JPH0223686A - Ｎｃレーザ装置 - Google Patents
Ｎｃレーザ装置Info
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- JPH0223686A JPH0223686A JP63172999A JP17299988A JPH0223686A JP H0223686 A JPH0223686 A JP H0223686A JP 63172999 A JP63172999 A JP 63172999A JP 17299988 A JP17299988 A JP 17299988A JP H0223686 A JPH0223686 A JP H0223686A
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- gas
- purge
- purge operation
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- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims abstract description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
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- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は送風機によってレーザガスを循環させる機構を
備えたＮＣレーザ装置にに関し、特にレーザ発振器の停
止時に送風系内圧力を大気圧まで〔従来の技術〕 ＣＯ。ガス等をレーザ媒質とするガスレーザ発振器は高
効率で高出力が得られ、ビーム特性も良いので、数値制
御装置と結合されたＮＣレーザ装置として金属加工等に
広く使用されている。このようなガスレーザ発振器は、
発振効率を向上させるために、レーザ発振を行って高温
になったガスを充分再冷却する必要があるので、放電管
内のレーザガスを絶えず冷却器を通して循環させる送風
機構を有している。この送風系内の圧力は、レーザ発振
器の運転時においては数１０Ｔｏ ｒ ｒ程度の低圧力
である。このため、送風系内への外気の混入、及び送風
器や真空ポンプ等に含まれるオイルペーパによる光学部
品の汚染を防止するために、運転を停止した直後には新
しいガスを大気圧程度まで充填するパージ動作を行って
いる。
備えたＮＣレーザ装置にに関し、特にレーザ発振器の停
止時に送風系内圧力を大気圧まで〔従来の技術〕 ＣＯ。ガス等をレーザ媒質とするガスレーザ発振器は高
効率で高出力が得られ、ビーム特性も良いので、数値制
御装置と結合されたＮＣレーザ装置として金属加工等に
広く使用されている。このようなガスレーザ発振器は、
発振効率を向上させるために、レーザ発振を行って高温
になったガスを充分再冷却する必要があるので、放電管
内のレーザガスを絶えず冷却器を通して循環させる送風
機構を有している。この送風系内の圧力は、レーザ発振
器の運転時においては数１０Ｔｏ ｒ ｒ程度の低圧力
である。このため、送風系内への外気の混入、及び送風
器や真空ポンプ等に含まれるオイルペーパによる光学部
品の汚染を防止するために、運転を停止した直後には新
しいガスを大気圧程度まで充填するパージ動作を行って
いる。
しかし、外気の混入やオイルベーパ等の影響は運転停止
後２〜３時間以内の間は実質的に問題とはならない。従
って、運転停止時に常にパージを行うことは無駄である
。
後２〜３時間以内の間は実質的に問題とはならない。従
って、運転停止時に常にパージを行うことは無駄である
。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、レ
ーザ発振を停止した後所定時間以内で再び起動する場合
にはパージ動作を省略することのできるＮＣレーザ装置
を提供することを目的とする。
ーザ発振を停止した後所定時間以内で再び起動する場合
にはパージ動作を省略することのできるＮＣレーザ装置
を提供することを目的とする。
本発明では上記課題を解決するために、送風機によって
レーザガスを循環させる機構を備えたガスレーザ発振器
と、数値制御装置（ＣＮＣ）が結合したＮＣレーザ装置
において、レーザ発振停止からパージ動作を開始するま
での所定時間を計測する計時手段と、 前記所定時間以内で再起動する場合は前記パージ動作を
省略するガス圧力制御手段と、を有することを特徴とす
るＮＣレーザ装置、が提供される。
レーザガスを循環させる機構を備えたガスレーザ発振器
と、数値制御装置（ＣＮＣ）が結合したＮＣレーザ装置
において、レーザ発振停止からパージ動作を開始するま
での所定時間を計測する計時手段と、 前記所定時間以内で再起動する場合は前記パージ動作を
省略するガス圧力制御手段と、を有することを特徴とす
るＮＣレーザ装置、が提供される。
ガスレーザ発振器が停止すると、パージ動作開始信号が
出力され、計時手段が時間の計測を開始する。所定時間
以内に再起動の指令があった場合には、パージ動作を行
わずに指令に従ってレーザ発振器の運転を開始する。
出力され、計時手段が時間の計測を開始する。所定時間
以内に再起動の指令があった場合には、パージ動作を行
わずに指令に従ってレーザ発振器の運転を開始する。
