JPH02235017A - 光シャッタアレイ及びその製造方法 - Google Patents
光シャッタアレイ及びその製造方法Info
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- JPH02235017A JPH02235017A JP5494289A JP5494289A JPH02235017A JP H02235017 A JPH02235017 A JP H02235017A JP 5494289 A JP5494289 A JP 5494289A JP 5494289 A JP5494289 A JP 5494289A JP H02235017 A JPH02235017 A JP H02235017A
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- Japan
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- substrate
- electrodes
- individual electrodes
- common electrode
- individual
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、光シャッタアレイ及びその製造方法に関する
．更に詳述すると、本発明は電気光学効果を利用した光
シャッタアレイとその製法に関する． （従来の技術》 電気光学効果として、印加電界に対して媒質の複屈折が
変化する現象が知られている．この現象を利用し、印加
する電界を制御することによって媒質に光の透光・遮光
動作を行なわせるようにした光シャッタアレイが従来提
案されている．この光シャッタアレイは、板状の電気光
学効果を有する物質例えばＰＬＺＴに薄型電極をくし歯
状に配置し、個々の電極にかかる電圧を制御してＰＬＺ
Ｔに所定の電界を印加するようにしたものである．電ｊ
ｆｌｉｏ１は、従来、アルミ蒸着とエッチング処理によ
ってＰＬＺＴ１０２の表面に形成されている．例エば、
第３図（Ａ）４：ｌ：示すよう４：ｌ：ＰＬＺＴＩＱ２
の一方の面に取付けたり、第３図（Ｂ）に示すようにＰ
ＬＺＴ１０２の両面に取付けたり（特開昭６２−４２１
２０号）、第３図（Ｃ）に示すようにＰ ＬＺＴ１０２
に溝加工を施してＰＬＺＴ１０２の深さ方向に電極１０
１を一部埋め込むようにして収付けられている． （発明が解決しようとする課題） しかしながら、ｔ極１０１が電気光学効果を有する物質
１０２の表面に形成されている場合、物質内部で均一に
電気光学効果が起こり難い．このなめ、駆動電圧を高く
しなくてはならない．また、！極の一部を物質１０２内
に埋め込む場合、狭隘な溝１０３を加工することが困龍
であるし、この溝加工のため機械的強度が劣るという問
題がある．更に、上述の従来のシャッタアレイは、電気
光学効果を有する物質１０２上に”Ｓ［ｉｔ０１のリー
ド部分１０４も形成しているため、実際のシャッタ部分
よりも広いものが必要となり、コスト高となる．本発明
は、安価でかつ低い駆動電圧によって確実に作動するシ
ャッタアレイを提供することを目的とする．また、本発
明はそのような楕造ののシャッタアレイを簡単に製造で
きる製造方法を提供することを目的とする． （課題を解決するための手段） かかる目的を達成するため、本発明の光シャッタアレイ
は、電気光学効果を有する基板と、前記基板の一方の面
に設けられた複数の個別電極と、前記基板の他方の面に
設けられた共通！径と、前記個別電極を前記基板との間
で挾む支持部材と、前記支持部材上に設けられて前記各
個別ｔ極に個々に接続されている端子電極とから構成さ
れている． また、本発明の光゛シャッタアレイは、電気光学効果を
有する基板の一方の面に相互に独立した複数の個別電極
を形成する工程と、前記基板の他方の面に共通電極を形
