JPH02234104A - 干渉フィルタ検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は投写形テレビジョン表示管に用いる干渉フィル
タを検査する干渉フィルタ検査装置に関するものである
。

現在既知の゜投写形テレビジョンシステムでは、通常の
直視形スクリーンを有するテレビジＦンに比べて、輝度
が落ち、演色性があまり良くなく、コントラストも落ち
、解像度も幾分失われる。演色性が落ちる主たる原因は
、通常用いられているテルビウム（Ｔｂ）活性化緑色螢
光体がオレンジ及び赤色のスペクトルラインにあまりに
も大きく影響を及ぼすという事実にある。また、レンズ
における色収差により、特に通常用いられている緑色（
Ｔｂ活性化された）及び青色（ＺｎＳ　：　Ａｇ）螢光
体に対し可成りの量デフォーカスが生ぜしめられる。

（従来の技術） これらの問題に対処するために、例えば欧州特許出願公
開第ＥＰ−Ａ　Ｏ，１７４．３２０号において、螢光体
層と表示スクリーンのガラスとの間に干渉フィル夕を配
置することが提案された。可視光の範囲内では、この提
案された干渉フィルタは短波長透過フィルタである。こ
の干渉フィルタは前方に且つ法線に対し約３５“〜４０
”　までの角度にある所望の波長の光を透過する。表示
スクリーンの法線に対する光の角度が大きくなると干渉
フィルタはこの光を螢光体層に向けて反射する。この光
はこの螢光体層で散乱され、引続きこの螢光体層からほ
ぼ前方に出、従ってこの光はフィルタを通過する。

これが為、干渉フィルタは前方に向かう所望波長の光を
増大させる。

波長が短くなると、光が依然として通過する法線に対す
る角度範囲が大きくなり、投写レンズの許容角内での前
方への光の相対的増大量がわずかとなる。波長が長くな
ると角度範囲が小さくなるか或いは光が完全に阻止され
る場合もある。従って、干渉フィルタは色選択的に動作
し、表示管が透過する光の色を改善し、輝度を増大させ
、レンズにおける色収差を減少させる。

しかし、像の品質、特に演色性は干渉フィルタの品質に
依存すること明らかである。従って、各製造バッチ毎に
得られるフィルタのうち少な《とも代表的な一部分を検
査する必要がある。

（発明が解決しようとする課題） フィルタはその透過及び反射特性を種々の波長で決定す
ることにより測定しうる。この方法は研究室ではいかな
る問題も生じることなく行なうことができるも、あまり
にも複雑で、時間を浪費し、従って工場で多量生産する
のに適用するにはあまりにも費用がかかる方法である。

従って、測定すべきパラメータの数を最小として充分な
簡単で迅速で廉価な検査を行なうのが望ましい。

本発明の目的は、光学的な測定を行なうのに特に熟練し
ていない人によっても行なうことのできる検査装置を提
供せんとするにある。

（課題を解決するための手段） 本発明は、投写形テレビジョン表示管に用いる干渉フィ
ルタを検査する干渉フィルタ検査装置において、 第１光路に沿って伝搬する第１光ビームを生じる少なく
とも１つの第１光源と、 干渉フィルタを第１光路中に配置する手段と、干渉フィ
ルタの所望遮断波長が位置している波長範囲で勾配を存
するスペクトル分布を前記の第１光ビームに与えるため
の手段と、 前記の干渉フィルタを通過した或いはこの干渉フィルタ
で反射された前記の第１光ビーｌ、の強度を測定する少
なくとも１つの第１検出器とを具えていることを特徴と
する。

本発明は、所望の干渉フィルタは短波透過特性を有して
いるという事実を利用している。短波長を有する光の場
合、，透過係数は１に近く、長波長を有する光はほぼ完
全に反射される。これら２つの波長範囲間では透過係数
がほぼ１からほぼ０に減少する遷移波長範囲がある。こ
の遷移波長範囲の位置は第一に、透過係数が２である波
長七して規定される遮断波長によって与えられる。