所定時間が経過しても再起動の指令がない場合は、ガス
圧力制御手段が信号を出力してパージ弁を開き、大気圧
のガス圧力までレーザガスを送風系内に充填する。
圧力制御手段が信号を出力してパージ弁を開き、大気圧
のガス圧力までレーザガスを送風系内に充填する。
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は本発明の一実施例のＮＣレーザ装置のブロック
図である。図において、１は放電管であり、図示されて
いないレーザ用電源から高周波電圧が印加され内部に放
電を生じると、内部のレーザガスが励起され、誘導放出
によりレーザ光を出力する。２はレーザ光を反射する全
反射鏡、３は出力結合鏡であり、レーザ光はこの全反射
鏡２と出力結合鏡３間を往復することにより増幅され、
出力結合鏡３から一部が外部に出力される。４はルーツ
ブロワであり、放電管内のレーザガスを循環させる。４
ａはルーツブロワ４のギヤボックスであり、内部にはギ
ヤオイルが充填されている。
図である。図において、１は放電管であり、図示されて
いないレーザ用電源から高周波電圧が印加され内部に放
電を生じると、内部のレーザガスが励起され、誘導放出
によりレーザ光を出力する。２はレーザ光を反射する全
反射鏡、３は出力結合鏡であり、レーザ光はこの全反射
鏡２と出力結合鏡３間を往復することにより増幅され、
出力結合鏡３から一部が外部に出力される。４はルーツ
ブロワであり、放電管内のレーザガスを循環させる。４
ａはルーツブロワ４のギヤボックスであり、内部にはギ
ヤオイルが充填されている。
運転時にはギヤボックス４ａは排気装置１０により排気
されていて、この部分のガス圧力は放電管１内よりも低
くなっている。
されていて、この部分のガス圧力は放電管１内よりも低
くなっている。
５はレーザガス供給装置であり、内部にガスボンベがあ
る。６はガス供給弁、７はパージ弁であり、後述の数値
制御装置によって開閉される。ガスレーザ発振器の運転
時には、レーザガスはガス供給弁６を通して供給される
が、パージ動作時にはパージ弁７を通して供給される。
る。６はガス供給弁、７はパージ弁であり、後述の数値
制御装置によって開閉される。ガスレーザ発振器の運転
時には、レーザガスはガス供給弁６を通して供給される
が、パージ動作時にはパージ弁７を通して供給される。
８は圧力センサであり、ルーツブロワ４人口におけるガ
ス圧力を検出する。９は排気弁であり、１０は排気装置
である。放電管１内で放電によって劣化したレーザガス
は排気装置１０によって外部に排気される。
ス圧力を検出する。９は排気弁であり、１０は排気装置
である。放電管１内で放電によって劣化したレーザガス
は排気装置１０によって外部に排気される。
１１はガスレーザ発振器を制御する制御装置であり、ガ
スレーザ制御用の数値制御装置（ＣＮＣ）が使用される
。１２は圧力センサ８のアナログ出力をディジクルな値
に変換するＡ／Ｄ変換器である。１３はガス圧力制御手
段である。１４は計時手段であり、ガスレーザ発振器の
運転停止後の時間を計測する。１５ａ及び１５’ｂはド
ライバであり、ガス圧力制御手段１３の信号を受けてそ
れぞれガス供給弁６及びパージ弁７を開閉する。
スレーザ制御用の数値制御装置（ＣＮＣ）が使用される
。１２は圧力センサ８のアナログ出力をディジクルな値
に変換するＡ／Ｄ変換器である。１３はガス圧力制御手
段である。１４は計時手段であり、ガスレーザ発振器の
運転停止後の時間を計測する。１５ａ及び１５’ｂはド
ライバであり、ガス圧力制御手段１３の信号を受けてそ
れぞれガス供給弁６及びパージ弁７を開閉する。
１６は電源制御手段であり、運転停止後パージ動作が完
了するまでは、オペレータが電源釦を押して電源をオフ
しようとしても電源が切断されないように制御している
。１７は電源釦である。
了するまでは、オペレータが電源釦を押して電源をオフ
しようとしても電源が切断されないように制御している
。１７は電源釦である。
本発明のＮＣレーザ装置のパージ動作は以下のように行
われる。ガスレーザ発振器が停止すると、数値制御装置
１１の内部においてパージ動作開始信号が出力され、計
時手段１４が時間の計測を開始する。所定時間以内に再
起動の指令があった場合には、パージ動作を行わずに指
令に従ってレーザ発振器の運転を開始する。
われる。ガスレーザ発振器が停止すると、数値制御装置
１１の内部においてパージ動作開始信号が出力され、計
時手段１４が時間の計測を開始する。所定時間以内に再
起動の指令があった場合には、パージ動作を行わずに指
令に従ってレーザ発振器の運転を開始する。
所定時間が経過しても再起動の指令がない場合は、ガス
圧力制御手段１３がドライバ１５ｂに信号を出力してパ
ージ弁７を開き、レーザガス供給装置５からレーザガス
を放電管１内に充填する。
圧力制御手段１３がドライバ１５ｂに信号を出力してパ
ージ弁７を開き、レーザガス供給装置５からレーザガス
を放電管１内に充填する。
ガス圧力制御手段１３は、圧力センサ８によって計測さ
れたガス圧力を読み取って、この値が大気圧になったら
、その時点でパージ弁７を閉じてパージ動作を完了する
。
れたガス圧力を読み取って、この値が大気圧になったら
、その時点でパージ弁７を閉じてパージ動作を完了する
。
第２図は本発明の一実施例のＮＣレーザ装置におけるパ
ージ動作のフローチャーｉ・図である。図において、Ｓ
に続く数値はステップ番号を示す。
