JPH0223686A - Nc laser device - Google Patents
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- JPH0223686A JPH0223686A JP63172999A JP17299988A JPH0223686A JP H0223686 A JPH0223686 A JP H0223686A JP 63172999 A JP63172999 A JP 63172999A JP 17299988 A JP17299988 A JP 17299988A JP H0223686 A JPH0223686 A JP H0223686A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は送風機によってレーザガスを循環させる機構を
備えたＮＣレーザ装置にに関し、特にレーザ発振器の停
止時に送風系内圧力を大気圧まで〔従来の技術〕
ＣＯ。ガス等をレーザ媒質とするガスレーザ発振器は高
効率で高出力が得られ、ビーム特性も良いので、数値制
御装置と結合されたＮＣレーザ装置として金属加工等に
広く使用されている。このようなガスレーザ発振器は、
発振効率を向上させるために、レーザ発振を行って高温
になったガスを充分再冷却する必要があるので、放電管
内のレーザガスを絶えず冷却器を通して循環させる送風
機構を有している。この送風系内の圧力は、レーザ発振
器の運転時においては数１０Ｔｏ ｒ ｒ程度の低圧力
である。このため、送風系内への外気の混入、及び送風
器や真空ポンプ等に含まれるオイルペーパによる光学部
品の汚染を防止するために、運転を停止した直後には新
しいガスを大気圧程度まで充填するパージ動作を行って
いる。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to an NC laser device equipped with a mechanism for circulating laser gas using a blower, and in particular, when the laser oscillator is stopped, the pressure inside the blower system is reduced to atmospheric pressure [as compared to conventional Technology] CO. Gas laser oscillators using gas or the like as a laser medium have high efficiency, high output, and good beam characteristics, so they are widely used in metal processing and the like as NC laser devices combined with numerical control devices. This kind of gas laser oscillator is
In order to improve the oscillation efficiency, it is necessary to sufficiently re-cool the gas that has become hot due to laser oscillation, so a blower mechanism is provided to constantly circulate the laser gas inside the discharge tube through a cooler. The pressure within this blowing system is as low as several tens of Torr during operation of the laser oscillator. Therefore, in order to prevent outside air from entering the ventilation system and contamination of optical components by oil paper contained in the blower, vacuum pump, etc., immediately after stopping operation, fill with new gas to around atmospheric pressure. A purge operation is being performed.
しかし、外気の混入やオイルベーパ等の影響は運転停止
後２〜３時間以内の間は実質的に問題とはならない。従
って、運転停止時に常にパージを行うことは無駄である
。However, the influence of outside air contamination, oil vapor, etc. does not become a substantial problem within 2 to 3 hours after the operation is stopped. Therefore, it is wasteful to always purge when the operation is stopped.
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、レ
ーザ発振を停止した後所定時間以内で再び起動する場合
にはパージ動作を省略することのできるＮＣレーザ装置
を提供することを目的とする。The present invention has been made in view of these points, and an object of the present invention is to provide an NC laser device that can omit the purge operation when restarting within a predetermined time after stopping laser oscillation. do.
本発明では上記課題を解決するために、送風機によって
レーザガスを循環させる機構を備えたガスレーザ発振器
と、数値制御装置（ＣＮＣ）が結合したＮＣレーザ装置
において、レーザ発振停止からパージ動作を開始するま
での所定時間を計測する計時手段と、
前記所定時間以内で再起動する場合は前記パージ動作を
省略するガス圧力制御手段と、を有することを特徴とす
るＮＣレーザ装置、が提供される。In order to solve the above problems, the present invention provides an NC laser device in which a gas laser oscillator equipped with a mechanism for circulating laser gas using a blower and a numerical control device (CNC) is combined. There is provided an NC laser device comprising: a timer for measuring a predetermined time; and a gas pressure control means for omitting the purge operation when restarting within the predetermined time.