本発明は更に、前方への光に対する遮断波長はフィルタ
が殆ど吸収しないとした場合に干渉フィルタの特性を決
定する最も重要な単一のパラメ−夕であるという認識を
も基に成したものである．この点に関しては後に詳細に
説明する。本発明はまた干渉フィルタの遷移波長範囲が
位置すべき波長範囲であって光の強度が波長に可成り依
存するようになっ゜ζいる波長範囲でスペクトル分布を
有する干渉フィルタに光ビームを入射させることにより
遮断波長の値を正確に決定しうるという認識をも基に成
したものである。光ビームのスペク１・ル分布は、透過
率を測定する場合、波長が大きくなるにつれて強度が増
大し、反躬率を測定ずる場合ぞの逆となる、すなわち光
ビームが短波長で大きい影響を受け長波長で小さな影響
しか受けないようにする必要がある。

検出システムによって測定された強虜は、光ビーム内の
スペクトル分布と干渉フィルタの通過又は反射係数との
積分積である。

本発明による干渉フィルタ検査装置は、前記の波長範囲
内のスペクトル分布の勾配が約７・１０”ｍ及び約７５
・１０６ＩＩｌ−１間の値を有するような特性とするの
が好ましい。この勾配は３倍の範囲内でｌｎｍ波長当り
２．５％の相対変化に相当する。干渉フィルタの場合前
述した欧州特許出願第ＥＰ−Ａ　Ｏ．１７４．３２０号
明細書に記載されているように、ｌｎＩＩ＋当り２．５
％は、遮断波長の値の１％偏移が検出器によって観察さ
れる強度における約１０％の強度変化に相当するという
ことを意味する。

スペクトル分布は所望の波長の光のみを発生する光源に
より実現しうるも、本発明による干渉フィルタ検査装置
には、白色光ビームを発生するようにした光源と、第１
光路中に配置され波長依存透過係数を有するフィルタを
具えスペクトル分布を与えるための手段とが設けられて
いるようにするのが好ましい。白色光源は、関連の波長
範囲内の発生光の強度がほぼすべての波長に対して等し
いということを意味する。従って、所望の連続するスペ
クトル分布をフィルタによって正確に与えることができ
る。このフィルタは所定の範囲内の光のみを通過する帯
域通過フィルタとすることができるも、異なるフィルタ
、例えば波長透過フィルタ或いは有色ガラスフィルタと
することもてきる．フィルタに課せられる最も重要な条
件は短波長側における遮断特性動作である。

表示スクリーン上の干渉フィルタは表示管のカラーに適
合させる必要がある。“赤色”，“緑色“及び“青色”
表示管の干渉フィルタを検査しうるようにするために、
本発明によるこの干渉フィルタ検査装置が、波長の関数
としての透過係数の変化が互いに異なる複数個のフィル
タを具えており、これらフィルタは交換自在となってい
るようにする。これらフィルタを例えば回動可能なフィ
ルタホルダ内に配置することによりある種類のフィルタ
を他の種類のフィルタに簡単に且つ迅速に切換えること
ができる。

本発明による干渉フィルタ検査装置は、干渉フィルタと
検出システムとの間の第１光路中にフィルタを配置する
という特徴も有している．このようにすることにより、
周囲からの散乱光が検出システムに達しないようになる
。

投写形テレビジョン表示管の表示スクリーンは例えば欧
州特許出願公開第ＥＰ−八〇，２７１．１６５号明細書
に記載されいてるように湾曲させることができる。この
欧州特許公開明．細書では、干渉フィルタの動作を良好
にするために、スクリーン上の位置に応じて干渉フィル
タの特性を変えることを提案している。従って、種々の
位置で異なる特性を有するフィルタを検査しうるように
するために、遮断波長の測定をフィルタの異なる位置で
行なう。

フィルタが正し《形成されているかどうかのみを検査す
る為、一般には２個所での測定で充分である。これを可
能にするために、本発明による干渉フィルタ検査装置で
は、前記の干渉フィルタの第２位置における遮断波長を
測定するために、この干渉フィルタ検査装置が、前記の
第１光路からある距離で延在する第２光路に沿って伝搬
する第２光ビームを発生する第２光源と、干渉フィルタ
を通過した或いはこの干渉フィルタで反射された第２光
ビームの強度を測定する第２検出器とを具えるようにす
る。この干渉検査装置はいわば二重装置であり、第１光
ビームはスクリーン上の中央位置を検査するのに用いら
れ、第２光ビームは周辺位置を検査するのに用いられる
。周辺位置は、干渉フィルタの特性がフィルタの中央部
分における特性と一敗するように選択するのが好ましい
。第１及び第２光源は実際には２つの光ビームを生じる
単一の光源とすることができる。必要に応じ、干渉フィ
ルタを２個所よりも多い位置で検査することができる。

この目的のためには、測定を複数の工程で行なうか或い
は、２つよりも多い光ビニム、フィルタ及び検出器を用
いることができる。

また、本発明による干渉フィルタ検査装置が、他の光路
に沿って伝搬する他の光ビームを発生する他の光源と、
前記の干渉フィルタがほぼ完全に透過する波長範囲内に
ほぼ完全に入るスペクトル分布を前記の他の光ビームに
与える他の手段と、前記の干渉フィルタを通過した前記
の他の光ビームの強度を測定する他の光感応検出器とを
具えているようにする。実際には、フィルタの品質は遮
断波長によってのみならずフィルタにおける吸収係数に
よっても決定される為、この吸収係数を測定する必要が
ある。吸収係数はフィルタの１個所で測定すれば充分で
ある。その理由は、フィルタを形成する蒸着処理はフィ
ルタの全表面に亘って同じ条件の下で行なわれる為であ
る。

前記の他の光源は白色光ビームを発生するようになって
おり、スペクトル分布を与える前記の他の手段は帯域通
過フィルタを有しているようにするのが好適である。こ
のようにすると、帯域通過フィルタを交換することによ
りスペクトル分布を容易に変えることができる。また、
吸収係数を測定するために、測定すべき干渉フィルタと
光感応検出器との間に帯域通過フ，イルタを配置するこ
ともできる。

本発明による干渉フィルタ検査装置の好適実施態様では
、前記の他の光源は前記の第１光源と同一であり、前記
の他の光路は部分的に前記の第１光路と一致しており、
干渉フィルタ検査装置は更に前記の第１光路から前記の
他の光路を分離するビームスプリッタを有しているよう
にする。遮断波長及び吸収係数の双方を測定するのに同
じ光源を用いることにより本発明による装置を簡単に実
現し７うる。この場合、製造費を幾分節約しうる効果が
得られる。

また本発明による干渉フィルタ検査装置では、少なくと
も１つの検出器が放射強度を測定するようにする。測定
すべ７き各波長に対する放射強度は、遮断波長の値が１
％変化した場合に“青色”，“緑色”及び“赤色”干渉
フィルタに対しほぼ１０％だけ変化するという，二とを
確かめた。

以下図面につき説明するに、第１図は“緑色″短波長を
透過するフィルタの透過係数（％）を波長の関数として
示す。この第１図においては、透過係数Ｔはスクリーン
上に垂直に（法線に対し０゜で）入射される光の波長の
関数として示されている。この透過特性は“緑色”表示
管に対するフィルタの特性である短波透過特性および５
７０及び７８０ｎｍ間の広反射帯域は第１図のグラフ線
図から直接読取ることができる。代表的な緑色螢光体の
種々のスペクトルラインも第】図に線図的に示してある
。

第２図は、同し干渉フィルタの透過係数を、５４５ｎｍ
の波長のフィルタの法線に対する光の入射方向の角度α
の関数として示している。透過係数が５０％であるαの
値はほぼ３５゜である。これよりも大きな角度でフィル
タに入射される光は大部分反射される。第１及び２図は
欧州特許出願公開第Ｔ！Ｐ−ＡＯ，１７４，３２０号明
細書から得られ、干渉フィルタに関する他の詳細に対し
てはこの欧州特許公開明細書を参照しうる。

第３図は本発明による検査装置の動作を示す。

この第３図において、曲線１０は仮説光源に対する波長
λの近辺のスペクトル分布を示す。このスペクトル分布
の変化は例えば白色光源によって生ゼしめられる光ビー
ム中にフィルタを配置することにより得ることができる
。曲線Ｉは、遮断波長λ，である検査すべき干渉フィル
タの透過係数Ｔの変化を線図的に示す。干渉フィルタを
通過した後の光ビームの強度は曲線Ｉ及び曲線１０の積
分積に比例する。この第３図でこの強度を曲線１の下側
の斜線領域で示す。

干渉フィルタの遮断波長がわずかに小さい場合、例えば
干渉フ、イルタが曲線■で示すような変化を有する場合
には、干渉フィルタを通過した後の光ビームの強度は一
層低くなる。この強度を第３図で曲綿２の下側の領域で
示す。

干渉フィルタの遮断波長が例えば曲線■で示すようにわ
ずかに大きい場合には干渉フィルタを通過した後の光の
強度は大きくなり、曲線３の下側の領域により示すもの
となる。従ってこの方法によれば遮断波長をわずかに（
例えば１％）偏移させることにより、干渉フィルタ後の
検出器が受ける光ビームの強度を、測定可能な程度に充
分（例えば１０％）変化せしめうるようになる。

