JPH02230257A - 電子写真用像形成部材 - Google Patents
電子写真用像形成部材Info
- Publication number
- JPH02230257A JPH02230257A JP5133389A JP5133389A JPH02230257A JP H02230257 A JPH02230257 A JP H02230257A JP 5133389 A JP5133389 A JP 5133389A JP 5133389 A JP5133389 A JP 5133389A JP H02230257 A JPH02230257 A JP H02230257A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image forming
- photoconductive
- forming member
- conductive
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は電子写真用像形成部材に関するものである．
〔従来の技術〕
レーザプリンタや電子写真装置において、静電潜像形成
、現像，転写を行うのに使用する記録部材は，導電性支
持体の上に光導電膜（光導電層）を被着させたものであ
る。
、現像，転写を行うのに使用する記録部材は，導電性支
持体の上に光導電膜（光導電層）を被着させたものであ
る。
従来、この導電性支持体には材料が安価であること，加
工が容易であること，静電潜像形成プロセスから要求さ
れるマイクロメータオーダの表面精度が容易に得られる
等の理由からＪＩＳ−Ａ３００３、Ａ６０６３等のアル
ミニウム合金が使用されてきた。
工が容易であること，静電潜像形成プロセスから要求さ
れるマイクロメータオーダの表面精度が容易に得られる
等の理由からＪＩＳ−Ａ３００３、Ａ６０６３等のアル
ミニウム合金が使用されてきた。
上記従来技術は次に述べるような問題があった．通常、
光導電膜が非品質珪素を主成分とする像形成部材の場合
、静電潜像形成プロセスで静電潜像形成を行うのに十分
な光導電部材の膜厚は１５〜３０μｍである．そのため
導電性支持体の表面形状および導電性支持体中に添加物
がある場合は、その表面に露出している添加物の分布等
が導電性支持体と光導電膜との界面を不均一にし，電荷
潜像形成時の電荷分布および光導電特性にバラツキを与
えることがある．特に導電性支持体がアルミニウム合金
の場合、電子写真装置の静電潜像形成プロセス上の要求
から鏡面状態（表面粗さ０．１Ｓ以下）に仕上げること
が必要であり、そのため光導電膜被膜前には仕上げ切削
時の油の脱脂および表面酸化物除去のための弱アルカリ
液によるウエットエッチングまたは塩素系ガスによるド
ライエッチングを行なう。このようにエッチングを行っ
た場合、アルミニウム合金中に含まれる添加物（Ａ３０
０３合金ではマンガン等、Ａ６０６３合金ではシリコン
，マグネシウム等）とアルミニウムとのエッチング速度
の違いから、その添加物が表面に突起してきたり、また
は突起されすぎてその添加物の部分だけ剥離し、凹部と
なって残ることがある。特に突起となって残る場合には
、安定にアルミニウムに囲まれている時や剥離寸前の状
態にあることがある，このようにして作成したアルミニ
ウム合金表面に光導電膜を被着させ，像形成部材を作成
した場合、上述のように突起されすぎてまわりのアルミ
ニウムとの導電性が不十分な添加物が存在する時は，そ
の添加物に被着された光導電膜はその内部応力により部
分的に剥離したり，像形成部材として使用した際に光導
電部材から生じたキャリア（電子または正孔）を導電性
支持体に流すことができなくなり、その部分のみ表面電
荷が残留し、印刷不良となる。
光導電膜が非品質珪素を主成分とする像形成部材の場合
、静電潜像形成プロセスで静電潜像形成を行うのに十分
な光導電部材の膜厚は１５〜３０μｍである．そのため
