JPH02234452A - ウェハトレー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野コ 本発明は、ウェハトレーに関し、特に耐帯電性および耐
汚染性を向上せしめたものである。

［従来の技術］ 半導体製造工程においては、半導体ウェハへの不純物の
付着を避けるために、一般に全製造工程を外気と遮断さ
れたクリーンな雰囲気下で行う必要゛があるとされてい
る。各工程間のウェハの運搬に際しても、ウェハトレー
を用いた自動化システムか採用されている。この自動化
システムは、複数個のウェハをウェハドレー内に自動落
下により収容さけて運搬する方法である。

ところがこのウェハトレーは、通常高分子材料によって
形成されたしのであるので非常に帯電し易く、その結果
ゴミや不純物などが付着して、ウェハを汚染する危険性
がある。そこで、ウェハトレー内でウェハが汚染される
ことを防ぐための工夫の一つとして、ウエハトレーの帯
７ｕ防止が行なわれている。具体的には例えば、ウェハ
トレーの表面に帯電防止剤を塗布４゛る方法や、ウェハ
トレーを構成している高分子材料中に帯電防止剤や導電
性材料を練ｆ昆む方法なとか広く実施されている。

この帯電防止剤には、一般に非イオン系、カヂオン系の
ものなどが使用され、導電性材料にはカーボンブラック
などが用いられている。

［発明が解決しようとする課題］ ところが、上述の帯電防止剤を塗布する方法では、帯電
防止の寿命が短いうえに費用がかさむ欠点があった。ま
た帯電防止剤や導電性材料を練混む方法では、ウェハト
レー内にウェハを自動落下により収容させる際に生しる
ゴミあるいは不純物によって、ウェハが著しく汚染され
るなどの不都合があった。

そこで、本発明は上述の課題を解消し、ゴミや不純物に
よる汚染を防止し、耐帯電性の高いウェハトレーを提供
することを目的としている。

［課題を解決するための手段コ 本発明では、金属フタロシアニン錯体をポリマー化して
なる金属フタロシアニンポリマーを含有する高分子材料
を用いたことをその解決手段とした。

以下、本発明を詳細に説明する。

本発明において用いられる金属フタロシアニンポリマー
は、フタロシアニンに中心金属として鉄（Ｆｅ）、コバ
ルト（Ｃｏ）、ニッケル（Ｎ　ｉ）、銅（Ｃｕ）、ルテ
ニウム（Ｒｕ）、ケイ素（Ｓ　ｉ）などの金属を配位さ
せた金属フタロシアニン錯体をポリマー化して得られた
もので、導電性を有し、安定性の良い化合物である。な
かでも、作業性等の点から、溶融可能であるしのあるい
は有機溶剤に可溶であるものなどが好適に使用され、ま
た高い導電性を発現できるものが好ましく、具体的には
、中心金属として鉄（Ｆｅ）あるいはコバルト（Ｇｏ）
が配位された金属フタロシアニン錯体からなる金属フタ
ロシアニンポリマーを用いるのが好ましい。

またこの金属フタロシアニンポリマーを含有せしめるマ
トリクスポリマーは、特に限定はされないが、１２０℃
以下程度の温度で溶融可能であって上記金属フタロシア
ニンポリマーと溶融ブレンドが可能な、あるいは有機溶
剤に可溶であって上記金属フタロシアニンポリマーと溶
解ブレンドが可能であるようなものが好ましい。具体的
には例えば、ポリオレフィン類、ボリアミド類、ポリア
セタール類、ポリエステル類、ポリアクリロニトリル、
ボリスチレンあるいはポリカーボネートなどが挙げられ
、単独でもしくは二種以上の共重合体あるいはブレンド
物として使用される。

そして、上記金属フタロシアニンポリマーとマトリクス
ポリマーとを含有してなる高分子材料中における上記金
属フタロシアニンポリマーの配合率は、１０〜５０重量
％が好ましい。１０重量％未満であると、導電性が不十
分で帯電防止効果が得られず、また５０重量％を越える
と成形加工性が悪化する不都合があるためである。

またこの高分子材料中には、必要に応じて適宜、可塑剤
、着色剤などの各種添加剤が添加されてもよい。

次に、本発明のウェハトレーの製造方法の一例について
説明する。

まず、金属フタロシアニンポリマーを、マトリクスポリ
マー中に所定量配合して、充分に撹拌混合して、ウェハ
トレー用の高分子材料を作成する。

混合に際しては、必要に応じてミキサー、アトライター
、ボールミル、ロールミル等の混合撹拌機を用いて、１
２０℃以下程度の温度で溶融ブレンドしてもよいし、あ
るいは適宜の有機溶剤を用いて溶解ブレンドしてもよい
。