第３図から明らかなように、長波長側にある光ビームの
スペクトル分布は重要ではない。すなわち、狭帯域光ビ
ーム（曲線１０ａ）と広帯域光ビーム（曲線１０ｂ）と
は測定強度において同じ結果をもたらす。

第４ａ，４ｂ及び４０図はそれぞれ“青色”，“緑色”
及び“赤色”干渉フィルタに対する検出器が受ける光の
強度を遮断波長の関数として示すグラフ線図である。４
０ｎｍのＦＷＨＭ　（半値全幅）値と、“青色”フィル
タに対し４８０ｎｍ、“緑色”フィルタに対し５８０ｎ
ｍ，　　“赤色”フィルタに対し６５０ｎｓ＋の中心波
長とを有する帯域通過フィル・タ及び白色光源を用いる
・。従って、ＦＷＩＩＭ値は中心波長の８〜６％の値で
ある。一方、帯域通過フィルタの短波長側の縁部の遷移
領域の幅は充分大きく、遮断波長の再現性は１％とする
を要する。他方、この短波長側縁部は充分に急峻であり
、透過光強度は遮断波長がわずかに偏移すると充分に大
きな範囲に亘って変化する。

遮断波長は横軸にプロットされており、観察された放射
強度（ｒａｄｉｏｍｅｔｒｉｃ　ｉｎｔｅｎｓｉｔｙ）
　Ｉ　ｒ及び測光強度（ｐｈｏｔｏｍｅｔｒｉｃ　ｉｎ
ｔｅｎｓｉｔｙ）　Ｉ　Ｐが縦軸上に相対量でプロット
されている。第４ａ図に示すように、放射強度■、或い
は絶対校正を必要としない同様なものは強度と遮断波長
との間の依存性を最良のものとする。この放射強度■、
は所望の遮断波長（４８０ｎｍ）付近でｌｎｍ当り約２
％変化し、この変化は遮断波長すなわちフィルタの厚さ
をｌ％だけ変えた際のほぼ１０％の変化に等価である。

■、で示す測光強度は所望の遮断波長付近ではそれほど
変化せず、従って測定量としてはあまり適していない。

第４ｂ図は、放射強度と測光強度との双方が５８０ｎｍ
付近の適切な範囲で遮断波長の関数として匹敵しうる変
化を呈しているということを示している。

１，の変化は１ｎａ＋当り２．３％であり、これは遮断
波長の１％当りの偏移に対する１３％の強度変化に相当
する。

“赤色”干渉フィルタに対しても放射強度１，は測光強
度Ｉ，よりも良好な測定量となる。第４Ｃ図は■，に対
し１ｎｎ＋当り１．６％の強度変化を示しており、この
変化はフィルタの厚さ変化の１％当りに対する１０．５
％の強度変化に等しい。

従って、測定量として放射強度を用いるのが好ましい。

干渉フィルタの厚さを、従って遮断波長を１％変化させ
ることにより３つのすべての場合に測定強度を約１０％
変化させる。従って測定は簡単且つ感度良く行なえる。

また干渉フィルタを存在させない場合に相対感度を１０
０％以上にする必要があるという追加の利点が得られる
。従って、システムの校正が極めて簡単となる。

光ビームにスペクトル分布を与える帯域通過フィルタの
通過領域が小さい場合、従ってＦＷＨＭ｛直が４０ｎｍ
よりも小さい場合には、上述した方法の相対感度が増大
する。ここに相対感度とは、光ビーム中に干渉フィルタ
を設けることなく検出された光信号に対する感度を意味
するものとする。Ｆ　Ｗ　Ｈ　Ｍ値を４０ｎｇよりも大
きく選沢する場合には、相対感度は小さくなる。しかし
、絶対感度は双方の場合に等しく保たれる． 短波長側縁部に対する帯域通過フィルタの動作は感度に
とって決定的なものとなる。帯域通過フィルタを用いた
方がシステムの校正を容易にしうるち、この帯域通過フ
ィルタの代わりに長波透過フィルタを用いてもいかなる
問題を生じない。帯域通過フィルタの代わりに有色ガラ
スフィルタを用いることもできる。スコット（Ｓｃｈｏ
ｔｔ）社やホヤ社は帯域通過或いは長波透過特性を有す
る有色ガラスフィルタを市販している。これらのフィル
タは、短波長側縁部が充分に急峻な特性でほぼ正確な値
にあれば本発明による装置に用いるのに適している。こ
のようなフィルタは“緑色”干渉フィルタに対しては例
えばＳｃｈｏｔｔ　ＯＧ５３０又はＯＧ５５０で、“赤
色”干渉フィルタに対してはＳｃｈｏｔｔ　ＲＧ６１０
又はＲＧ６３０で、“青色”干渉フィルタに対してはＳ
ｃｈｏＬｔ　ＧＧ４３５である。

