JPH0223513A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH0223513A JPH0223513A JP63173316A JP17331688A JPH0223513A JP H0223513 A JPH0223513 A JP H0223513A JP 63173316 A JP63173316 A JP 63173316A JP 17331688 A JP17331688 A JP 17331688A JP H0223513 A JPH0223513 A JP H0223513A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic recording
- film
- recording medium
- layer
- thin film
- Prior art date
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- Pending
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、高密度磁気記録に適する強磁性金属薄膜を磁
気記録層とする磁気記録媒体に関する。
気記録層とする磁気記録媒体に関する。
従来の技術
最近の記録技術の進歩によシ単位面積当シはもとよυ単
位体積当シの記録密度が著しく向上し、磁気記録媒体は
、表面が極めて平滑で、高密度化に適した強磁性金属薄
膜を磁気記録層とする蒸着テープ等の実用化が強く望ま
れている。従って最近では摺動界面で起る摩擦、摩耗等
に対する理解を深めるトライポロジーに関する研究の重
要性が認識され各方面で開発が進められている〔テレビ
ジ、ン学会誌、ｖｏ４４０．ＡＳ（１ｓｅａ）４７２頁
〕。
位体積当シの記録密度が著しく向上し、磁気記録媒体は
、表面が極めて平滑で、高密度化に適した強磁性金属薄
膜を磁気記録層とする蒸着テープ等の実用化が強く望ま
れている。従って最近では摺動界面で起る摩擦、摩耗等
に対する理解を深めるトライポロジーに関する研究の重
要性が認識され各方面で開発が進められている〔テレビ
ジ、ン学会誌、ｖｏ４４０．ＡＳ（１ｓｅａ）４７２頁
〕。
第２図は従来の磁気記録媒体の拡大断面図である。第２
図に於て、１はポリエチレンテレフタレート、ポリイミ
ド等の高分子フィルムで必要に応じて、微粒子化した表
面を付与したもの等〔特開昭１５９−２０７４２２号公
報、特開昭６９−１２１６３１号公報〕が用いられる。
図に於て、１はポリエチレンテレフタレート、ポリイミ
ド等の高分子フィルムで必要に応じて、微粒子化した表
面を付与したもの等〔特開昭１５９−２０７４２２号公
報、特開昭６９−１２１６３１号公報〕が用いられる。
２はＣｏ −Ｎ １−ｏｓめ蒸着膜、 Ｃｏ−０ｒ 、
Ｃｏ−０ｒ−Ｎｂ等の垂直磁化膜等の磁気記録層で、３
は保護層で・４はバックコート層で、炭素粉末、炭化カ
ルシウム粉末等の粒子を含んだ樹脂層で主として走行性
を改善するために保護層だけで不十分な場合にはよく設
けられている。
Ｃｏ−０ｒ−Ｎｂ等の垂直磁化膜等の磁気記録層で、３
は保護層で・４はバックコート層で、炭素粉末、炭化カ
ルシウム粉末等の粒子を含んだ樹脂層で主として走行性
を改善するために保護層だけで不十分な場合にはよく設
けられている。
従来保護層は特開昭５４−１１ ｆｆ３０３号公報に開
示されている脂肪酸金属塩の蒸着膜による耐摩耗性の改
善、特開昭５７−１１６７７１号公報に開示されている
イミド基を有する高分子のスパッタ膜、ダイアモンド状
硬質炭素膜を用いる例（日本応用磁気学会、第４６回研
究会資料）等が知られている。又潤滑目的の層として、
蒸着法。
示されている脂肪酸金属塩の蒸着膜による耐摩耗性の改