次に、この高分子材料を用いて、ウェハトレーを製造す
る。製造方法としては周知慣用の技術を用いればよく、
例えば射出成形法、押出成形法などが好適に用いられる
。得られるウェハトレーの形状は目的に応じて任意でよ
く、例えば第１図に示したような弁箱状の本体１の内部
に多数の仕切板２．２・・・を配没し、この仕切板２．
２・・で仕切られた空間にウエハを収容するものがある
。

このようにして得られた本発明のウエハトレーにあって
は、ウェハトレーを構成する高分子材料，中に金属フタ
ロシアニンポリマーが配合されているので、耐帯電性に
優れ、静電気等によってゴミや不純物が付着する不都合
が解消され、その結果ウエハの運搬に際してらウエハを
汚染することかない。またこの耐帯電性特性は、長期間
に及び推持でき・る利点もある。

［実施例］ 以下、実施例を示して本発明を説明する。

（実施例１−１２） 第１表に示した金属フタロシアニンポリマーをマトリク
スポリマー中に配合し、ウェハトレー用の高分子材料を
作成した。金属フタロシアニンポリマーの配合率および
使用したマトリクスポリマーを、併せて第ｌ表に示した
。

（比較例ｌ） カーポンブラック’ｘ　ｌ　Ｏ重Ｍ％配合した以外は、
実施例１と同様にして高分子材料を作成した。

（比較例２） コバルト（Ｇｏ）とフタ口ンアニン（Ｐｃ）との錯体（
　Ｐ　ｃ　Ｃ　ｏ　）をポリマー化仕ず単量体として用
いた以外は、実施例２と同様にして高分子材科を作成し
た。

（比較例３） 紗混み型の帯電防止剤（ナオフィン）を使用した以外は
、実施例３と同様にして高分子材料を作成した。

（試験例１） 実施例および比較例の高分子材料を用いて、それぞれの
導電率を測定した。結果を併せて第１表に示す。

（試験例２） 実施例１および比較例ｌの高分子材科を用いて厚さ２０
ｖｙの板を製造し、それぞれの板の上に厚さ２００μｍ
のシリコンウェハを垂直に立てた状態で板上を滑らせ、
距ＭＩＯｍｍの間を速度１回／１秒で２００回往復させ
た。ただし、この時ウェハにかかる荷重は自重のみとし
た。

この後、それぞれのウエハの表面の顕微鏡観察を行った
ところ、実施例ｌの高分子材料からなる仮を用いて試験
を実施したウエハの表面にはゴミや不純物は認められな
かった。これに対し、カーポンブランクを配合した比較
例ｌの高分子材科からなる仮を用いて試験を行ったウェ
ハの表面には、カーボンブラック粒子の著しい付着か見
られた。

（試験例３） 実施例３および比較例３の高分子材料を、７０％ＲＨの
条件下に放置したところ、実施例３の高分子材料にあっ
ては、１年経過後も導電率の変化率は５％以内と小さか
った。これに対し、比較例の高分子材料では、２週間経
過後でも導電率は、元の値の５０％以下にまで低下した
。

各試験例の結果から明らかなように、本発明の実施例の
高分子材料は、ゴミや不純物の付着のない高導電性の材
料であり、しかも長期間に及びこの導電性を維持できる
ことが明らかとなった。これに対し、比較例１ではウェ
ハが不純物によって著しく汚染されることが判明し、ま
た比較例２および比較例３の高分子材料にあっては、充
分な導電性を発現することができなかった。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明のウエハトレーは、金属フ
タロシアニンポリマーを含有してなる高分子材料から構
成されたものであるので、高い耐帯電性を有し、ウェハ
運搬時にウェハを汚染することがなく、しかも、長期間
に及びこの帯電防止効果をＸｔ持することができる。ま
たさらにフタロシアニンは、一般に染料等として多用さ
れているものであって、安価に入手できる利点らある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明のウエハトレーの一例を示す斜視図で
ある。 出・願人　藤倉電線株式会社

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 金属フタロシアニン錯体をポリマー化してなる金属フタ
   ロシアニンポリマーを含有する高分子材料を用いたこと
   を特徴とするウェハトレー。