（実施例） 第５図は本発明による装置の第１実施例を線図的に示す
。干渉フィルタ３０が載置された透明表示スクリーン２
０が光源４０と３つの検出器５１’，　５２及び５３と
の間に存在している。光源４０は３つの光ビームを発生
し、これら光ビームが表示スクリーンを介して３つの検
出器に入射される。光ビームにスペクトル分布を与える
フィルタが表示スクリーンに加えて各光ビームの光路中
に配置されている。

表示スクリーンの中央を通って入射される光ビーム中に
配置されたフィルタ４２は遮断波長を測定する帯域通過
フィルタを具えている。従って、検出器５２によって検
出される光ビームの強度は遮断波長の値の目安となる。

フィルタ４３も帯域通過フィルタであり、その短波長側
縁部は所望の遮断波長の位置にある。従って、このフィ
ルタ及び検出器５３を用いて干渉フィルタの第２位置に
おける遮断波長を測定しうる。好ましくはこの第２位置
をスクリーンの中央と同じ所望遮断波長を有するように
する必要があるも、この値とずれた値を用いうること勿
論である。

フィルタ４１は、干渉フィルタが透過性である範囲内に
透過波長が位置している帯域通過フィルタである。フィ
ルタ４ｌ及び干渉フィルタ３０を通過する光を受ける検
出器５１によって検出される光ビームの強度は干渉フィ
ルタ３０で生じる光の吸収の目安となる。

異なる３種類の干渉フィルタをこの装置によりＮ単に測
定しうるようにするために、フィルタ４２及び４３を回
動可能なホイール４４に取付ける。このホイールは図示
の２つのフィルタ４２及び４３に加えて、異なる所望の
遮断波長を有する干渉フィルタを測定する帯域通過フィ
ルタをも有している。このホイール４４を駆動手段４６
により軸４５を中心に回動させることにより、フィルタ
４２及び４３を、異な．る遮断波長を有する干渉フィル
タを測定するためのフィルタと置換える。

フィルタ４１．　４２及び４３は、光源と測定すべき干
渉フィルタとの間のみならず干渉フィルタと検出器との
間の光ビーム中のいかなる位置にも配置しうる。この場
合、２つのみの光ビームを亀生ずる光源を有すれば充分
である。この光源を用いた本発明による装置の実施例を
第６図に線図的に示す。この第６図では、第５図と対応
する素子に第５図と同じ符号を付した。

光源４０は２つの光ビームを放出し、これら光ビームは
２個所の異なる位置で干渉フィルタ３０を通過する。こ
れら光ビームの一方は干渉フィルタ３０を通過した後帯
域通過フィルタ４３を通過し、検出器５３に入射される
。これにより、前述した実施例におけるように、干渉フ
ィルタの周辺位置における遮断波長を決定する。

他の光ビームは干渉フィルタ３０を通過した後ビームス
プリッタ４８、例えば半透明鏡或いは分割プリズムに入
射される。このビームスプリッタから出る２つのサブビ
ームの一方はできればミラー４９を経てフィルタ４１に
、他方のサブビームはフィルタ４２にそれぞれ入射され
る。フィルタ４１はその透過スペクトルが干渉フィルタ
３０を完全に通過する帯域通過フィルタである。これに
より干渉フィルタの吸収率を決定する。フィルタ４２は
遮断波長を決定する帯域通過フィルタである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、“緑色“短波長透過干渉フィルタに対する透
過係数を波長の関数として示す線図、第２図は、第１図
と同じフィルタに対する透過係数を５４５ｎｍの波長の
光に対する入射角の関数として示す線図、 第３図は、本発明による方法を示す線図、第４ａ，４ｂ
及び４０図は、測定強度の変化を遮断波長の関数として
示す線図、 第５図は、本発明による装置の第１実施例を示す線図、 第６図は、本発明による装置の第２実施例を示す線図で
ある。 ２０・・・透明表示スクリーン ３０・・・干渉フィルタ ４０・・・光源 ４１．　４２．　４３・・・帯域通過フィルタ４４・・
・ホイール ４８・・・ビームスプリッタ ５１，　５２．　５３・・・検出器