善、特開昭５７−１１６７７１号公報に開示されている
イミド基を有する高分子のスパッタ膜、ダイアモンド状
硬質炭素膜を用いる例（日本応用磁気学会、第４６回研
究会資料）等が知られている。又潤滑目的の層として、
蒸着法。
湿式塗布法等で脂肪酸、脂肪酸アミド等を被着するもの
（特えば特公昭５６−３０６０９号公報）は数多く試み
られている。しかしながら上記した例では、使用環境条
件の拡大２合金系磁気ヘッドに対する実用性の要求の高
度化に対処しきれないことから、組み合わせによる改善
が検討されていて、脂肪酸金属塩の吸着層上にフ／レオ
ロカーボン系の潤滑層を設けたもの（特開昭６１−１２
０３３１号公報）、硬質カーボン層の上に含フツ素潤滑
油層を配したもの（特開昭６１−１２６６２７号公報）
、５ｔ−Ｎ−０系薄膜上に潤滑層を形成したもの（特開
昭６１−１３１２３１号公報）等があげられる。
（特えば特公昭５６−３０６０９号公報）は数多く試み
られている。しかしながら上記した例では、使用環境条
件の拡大２合金系磁気ヘッドに対する実用性の要求の高
度化に対処しきれないことから、組み合わせによる改善
が検討されていて、脂肪酸金属塩の吸着層上にフ／レオ
ロカーボン系の潤滑層を設けたもの（特開昭６１−１２
０３３１号公報）、硬質カーボン層の上に含フツ素潤滑
油層を配したもの（特開昭６１−１２６６２７号公報）
、５ｔ−Ｎ−０系薄膜上に潤滑層を形成したもの（特開
昭６１−１３１２３１号公報）等があげられる。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、近年急激に需要が増大しているカメラ一
体型のビデオは小型軽量化が進み、使用条件も厳しくな
シ、テープ全厚を薄型化して、記録時間を長くす、るに
従って、これまで用いられている磁気記録層では十分な
酌久性の確保がむずかしいことから改善が望まれていた
。
体型のビデオは小型軽量化が進み、使用条件も厳しくな
シ、テープ全厚を薄型化して、記録時間を長くす、るに
従って、これまで用いられている磁気記録層では十分な
酌久性の確保がむずかしいことから改善が望まれていた
。
本発明は上記した事情に鑑みなされたもので、耐久性を
薄手テープに於ても確保できる磁気記録層をもった磁気
記録媒体を提供するものである。
薄手テープに於ても確保できる磁気記録層をもった磁気
記録媒体を提供するものである。
課題を解決するための手段
上記した課題を解決するため、本発明の磁気記録媒体は
、強磁性薄膜で鉄炭素系と酸化鉄の混合体で構成したも
のである。
、強磁性薄膜で鉄炭素系と酸化鉄の混合体で構成したも
のである。
作 用
本発明の磁気記録媒体は上記した構成によυ磁、気記録
層の硬さが大きくなシ、合金系磁気ヘッドとの高速摺動
下でも十分な耐久性を確保できるようになる。
層の硬さが大きくなシ、合金系磁気ヘッドとの高速摺動
下でも十分な耐久性を確保できるようになる。
実施例
以下、図面を参照しながら本発明の実施例について詳し
く説明する。第１図は本発明の一実施例に係る磁気記録
媒体の拡大断面図である。第１図で、６はポリエチレン
テレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリフェ
ニレンサルファイド。
く説明する。第１図は本発明の一実施例に係る磁気記録
媒体の拡大断面図である。第１図で、６はポリエチレン
テレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリフェ
ニレンサルファイド。
ポリエーテルエーテルケトン、ポリアミド、ポリイミド
等の高分子フィルムで６は水溶性高分子から成るみみず
状の凹凸をもった下塗シ層や、τ１０２．Ｃｒ２Ｏ３，
ポリエステＩＶ球等の微粒子を塗布した下塗シ層である
。７は鉄、炭素系と酸化鉄の混合した薄膜で、分析によ