ガスレーザ発振器が停止すると、パージ動作開始信号が
出力され、計時手段が時間の計測を開始する。所定時間
以内に再起動の指令があった場合には、パージ動作を行
わずに指令に従ってレーザ発振器の運転を開始する。When the gas laser oscillator stops, a purge operation start signal is output, and the timer starts measuring time. If a restart command is received within a predetermined time, the laser oscillator starts operating according to the command without performing a purge operation.
所定時間が経過しても再起動の指令がない場合は、ガス
圧力制御手段が信号を出力してパージ弁を開き、大気圧
のガス圧力までレーザガスを送風系内に充填する。If a restart command is not received after a predetermined period of time has elapsed, the gas pressure control means outputs a signal to open the purge valve and fill the blowing system with laser gas up to atmospheric gas pressure.
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。 Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described based on the drawings.
第１図は本発明の一実施例のＮＣレーザ装置のブロック
図である。図において、１は放電管であり、図示されて
いないレーザ用電源から高周波電圧が印加され内部に放
電を生じると、内部のレーザガスが励起され、誘導放出
によりレーザ光を出力する。２はレーザ光を反射する全
反射鏡、３は出力結合鏡であり、レーザ光はこの全反射
鏡２と出力結合鏡３間を往復することにより増幅され、
出力結合鏡３から一部が外部に出力される。４はルーツ
ブロワであり、放電管内のレーザガスを循環させる。４
ａはルーツブロワ４のギヤボックスであり、内部にはギ
ヤオイルが充填されている。FIG. 1 is a block diagram of an NC laser device according to an embodiment of the present invention. In the figure, reference numeral 1 denotes a discharge tube, and when a high frequency voltage is applied from a laser power source (not shown) to generate a discharge inside, the laser gas inside is excited and outputs laser light by stimulated emission. 2 is a total reflection mirror that reflects the laser beam; 3 is an output coupling mirror; the laser beam is amplified by going back and forth between the total reflection mirror 2 and the output coupling mirror 3;
A portion is outputted from the output coupling mirror 3 to the outside. 4 is a Roots blower that circulates the laser gas within the discharge tube. 4
A is a gear box of the Roots blower 4, and the inside thereof is filled with gear oil.
運転時にはギヤボックス４ａは排気装置１０により排気
されていて、この部分のガス圧力は放電管１内よりも低
くなっている。During operation, the gear box 4a is exhausted by the exhaust device 10, and the gas pressure in this area is lower than in the discharge tube 1.
５はレーザガス供給装置であり、内部にガスボンベがあ
る。６はガス供給弁、７はパージ弁であり、後述の数値
制御装置によって開閉される。ガスレーザ発振器の運転
時には、レーザガスはガス供給弁６を通して供給される
が、パージ動作時にはパージ弁７を通して供給される。5 is a laser gas supply device, and there is a gas cylinder inside. 6 is a gas supply valve, and 7 is a purge valve, which are opened and closed by a numerical control device to be described later. During operation of the gas laser oscillator, laser gas is supplied through the gas supply valve 6, and during purge operation, it is supplied through the purge valve 7.
８は圧力センサであり、ルーツブロワ４人口におけるガ
ス圧力を検出する。９は排気弁であり、１０は排気装置
である。放電管１内で放電によって劣化したレーザガス
は排気装置１０によって外部に排気される。8 is a pressure sensor, which detects the gas pressure in the Roots blower 4 population. 9 is an exhaust valve, and 10 is an exhaust device. Laser gas degraded by discharge within the discharge tube 1 is exhausted to the outside by an exhaust device 10.
１１はガスレーザ発振器を制御する制御装置であり、ガ
スレーザ制御用の数値制御装置（ＣＮＣ）が使用される
。１２は圧力センサ８のアナログ出力をディジクルな値
に変換するＡ／Ｄ変換器である。１３はガス圧力制御手
段である。１４は計時手段であり、ガスレーザ発振器の
運転停止後の時間を計測する。１５ａ及び１５’ｂはド
ライバであり、ガス圧力制御手段１３の信号を受けてそ
れぞれガス供給弁６及びパージ弁７を開閉する。11 is a control device for controlling the gas laser oscillator, and a numerical control device (CNC) for controlling the gas laser is used. 12 is an A/D converter that converts the analog output of the pressure sensor 8 into a digital value. 13 is a gas pressure control means. Reference numeral 14 denotes a clock means, which measures the time after the operation of the gas laser oscillator is stopped. Drivers 15a and 15'b open and close the gas supply valve 6 and purge valve 7, respectively, in response to signals from the gas pressure control means 13.
