JPH02232194A - クリーンロボット - Google Patents
クリーンロボットInfo
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- JPH02232194A JPH02232194A JP4883189A JP4883189A JPH02232194A JP H02232194 A JPH02232194 A JP H02232194A JP 4883189 A JP4883189 A JP 4883189A JP 4883189 A JP4883189 A JP 4883189A JP H02232194 A JPH02232194 A JP H02232194A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、クリーンルームで使用されるクリーンロボッ
トの構造の改良に関するものである。
トの構造の改良に関するものである。
第7図乃至第lθ図は従来のクリーンロボットを示すも
ので、図中、(1)は床に立設された縦長のフレーム、
(2)はこのフレーム(1)の正面に穿設された縦長の
溝孔(スリット)(第8図参照)、(3)はフレーム(
1)内の背面に並列に配設された一対のガイド(同図参
照)、(4)はフレーム(1)内の背面下部に水平に取
着された支持部、(5)はこの支持部(4) とフレー
ム(1)の内部上面との間に垂直に支承されたボールネ
ジで、このボールネジ(5)の支持部(4)を貫通した
下端にはプーリ《6》が嵌着されている。(7)は支持
部(4)に載置された駆動用のモータで、このモータ(
7)の支持部(4)を貫通した出力釉の先端にはベルト
車(8)が嵌着され、このベルト車(8) と上記ブー
リ(6)とにはベルト(9)が巻架されており、該モー
タ(ア)の駆動によりボールネジ(5)がベルト伝動に
より回転するようになっている。
ので、図中、(1)は床に立設された縦長のフレーム、
(2)はこのフレーム(1)の正面に穿設された縦長の
溝孔(スリット)(第8図参照)、(3)はフレーム(
1)内の背面に並列に配設された一対のガイド(同図参
照)、(4)はフレーム(1)内の背面下部に水平に取
着された支持部、(5)はこの支持部(4) とフレー
ム(1)の内部上面との間に垂直に支承されたボールネ
ジで、このボールネジ(5)の支持部(4)を貫通した
下端にはプーリ《6》が嵌着されている。(7)は支持
部(4)に載置された駆動用のモータで、このモータ(
7)の支持部(4)を貫通した出力釉の先端にはベルト
車(8)が嵌着され、このベルト車(8) と上記ブー
リ(6)とにはベルト(9)が巻架されており、該モー
タ(ア)の駆動によりボールネジ(5)がベルト伝動に
より回転するようになっている。
また、(IO)はボールネジ(5)に螺合された昇降体
で、この昇降体(10)は、第7図および第9図に示す
ようにボールネジ(5)に螺合され且つ上記一対のガイ
ド(3)に案内される本体(10a)と、この本体(1
0a)の溝孔(2)を貫通して外部に延出された先端に
水平回動可能に設けられたアーム(tob)と、このア
ーム(iob)の先端に装着されたハンド(10c)と
を備え、ボールネジ《5》の回転によりガイド(3)に
案内されつつ上昇若しくは下降動作して図示しないワー
ク等を搬送する機能を営む。
で、この昇降体(10)は、第7図および第9図に示す
ようにボールネジ(5)に螺合され且つ上記一対のガイ
ド(3)に案内される本体(10a)と、この本体(1
0a)の溝孔(2)を貫通して外部に延出された先端に
水平回動可能に設けられたアーム(tob)と、このア
ーム(iob)の先端に装着されたハンド(10c)と
を備え、ボールネジ《5》の回転によりガイド(3)に
案内されつつ上昇若しくは下降動作して図示しないワー
ク等を搬送する機能を営む。
然して、(l1)はフレーム(l}の背面下部に穿設さ
れた排気口、(l2)はこの排気口(l1)にフレーム
内部から重着された濾過用のフィルタ、そして(l3)
はこのフィルタ(l2)に重着されたファンで、このフ
ァン(l3)は、フレーム内部の塵を含む空気を吸引し
てフィルタ(l2)から濾過された空気のみを排気口(
1l)から外部に排出するとともに、該吸引作用により
フレーム内を負圧にして外部の汚染されていない空気を
溝孔《2)からフレーム内に導入する機能を営む(第7
図矢印参照)。
れた排気口、(l2)はこの排気口(l1)にフレーム
内部から重着された濾過用のフィルタ、そして(l3)
はこのフィルタ(l2)に重着されたファンで、このフ
ァン(l3)は、フレーム内部の塵を含む空気を吸引し
てフィルタ(l2)から濾過された空気のみを排気口(
1l)から外部に排出するとともに、該吸引作用により
フレーム内を負圧にして外部の汚染されていない空気を
溝孔《2)からフレーム内に導入する機能を営む(第7
図矢印参照)。
従って、モータ(7)の駆動に伴うボールネジ(5)の
回転により、昇降体(lO)はガイド(3)に案内され
つつ上昇若しくは下降動作して図示しないワーク等を把
持搬送する。この一方、フレーム内に発生する塵はフレ
ーム内の空気とともにファン(l3)に吸引され、フィ
ルタ(12)に濾過された後に排気口(1l)から外部
に排出される。そしてファン(I3)の吸引による負圧
作用により外部の汚染されいていない空気は溝孔(2)
を経てフレーム内部に導入される。
回転により、昇降体(lO)はガイド(3)に案内され
つつ上昇若しくは下降動作して図示しないワーク等を把
持搬送する。この一方、フレーム内に発生する塵はフレ
ーム内の空気とともにファン(l3)に吸引され、フィ
ルタ(12)に濾過された後に排気口(1l)から外部
に排出される。そしてファン(I3)の吸引による負圧
作用により外部の汚染されいていない空気は溝孔(2)
を経てフレーム内部に導入される。
尚、この種の先行技術文献として特開昭60−4440
5号、62−152692号公報等がある。
5号、62−152692号公報等がある。
従来のクリーンロボットは以上のように構成され、縦長
の溝孔(2)からフレーム内部に導入される全ての空気
をフレーム下部のファン(l3)により単に吸引するよ
うにしていたので、溝孔(2)の上部の風速《v1》と
下部の風速(v2)とが第lO図に示すように著しく異
なり、フレーム内の汚染された全ての空気を濾過して外
部に排出するには、非常に大きなファンを必要とした。
の溝孔(2)からフレーム内部に導入される全ての空気
をフレーム下部のファン(l3)により単に吸引するよ
うにしていたので、溝孔(2)の上部の風速《v1》と
下部の風速(v2)とが第lO図に示すように著しく異
なり、フレーム内の汚染された全ての空気を濾過して外
部に排出するには、非常に大きなファンを必要とした。
また昇降体(10)の上昇動作に際し、当該昇降体(i
o)より上方のフレーム内の汚染された空気は昇降体(
lO)のピストン作用により圧縮されて終には溝孔《2
》から外部に逆に排出されてしまい、外部の空気が容易
に汚染されてしまう、といった問題点があった。
o)より上方のフレーム内の汚染された空気は昇降体(
lO)のピストン作用により圧縮されて終には溝孔《2
》から外部に逆に排出されてしまい、外部の空気が容易
に汚染されてしまう、といった問題点があった。
本発明は叙上の点に鑑みなされたもので、ファンの小型
化と昇降体の上昇動作による弊害を防止することのでき
るクリーンロボットを提供することを目的としている。
化と昇降体の上昇動作による弊害を防止することのでき
るクリーンロボットを提供することを目的としている。
(課題を解決するための手段)
本発明においては、上述の目的を達成するため、フレー
ム内の反溝孔側に当該フレームに沿う通風路を画成し、
この通風路の側部には溝孔からフレーム内に流入した空
気を該通風路内に導く流入口を設けるとともに、通風路
の下側部には通風路内の空気を上記通風機に導く排出口
を設けたことを特徴としている。
ム内の反溝孔側に当該フレームに沿う通風路を画成し、
この通風路の側部には溝孔からフレーム内に流入した空
気を該通風路内に導く流入口を設けるとともに、通風路
の下側部には通風路内の空気を上記通風機に導く排出口
を設けたことを特徴としている。
(作用〕
本発明によれば、外部からフレーム内に導入された空気
がファンにより直接吸引される他に、該ファンに略連通
した通風路の流入口に吸引されるので、ファンの小型化
と昇降体のピストン作用による塵の拡散とを防止するこ
とができる。
がファンにより直接吸引される他に、該ファンに略連通
した通風路の流入口に吸引されるので、ファンの小型化
と昇降体のピストン作用による塵の拡散とを防止するこ
とができる。
(実施例)
以下、第1図乃至第3図に示す一実施例に基づき本発明
を詳述すると、図中、(1)は床に立設した縦長のフレ
ームで、このフレーム(1)の正面には溝孔(スリット
)(2)を縦長に穿設し、又フレーム(1)の内部には
仕切り板(l4)を設けて当該仕切り板(l4)と背面
との間に通風路(l5)を画成しており、該仕切り板の
上側部と下側部とには第1図に示すように流入口(1B
)と排出口(l7)をそれぞれ穿設している。(3)は
フレーム(1)内の仕切り板(l4)に並列に配設した
一対のガイド(第2図参照).(4)は仕切り板《l4
》の下部に、換言すれば排出口(l7)の上方に水平に
取着した支持部で、この支持部(4)とフレーム(1.
)の内部上面との間にはボールネジ(5)を回動自在に
配置し、このボールネジ(5)の支持部(4)を貫通し
た下端にはプーリ《6)を嵌着している。(7)は支持
部(4)に載置した駆動用のモータで、このモータ(7
)の支持部(4)を貫通して下端に突出した出力軸の先
端にはベルト車(8)を嵌着し、このベルト車(8)と
上記プーリ(6)とにはベルト(9)を巻架しており、
該モータ(7)の駆動によりボールネジ(5)がベルト
伝動により回転するようになっている。
を詳述すると、図中、(1)は床に立設した縦長のフレ
ームで、このフレーム(1)の正面には溝孔(スリット
)(2)を縦長に穿設し、又フレーム(1)の内部には
仕切り板(l4)を設けて当該仕切り板(l4)と背面
との間に通風路(l5)を画成しており、該仕切り板の
上側部と下側部とには第1図に示すように流入口(1B
)と排出口(l7)をそれぞれ穿設している。(3)は
フレーム(1)内の仕切り板(l4)に並列に配設した
一対のガイド(第2図参照).(4)は仕切り板《l4
》の下部に、換言すれば排出口(l7)の上方に水平に
取着した支持部で、この支持部(4)とフレーム(1.
)の内部上面との間にはボールネジ(5)を回動自在に
配置し、このボールネジ(5)の支持部(4)を貫通し
た下端にはプーリ《6)を嵌着している。(7)は支持
部(4)に載置した駆動用のモータで、このモータ(7
)の支持部(4)を貫通して下端に突出した出力軸の先
端にはベルト車(8)を嵌着し、このベルト車(8)と
上記プーリ(6)とにはベルト(9)を巻架しており、
該モータ(7)の駆動によりボールネジ(5)がベルト
伝動により回転するようになっている。
また(10)はボールネジ(5)に螺合した昇降体で、
この昇降体(10)は、ボールネジ(5)に螺合され且
つ上記一対のガイド(3)に案内される本体(10a)
と、この本体(10a)の溝孔(2)を貫通して外部に
延出された先端に水平回動可能に設けられたアーム(1
0b)と、このアーム(10b)の先端に装着されたハ
ンド(10c)とを備え、ボールネジ(5)の回転によ
りガイド(3)に案内されつつ上昇若しくは下降動作し
て図示しない,ワーク等を搬送する機能を営む。
この昇降体(10)は、ボールネジ(5)に螺合され且
つ上記一対のガイド(3)に案内される本体(10a)
と、この本体(10a)の溝孔(2)を貫通して外部に
延出された先端に水平回動可能に設けられたアーム(1
0b)と、このアーム(10b)の先端に装着されたハ
ンド(10c)とを備え、ボールネジ(5)の回転によ
りガイド(3)に案内されつつ上昇若しくは下降動作し
て図示しない,ワーク等を搬送する機能を営む。
然して、(ti)はフレーム(1)の背面最下部に穿設
した排気口、(12)はこの排気口(11)にフレーム
内部から重着した濾過用のフィルタ、そして(l3)は
このフィルタ(12)に重着したファンで、このファン
(13)は、フレーム内部の塵を含む空気を吸引してフ
ィルタ(12)より濾過された空気のみを排気口(1.
1)から排出するとともに、該吸引作用によりフレーム
内を負圧にして外部の汚染されていない空気を溝孔(2
)からフレーム内に導入する機能を営む(第1図矢印参
照)。そして、このファン(l3)は、第1図に示すよ
うに上記排出口(l7)を介して通風路(l5)と略連
通しており、該負圧作用により、溝孔(2)からフレー
ム内に流入した空気を通風路上部の流入口{16}から
通風路(15)内に導入する機能を営む(第1図矢印参
照)。
した排気口、(12)はこの排気口(11)にフレーム
内部から重着した濾過用のフィルタ、そして(l3)は
このフィルタ(12)に重着したファンで、このファン
(13)は、フレーム内部の塵を含む空気を吸引してフ
ィルタ(12)より濾過された空気のみを排気口(1.
1)から排出するとともに、該吸引作用によりフレーム
内を負圧にして外部の汚染されていない空気を溝孔(2
)からフレーム内に導入する機能を営む(第1図矢印参
照)。そして、このファン(l3)は、第1図に示すよ
うに上記排出口(l7)を介して通風路(l5)と略連
通しており、該負圧作用により、溝孔(2)からフレー
ム内に流入した空気を通風路上部の流入口{16}から
通風路(15)内に導入する機能を営む(第1図矢印参
照)。
従って、フレーム内の塵を含んだ空気は、ファン(l3
)に直接吸引される他に、ファン(l3)に略連通した
通風路(l5)の流入口(I6)に導入され、排出口(
l7)を経てファン(l3)に吸引された後にフィルタ
(l2)に濾過されて排気口(11)から外部に排出さ
れる。そしてファン(l3)の吸引作用により外部の汚
染されていない空気は溝孔(2》を経てフレーム内部に
導入される。
)に直接吸引される他に、ファン(l3)に略連通した
通風路(l5)の流入口(I6)に導入され、排出口(
l7)を経てファン(l3)に吸引された後にフィルタ
(l2)に濾過されて排気口(11)から外部に排出さ
れる。そしてファン(l3)の吸引作用により外部の汚
染されていない空気は溝孔(2》を経てフレーム内部に
導入される。
以上のように本発明によれば、フレーム内の汚染された
空気をフレーム下部のファン(l3)と、このファン(
13)に略連通した通風路(15)の上部の流入口(l
6)とに吸引するので、第3図に示すように溝孔(2)
の上部の風速(v3)と下部の風速《v4》とを略均一
にしてファン(l3)の小型化を図ることが可能となる
。そして昇降体(10)より上方のフレーム内の汚染さ
れた空気が流入口(l6)に吸引されるので、昇降体(
lO)のピストン作用による塵の拡散を防止することが
期待できる。
空気をフレーム下部のファン(l3)と、このファン(
13)に略連通した通風路(15)の上部の流入口(l
6)とに吸引するので、第3図に示すように溝孔(2)
の上部の風速(v3)と下部の風速《v4》とを略均一
にしてファン(l3)の小型化を図ることが可能となる
。そして昇降体(10)より上方のフレーム内の汚染さ
れた空気が流入口(l6)に吸引されるので、昇降体(
lO)のピストン作用による塵の拡散を防止することが
期待できる。
次に、第4図乃至第6図は本発明の他の実施例を示すも
ので、この場合には、通風路《15》を画成する仕切り
板(l4)に溝孔《2)より小幅の流入口(I6)を縦
列に多数穿設している。本実施例においても、上記実施
例と同様の作用効果を期待し得られ、より確実に風速の
均一化、ファン(13)の小型化及び昇降体(lO)の
ピストン作用による塵の拡散防止を図ることができるの
は明白である。さらに本実施例によれば、フレーム(1
)を第5図に示すようにパイプ形状に構成しているので
、フレーム(1)の強度をより向上させることができる
。
ので、この場合には、通風路《15》を画成する仕切り
板(l4)に溝孔《2)より小幅の流入口(I6)を縦
列に多数穿設している。本実施例においても、上記実施
例と同様の作用効果を期待し得られ、より確実に風速の
均一化、ファン(13)の小型化及び昇降体(lO)の
ピストン作用による塵の拡散防止を図ることができるの
は明白である。さらに本実施例によれば、フレーム(1
)を第5図に示すようにパイプ形状に構成しているので
、フレーム(1)の強度をより向上させることができる
。
尚、上記実施例においては仕切り板(14)に流入口(
l6)を穿設したものを示したが、溝孔(2)より小巾
の溝孔を穿設しても上記実施例と同様の作用効果を奥す
る。
l6)を穿設したものを示したが、溝孔(2)より小巾
の溝孔を穿設しても上記実施例と同様の作用効果を奥す
る。
(発明の効果)
以上のように本発明によれば、ファンの小型化と昇降体
の上昇動作による弊害を防止することのできるクリーン
ロボットを提供することができる。
の上昇動作による弊害を防止することのできるクリーン
ロボットを提供することができる。
第1図は本発明に係るクリーンロボットの一実施例を示
す断面側面図、第2図は第1図のVl−Vl線断面図、
第3図は本発明に係るクリーンロボットの一実施例にお
ける溝孔の風速を示す説明図、第4図は本発明に係るク
リーンロボットの他の実施例を示す断面側面図、第5図
は第4図の■一■線断面図、第6図は本発明に係るクリ
ーンロボットの他の実施例にあける溝孔の風速を示す説
明図、第7図は従来のクリーンロボットを示す断面側面
図、第8図は第7図のI−I線断面図、第9図は第7図
の■一■線断面図、第10図は従来のクリーンロボット
における溝孔の風速を示す説明図である。 図中、(1)はフレーム、(2)は溝孔、(10)は昇
降体、(l3)はファン(通風機),(15)は通風路
、(l6)は流入口、(l7)は排出口である。 尚、各図中、同一符号は同一又は相当部分を示す。
す断面側面図、第2図は第1図のVl−Vl線断面図、
第3図は本発明に係るクリーンロボットの一実施例にお
ける溝孔の風速を示す説明図、第4図は本発明に係るク
リーンロボットの他の実施例を示す断面側面図、第5図
は第4図の■一■線断面図、第6図は本発明に係るクリ
ーンロボットの他の実施例にあける溝孔の風速を示す説
明図、第7図は従来のクリーンロボットを示す断面側面
図、第8図は第7図のI−I線断面図、第9図は第7図
の■一■線断面図、第10図は従来のクリーンロボット
における溝孔の風速を示す説明図である。 図中、(1)はフレーム、(2)は溝孔、(10)は昇
降体、(l3)はファン(通風機),(15)は通風路
、(l6)は流入口、(l7)は排出口である。 尚、各図中、同一符号は同一又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 縦長の溝孔を備えた縦長のフレームと、このフレームの
内部から該溝孔を貫通して外部に延出された昇降可能な
昇降体と、該フレーム内の下部に設けられてフレーム内
の塵を外部に排出する通風機とを備えたクリーンロボッ
トにおいて、上記フレーム内の反溝孔側に当該フレーム
に沿う通風路を画成し、この通風路の側部には溝孔から
フレーム内に流入した空気を該通風路内に導く流入口を
設けるとともに、通風路の下側部には通風路内の空気を
上記通風機に導く排出口を設けたことを特徴とするクリ
ーンロボット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4883189A JP2507583B2 (ja) | 1989-03-01 | 1989-03-01 | クリ―ンロボット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4883189A JP2507583B2 (ja) | 1989-03-01 | 1989-03-01 | クリ―ンロボット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02232194A true JPH02232194A (ja) | 1990-09-14 |
| JP2507583B2 JP2507583B2 (ja) | 1996-06-12 |
Family
ID=12814182
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4883189A Expired - Fee Related JP2507583B2 (ja) | 1989-03-01 | 1989-03-01 | クリ―ンロボット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2507583B2 (ja) |
Cited By (9)
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|---|---|---|---|---|
| EP1010498A4 (en) * | 1997-06-09 | 2001-10-24 | Yaskawa Denki Seisakusho Kk | INDUSTRIAL ROBOT |
| JP2008018497A (ja) * | 2006-07-13 | 2008-01-31 | Yaskawa Electric Corp | 走行装置およびロボット |
| JP2010115720A (ja) * | 2008-11-11 | 2010-05-27 | Denso Wave Inc | クリーンロボット |
| JP2011517134A (ja) * | 2008-04-15 | 2011-05-26 | ダイナミック マイクロシステムズ セミコンダクター イクイップメント ゲーエムベーハー | クリーン移送ロボット |
| JP2013093597A (ja) * | 2004-12-22 | 2013-05-16 | Applied Materials Inc | 基板を処理するクラスタツールアーキテクチャ |
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| WO2025105083A1 (ja) * | 2023-11-17 | 2025-05-22 | ファスフォードテクノロジ株式会社 | 駆動軸、ヘッドテーブル、半導体製造装置および半導体装置の製造方法 |
Families Citing this family (1)
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|---|---|---|---|---|
| JP5263025B2 (ja) * | 2009-06-18 | 2013-08-14 | 株式会社デンソーウェーブ | ロボットコントローラのフィルタ |
-
1989
- 1989-03-01 JP JP4883189A patent/JP2507583B2/ja not_active Expired - Fee Related
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