シＦｅＣ，Ｆｅ６Ｃ，Ｆｅ。
等の高分子フィルムで６は水溶性高分子から成るみみず
状の凹凸をもった下塗シ層や、τ１０２．Ｃｒ２Ｏ３，
ポリエステＩＶ球等の微粒子を塗布した下塗シ層である
。７は鉄、炭素系と酸化鉄の混合した薄膜で、分析によ
シＦｅＣ，Ｆｅ６Ｃ，Ｆｅ。
Ｆ ｅ２０３． Ｆ ｅ３ｏ４等の混合体で構成された
ものであって、耐久性を確保する上で炭素系と酸化物系
の体積比率が炭素系の方が３０％〜１００％多くなるよ
うに構成するのが好ましい。３０％以下では、テープ全
厚が８μｍ以下での耐久性がバラツクのと、１００％以
上になると、磁気特性の確保がむずかしいことから上記
した′ａ囲での管理が望まれるのである。上記薄膜の形
成は、Ｆ ｅ （Ｃｏ ）４ガスをプラズマにして成膜
する方法や、Ｆｅをターゲットにして炭化水素と酸素を
含む放電ガスを利用したヌパッタリング法等によシ行う
ことができる。８は保護膜でダイアモンド薄膜、ダイア
モンド状硬質炭素薄膜、ＢＣ、ＢＮ 、Ｔｉｃ、ＴｉＮ
膜等やプラズマ重合膜等で構成し、膜厚はスペーシング
損失の関係から６０八から２００人の範囲が好ましい。
ものであって、耐久性を確保する上で炭素系と酸化物系
の体積比率が炭素系の方が３０％〜１００％多くなるよ
うに構成するのが好ましい。３０％以下では、テープ全
厚が８μｍ以下での耐久性がバラツクのと、１００％以
上になると、磁気特性の確保がむずかしいことから上記
した′ａ囲での管理が望まれるのである。上記薄膜の形
成は、Ｆ ｅ （Ｃｏ ）４ガスをプラズマにして成膜
する方法や、Ｆｅをターゲットにして炭化水素と酸素を
含む放電ガスを利用したヌパッタリング法等によシ行う
ことができる。８は保護膜でダイアモンド薄膜、ダイア
モンド状硬質炭素薄膜、ＢＣ、ＢＮ 、Ｔｉｃ、ＴｉＮ
膜等やプラズマ重合膜等で構成し、膜厚はスペーシング
損失の関係から６０八から２００人の範囲が好ましい。
９は潤滑剤層で、脂肪酸、脂肪酸アミド、パーフルオロ
ポリエーテル等を溶液塗布法。
ポリエーテル等を溶液塗布法。
真空蒸着法等で配したものである。
以下、更に具体的に本発明の実施例について比殻例との
対比で説明する。厚み７μｍのポリエチレンナフタレー
トフィルム上に、！径８０Ａのｚｒｏ２徽粒子金粒子ケ
／（μｍ）２配し、その上に、Ｆ ｅ （Ｃｏ ）ガス
とＨ２ガスを混合し（Ｆ ｅ （Ｃｏ ） ４：Ｈ２−
２： １）導入し、１３．５６（ＭＨｚ）、１．２（Ｋ
Ｗ）のプラズマを発生させて、０、１５１ｉｒｎのＦｅ
Ｃ，Ｆｅ Ｃ，Ｆｅ、Ｆｅ２Ｏ３，Ｆｅ３Ｏ４の混合膜
を形成した。（（Ｆ ｅＣ＋Ｆ ｅｓＣ） 、’ Ｆ
ｅ ：（Ｆｅ２０３＋Ｆｅ３０４）−ｔｓ、ｓ ： １
： ３．５）この膜をＡとすると、膜Ｂとして、Ｆｅを
ターゲットにしてＣＨガスと酸素の混合ガス（ＣＨ４：
０２；４：１）を０．１ （Ｔｏｒｒ） とし、４００
（ＭＨｚ）１．１５（ＫＷ）のプラズマによりスパッ
タリングを行って、ン（Ｆ ｅ Ｃ＋Ｆ ｅ Ｃ） ＋
、 Ｆ ｅ ：（Ｆ ｅ ２０ ｓ ＋ Ｆ ｅ ３ｏ
４）ミｅ ： ０．７ ： ３．３の混合膜を０．１６
μｍ形成した。
対比で説明する。厚み７μｍのポリエチレンナフタレー
トフィルム上に、！径８０Ａのｚｒｏ２徽粒子金粒子ケ
／（μｍ）２配し、その上に、Ｆ ｅ （Ｃｏ ）ガス
とＨ２ガスを混合し（Ｆ ｅ （Ｃｏ ） ４：Ｈ２−
２： １）導入し、１３．５６（ＭＨｚ）、１．２（Ｋ
Ｗ）のプラズマを発生させて、０、１５１ｉｒｎのＦｅ
Ｃ，Ｆｅ Ｃ，Ｆｅ、Ｆｅ２Ｏ３，Ｆｅ３Ｏ４の混合膜
を形成した。（（Ｆ ｅＣ＋Ｆ ｅｓＣ） 、’ Ｆ
ｅ ：（Ｆｅ２０３＋Ｆｅ３０４）−ｔｓ、ｓ ： １
： ３．５）この膜をＡとすると、膜Ｂとして、Ｆｅを
ターゲットにしてＣＨガスと酸素の混合ガス（ＣＨ４：
０２；４：１）を０．１ （Ｔｏｒｒ） とし、４００
