JPH02230101A - 合成樹脂光学部品の反射防止膜 - Google Patents
合成樹脂光学部品の反射防止膜Info
- Publication number
- JPH02230101A JPH02230101A JP1050560A JP5056089A JPH02230101A JP H02230101 A JPH02230101 A JP H02230101A JP 1050560 A JP1050560 A JP 1050560A JP 5056089 A JP5056089 A JP 5056089A JP H02230101 A JPH02230101 A JP H02230101A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- film
- synthetic resin
- parts made
- optical parts
- Prior art date
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- Pending
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- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はレーザ光を応用した光計測や光通信などの光学
系に使用される合成樹脂製光学部品の反射防止膜に関す
る。
系に使用される合成樹脂製光学部品の反射防止膜に関す
る。
従来の合成樹脂光学部品への反射防止膜としては、３層
構造であって、第１層がＳＩＯｘ，第２層の中間層が所
定の割合のＣ．０２とＳ１０２の混合物、第３ 層ｂ”
８＋Ｏｙカラｒｘ ツ”Ｃ オ’）、波長λ＝７８０
〜８２ｏｎｍで分光反射率が０．５％以下の特性を示す
ものが知られている（例えば、特開昭６２−１３４６０
１号ノ。
構造であって、第１層がＳＩＯｘ，第２層の中間層が所
定の割合のＣ．０２とＳ１０２の混合物、第３ 層ｂ”
８＋Ｏｙカラｒｘ ツ”Ｃ オ’）、波長λ＝７８０
〜８２ｏｎｍで分光反射率が０．５％以下の特性を示す
ものが知られている（例えば、特開昭６２−１３４６０
１号ノ。
しかしながら第２層のＣｅ０２とＳ＋Ｏｚとの混合物か
らなる蒸着膜は、各成分の融点が違うため、蒸着に際し
て不安定であり、屈折率力でばらつくために光学特性力
で不安定となる。また空気層と接する第３層がＳｉＯで
あるため化学的に安定でなく、表面硬度もやや低いとい
う問題点があった。本発明の目的は、中心波長λ０±２
０ ｎｍで０．５％以下の反射率となる安定な合成樹
脂光学部品の反射防止膜を提供することにある。
らなる蒸着膜は、各成分の融点が違うため、蒸着に際し
て不安定であり、屈折率力でばらつくために光学特性力
で不安定となる。また空気層と接する第３層がＳｉＯで
あるため化学的に安定でなく、表面硬度もやや低いとい
う問題点があった。本発明の目的は、中心波長λ０±２
０ ｎｍで０．５％以下の反射率となる安定な合成樹
脂光学部品の反射防止膜を提供することにある。
本発明によれば、合成樹脂光学部品の表面に前記表面側
から第１層はＳｉＯＸ （ １＜Ｘ＜２ ）、第２層は
Ｃ＠０２、第３層はＳ＋Ｏｙ （ １＜）’ ＜２ ）
、第４層は，Ａ４ｚＱ３からなる４層構造の蒸着膜を形
成し、第３層のＳ＋Ｏｙは第４層のＡｌＯ３と略同一の
屈折率となるようにして、第３層の膜厚を５〜２Ｑｎｍ
にした反射防止膜を形成することにより達成される。
から第１層はＳｉＯＸ （ １＜Ｘ＜２ ）、第２層は
Ｃ＠０２、第３層はＳ＋Ｏｙ （ １＜）’ ＜２ ）
、第４層は，Ａ４ｚＱ３からなる４層構造の蒸着膜を形
成し、第３層のＳ＋Ｏｙは第４層のＡｌＯ３と略同一の
屈折率となるようにして、第３層の膜厚を５〜２Ｑｎｍ
にした反射防止膜を形成することにより達成される。
実施例について図面を診照して説明する。
第１図は本発明の合成樹脂光学部品の反射防止膜の構成
を示すものである。第１図Ｋおいて１０合成樹脂基板と
してＰＭＭＡを使用し、２の第１層は密着性の良いＳｔ
Ｏ．膜で、蒸着の際酸素ガスを導入することによりＰＭ
ＭＡ基板と同程度の屈折率とｒｌるように制御して、膜
厚は５ Ｑ ｎｍ〜１μとなるように形成する。この膜
は光学特性上の寄与はしないものである。３の第２層は
反射防止膜としてＣ ｅ ０ ２を膜厚λ／４となるよ
うに形成する。
を示すものである。第１図Ｋおいて１０合成樹脂基板と
してＰＭＭＡを使用し、２の第１層は密着性の良いＳｔ
Ｏ．膜で、蒸着の際酸素ガスを導入することによりＰＭ
ＭＡ基板と同程度の屈折率とｒｌるように制御して、膜