成する工程と、前記基板の前記個別電極側に支持部材を
積層形成する工程と、前記基板と個別電極と共通電極及
び支持部材を積層して成る２組のブロックを、前記共通
電極が背中合せに対向するように接合して１つのブロッ
クを形成する工程と、このブロックを積層方向と直交す
る面でスライスする工程と、前記個別電極の夫々及び共
通電極に接続される対応端子電極を形成する工程によっ
て製造されている。
．更に詳述すると、本発明は電気光学効果を利用した光
シャッタアレイとその製法に関する． （従来の技術》 電気光学効果として、印加電界に対して媒質の複屈折が
変化する現象が知られている．この現象を利用し、印加
する電界を制御することによって媒質に光の透光・遮光
動作を行なわせるようにした光シャッタアレイが従来提
案されている．この光シャッタアレイは、板状の電気光
学効果を有する物質例えばＰＬＺＴに薄型電極をくし歯
状に配置し、個々の電極にかかる電圧を制御してＰＬＺ
Ｔに所定の電界を印加するようにしたものである．電ｊ
ｆｌｉｏ１は、従来、アルミ蒸着とエッチング処理によ
ってＰＬＺＴ１０２の表面に形成されている．例エば、
第３図（Ａ）４：ｌ：示すよう４：ｌ：ＰＬＺＴＩＱ２
の一方の面に取付けたり、第３図（Ｂ）に示すようにＰ
ＬＺＴ１０２の両面に取付けたり（特開昭６２−４２１
２０号）、第３図（Ｃ）に示すようにＰ ＬＺＴ１０２
に溝加工を施してＰＬＺＴ１０２の深さ方向に電極１０
１を一部埋め込むようにして収付けられている． （発明が解決しようとする課題） しかしながら、ｔ極１０１が電気光学効果を有する物質
１０２の表面に形成されている場合、物質内部で均一に
電気光学効果が起こり難い．このなめ、駆動電圧を高く
しなくてはならない．また、！極の一部を物質１０２内
に埋め込む場合、狭隘な溝１０３を加工することが困龍
であるし、この溝加工のため機械的強度が劣るという問
題がある．更に、上述の従来のシャッタアレイは、電気
光学効果を有する物質１０２上に”Ｓ［ｉｔ０１のリー
ド部分１０４も形成しているため、実際のシャッタ部分
よりも広いものが必要となり、コスト高となる．本発明
は、安価でかつ低い駆動電圧によって確実に作動するシ
ャッタアレイを提供することを目的とする．また、本発
明はそのような楕造ののシャッタアレイを簡単に製造で
きる製造方法を提供することを目的とする． （課題を解決するための手段） かかる目的を達成するため、本発明の光シャッタアレイ
は、電気光学効果を有する基板と、前記基板の一方の面
に設けられた複数の個別電極と、前記基板の他方の面に
設けられた共通！径と、前記個別電極を前記基板との間
で挾む支持部材と、前記支持部材上に設けられて前記各
個別ｔ極に個々に接続されている端子電極とから構成さ
れている． また、本発明の光゛シャッタアレイは、電気光学効果を
有する基板の一方の面に相互に独立した複数の個別電極
を形成する工程と、前記基板の他方の面に共通電極を形
成する工程と、前記基板の前記個別電極側に支持部材を
積層形成する工程と、前記基板と個別電極と共通電極及
び支持部材を積層して成る２組のブロックを、前記共通
電極が背中合せに対向するように接合して１つのブロッ
クを形成する工程と、このブロックを積層方向と直交す
る面でスライスする工程と、前記個別電極の夫々及び共
通電極に接続される対応端子電極を形成する工程によっ
て製造されている。
《作用）
したがって、電気光学効果素子の光の透過方向に平行な
面に形成された個別電極と共通電極との間で電界が印加
され、電気光学効果が厚み方向に均一に現れる。
面に形成された個別電極と共通電極との間で電界が印加
され、電気光学効果が厚み方向に均一に現れる。
（実施例）
以下、本発明の構成を図面に示す実施例に基づいて詳細
に説明する． 第１図（Ａ）及び（Ｂ）に本発明の光シャッタアレイの
一実施例を示す．この本実施例は二組のシャッタアレイ