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、投写形テレビジョン表示管に用いる干渉フィルタを
   検査する干渉フィルタ検査装置において、 第１光路に沿って伝搬する第１光ビームを生じる少なく
   とも１つの第１光源と、 干渉フィルタを第１光路中に配置する手段と、 干渉フィルタの所望遮断波長が位置している波長範囲で
   勾配を有するスペクトル分布を前記の第１光ビームに与
   えるための手段と、 前記の干渉フィルタを通過した或いはこの干渉フィルタ
   で反射された前記の第１光ビームの強度を測定する少な
   くとも１つの第１検出器と を具えていることを特徴とする干渉フィルタ検査装置。 ２、請求項１に記載の干渉フィルタ検査装置において、
   前記の波長範囲内のスペクトル分布の勾配が約７・１０
   ＾６ｍ＾−＾１及び約７５・１０＾６ｍ＾−＾１間の値
   を有していることを特徴とする干渉フィルタ検査装置。 ３、請求項１又は２に記載の干渉フィルタ検査装置にお
   いて、前記の光源が白色光ビームを発生するようになっ
   ており、スペクトル分布を与えるための前記の手段が、
   前記の第１光路中に配置されたフィルタを有し、このフ
   ィルタは波長に依存する透過係数を有していることを特
   徴とする干渉フィルタ検査装置。 ４、請求項３に記載の干渉フィルタ検査装置において、
   この干渉フィルタ検査装置が、波長の関数としての透過
   係数の変化が互いに異なる複数個のフィルタを具えてお
   り、これらフィルタは交換自在となっていることを特徴
   とする干渉フィルタ検査装置。 ５、請求項３に記載の干渉フィルタ検査装置において、
   前記のフィルタが干渉フィルタと前記の少なくとも１つ
   の第１検出器との間に配置されていることを特徴とする
   干渉フィルタ検査装置。 ６、請求項１〜５のいずれか一項に記載の干渉フィルタ
   検査装置において、前記の干渉フィルタの第２位置にお
   ける遮断波長を測定するために、この干渉フィルタ検査
   装置が、前記の第１光路からある距離で延在する第２光
   路に沿って伝搬する第２光ビームを発生する第２光源と
   、干渉フィルタを通過した或いはこの干渉フィルタで反
   射された第２光ビームの強度を測定する第２検出器とを
   具えていることを特徴とする干渉フィルタ検査装置。 ７、請求項１〜６のいずれか一項に記載の干渉フィルタ
   検査装置において、この干渉フィルタ検査装置が、他の
   光路に沿って伝搬する他の光ビームを発生する他の光源
   と、前記の干渉フィルタがほぼ完全に透過する波長範囲
   内にほぼ完全に入るスペクトル分布を前記の他の光ビー
   ムに与える他の手段と、前記の干渉フィルタを通過した
   前記の他の光ビームの強度を測定する他の光感応検出器
   とを具えていることを特徴とする干渉フィルタ検査装置
   。 ８、請求項７に記載の干渉フィルタ検査装置において、
   前記の他の光源は白色光ビームを発生するようになって
   おり、スペクトル分布を与える前記の他の手段は帯域通
   過フィルタを有していることを特徴とする干渉フィルタ
   検査装置。 ９、請求項８に記載の干渉フィルタ検査装置において、
   前記の干渉フィルタと前記の他の光感応検出器との間で
   前記の他の光路中に前記の帯域通過フィルタが配置され
   ていることを特徴とする干渉フィルタ検査装置。 １０、請求項７〜９のいずれか一項に記載の干渉フィル
   タ検査装置において、前記の他の光源は前記の第１光源
   と同一であり、前記の他の光路は部分的に前記の第１光
   路と一致しており、干渉フィルタ検査装置は更に前記の
   第１光路から前記の他の光路を分離するビームスプリッ
   タを有していることを特徴とする干渉フィルタ検査装置
   。 １１、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の干渉フィ
   ルタ検査装置において、少なくとも１つの検出器が放射
   強度を測定するようになっていることを特徴とする干渉
   フィルタ検査装置。