１６は電源制御手段であり、運転停止後パージ動作が完
了するまでは、オペレータが電源釦を押して電源をオフ
しようとしても電源が切断されないように制御している
。１７は電源釦である。Reference numeral 16 denotes a power supply control means, which controls the power supply so that it will not be cut off even if the operator presses the power button to turn off the power supply until the purge operation is completed after the operation is stopped. 17 is a power button.
本発明のＮＣレーザ装置のパージ動作は以下のように行
われる。ガスレーザ発振器が停止すると、数値制御装置
１１の内部においてパージ動作開始信号が出力され、計
時手段１４が時間の計測を開始する。所定時間以内に再
起動の指令があった場合には、パージ動作を行わずに指
令に従ってレーザ発振器の運転を開始する。The purging operation of the NC laser device of the present invention is performed as follows. When the gas laser oscillator stops, a purge operation start signal is output inside the numerical control device 11, and the timer 14 starts measuring time. If a restart command is received within a predetermined time, the laser oscillator starts operating according to the command without performing a purge operation.
所定時間が経過しても再起動の指令がない場合は、ガス
圧力制御手段１３がドライバ１５ｂに信号を出力してパ
ージ弁７を開き、レーザガス供給装置５からレーザガス
を放電管１内に充填する。If there is no command to restart after a predetermined period of time has elapsed, the gas pressure control means 13 outputs a signal to the driver 15b to open the purge valve 7 and fill the discharge tube 1 with laser gas from the laser gas supply device 5. .
ガス圧力制御手段１３は、圧力センサ８によって計測さ
れたガス圧力を読み取って、この値が大気圧になったら
、その時点でパージ弁７を閉じてパージ動作を完了する
。The gas pressure control means 13 reads the gas pressure measured by the pressure sensor 8, and when this value reaches atmospheric pressure, the purge valve 7 is closed at that point to complete the purge operation.
第２図は本発明の一実施例のＮＣレーザ装置におけるパ
ージ動作のフローチャーｉ・図である。図において、Ｓ
に続く数値はステップ番号を示す。FIG. 2 is a flowchart of a purge operation in an NC laser device according to an embodiment of the present invention. In the figure, S
The number following indicates the step number.
〔Ｓｉ３計時手段１４が時間の計測を開始する。[The Si3 timer 14 starts measuring time.
〔Ｓ２〕起動が指令されたかどうかを判断する。[S2] Determine whether activation has been commanded.
指令された場合はＳ７へいく。指令されない場合はＳ３
へいく。If instructed, go to S7. If not commanded, S3
I'm going to go.
〔Ｓ３〕所定時間が経過したかどうかを判断する。[S3] Determine whether a predetermined time has elapsed.
経過した場合はＳ４へいく。経過していない場合はＳ２
へいく。If the time has elapsed, go to S4. If it has not passed, S2
I'm going to go.
〔Ｓ４〕ドライバ１５ｂに信号を出力してパージ弁を開
く。[S4] Output a signal to the driver 15b to open the purge valve.
〔Ｓ５〕放電管１内の圧力が大気圧に等しいかどうかを
判断する。等しい場合はＳ６へいく。等しくない場合は
引き続きこの判断を繰り返す。[S5] It is determined whether the pressure inside the discharge tube 1 is equal to atmospheric pressure. If they are equal, go to S6. If they are not equal, this judgment is repeated.
〔Ｓ６〕ドライバ１５ｂに信号を出力してパージ弁を閉
じる。[S6] A signal is output to the driver 15b to close the purge valve.
〔Ｓ７］指令に従ってレーザ発振器の運転を開始する。[S7] The operation of the laser oscillator is started according to the command.