導電性支持体の表面形状および導電性支持体中に添加物
がある場合は、その表面に露出している添加物の分布等
が導電性支持体と光導電膜との界面を不均一にし，電荷
潜像形成時の電荷分布および光導電特性にバラツキを与
えることがある．特に導電性支持体がアルミニウム合金
の場合、電子写真装置の静電潜像形成プロセス上の要求
から鏡面状態（表面粗さ０．１Ｓ以下）に仕上げること
が必要であり、そのため光導電膜被膜前には仕上げ切削
時の油の脱脂および表面酸化物除去のための弱アルカリ
液によるウエットエッチングまたは塩素系ガスによるド
ライエッチングを行なう。このようにエッチングを行っ
た場合、アルミニウム合金中に含まれる添加物（Ａ３０
０３合金ではマンガン等、Ａ６０６３合金ではシリコン
，マグネシウム等）とアルミニウムとのエッチング速度
の違いから、その添加物が表面に突起してきたり、また
は突起されすぎてその添加物の部分だけ剥離し、凹部と
なって残ることがある。特に突起となって残る場合には
、安定にアルミニウムに囲まれている時や剥離寸前の状
態にあることがある，このようにして作成したアルミニ
ウム合金表面に光導電膜を被着させ，像形成部材を作成
した場合、上述のように突起されすぎてまわりのアルミ
ニウムとの導電性が不十分な添加物が存在する時は，そ
の添加物に被着された光導電膜はその内部応力により部
分的に剥離したり，像形成部材として使用した際に光導
電部材から生じたキャリア（電子または正孔）を導電性
支持体に流すことができなくなり、その部分のみ表面電
荷が残留し、印刷不良となる。
本発明は以上の点に鑑みなされたものであり、導電性支
持体と被着された光導電暦との界面の構成を一様にする
ことを可能とした電子写真用像形成部材を提供すること
を目的とするものである。
持体と被着された光導電暦との界面の構成を一様にする
ことを可能とした電子写真用像形成部材を提供すること
を目的とするものである。
上記目的は、支持体と先導ｍｌとの間に０．０５μｍ以
上の膜厚を有する導電性膜を設けることにより、達成さ
れる． 〔作用〕 上記手段をもうけたので、導電性支持体上に導電性膜（
アルミニウム薄膜）が形成されるようになって、導電性
支持体上の凹部またはアルミニウム合金添加物が被覆さ
れるようになり、導電性支持体と被着された光導＠層と
の界面の構成を一様にすることができる。
上の膜厚を有する導電性膜を設けることにより、達成さ
れる． 〔作用〕 上記手段をもうけたので、導電性支持体上に導電性膜（
アルミニウム薄膜）が形成されるようになって、導電性
支持体上の凹部またはアルミニウム合金添加物が被覆さ
れるようになり、導電性支持体と被着された光導＠層と
の界面の構成を一様にすることができる。
以下、図示した実施例に基づいて本発明を説明する．第
１図および第２図には本発明の一実施例が示されている
。導電性支持体１上に積層された水素，フッ素、窒素，
ホウ素，リンのいずれかひとつ以上を含む非品質珪素か
らなる１層以上の光導電層２を有する電子写真用像形成
部材で、本実施例では支持体１と光導電層２との間に０
。０５μｍ以上の膜厚を有する導電性膜を設けた。この
ようにすることにより導電性支持体１上に導電性膜が形
成されるようになって、導電性支持体１上の凹部または
アルミニウム合金添加物３が被覆されるようになり、導
電性支持体１と被着された光導電層２との界面の構成を
一様にすることを可能とした電子写真用像形成部材を得
ることができるすなわちＪＩＳ−Ａ３００３合金からな
るアルミニウム円筒材の外側表面を表面粗さ０．１Ｓ以
下に加工し鏡面円筒材を作成し，これをアルカリ処理に
より、脱脂，表面エッチングを行い，超純水ですすぎ清
浄な雰囲気を持つ乾燥炉内で乾燥させた。
１図および第２図には本発明の一実施例が示されている
。導電性支持体１上に積層された水素，フッ素、窒素，
ホウ素，リンのいずれかひとつ以上を含む非品質珪素か
らなる１層以上の光導電層２を有する電子写真用像形成