厚は５ Ｑ ｎｍ〜１μとなるように形成する。この膜
は光学特性上の寄与はしないものである。３の第２層は
反射防止膜としてＣ ｅ ０ ２を膜厚λ／４となるよ
うに形成する。
次に４の第３層はＳ ＋ Ｏ ｙ膜で、蒸着の際０２ガ
スを導入、制御して屈折率をおよそ１．６に調整し、膜
厚が５〜２００ｍとなるように形成する。４の第４層は
ＡｌｚＯ３膜で、第３層と第４層を合わせた膜厚がλ／
４とｆるように形成する。 ここでＣｅＯ２とＡ Ａ！
２ ０ ３の皮膜はイオンアシスト方法によって酸素
イオンガス照射をし、密着性、耐久性の良い膜を形成し
た。次に耐環境テストの実施結果を示す。
スを導入、制御して屈折率をおよそ１．６に調整し、膜
厚が５〜２００ｍとなるように形成する。４の第４層は
ＡｌｚＯ３膜で、第３層と第４層を合わせた膜厚がλ／
４とｆるように形成する。 ここでＣｅＯ２とＡ Ａ！
２ ０ ３の皮膜はイオンアシスト方法によって酸素
イオンガス照射をし、密着性、耐久性の良い膜を形成し
た。次に耐環境テストの実施結果を示す。
１． 耐クラツク，耐剥離テスト
６０℃，９０チＲＨ，５０時間放置後クラツクの発生は
見られなかった。テープ剥離テスト（セロテープ接着後
瞬時にはがす。２０回繰返す。ノでも膜剥離を生じなか
った。
見られなかった。テープ剥離テスト（セロテープ接着後
瞬時にはがす。２０回繰返す。ノでも膜剥離を生じなか
った。
２，耐摩耗テスト
レンズ紙を乾式および湿式（エーテルアルコールに浸し
たレンズ紙）にて、ｌ ｋｇの荷重で２５回往復した結
果キズの発生は見られなかった。
たレンズ紙）にて、ｌ ｋｇの荷重で２５回往復した結
果キズの発生は見られなかった。
以上のように密着性，耐久性の良好な反射防止膜が得ら
れた。
れた。
次に第２図に本実施例で得られた反射防止膜の分光反射
率特性を示す。中心波長７３Ｑｎｍでの反射率は０．０
５％以下と最小値を示し、７６０〜８００ｎｍの波長範
囲で反射率０．５％ 以下となる光学特性が得られてい
る。なお合成樹脂材料としてはＰＭＭＡに限らず、ｐｃ
， ｐｓ等の材料であっても良いＯ 〔発明の効果〕 以上のように本発明においては、中心波長λθ±２００
ｍの範囲で分光反射率が０．５チ以下で、密着性，耐久
性の良好ｒ（−合成樹脂光学部品用の反射防止膜が得ら
れる。
率特性を示す。中心波長７３Ｑｎｍでの反射率は０．０
５％以下と最小値を示し、７６０〜８００ｎｍの波長範
囲で反射率０．５％ 以下となる光学特性が得られてい
る。なお合成樹脂材料としてはＰＭＭＡに限らず、ｐｃ
， ｐｓ等の材料であっても良いＯ 〔発明の効果〕 以上のように本発明においては、中心波長λθ±２００
ｍの範囲で分光反射率が０．５チ以下で、密着性，耐久
性の良好ｒ（−合成樹脂光学部品用の反射防止膜が得ら
れる。
第１図は本発明の構成を示丁縦断面図。第２図は本実施
例における分光反射率を示すグラフで・ある。 １・・・合成樹脂基板 ２・・・第１層（８＋Ｏｘ
）３・・・第２層（ ０．０２ ） ４・・・第３
層（Ｓｔａｙ）５・・・第４層（ Ａ／ ２０３ ） 第１ 面 第２ 回
例における分光反射率を示すグラフで・ある。 １・・・合成樹脂基板 ２・・・第１層（８＋Ｏｘ
）３・・・第２層（ ０．０２ ） ４・・・第３
層（Ｓｔａｙ）５・・・第４層（ Ａ／ ２０３ ） 第１ 面 第２ 回
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、合成樹脂製光学部品の表面に、前記表面側から空気
側に第１層、第２層、第３層、第４層の４層構造の蒸着
膜を形成して反射防止膜を構成する構造であつて、前記
第１層はＳｉＯ＿ｘ（１＜ｘ＜２）からなり、前記第２
層はＣｅＯ＿２からなり、前記第３層はＳｉＯ＿ｙ（１
＜ｙ＜２）からなり、前記第４層はＡｌ＿Ｏ＿３からな
ることを特徴とする合成樹脂光学部品の反射防止膜。 ２、前記第３層のＳｉＯ＿ｙは前記第４層のＡｌ＿２Ｏ
＿３と略同一の屈折率であつて、膜厚を５〜２０ｎｍに
することを特徴とする特許請求範囲第１項記載の合成樹
脂光学部品の反射防止膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1050560A JPH02230101A (ja) | 1989-03-02 | 1989-03-02 | 合成樹脂光学部品の反射防止膜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1050560A JPH02230101A (ja) | 1989-03-02 | 1989-03-02 | 合成樹脂光学部品の反射防止膜 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02230101A true JPH02230101A (ja) | 1990-09-12 |