以上説明したように本発明では、ガスレーザ発振器の運
転停止後のパージ動作を行わなくても支障のない期間は
パージ動作を待機しているので、ガスレーザ発振器の運
転、停止をたびたび繰り返すような場合は、レーザガス
及び電力消費を従来よりも節約することができる。また
、パージ動作及び再起動時の真空排気等の工程を省略す
ることができるので、ＮＣレーザ装置の稼働率が向上す
る。As explained above, in the present invention, the purge operation is on standby for a period when there is no problem even if the purge operation is not performed after the gas laser oscillator stops operating, so if the gas laser oscillator is repeatedly started and stopped, , laser gas and power consumption can be saved compared to conventional methods. Further, since steps such as purging operation and evacuation at restart can be omitted, the operating rate of the NC laser device is improved.
第１図は本発明の一実施例のＮＣレーザ装置のブロック
図、
第２図は本発明の一実施例のＮＣレーザ装置におけるパ
ージ動作のフローチャート図である。
１−−−−−−−一−−−−−−−放電管４−・−一−
−−−−−−−−−−送風機５−・−−一一一・−一一
一一レーザガス供給装置６・・・−−一−−−−−−−
−ガス供給弁７−・−−−−−・−・・・パージ弁
８ −・−圧力センサ
９・・・ 排気弁
０・・・−・−−−−−一一−−−排気装置１−・・−
・・・・−数値制御装置FIG. 1 is a block diagram of an NC laser device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a flowchart of a purging operation in the NC laser device according to an embodiment of the present invention. 1---------1---------Discharge tube 4-・-1-
------------Blower 5-----111--1111 Laser gas supply device 6----1-----
-Gas supply valve 7-----------Purge valve 8--Pressure sensor 9--Exhaust valve 0--------11--Exhaust device 1 −・・−
...-numerical control device
Claims (1)
えたガスレーザ発振器と、数値制御装置（ＣＮＣ）が結
合したＮＣレーザ装置において、レーザ発振停止からパ
ージ動作を開始するまでの所定時間を計測する計時手段
と、 前記所定時間以内で再起動する場合は前記パージ動作を
省略するガス圧力制御手段と、 を有することを特徴とするＮＣレーザ装置。(1) In an NC laser device in which a gas laser oscillator equipped with a mechanism for circulating laser gas using a blower and a numerical control device (CNC) are combined, a timer means for measuring a predetermined time from stopping laser oscillation to starting a purge operation; . A gas pressure control means for omitting the purge operation when restarting within the predetermined time.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63172999A JPH0223686A (en) | 1988-07-12 | 1988-07-12 | Nc laser device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63172999A JPH0223686A (en) | 1988-07-12 | 1988-07-12 | Nc laser device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0223686A true JPH0223686A (en) | 1990-01-25 |
Family
ID=15952310
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63172999A Pending JPH0223686A (en) | 1988-07-12 | 1988-07-12 | Nc laser device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0223686A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02130981A (en) * | 1988-11-11 | 1990-05-18 | Daihen Corp | Initiation of carbonic acid gas laser oscillator |
| JP2008248555A (en) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Toyota Auto Body Co Ltd | Linear motor automatic door |
| JP2015156444A (en) * | 2014-02-20 | 2015-08-27 | ファナック株式会社 | Gas laser device that efficiently performs startup step |
-
1988
- 1988-07-12 JP JP63172999A patent/JPH0223686A/en active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02130981A (en) * | 1988-11-11 | 1990-05-18 | Daihen Corp | Initiation of carbonic acid gas laser oscillator |
| JP2008248555A (en) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Toyota Auto Body Co Ltd | Linear motor automatic door |
| JP2015156444A (en) * | 2014-02-20 | 2015-08-27 | ファナック株式会社 | Gas laser device that efficiently performs startup step |
| US9240665B2 (en) | 2014-02-20 | 2016-01-19 | Fanuc Corporation | Gas laser apparatus carrying out improved startup process |
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