１，１を、それらの共通電＆４が向い合せになるように
背中合せに接合して１つのブロックとしたものである．
１組のシャッタアレイ１は、電気光学効果を有する物質
から成る基板２と、前記基板２の一方の面に設けられた
複数の個別ｔ極３，・・・，３と、前記基板２の池方の
面に設けられた共通電極４と、前記個別な極３，・・・
３を前記基板２との間で挾む支持部材５と、前記支持部
材５上に設けられて前記各個別電極３，・・・３に個々
に接続されている端子電極６，・・・，６とから構成さ
れている．そして、この二組のシャッタアレイ１，１は
、向い合う各共通ｔｉ４，４の間および各個別ｔ ’ｉ
ｂ ４と支持部材５との間にＳ ｉ ０２及び低融点ガ
ラスの接着剤を兼ねた絶縁層８，９が形成されて１つの
ブロックを構成するように固められている．また、各支
持部材５，５上に形成されている個別電極３，・・・，
３は、一方側の個別な極３，・・・，３が他方側の個別
ｔ極間に位置するように千鳥状に配置されている．前記
個別電極３，・・・，３には対応する端子電極６，・・
・．６が夫々支持部材５上に形成されて接続され、各個
別電極を個々に制御し得るように設けられている．また
、低融点ガラス・Ｓ ｉ ０２等の接着剤８を介して接
合された共通ｔ極４，４には一本の端子電極７が同時に
接続されている．尚、電極３．４にはアルミニウム等の
電極材が使用され、所望の形状及び厚みに真空蒸着等に
よって形成されている．また、共通電極４は図示の如く
基板２の全面に亙る１本の電極とせず、個別電極３・・
・，３に対応する複数の電極として形成しても良い． 電気光学効果を有する基板２は、印加電界に対して複屈
折が変化する現象を呈する媒質であり、例えばＰＬＺＴ
の使用が好適である．ＰＬＺＴは（Ｐｂ，Ｌａ）（Ｚｒ
，Ｔｉ ）Ｏａの化学式で表わされるセラミックスであ
る．このＰ Ｌ Ｚ Ｔは透過率が高く大きな電気光学
係数を有し、応答速度が速く可動部がない等の高速光シ
ャツタとして有利な条件を備えている．また、支持部材
５としては通常セラミックス、アルミニウム、これらの
複含材等が使用可能であり、好ましくはアルミニウムと
セラミックスの複合材が使用される．以上のように構成
されたシャッタアレイによれば、次のように光シャッタ
として作動する．任意の個別電極３，・・・，３と共通
電極４との間に所定の電圧を印加して電界を形成すれば
、それらの間のＰＬＺＴが複屈折を起し、その前後に儲
光板で信光子、検光子を構成すると、シャッタとして動
作する．例えば第１図、（Ａ＞において上側の右端の個
別電極３に通電すれば、それらの間のρＬＺＴ２のシャ
ッタ部分Ａ−１が動作し光を通過させる．尚、図中符号
Ａ−１，Ａ−２，・・・，Ａ−Ｎはシャッタ部を示す． 次に上述の構成の光シャッタアレイの製造方法について
説明する． まず、ＰＬＺＴの基板２の一方の全面にアルミニウム等
の！極材を真空蒸着等によって固着させ、一定厚さの薄
膜１０を形成する［第２図（Ａ）］。
に説明する． 第１図（Ａ）及び（Ｂ）に本発明の光シャッタアレイの
一実施例を示す．この本実施例は二組のシャッタアレイ
１，１を、それらの共通電＆４が向い合せになるように
背中合せに接合して１つのブロックとしたものである．
１組のシャッタアレイ１は、電気光学効果を有する物質
から成る基板２と、前記基板２の一方の面に設けられた
複数の個別ｔ極３，・・・，３と、前記基板２の池方の
面に設けられた共通電極４と、前記個別な極３，・・・
３を前記基板２との間で挾む支持部材５と、前記支持部
材５上に設けられて前記各個別電極３，・・・３に個々
に接続されている端子電極６，・・・，６とから構成さ
れている．そして、この二組のシャッタアレイ１，１は
、向い合う各共通ｔｉ４，４の間および各個別ｔ ’ｉ
ｂ ４と支持部材５との間にＳ ｉ ０２及び低融点ガ
ラスの接着剤を兼ねた絶縁層８，９が形成されて１つの
