ja) | 1989-03-01 | 1989-03-01 | 水素吸蔵合金の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02228434A true JPH02228434A (ja) | 1990-09-11 |
| JP2755661B2 JP2755661B2 (ja) | 1998-05-20 |
Family
ID=12860577
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1050497A Expired - Lifetime JP2755661B2 (ja) | 1989-03-01 | 1989-03-01 | 水素吸蔵合金の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2755661B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0570957A3 (en) * | 1992-05-21 | 1994-06-15 | Santoku Metal Ind | Rare-earth metal-nickel hydrogen occlusive alloy ingot and method for production thereof |
| EP0609609A3 (ja) * | 1993-02-05 | 1994-08-31 | Sanyo Electric Co | |
| EP0652601A1 (en) * | 1993-10-08 | 1995-05-10 | Sanyo Electric Co. Ltd | Hydrogen-absorbing alloy electrode and method for evaluating hydrogen-absorbing alloys for electrode |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51148634A (en) * | 1975-06-17 | 1976-12-21 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Method of producing hydrogennoccluding metal |
| JPS57177942A (en) * | 1981-04-24 | 1982-11-01 | Toshiba Corp | Manufacture of material for storing hydrogen |
| JPS60138036A (ja) * | 1983-12-26 | 1985-07-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超急冷ニツケル・チタン合金薄帯並びにその製造方法 |
| JPS62136547A (ja) * | 1985-10-28 | 1987-06-19 | エナ−ジ−・コンバ−シヨン・デバイセス・インコ−ポレ−テツド | 水素貯蔵材料及びその製造方法 |
-
1989
- 1989-03-01 JP JP1050497A patent/JP2755661B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51148634A (en) * | 1975-06-17 | 1976-12-21 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Method of producing hydrogennoccluding metal |
| JPS57177942A (en) * | 1981-04-24 | 1982-11-01 | Toshiba Corp | Manufacture of material for storing hydrogen |
| JPS60138036A (ja) * | 1983-12-26 | 1985-07-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超急冷ニツケル・チタン合金薄帯並びにその製造方法 |
| JPS62136547A (ja) * | 1985-10-28 | 1987-06-19 | エナ−ジ−・コンバ−シヨン・デバイセス・インコ−ポレ−テツド | 水素貯蔵材料及びその製造方法 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0570957A3 (en) * | 1992-05-21 | 1994-06-15 | Santoku Metal Ind | Rare-earth metal-nickel hydrogen occlusive alloy ingot and method for production thereof |
| EP0609609A3 (ja) * | 1993-02-05 | 1994-08-31 | Sanyo Electric Co | |
| US5376474A (en) * | 1993-02-05 | 1994-12-27 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Hydrogen-absorbing alloy for a negative electrode and manufacturing method therefor |
| EP0652601A1 (en) * | 1993-10-08 | 1995-05-10 | Sanyo Electric Co. Ltd | Hydrogen-absorbing alloy electrode and method for evaluating hydrogen-absorbing alloys for electrode |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2755661B2 (ja) | 1998-05-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Klein et al. | Formation of AlCuFe quasicrystalline thin films by solid state diffusion | |
| JPS6356297B2 (ja) | ||
| JPH02228434A (ja) | 水素吸蔵合金の製造方法 | |
| JPH0748658A (ja) | 耐食性に優れた防食用犠牲電極用材料 | |
| JP2671397B2 (ja) | マグネトロンスパッタリング用ターゲット | |
| Shen et al. | Stability and formation of Al-Cu-(Li, Mg) icosahedral phases | |
| JP2005117030A (ja) | 半導体不揮発メモリー用相変化膜およびこの相変化膜を形成するためのスパッタリングターゲット | |
| JPH028015B2 (ja) | ||
| JP2006245251A (ja) | 非晶質状態が安定な相変化記録膜およびこの相変化記録膜を形成するためのスパッタリングターゲット | |
| JPH0583630B2 (ja) | ||
| JPH02232301A (ja) | 磁気特性に優れたアトマイズ合金粉末 | |
| JPS5928624B2 (ja) | 水素吸蔵用合金の製造法 | |
| JPS63125664A (ja) | Ta系非晶質合金薄膜の製造方法 | |
| JPS63125663A (ja) | Ta−W系非晶質合金薄膜の製造方法 | |
| JPH0344461A (ja) | スパッタ用銅セレン系ターゲット材料 | |
| JPH0582465B2 (ja) | ||
| JPH0582466B2 (ja) | ||
| Zhang et al. | Nonequilibrium crystalline and amorphous Ti–Pd alloys produced by vapor quenching | |
| JPS63130768A (ja) | Ta系非晶質合金薄膜の製造方法 | |
| JPH0582464B2 (ja) | ||
| JPS63130766A (ja) | Ta系非晶質合金薄膜の製造方法 | |
| JPS5918189A (ja) | 圧電体単結晶の製造方法 | |
| JP2004211117A (ja) | 高強度・高耐熱性アルミニウム合金固化材及びその製造方法 | |
| JPS63262879A (ja) | 酸化物超伝導薄膜の作製方法 | |
| JPS6210297B2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090306 Year of fee payment: 11 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |