JPH02234017A - エンコーダ用磁気記録媒体 - Google Patents
エンコーダ用磁気記録媒体Info
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- JPH02234017A JPH02234017A JP1055578A JP5557889A JPH02234017A JP H02234017 A JPH02234017 A JP H02234017A JP 1055578 A JP1055578 A JP 1055578A JP 5557889 A JP5557889 A JP 5557889A JP H02234017 A JPH02234017 A JP H02234017A
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Classifications
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/65—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition
- G11B5/656—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition containing Co
-
- G—PHYSICS
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- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、変位検出精度の高いエンコーダに好適に用
いられる保磁力の高いエンコーダ用磁気記録媒体に関す
るものである。
いられる保磁力の高いエンコーダ用磁気記録媒体に関す
るものである。
ロボットのアーム等に取り付けられて、その変位を検知
するメカトロニクスセンサとして磁気式のエンコーダが
ある。この磁気式のエンコーダは、変位を検知すべき物
体の表面に磁気記録媒体を取り付け、この磁気記録媒体
に磁気センサを臨ませてなるものである。そして磁気セ
ンサを用いて磁気記録媒体上に記録された一定信号を読
み取ることにより物体の変位を検知するものである。
するメカトロニクスセンサとして磁気式のエンコーダが
ある。この磁気式のエンコーダは、変位を検知すべき物
体の表面に磁気記録媒体を取り付け、この磁気記録媒体
に磁気センサを臨ませてなるものである。そして磁気セ
ンサを用いて磁気記録媒体上に記録された一定信号を読
み取ることにより物体の変位を検知するものである。
従来、この磁気記録媒体としては、基板上に薄膜状の磁
性材料を積層してなるものが用いられ、この磁性材料と
してはフエライト、ｒｅ−Ｃｒ−ＣＯ合金、希土類ボン
ド磁石等が用いられている。
性材料を積層してなるものが用いられ、この磁性材料と
してはフエライト、ｒｅ−Ｃｒ−ＣＯ合金、希土類ボン
ド磁石等が用いられている。
ところがフエライトやＦｅ−Ｃｒ−Ｃｏ合金は、保磁力
ａＨｃが小さいため、磁気センナによって検出できる信
号の出力値が小さく、磁気記録媒体に記録された信号の
着磁ピッチの１／２程度の距離にまで磁気センサを磁気
記録媒体表゛面に接近させなければならない。よってエ
ンコーダの組み立て精度を非常に高くしなければならな
いと共に、磁気センナと磁気記録媒体との距離は一定以
上小さくすることができないので着磁ピッチを大きくせ
ざるを得なくなり、その結果、高精度で変位検知ができ
ないという不都合があった。
ａＨｃが小さいため、磁気センナによって検出できる信
号の出力値が小さく、磁気記録媒体に記録された信号の
着磁ピッチの１／２程度の距離にまで磁気センサを磁気
記録媒体表゛面に接近させなければならない。よってエ
ンコーダの組み立て精度を非常に高くしなければならな
いと共に、磁気センナと磁気記録媒体との距離は一定以
上小さくすることができないので着磁ピッチを大きくせ
ざるを得なくなり、その結果、高精度で変位検知ができ
ないという不都合があった。
また保磁力の高い希土類ボンド磁石を磁性材料として用
いると上記課題は解決されるものの、ボンド磁石のバイ
ンダ中に分散された磁石粒子の拉度分布のむらおよび磁
石粒子の局在により磁気記録媒体の磁力線の乱れが発．
生しやすく、検知可能な精度限界が大きいという不都合
があった。
いると上記課題は解決されるものの、ボンド磁石のバイ
ンダ中に分散された磁石粒子の拉度分布のむらおよび磁
石粒子の局在により磁気記録媒体の磁力線の乱れが発．
生しやすく、検知可能な精度限界が大きいという不都合
があった。
この発明は上記課題を解決するためになされたものであ
って、高い保磁力ａＨｃを有し、かつ高精度の変位検知
が可能なエンコーダ用磁気記録媒体を提供することを目
的としている。
って、高い保磁力ａＨｃを有し、かつ高精度の変位検知
が可能なエンコーダ用磁気記録媒体を提供することを目
的としている。
この発明のエンコーダ用磁気記録媒体は、Ｃｏ合金薄膜
を基板上に積層し、上記Ｓｍ一Ｃｏ合金薄膜の結晶粒径
の３倍以上の着磁ビッチで着磁したことを解決手段とし
た。
を基板上に積層し、上記Ｓｍ一Ｃｏ合金薄膜の結晶粒径
の３倍以上の着磁ビッチで着磁したことを解決手段とし
た。
以下、この発明を詳しく説明する。
第１図および第２図はこの発明のエンコーダ用磁気記録
媒体の一例．を示したものであって、第２図は第１図の
１−１線矢視図である。このエンコーダ用磁気記録媒体
は、物体の回転角度の変位を検知するロータリーエンコ
ーダに好適に用いられるものであって、基板ｌ上にＳｍ
−Ｃｏ合金薄膜２、を積層し、このＳｍ−Ｃｏ合金薄膜
２の結晶粒径の３倍以上の着磁ピッチで変位検知のため
の信号を記録してなるものである。この基板ｌは表面が
平滑な円環状の板体であって、たとえば銅あるいは銅合
金等の金属板、あるいはガラス板等からなるものである
。またＳｍ−Ｇｏ合金薄膜２は、Ｃｏ中にＳ−を１１θ
〜２０ａｔ％の組成比で含有してなる合金をｌθ〜３０
０μ−の膜厚で成膜してなるものであり、高い保磁力ａ
Ｈｃ，好ましくは２０ＯＯＯｅ以上、特に好ましくは３
００００ｅ以上５００００ｅ未満を示すものである。保
磁力が２００００ｅ未満であると変位検知の際に用いら
れる信号の出力値が小さくなり、さらに５００００ｅ以
上であると着磁が非常に困難となり実用的でないためで
あるが、保磁力の上限値はこれに限られるものではない
。またこのＳｍ−Ｃｏ合金薄膜２を着磁することにより
記録される信号の着磁ピッチは、Ｓｍ−Ｇｏ合金の結晶
粒径の３倍以上となるように制御されている。これは後
述するように、この着磁ピッチがＳｍ−Ｇｏ合金の結晶
粒径の３倍未満となると、信号の出力波形に変動率が５
％以上となるためである。
媒体の一例．を示したものであって、第２図は第１図の
１−１線矢視図である。このエンコーダ用磁気記録媒体
は、物体の回転角度の変位を検知するロータリーエンコ
ーダに好適に用いられるものであって、基板ｌ上にＳｍ
−Ｃｏ合金薄膜２、を積層し、このＳｍ−Ｃｏ合金薄膜
２の結晶粒径の３倍以上の着磁ピッチで変位検知のため
の信号を記録してなるものである。この基板ｌは表面が
平滑な円環状の板体であって、たとえば銅あるいは銅合
金等の金属板、あるいはガラス板等からなるものである
。またＳｍ−Ｇｏ合金薄膜２は、Ｃｏ中にＳ−を１１θ
〜２０ａｔ％の組成比で含有してなる合金をｌθ〜３０
０μ−の膜厚で成膜してなるものであり、高い保磁力ａ
Ｈｃ，好ましくは２０ＯＯＯｅ以上、特に好ましくは３
００００ｅ以上５００００ｅ未満を示すものである。保
磁力が２００００ｅ未満であると変位検知の際に用いら
れる信号の出力値が小さくなり、さらに５００００ｅ以
上であると着磁が非常に困難となり実用的でないためで
あるが、保磁力の上限値はこれに限られるものではない
。またこのＳｍ−Ｃｏ合金薄膜２を着磁することにより
記録される信号の着磁ピッチは、Ｓｍ−Ｇｏ合金の結晶
粒径の３倍以上となるように制御されている。これは後
述するように、この着磁ピッチがＳｍ−Ｇｏ合金の結晶
粒径の３倍未満となると、信号の出力波形に変動率が５
％以上となるためである。
このようなエンコーダ用磁気記録媒体は、スパッタリン
グ法、電気めっき法等の通常の薄膜形成手段によって基
板ｌ上にＳ＠−Ｃｏ合金薄膜２を形成した後、必要に応
じて熱熟理を施すことにより容易に製造することができ
る。
グ法、電気めっき法等の通常の薄膜形成手段によって基
板ｌ上にＳ＠−Ｃｏ合金薄膜２を形成した後、必要に応
じて熱熟理を施すことにより容易に製造することができ
る。
この熱処理は、基板！上に形成されたＳｍ−Ｇｏ合金薄
膜２の磁気特性および結晶粒径を所望条件になるように
調整するためのものであって、処理温度および処理時間
は合金組成等の各条件によって適宜選択することができ
る。
膜２の磁気特性および結晶粒径を所望条件になるように
調整するためのものであって、処理温度および処理時間
は合金組成等の各条件によって適宜選択することができ
る。
このようにして製造されたエンコーダ用磁気記録媒体を
使用するにあたっては、Ｓｍ−Ｃｏ合金薄膜２の結晶粒
径の３倍以上の着磁ピッチで信号を記録したのち、変位
を検出すべき物体表面にＳ一一Ｃｏ合金薄膜２が磁気セ
ンサに臨むようにして取り付ける。
使用するにあたっては、Ｓｍ−Ｃｏ合金薄膜２の結晶粒
径の３倍以上の着磁ピッチで信号を記録したのち、変位
を検出すべき物体表面にＳ一一Ｃｏ合金薄膜２が磁気セ
ンサに臨むようにして取り付ける。
またこの発明のエンコーダ用磁気記録媒体は第１図およ
び第２図に示したものに限られるものではなく、この他
にも第３図ないし第６図に示したようなものであっても
よい。第３図および第４図に示したエンコーダ用磁気記
録媒体は第１図および第２図に示したものと同様にロー
タリーエンコーダに用いられるもので、円環状の基板！
の周縁部表面にＳｍ−Ｃｏ合金薄膜２を形成してなるも
のであって、第４図は第３図の■−■線矢視図である。
び第２図に示したものに限られるものではなく、この他
にも第３図ないし第６図に示したようなものであっても
よい。第３図および第４図に示したエンコーダ用磁気記
録媒体は第１図および第２図に示したものと同様にロー
タリーエンコーダに用いられるもので、円環状の基板！
の周縁部表面にＳｍ−Ｃｏ合金薄膜２を形成してなるも
のであって、第４図は第３図の■−■線矢視図である。
このような構成のものは、Ｓｆｆ＋−Ｃｏ合金薄膜２を
垂直磁化膜とすることかでき、第１図および第２図に示
したものと比較して、記録密度を向上させることができ
るので、より高精度で変位を検知することができる。
垂直磁化膜とすることかでき、第１図および第２図に示
したものと比較して、記録密度を向上させることができ
るので、より高精度で変位を検知することができる。
また第５図および第６図に示したエンコーダ用磁気記録
媒体は、平板状の基板ｌの表面にＳｍＣｏ合金薄１！２
を形成してなるものであって、第６図は第５図の■一■
線矢視図である。第１図ないし第４図に示したエンコー
ダ用磁気記録媒体は回転角度の変位検知に好適に用いら
れるものであるのに対し、第５図および第６図に示した
ものは、位置移動の変位検出に好適に用いられるもので
ある。
媒体は、平板状の基板ｌの表面にＳｍＣｏ合金薄１！２
を形成してなるものであって、第６図は第５図の■一■
線矢視図である。第１図ないし第４図に示したエンコー
ダ用磁気記録媒体は回転角度の変位検知に好適に用いら
れるものであるのに対し、第５図および第６図に示した
ものは、位置移動の変位検出に好適に用いられるもので
ある。
上記第１図ないし第６図に示したいずれのエンコーダ用
磁気記録媒体も、保磁力の高いＳｍ−Ｃｏ合金薄膜２を
基板１上に積層してなるものであるので、変位検知のた
めに記録された信号の磁気センサでの出力値が大きくな
る。よって従来のもののように磁気センサと磁気記録媒
体との距離を過度に小さくする必要がなくなるので、エ
ンコーダの組み立てが容易になる。さらにＳｍ−Ｇｏ合
金薄膜２は均一であり、かつ強い保磁力を示すものであ
るので、磁力線に乱れが発生しにくくなり、変位の検出
精度を向上させることも可能である。
磁気記録媒体も、保磁力の高いＳｍ−Ｃｏ合金薄膜２を
基板１上に積層してなるものであるので、変位検知のた
めに記録された信号の磁気センサでの出力値が大きくな
る。よって従来のもののように磁気センサと磁気記録媒
体との距離を過度に小さくする必要がなくなるので、エ
ンコーダの組み立てが容易になる。さらにＳｍ−Ｇｏ合
金薄膜２は均一であり、かつ強い保磁力を示すものであ
るので、磁力線に乱れが発生しにくくなり、変位の検出
精度を向上させることも可能である。
さらに変位検知のために記録される信号の着磁ピッチを
Ｓｍ−Ｃｏ合金薄膜２の結晶粒径の３倍以上とすること
により、磁気記録媒体の出力波長の変動を５％以下に制
御することができるので、正確な変位検知を行うことが
できる。
Ｓｍ−Ｃｏ合金薄膜２の結晶粒径の３倍以上とすること
により、磁気記録媒体の出力波長の変動を５％以下に制
御することができるので、正確な変位検知を行うことが
できる。
（実施例１）
Ｓｍ−Ｃｏ合金を、円環状の銅製基板上に、膜厚５５μ
属で電気めっき法によって積層して第１図および第２図
に示したと同様のエンコーダ用磁気記録媒体とした。
属で電気めっき法によって積層して第１図および第２図
に示したと同様のエンコーダ用磁気記録媒体とした。
この磁性記録媒体を調べたところ、Ｓｍ−Ｃｏ合金の結
晶粒径はｌＯ〜３０μ−、保磁力ａＨｃは、３５０００
ｅ．磁束密度Ｂｒは４５００Ｇであった。
晶粒径はｌＯ〜３０μ−、保磁力ａＨｃは、３５０００
ｅ．磁束密度Ｂｒは４５００Ｇであった。
（比較例１）
基板上に積層する磁性材料としてフエライトを用いた以
外は実施例１と全く同様にしてエンコーダ用磁気記録媒
体を得て、これを比較例１とした。
外は実施例１と全く同様にしてエンコーダ用磁気記録媒
体を得て、これを比較例１とした。
この磁性特性を調べたところ、保磁力ａＨｃは１８５０
０ｅであった。
０ｅであった。
（比較例２）
基板上に積層する磁性材料として、Ｆ ｅ − Ｃ ｒ
−ＣＯ合金を用いた以外は実施例ｌと全く同様にして
エンコーダ用磁気記録媒体を得て、これを比較例２とし
た。
−ＣＯ合金を用いた以外は実施例ｌと全く同様にして
エンコーダ用磁気記録媒体を得て、これを比較例２とし
た。
この磁性特性を調べたところ、保磁力ＢＨｃは４０００
ｅであった。
ｅであった。
（比較例３）
基板上に積層する磁性材料として希土類ボンド磁石を用
いた以外は実施例ｌと全く同様にしてエンコーダ用磁気
記録媒体を得て、これを比較例３とした。
いた以外は実施例ｌと全く同様にしてエンコーダ用磁気
記録媒体を得て、これを比較例３とした。
この磁性特性を調べたところ、保磁力ａＨｃは４１００
０ｅであった。
０ｅであった。
（試験例Ｉ）
上記実施例ｌ１比較例１ないし比較例３のエンコーダ用
磁気記録媒体をそれぞれ１００μ朧ピッチで着磁して変
位検知に用いる信号を記録した。
磁気記録媒体をそれぞれ１００μ朧ピッチで着磁して変
位検知に用いる信号を記録した。
磁気センサとエンコーダ用磁気記録媒体との距離を変化
させつつ、上記信号を磁気センサを用いて検出し、その
ときの磁気センサの出力値を測定した。この結果を第７
図に示した。第７図中、Ｏは実施例ｌの結果を、口は比
較例ｌの結果を、●は比較例２の結果を、△は比較例３
の結果をそれぞれ示す。第７図より、この発明のエンコ
ーダ用磁気記録媒体の実施例！と、比較的保磁力の高い
比較例３のエンコーダ用磁気記録媒体とは、磁気センサ
との距離が大きくなっても出力値が小さくならないこと
が確認できた。またエンコーダによる変位検出の際に最
低必要とする出力値をたとえば１．５Ｖとすると、この
発明のエンコーダ用磁気記録媒体では、磁気センサとの
距離が着磁ピッチと等しい！００μ膿であっても十分な
出力値が得られることが確認できた。
させつつ、上記信号を磁気センサを用いて検出し、その
ときの磁気センサの出力値を測定した。この結果を第７
図に示した。第７図中、Ｏは実施例ｌの結果を、口は比
較例ｌの結果を、●は比較例２の結果を、△は比較例３
の結果をそれぞれ示す。第７図より、この発明のエンコ
ーダ用磁気記録媒体の実施例！と、比較的保磁力の高い
比較例３のエンコーダ用磁気記録媒体とは、磁気センサ
との距離が大きくなっても出力値が小さくならないこと
が確認できた。またエンコーダによる変位検出の際に最
低必要とする出力値をたとえば１．５Ｖとすると、この