部材で、本実施例では支持体１と光導電層２との間に０
。０５μｍ以上の膜厚を有する導電性膜を設けた。この
ようにすることにより導電性支持体１上に導電性膜が形
成されるようになって、導電性支持体１上の凹部または
アルミニウム合金添加物３が被覆されるようになり、導
電性支持体１と被着された光導電層２との界面の構成を
一様にすることを可能とした電子写真用像形成部材を得
ることができるすなわちＪＩＳ−Ａ３００３合金からな
るアルミニウム円筒材の外側表面を表面粗さ０．１Ｓ以
下に加工し鏡面円筒材を作成し，これをアルカリ処理に
より、脱脂，表面エッチングを行い，超純水ですすぎ清
浄な雰囲気を持つ乾燥炉内で乾燥させた。
次にアルミニウム合金円筒材を導電性支持体１を真空蒸
着装置内にセットし，また純度９９．９％のアルミニウ
ム地金をタングステンバスケットに入れ，タングステン
に通電することにより溶融させ蒸発源とした。アルミニ
ウム合金円筒材は１０−４Ｐａ雰囲気で１Ｏｒｐｍの速
度で回転させられながら３００゜Ｃに加熱され．３ＱＯ
’Ｃ到達後タングステンバスケット内のアルミニウムが
溶融したのを確認し、円筒材とバスケットとの間にある
シャッタを開き，約４μｍのアルミニウム膜４（導電性
膜）を蒸着した。
着装置内にセットし，また純度９９．９％のアルミニウ
ム地金をタングステンバスケットに入れ，タングステン
に通電することにより溶融させ蒸発源とした。アルミニ
ウム合金円筒材は１０−４Ｐａ雰囲気で１Ｏｒｐｍの速
度で回転させられながら３００゜Ｃに加熱され．３ＱＯ
’Ｃ到達後タングステンバスケット内のアルミニウムが
溶融したのを確認し、円筒材とバスケットとの間にある
シャッタを開き，約４μｍのアルミニウム膜４（導電性
膜）を蒸着した。
続いてアルミニウム膜４が付着した導電性支持体１であ
るアルミニウム合金円筒材を非品質珪素膜生成装置にセ
ットし，円筒材をＩＯＲＰＭで回転させると共に、２５
０’Ｃに加熱しながら反応室内を３Ｘ１０−’Ｐａまで
真空引きした．そして，反応室内にモノシランガス（水
素希釈３０％），シボランガス（水素希釈１０００ｐｐ
ｍ）．窒素ガスを導入し、ガス分圧モノシラン：ジボラ
ン：窒素＝３６０ ： １ ： ７２０．ガス総流量１
０００ｍｌ２／分、反応室内圧力６０Ｐａ．高周波電力
１０００ワットで１５分間グロー放電を行い、電荷注入
阻止暦５を作成した後，窒素ガスの導入を停止し、ガス
分圧モノシラン：ジボラン士３０００：１、ガス総流量
１２００ｍＱ／分，反応室内圧力６０Ｐａ、高周波電力
８００ワットに調整し、２４０分間グロー放電を行い、
光導電層２を積層した。そして再度窒素ガスを導入し、
ガス分圧モノシラン：ジボラン二窒素＝３５００＝１
： ３５０００、ガス総流量１０００ｍＱ／分，反応室
内圧力８０Ｐａ、高周波電力６００ワットで１０分間放
電を行い、表面保護層６を積層したまた上述と同一ロッ
トで作成されたＪＩＳ−Ａ３００３合金からなるアルミ
ニウム合金円筒材に対して、上述と同様に表面エッチン
グ乾燥を行い、アルミニウム膜を被膜されずに上述と同
様なプロセスで，電荷注入阻止層，光導電層、表面保護
層を積層した像形成部材を作成した。
るアルミニウム合金円筒材を非品質珪素膜生成装置にセ
ットし，円筒材をＩＯＲＰＭで回転させると共に、２５
０’Ｃに加熱しながら反応室内を３Ｘ１０−’Ｐａまで
真空引きした．そして，反応室内にモノシランガス（水
素希釈３０％），シボランガス（水素希釈１０００ｐｐ
ｍ）．窒素ガスを導入し、ガス分圧モノシラン：ジボラ
ン：窒素＝３６０ ： １ ： ７２０．ガス総流量１
０００ｍｌ２／分、反応室内圧力６０Ｐａ．高周波電力
１０００ワットで１５分間グロー放電を行い、電荷注入
阻止暦５を作成した後，窒素ガスの導入を停止し、ガス
分圧モノシラン：ジボラン士３０００：１、ガス総流量
１２００ｍＱ／分，反応室内圧力６０Ｐａ、高周波電力
８００ワットに調整し、２４０分間グロー放電を行い、