Family
ID=12862392
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1050560A Pending JPH02230101A (ja) | 1989-03-02 | 1989-03-02 | 合成樹脂光学部品の反射防止膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02230101A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2917510A1 (fr) * | 2007-06-13 | 2008-12-19 | Essilor Int | Article d'optique revetu d'un revetement antireflet comprenant une sous-couche partiellement formee sous assistance ionique et procede de fabrication |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61133901A (ja) * | 1984-11-30 | 1986-06-21 | ツエー・ライヘルト・オプテイツシエ・ヴエルケ・アーゲー | 光学素子 |
| JPS62134601A (ja) * | 1985-12-06 | 1987-06-17 | Olympus Optical Co Ltd | 光学部品用反射防止膜およびその製造法 |
| JPS63121801A (ja) * | 1986-11-11 | 1988-05-25 | Olympus Optical Co Ltd | 合成樹脂製光学部品の反射防止膜 |
-
1989
- 1989-03-02 JP JP1050560A patent/JPH02230101A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61133901A (ja) * | 1984-11-30 | 1986-06-21 | ツエー・ライヘルト・オプテイツシエ・ヴエルケ・アーゲー | 光学素子 |
| JPS62134601A (ja) * | 1985-12-06 | 1987-06-17 | Olympus Optical Co Ltd | 光学部品用反射防止膜およびその製造法 |
| JPS63121801A (ja) * | 1986-11-11 | 1988-05-25 | Olympus Optical Co Ltd | 合成樹脂製光学部品の反射防止膜 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2917510A1 (fr) * | 2007-06-13 | 2008-12-19 | Essilor Int | Article d'optique revetu d'un revetement antireflet comprenant une sous-couche partiellement formee sous assistance ionique et procede de fabrication |
| WO2009004222A1 (fr) * | 2007-06-13 | 2009-01-08 | Essilor International (Compagnie Generale D'optique) | Article d'optique revetu d'un revetement antireflet comprenant une sous-couche partiellement formee sous assistance ionique et procede de fabrication |
| US10962687B2 (en) | 2007-06-13 | 2021-03-30 | Essilor International | Optical article coated with an antireflection coating comprising a sub-layer partially formed under ion assistance and its manufacturing process |
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