発明のエンコーダ用磁気記録媒体では、磁気センサとの
距離が着磁ピッチと等しい！００μ膿であっても十分な
出力値が得られることが確認できた。
（試験例２）
試験例１と同様に各エンコーダ用磁気記録媒体に着磁ビ
ッチ１００μ■で信号を記録した。
ッチ１００μ■で信号を記録した。
信号が記録された磁気記録媒体上からｉｏθμ−離れた
一点に磁気センナを設け、これを一回転させて磁気記録
媒体上に記録された信号の出力波形をそれぞれ測定した
。この結果を第８図ないし第１１図に示した。第８図は
実施例ｌの出力波形であり、第９図は比較例３のもので
ある。また比較例１に関しては磁気センサとの距離がＩ
Ｏｏμ一では出力が得られなかったために、距離を小さ
くして７０μ１１５０μ一とし、この結果をそれぞれ第
ｌＯ図および第１１図に示した。
一点に磁気センナを設け、これを一回転させて磁気記録
媒体上に記録された信号の出力波形をそれぞれ測定した
。この結果を第８図ないし第１１図に示した。第８図は
実施例ｌの出力波形であり、第９図は比較例３のもので
ある。また比較例１に関しては磁気センサとの距離がＩ
Ｏｏμ一では出力が得られなかったために、距離を小さ
くして７０μ１１５０μ一とし、この結果をそれぞれ第
ｌＯ図および第１１図に示した。
第８図ないし第１１図において、出力波長の最大振幅Ｂ
と最小振幅Ａとを測定して、出力変動率（％）１ ０
０（Ｂ−Ａ）／Ｂをそれぞれの例について調べ、各図中
に示した。
と最小振幅Ａとを測定して、出力変動率（％）１ ０
０（Ｂ−Ａ）／Ｂをそれぞれの例について調べ、各図中
に示した。
この結果、実施例１は３．４％となり、エンコーダ用磁
気記録媒体に要求される出力変動の最大値５％を大きく
下回る良好な値となった。
気記録媒体に要求される出力変動の最大値５％を大きく
下回る良好な値となった。
（試験例３）
実施例１のエンコーダ用磁気記録媒体に適宜熱処理を施
してＳｍ一Ｃｏ合金薄膜の結晶粒径を種々変化させると
共に、変位検出のための信号を記録する着磁ビッチを変
化させた際の出力変動率を測定した。この結果を第１２
図に示した。通常、エンコーダ用磁気記録媒体の出力変
動は５％以下であることが望ましいが、この条件を満た
すには、（結晶粒径）バ着磁ピッチ）が１／３以下、す
なわち結晶粒径の３倍以上の着磁ピッチで信号を記録す
ればよいことが確認できた。
してＳｍ一Ｃｏ合金薄膜の結晶粒径を種々変化させると
共に、変位検出のための信号を記録する着磁ビッチを変
化させた際の出力変動率を測定した。この結果を第１２
図に示した。通常、エンコーダ用磁気記録媒体の出力変
動は５％以下であることが望ましいが、この条件を満た
すには、（結晶粒径）バ着磁ピッチ）が１／３以下、す
なわち結晶粒径の３倍以上の着磁ピッチで信号を記録す
ればよいことが確認できた。
以上説明したように、この発明のエンコーダ用磁気記録
媒体は、ＣＯ中にＳｆｆｉをｌＯ〜２０ａｔ％含有して
なるＳｍ一Ｃｏ合金薄膜を基板上に積層し、上記Ｓ＠−
Ｃｏ合金薄膜の結晶粒径の３倍以上の着磁ピッチで着磁
してなるものであるので、変位検知のために記録された
信号の磁気センサでの出力値が大きくなる。よって従来
のもののように磁気センサと磁気記録媒体との距離を過
度に小さくする必要がなくなるので、エンコーダの組み
立てが容易になる。さらにＳｍ−Ｇｏ合金薄膜、は均一
であり、かつ強い保磁力を示すものであるので、変位の
検出精度を向上させることも可能である。
媒体は、ＣＯ中にＳｆｆｉをｌＯ〜２０ａｔ％含有して
なるＳｍ一Ｃｏ合金薄膜を基板上に積層し、上記Ｓ＠−
Ｃｏ合金薄膜の結晶粒径の３倍以上の着磁ピッチで着磁
してなるものであるので、変位検知のために記録された
信号の磁気センサでの出力値が大きくなる。よって従来
のもののように磁気センサと磁気記録媒体との距離を過
度に小さくする必要がなくなるので、エンコーダの組み
立てが容易になる。さらにＳｍ−Ｇｏ合金薄膜、は均一
であり、かつ強い保磁力を示すものであるので、変位の
検出精度を向上させることも可能である。
さらに変位検知のために記録される信号の着磁ピッチを
Ｓｍ−Ｃｏ合金薄膜の結晶粒径の３倍以上とすることに
より、磁気記録媒体の出力波長の変動を５％以下に制御
することができるので、正確な変位検知を行うことがで
きる。
Ｓｍ−Ｃｏ合金薄膜の結晶粒径の３倍以上とすることに
より、磁気記録媒体の出力波長の変動を５％以下に制御
することができるので、正確な変位検知を行うことがで
きる。
第１図はこの発明のエンコーダ用磁気記録媒体の一例を
示した平面図、 第２図は第１図の１−１線矢視図、 第３図はこの発明のエンコーダ用磁気記録媒体の他の例
を示した平面図、 第４図は第３図のｎ−ｎ線矢視図、 第５図はこの発明のエンコーダ用磁気記録媒体の他の例
を示した平面図、 第６図は第５図の■−■線矢視図、 第７図は磁気記録媒体とセンサとの距離を変化させた際
の出力の変化を調べたグラフ、第８図はこの発明のエン
コーダ用磁気記録媒体の出力波形を示したグラフ、 第９図ないし第１！図はいずれも従来のエンコーダ用磁
気記録媒体の出力波形を示したグラフ、第１２図はこの
発明のエンコーダ用磁気記録媒体のＳ醜−Ｃｏ合金の結
晶粒子と着磁ピッチとを変化させた際に出力変動率にお
よぼす影響を示したグラフである。 第１因 第２図 ｌ・・・基板、 ２・・・Ｓｍ−Ｃｏ合金薄膜。 第４図
示した平面図、 第２図は第１図の１−１線矢視図、 第３図はこの発明のエンコーダ用磁気記録媒体の他の例
を示した平面図、 第４図は第３図のｎ−ｎ線矢視図、 第５図はこの発明のエンコーダ用磁気記録媒体の他の例
を示した平面図、 第６図は第５図の■−■線矢視図、 第７図は磁気記録媒体とセンサとの距離を変化させた際
の出力の変化を調べたグラフ、第８図はこの発明のエン
コーダ用磁気記録媒体の出力波形を示したグラフ、 第９図ないし第１！図はいずれも従来のエンコーダ用磁
気記録媒体の出力波形を示したグラフ、第１２図はこの
発明のエンコーダ用磁気記録媒体のＳ醜−Ｃｏ合金の結
晶粒子と着磁ピッチとを変化させた際に出力変動率にお
よぼす影響を示したグラフである。 第１因 第２図 ｌ・・・基板、 ２・・・Ｓｍ−Ｃｏ合金薄膜。 第４図
Claims (1)
- Ｃｏ中にＳｍを１０〜２０ａｔ％含有してなるＳｍ−
Ｃｏ合金薄膜を基板上に積層し、上記Ｓｍ−Ｃｏ合金薄
膜の結晶粒径の３倍以上の着磁ピッチで着磁してなるエ
ンコーダ用磁気記録媒体
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1055578A JPH02234017A (ja) | 1989-03-08 | 1989-03-08 | エンコーダ用磁気記録媒体 |
| US07/490,934 US5187022A (en) | 1989-03-08 | 1990-03-08 | Magnetic recording medium for encoders |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1055578A JPH02234017A (ja) | 1989-03-08 | 1989-03-08 | エンコーダ用磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02234017A true JPH02234017A (ja) | 1990-09-17 |
Family
ID=13002620
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1055578A Pending JPH02234017A (ja) | 1989-03-08 | 1989-03-08 | エンコーダ用磁気記録媒体 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5187022A (ja) |
| JP (1) | JPH02234017A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2025520421A (ja) * | 2022-06-13 | 2025-07-03 | ミバ イーモビリティ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 磁気信号装置及び該装置を備えた部品 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102014217458A1 (de) * | 2014-09-02 | 2016-03-03 | Schaeffler Technologies AG & Co. KG | Encoder und Sensorvorrichtung für ein drehbares Maschinenteil |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60195416A (ja) * | 1984-03-16 | 1985-10-03 | Seiko Epson Corp | 磁気式ロ−タリエンコ−ダ |
| JPS60250211A (ja) * | 1984-05-28 | 1985-12-10 | Inoue Japax Res Inc | 磁気スケ−ルの製造方法 |
| JPS6423113A (en) * | 1987-07-20 | 1989-01-25 | Agency Ind Science Techn | Magnetic encoder |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4042341A (en) * | 1973-10-15 | 1977-08-16 | General Electric Company | Magnetic films of transition metal-rare earth alloys |
| DE2909891A1 (de) * | 1979-03-14 | 1980-09-25 | Basf Ag | Magnetischer aufzeichnungstraeger |
| JPS6016409A (ja) * | 1983-07-08 | 1985-01-28 | Yoshifumi Sakurai | 垂直磁化膜 |
| JPS648291A (en) * | 1987-06-30 | 1989-01-12 | Yamaha Corp | Plating method with samarium-cobalt alloy |
| JPH03200011A (ja) * | 1989-12-28 | 1991-09-02 | Yamaha Corp | 磁気メディアおよびその製法 |
-
1989
- 1989-03-08 JP JP1055578A patent/JPH02234017A/ja active Pending
-
1990
- 1990-03-08 US US07/490,934 patent/US5187022A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60195416A (ja) * | 1984-03-16 | 1985-10-03 | Seiko Epson Corp | 磁気式ロ−タリエンコ−ダ |
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| JPS6423113A (en) * | 1987-07-20 | 1989-01-25 | Agency Ind Science Techn | Magnetic encoder |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2025520421A (ja) * | 2022-06-13 | 2025-07-03 | ミバ イーモビリティ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 磁気信号装置及び該装置を備えた部品 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5187022A (en) | 1993-02-16 |
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