ブロックを構成するように固められている．また、各支
持部材５，５上に形成されている個別電極３，・・・，
３は、一方側の個別な極３，・・・，３が他方側の個別
ｔ極間に位置するように千鳥状に配置されている．前記
個別電極３，・・・，３には対応する端子電極６，・・
・．６が夫々支持部材５上に形成されて接続され、各個
別電極を個々に制御し得るように設けられている．また
、低融点ガラス・Ｓ ｉ ０２等の接着剤８を介して接
合された共通ｔ極４，４には一本の端子電極７が同時に
接続されている．尚、電極３．４にはアルミニウム等の
電極材が使用され、所望の形状及び厚みに真空蒸着等に
よって形成されている．また、共通電極４は図示の如く
基板２の全面に亙る１本の電極とせず、個別電極３・・
・，３に対応する複数の電極として形成しても良い． 電気光学効果を有する基板２は、印加電界に対して複屈
折が変化する現象を呈する媒質であり、例えばＰＬＺＴ
の使用が好適である．ＰＬＺＴは（Ｐｂ，Ｌａ）（Ｚｒ
，Ｔｉ ）Ｏａの化学式で表わされるセラミックスであ
る．このＰ Ｌ Ｚ Ｔは透過率が高く大きな電気光学
係数を有し、応答速度が速く可動部がない等の高速光シ
ャツタとして有利な条件を備えている．また、支持部材
５としては通常セラミックス、アルミニウム、これらの
複含材等が使用可能であり、好ましくはアルミニウムと
セラミックスの複合材が使用される．以上のように構成
されたシャッタアレイによれば、次のように光シャッタ
として作動する．任意の個別電極３，・・・，３と共通
電極４との間に所定の電圧を印加して電界を形成すれば
、それらの間のＰＬＺＴが複屈折を起し、その前後に儲
光板で信光子、検光子を構成すると、シャッタとして動
作する．例えば第１図、（Ａ＞において上側の右端の個
別電極３に通電すれば、それらの間のρＬＺＴ２のシャ
ッタ部分Ａ−１が動作し光を通過させる．尚、図中符号
Ａ−１，Ａ−２，・・・，Ａ−Ｎはシャッタ部を示す． 次に上述の構成の光シャッタアレイの製造方法について
説明する． まず、ＰＬＺＴの基板２の一方の全面にアルミニウム等
の！極材を真空蒸着等によって固着させ、一定厚さの薄
膜１０を形成する［第２図（Ａ）］。
そのＡＩ薄ｇｉｏにフォトリソグラフイによりストライ
プ状の個別電極３，・・・，３を形成する［第２図（Ｂ
）］．フォトリングラフイは、例えばボジ型フ４トレジ
ストを電極材薄ＷＡ１０の上に塗布し、電極材を必要と
しない箇所だけに光が照射されるようにフォトマスクを
通して紫外線を照射し、現像液により感光剤を収り除き
、残った感光剤を保護膜にしてエッチングにより電極材
１０を部分的に取除く．その後、感光剤は除去される．
また、ＰＬＺＴ基板２の他方の面（裏面）にＡｊ！等の
電極材を真空蒸着等によって固着し、共通電極４を全面
に形成する［第２図（Ｃ）］．この場合、個別な極３．
・・・，３と同様の方法により、個別電極に対応する部
分のみ共通＠極４を形成しても良い．共通電極４を個別
電極３，・・・，３と対向する位置に個別に設ければ、
絶縁層８，８同士を接着した時の熱による膨張の違いに
よって共通電極やＳ ｉ ０２の薄膜が剥離するという
危険を減少させることができるし、また、電気光学効果
が共通電極部分で横に広がることもないから、クロスト
ークも防止できる効果がある．そして、基板２の両面に
電極３，・・・，３及び４を被うように、スパッタリン
グ等によってＳ１０２の薄膜８；９を形成しブロック１
１とする［第２図（Ｄ） Ｊ ．次いで、２組の上述の
ブロック１１を共通電極４，４同士が向い合うように背
中合せに突合せ、かつ一方の支持部材５上の個別な極３
，・・・，３が他方の支持部材５上の個別電極３，・・
・，３の間に位置するように千鳥状に配列して、それら
の共通電．ｆ！４．４の間にスベーサ（図示省略）を挟
み込んで重ねる．更に、各個別電極３，・・・． ３１
ＦＩにスベーサ（図示省略）を介して支持部材ラとして