光導電層２を積層した。そして再度窒素ガスを導入し、
ガス分圧モノシラン：ジボラン二窒素＝３５００＝１
： ３５０００、ガス総流量１０００ｍＱ／分，反応室
内圧力８０Ｐａ、高周波電力６００ワットで１０分間放
電を行い、表面保護層６を積層したまた上述と同一ロッ
トで作成されたＪＩＳ−Ａ３００３合金からなるアルミ
ニウム合金円筒材に対して、上述と同様に表面エッチン
グ乾燥を行い、アルミニウム膜を被膜されずに上述と同
様なプロセスで，電荷注入阻止層，光導電層、表面保護
層を積層した像形成部材を作成した。
これら両方の像形成部材を用いて印刷を行ったところ，
アルミニウム膜４を被膜した本実施例のものでは微細パ
ターンが得られ、分解能が被膜しなかったものでは２４
０本／インチに対し８００本／インチになった。また、
連続印刷に対してはアルミニウム膜４を被膜した本実施
例の像形成部材は印刷枚数が５０万枚当りから全面に対
して印字濃度の低下が見られはじめたが、被膜しなかっ
た像形成部材の場合、２０万枚当りから局部的に印字濃
度の低下が見られ、５０万枚当りからは被膜したものと
同様に全面に印字濃度の低下が見られた． このように本実施例によればアルミニウム合金添加物の
表面バラツキが存在するアルミニウム合金と光導電部材
（光導電層）との間に、不純物のないアルミニウム膜を
介在させ、光導電部材と導電性支持体との間を同一金属
による一様な界面としたので、像形成時において分解能
が向上し、微細なパターンを作成することができる．ま
た、導電性支持体と光導電部材との間の不安定な導電が
生じる個所を除去することができ、導電性支持体の要因
による像形成時の画像抜けをなくすことができる。
アルミニウム膜４を被膜した本実施例のものでは微細パ
ターンが得られ、分解能が被膜しなかったものでは２４
０本／インチに対し８００本／インチになった。また、
連続印刷に対してはアルミニウム膜４を被膜した本実施
例の像形成部材は印刷枚数が５０万枚当りから全面に対
して印字濃度の低下が見られはじめたが、被膜しなかっ
た像形成部材の場合、２０万枚当りから局部的に印字濃
度の低下が見られ、５０万枚当りからは被膜したものと
同様に全面に印字濃度の低下が見られた． このように本実施例によればアルミニウム合金添加物の
表面バラツキが存在するアルミニウム合金と光導電部材
（光導電層）との間に、不純物のないアルミニウム膜を
介在させ、光導電部材と導電性支持体との間を同一金属
による一様な界面としたので、像形成時において分解能
が向上し、微細なパターンを作成することができる．ま
た、導電性支持体と光導電部材との間の不安定な導電が
生じる個所を除去することができ、導電性支持体の要因
による像形成時の画像抜けをなくすことができる。
なお，鏡面状のアルミニウム合金表面に導電性膜を被膜
する方法としては、上述の蒸着法の他にアルゴンイオン
等の不活性ガスイオンにより高純度（９９．９％以上）
アルミニウムターゲットをスパッタし，ターゲットから
たたき出されたアルミニウム微粒子を基板（アルミニウ
ム合金）上に付着させるスパッタリング法、または蒸着
法と同様に溶融したアルミニウムからの蒸気流に高周波
電界をかけ、アルミニウム原子をイオン化した基板（ア
ルミニウム合金）上に付着させるイオンプレーティング
法等がある．スパッタリング法またはイオンプレーティ
ング法を用いた場合、蒸着法よりアルミニウム合金と導
電性膜との間の付着力が増大し，光導電部材の内部応力
に耐え得るものが得られる． また、導電性膜の膜厚はアルミニウム合金表面のアルミ
ニウム合金添加物を固定、被膜するために０．０５μｍ
以上あればよいが、添加物の突起状態、光導電部材積層
面に対する膜厚均一性、像形成部材の量産性の観点から
０．５〜１０μｍであることが望ましい， 〔発明の効果〕 上述のように本発明は導電性支持体と被着された光導電
層との界面の構成を一様にすることができるようになっ
て、導電性支持体と被着された光導電層との界面の構成