（ＭＨｚ）１．１５（ＫＷ）のプラズマによりスパッ
タリングを行って、ン（Ｆ ｅ Ｃ＋Ｆ ｅ Ｃ） ＋
、 Ｆ ｅ ：（Ｆ ｅ ２０ ｓ ＋ Ｆ ｅ ３ｏ
４）ミｅ ： ０．７ ： ３．３の混合膜を０．１６
μｍ形成した。
又比較例として、直径１ｍの円筒キャンに沿わせて、５
Ｘ １０−５（Ｔｏｒｒ）の酸素中で、最小入射角４
８度で０．Ｑ９７７ｍのＣｏ−Ｎｉ （Ｃｏ：Ｎ１−８
： ２ ）を電子ビーム蒸着を２回くシ返し、０．１
８μｍのＣｏ −Ｎ ｌ−０膜を形成した。夫々へキサ
メチルジシラザンをモノマーガスとり、て、２０（ＫＨ
ｚ）。
Ｘ １０−５（Ｔｏｒｒ）の酸素中で、最小入射角４
８度で０．Ｑ９７７ｍのＣｏ−Ｎｉ （Ｃｏ：Ｎ１−８
： ２ ）を電子ビーム蒸着を２回くシ返し、０．１
８μｍのＣｏ −Ｎ ｌ−０膜を形成した。夫々へキサ
メチルジシラザンをモノマーガスとり、て、２０（ＫＨ
ｚ）。
６８０ （Ｗ） 、０．１ （Ｔｏｒｒ）の条件でプラ
ズマ重合膜を１４０人、更にその上にパー７〜オロアラ
キン酸４０人を真空蒸着し、８ミリ幅にスリットし、磁
気テープを試作した。
ズマ重合膜を１４０人、更にその上にパー７〜オロアラ
キン酸４０人を真空蒸着し、８ミリ幅にスリットし、磁
気テープを試作した。
夫々のテープを８ミリビデオで、くシ返し記録再生し、
出力を比較した結果を表にまとめて示した。
出力を比較した結果を表にまとめて示した。
表は各環境でくシ返し再生した時、出力が初期値に対し
２（ｄＢ）低下するまでのくシ返し回数である。
２（ｄＢ）低下するまでのくシ返し回数である。
発明の効果
以上のように本発明によれば、広い環境条件での１耐久
性の改良された磁気記録媒体が得られるといったすぐれ
た効果がある。
性の改良された磁気記録媒体が得られるといったすぐれ
た効果がある。
第１図は本発明の一実施例の磁気記録媒体の拡大断面図
、第２図は従来の磁気記録媒体の拡大断面図である。 ６・・・・・・高分子フィルム、６・・・・・・下塗り
層、７・・・・・・鉄炭素系と酸化鉄の混合薄膜、８・
・・・・・保護膜。
、第２図は従来の磁気記録媒体の拡大断面図である。 ６・・・・・・高分子フィルム、６・・・・・・下塗り
層、７・・・・・・鉄炭素系と酸化鉄の混合薄膜、８・
・・・・・保護膜。
Claims (1)
- 強磁性薄膜が鉄、炭素系と酸化鉄の混合薄膜であること
を特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63173316A JPH0223513A (ja) | 1988-07-12 | 1988-07-12 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63173316A JPH0223513A (ja) | 1988-07-12 | 1988-07-12 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0223513A true JPH0223513A (ja) | 1990-01-25 |
Family
ID=15958179
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63173316A Pending JPH0223513A (ja) | 1988-07-12 | 1988-07-12 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0223513A (ja) |
-
1988
- 1988-07-12 JP JP63173316A patent/JPH0223513A/ja active Pending
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