のセラミックス等のブロックを夫々重ねる．その後、支
持部材５と個別電極側絶縁層９との間及び共通電極側絶
縁層８との間に加熱状態下で低融点ガラス１２を侵入さ
せて全体を１つのブロヅク状に固める［第２図（Ｅ）］
． 次いで、このブロック１３を積層方向と直交する面で即
ちＰＬＺＴ基板２と直角方向に所望の厚さにスライスす
る［第２図（Ｆ）］．スライスされたブロックチップ１
４は研磨される．そして、そのブロックチップ１４の片
面にアルミニウム等の電極材を真空蒸着等によって薄膜
状に被膜し、フォトリングラフイによって所望の端子な
極６，・・・，６を支持部材５上に、また共通電極４．
４上に端子電極７を形成する［第２図（Ｇ）］．端子な
極６，・・・，６は対応する個別な極３、・・・，３と
夫々接続され、端子電ｆ！７は双方の共通な極４４と同
時に接続されている． （発明の効果） 以上の説明より明らかなように、本発明の光シャッタア
レイは、電気光学効果を有する基板と、前記基板の一方
の面に設けられた複数の個別電極と、前記基板の池方の
面に設けられた共通電極と、前記個別電極を前記基板と
の間で挾む支持部材と、前記支持部材上に設けられて前
記各個別電極に個々に接続されている端子電極とから構
成されているので、電気光学効果素子の光の透過方向に
平行な面に形成された個別電極と共通電極との間で電界
が印加され、電気光学効果が厚み方向に均一に現れるし
、低電圧で駆動できる．また、シャッタ部分にだけ電気
光学効果を有する物質例えばＰＬＺＴを使用し、端子電
極を配線する部分には別のセラミックス部材を使用する
ため、ＰＬＺＴの使用量が少なく低コスト化が可能であ
る．また、本発明の光シャッタアレイは、電気光学効果
を有する基板に個別電極、共通電極及び支持部材を積層
形成した２組のブロックをそれらの共通電極が対向する
ように背中合せに接合して１つのブロックを形成し、こ
のブロックを積層方向と直交する面でスライスしたもの
の個別電極及び共通電極に端子！極を形成するように製
造するようにしたので、プレーナ法で作れ、量産性が向
上する．
プ状の個別電極３，・・・，３を形成する［第２図（Ｂ
）］．フォトリングラフイは、例えばボジ型フ４トレジ
ストを電極材薄ＷＡ１０の上に塗布し、電極材を必要と
しない箇所だけに光が照射されるようにフォトマスクを
通して紫外線を照射し、現像液により感光剤を収り除き
、残った感光剤を保護膜にしてエッチングにより電極材
１０を部分的に取除く．その後、感光剤は除去される．
また、ＰＬＺＴ基板２の他方の面（裏面）にＡｊ！等の
電極材を真空蒸着等によって固着し、共通電極４を全面
に形成する［第２図（Ｃ）］．この場合、個別な極３．
・・・，３と同様の方法により、個別電極に対応する部
分のみ共通＠極４を形成しても良い．共通電極４を個別
電極３，・・・，３と対向する位置に個別に設ければ、
絶縁層８，８同士を接着した時の熱による膨張の違いに
よって共通電極やＳ ｉ ０２の薄膜が剥離するという
危険を減少させることができるし、また、電気光学効果
が共通電極部分で横に広がることもないから、クロスト
ークも防止できる効果がある．そして、基板２の両面に
電極３，・・・，３及び４を被うように、スパッタリン
グ等によってＳ１０２の薄膜８；９を形成しブロック１
１とする［第２図（Ｄ） Ｊ ．次いで、２組の上述の
ブロック１１を共通電極４，４同士が向い合うように背
中合せに突合せ、かつ一方の支持部材５上の個別な極３
，・・・，３が他方の支持部材５上の個別電極３，・・
・，３の間に位置するように千鳥状に配列して、それら
の共通電．ｆ！４．４の間にスベーサ（図示省略）を挟
み込んで重ねる．更に、各個別電極３，・・・． ３１
ＦＩにスベーサ（図示省略）を介して支持部材ラとして
のセラミックス等のブロックを夫々重ねる．その後、支
持部材５と個別電極側絶縁層９との間及び共通電極側絶
縁層８との間に加熱状態下で低融点ガラス１２を侵入さ