を一様にすることを可能とした電子写真用像形成部材を
得ることができる。
する方法としては、上述の蒸着法の他にアルゴンイオン
等の不活性ガスイオンにより高純度（９９．９％以上）
アルミニウムターゲットをスパッタし，ターゲットから
たたき出されたアルミニウム微粒子を基板（アルミニウ
ム合金）上に付着させるスパッタリング法、または蒸着
法と同様に溶融したアルミニウムからの蒸気流に高周波
電界をかけ、アルミニウム原子をイオン化した基板（ア
ルミニウム合金）上に付着させるイオンプレーティング
法等がある．スパッタリング法またはイオンプレーティ
ング法を用いた場合、蒸着法よりアルミニウム合金と導
電性膜との間の付着力が増大し，光導電部材の内部応力
に耐え得るものが得られる． また、導電性膜の膜厚はアルミニウム合金表面のアルミ
ニウム合金添加物を固定、被膜するために０．０５μｍ
以上あればよいが、添加物の突起状態、光導電部材積層
面に対する膜厚均一性、像形成部材の量産性の観点から
０．５〜１０μｍであることが望ましい， 〔発明の効果〕 上述のように本発明は導電性支持体と被着された光導電
層との界面の構成を一様にすることができるようになっ
て、導電性支持体と被着された光導電層との界面の構成
を一様にすることを可能とした電子写真用像形成部材を
得ることができる。
第１図は本発明の電子写真用像形成部材の一実施例の縦
断側面図，第２図は第１図の導電性支持体近傍の拡大図
である， １は導電性支持体，２は光導電層、４はアルミニウム膜
（導電性膜）。
断側面図，第２図は第１図の導電性支持体近傍の拡大図
である， １は導電性支持体，２は光導電層、４はアルミニウム膜
（導電性膜）。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、導電性支持体の上に積層された水素、フッ素、窒素
、ホウ素、リンのいずれかひとつ以上を含む非晶質珪素
からなる１層以上の光導電層を有する電子写真用像形成
部材において、前記支持体と光導電層との間に０．０５
μｍ以上の膜厚を有する導電性膜を設けたことを特徴と
する電子写真用像形成部材。 ２、前記導電性膜が、スパッタリングまたはイオンプレ
ーティング法で形成されたものである特許請求の範囲第
１項記載の電子写真用像形成部材３、前記導電性支持体
が、アルミニウム合金で形成されたものである特許請求
の範囲第１項記載の電子写真用像形成部材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5133389A JPH02230257A (ja) | 1989-03-03 | 1989-03-03 | 電子写真用像形成部材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5133389A JPH02230257A (ja) | 1989-03-03 | 1989-03-03 | 電子写真用像形成部材 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02230257A true JPH02230257A (ja) | 1990-09-12 |
Family
ID=12883995
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5133389A Pending JPH02230257A (ja) | 1989-03-03 | 1989-03-03 | 電子写真用像形成部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02230257A (ja) |
-
1989
- 1989-03-03 JP JP5133389A patent/JPH02230257A/ja active Pending
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