せて全体を１つのブロヅク状に固める［第２図（Ｅ）］
． 次いで、このブロック１３を積層方向と直交する面で即
ちＰＬＺＴ基板２と直角方向に所望の厚さにスライスす
る［第２図（Ｆ）］．スライスされたブロックチップ１
４は研磨される．そして、そのブロックチップ１４の片
面にアルミニウム等の電極材を真空蒸着等によって薄膜
状に被膜し、フォトリングラフイによって所望の端子な
極６，・・・，６を支持部材５上に、また共通電極４．
４上に端子電極７を形成する［第２図（Ｇ）］．端子な
極６，・・・，６は対応する個別な極３、・・・，３と
夫々接続され、端子電ｆ！７は双方の共通な極４４と同
時に接続されている． （発明の効果） 以上の説明より明らかなように、本発明の光シャッタア
レイは、電気光学効果を有する基板と、前記基板の一方
の面に設けられた複数の個別電極と、前記基板の池方の
面に設けられた共通電極と、前記個別電極を前記基板と
の間で挾む支持部材と、前記支持部材上に設けられて前
記各個別電極に個々に接続されている端子電極とから構
成されているので、電気光学効果素子の光の透過方向に
平行な面に形成された個別電極と共通電極との間で電界
が印加され、電気光学効果が厚み方向に均一に現れるし
、低電圧で駆動できる．また、シャッタ部分にだけ電気
光学効果を有する物質例えばＰＬＺＴを使用し、端子電
極を配線する部分には別のセラミックス部材を使用する
ため、ＰＬＺＴの使用量が少なく低コスト化が可能であ
る．また、本発明の光シャッタアレイは、電気光学効果
を有する基板に個別電極、共通電極及び支持部材を積層
形成した２組のブロックをそれらの共通電極が対向する
ように背中合せに接合して１つのブロックを形成し、こ
のブロックを積層方向と直交する面でスライスしたもの
の個別電極及び共通電極に端子！極を形成するように製
造するようにしたので、プレーナ法で作れ、量産性が向
上する．
第１図は本発明の光シャッタアレイの一実施例を示す図
で、（Ａ）は平面図、（Ｂ）はＩ＝Ｉ線断面図である．
第２図（Ａ）〜（Ｇ）は本発明に係る光シャッタアレイ
の製造プロセスの一例を示す加工工程図である．第３図
（Ａ＞．（Ｂ）（Ｃ）は従来の光シャッタアレイの電極
の配置の仕方を説明する断面正面図である． １・・・シャッタアレイ、 ２・・・電気光学効果を有する基板、３・・・個別電極
、４・・・共通な極、５・・・支持部材、６，７・・・
端子電極、１１・・・基板と電極を積層して成るブロッ
ク、１３・・・２つの基板を有するブロック、１４・・
・ブロックからスライスされたシャッタアレイチップ． 第３図（Ａ） 〈））Ｃ ＋０２ 特許出願人 株式会社 三協精機製作所代 理
人
で、（Ａ）は平面図、（Ｂ）はＩ＝Ｉ線断面図である．
第２図（Ａ）〜（Ｇ）は本発明に係る光シャッタアレイ
の製造プロセスの一例を示す加工工程図である．第３図
（Ａ＞．（Ｂ）（Ｃ）は従来の光シャッタアレイの電極
の配置の仕方を説明する断面正面図である． １・・・シャッタアレイ、 ２・・・電気光学効果を有する基板、３・・・個別電極
、４・・・共通な極、５・・・支持部材、６，７・・・
端子電極、１１・・・基板と電極を積層して成るブロッ
ク、１３・・・２つの基板を有するブロック、１４・・
・ブロックからスライスされたシャッタアレイチップ． 第３図（Ａ） 〈））Ｃ ＋０２ 特許出願人 株式会社 三協精機製作所代 理
人
Claims (3)
- （１）電気光学効果を有する基板と、前記基板の一方の
面に設けられた複数の個別電極と、前記基板の他方の面
に設けられた共通電極と、前記個別電極を前記基板との
間で挾む支持部材と、前記支持部材上に設けられて前記
各個別電極に個々に接続されている端子電極とから成る
ことを特徴とする光シャッタアレイ。 - （２）請求項１に記載の光シャッタアレイを前記共通電
極を背中合せに対向させて接続してなる光シャッタアレ
イ。 - （３）電気光学効果を有する基板の一方の面に相互に独
立した複数の個別電極を形成する工程と、前記基板の他
方の面に共通電極を形成する工程と、前記基板の前記個
別電極側に支持部材を積層形成する工程と、前記基板と
個別電極と共通電極及び支持部材を積層して成る２組の
ブロックを、前記共通電極が背中合せに対向するように
接合して１つのブロックを形成する工程と、このブロッ
クを積層方向と直交する面でスライスする工程と、前記
個別電極の夫々及び共通電極に接続される対応端子電極
を形成する工程とから成ることを特徴とする光シャッタ
アレイの製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5494289A JPH02235017A (ja) | 1989-03-09 | 1989-03-09 | 光シャッタアレイ及びその製造方法 |
| PCT/JP1990/000310 WO1990010887A1 (fr) | 1989-03-09 | 1990-03-09 | Reseau d'obturateurs de lumiere |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5494289A JPH02235017A (ja) | 1989-03-09 | 1989-03-09 | 光シャッタアレイ及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02235017A true JPH02235017A (ja) | 1990-09-18 |
| JPH0529890B2 JPH0529890B2 (ja) | 1993-05-06 |
Family
ID=12984697
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5494289A Granted JPH02235017A (ja) | 1989-03-09 | 1989-03-09 | 光シャッタアレイ及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02235017A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2024135076A1 (ja) * | 2022-12-23 | 2024-06-27 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63189836A (ja) * | 1987-02-02 | 1988-08-05 | Minolta Camera Co Ltd | 光シヤツタアレイ |
-
1989
- 1989-03-09 JP JP5494289A patent/JPH02235017A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63189836A (ja) * | 1987-02-02 | 1988-08-05 | Minolta Camera Co Ltd | 光シヤツタアレイ |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2024135076A1 (ja) * | 2022-12-23 | 2024-06-27 | ||
| WO2024135076A1 (ja) * | 2022-12-23 | 2024-06-27 | 日本碍子株式会社 | 波長変換素子の製造方法、波長変換素子 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0529890B2 (ja) | 1993-05-06 |
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