ージ動作のフローチャーｉ・図である。図において、Ｓ
に続く数値はステップ番号を示す。
〔Ｓｉ３計時手段１４が時間の計測を開始する。
〔Ｓ２〕起動が指令されたかどうかを判断する。
指令された場合はＳ７へいく。指令されない場合はＳ３
へいく。
へいく。
〔Ｓ３〕所定時間が経過したかどうかを判断する。
経過した場合はＳ４へいく。経過していない場合はＳ２
へいく。
へいく。
〔Ｓ４〕ドライバ１５ｂに信号を出力してパージ弁を開
く。
く。
〔Ｓ５〕放電管１内の圧力が大気圧に等しいかどうかを
判断する。等しい場合はＳ６へいく。等しくない場合は
引き続きこの判断を繰り返す。
判断する。等しい場合はＳ６へいく。等しくない場合は
引き続きこの判断を繰り返す。
〔Ｓ６〕ドライバ１５ｂに信号を出力してパージ弁を閉
じる。
じる。
〔Ｓ７］指令に従ってレーザ発振器の運転を開始する。
以上説明したように本発明では、ガスレーザ発振器の運
転停止後のパージ動作を行わなくても支障のない期間は
パージ動作を待機しているので、ガスレーザ発振器の運
転、停止をたびたび繰り返すような場合は、レーザガス
及び電力消費を従来よりも節約することができる。また
、パージ動作及び再起動時の真空排気等の工程を省略す
ることができるので、ＮＣレーザ装置の稼働率が向上す
る。
転停止後のパージ動作を行わなくても支障のない期間は
パージ動作を待機しているので、ガスレーザ発振器の運
転、停止をたびたび繰り返すような場合は、レーザガス
及び電力消費を従来よりも節約することができる。また
、パージ動作及び再起動時の真空排気等の工程を省略す
ることができるので、ＮＣレーザ装置の稼働率が向上す
る。
第１図は本発明の一実施例のＮＣレーザ装置のブロック
図、 第２図は本発明の一実施例のＮＣレーザ装置におけるパ
ージ動作のフローチャート図である。 １−−−−−−−一−−−−−−−放電管４−・−一−
−−−−−−−−−−送風機５−・−−一一一・−一一
一一レーザガス供給装置６・・・−−一−−−−−−−
−ガス供給弁７−・−−−−−・−・・・パージ弁 ８ −・−圧力センサ ９・・・ 排気弁 ０・・・−・−−−−−一一−−−排気装置１−・・−
・・・・−数値制御装置
図、 第２図は本発明の一実施例のＮＣレーザ装置におけるパ
ージ動作のフローチャート図である。 １−−−−−−−一−−−−−−−放電管４−・−一−
−−−−−−−−−−送風機５−・−−一一一・−一一
一一レーザガス供給装置６・・・−−一−−−−−−−
−ガス供給弁７−・−−−−−・−・・・パージ弁 ８ −・−圧力センサ ９・・・ 排気弁 ０・・・−・−−−−−一一−−−排気装置１−・・−
・・・・−数値制御装置
Claims (1)
- （１）送風機によってレーザガスを循環させる機構を備
えたガスレーザ発振器と、数値制御装置（ＣＮＣ）が結
合したＮＣレーザ装置において、レーザ発振停止からパ
ージ動作を開始するまでの所定時間を計測する計時手段
と、 前記所定時間以内で再起動する場合は前記パージ動作を
省略するガス圧力制御手段と、 を有することを特徴とするＮＣレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63172999A JPH0223686A (ja) | 1988-07-12 | 1988-07-12 | Ｎｃレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63172999A JPH0223686A (ja) | 1988-07-12 | 1988-07-12 | Ｎｃレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0223686A true JPH0223686A (ja) | 1990-01-25 |
Family
ID=15952310
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63172999A Pending JPH0223686A (ja) | 1988-07-12 | 1988-07-12 | Ｎｃレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0223686A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02130981A (ja) * | 1988-11-11 | 1990-05-18 | Daihen Corp | 炭酸ガスレーザ発振器の起動方法 |
| JP2008248555A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Toyota Auto Body Co Ltd | リニアモータ式自動ドア |
| JP2015156444A (ja) * | 2014-02-20 | 2015-08-27 | ファナック株式会社 | 起動工程を効率化したガスレーザ装置 |
-
1988
- 1988-07-12 JP JP63172999A patent/JPH0223686A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02130981A (ja) * | 1988-11-11 | 1990-05-18 | Daihen Corp | 炭酸ガスレーザ発振器の起動方法 |
| JP2008248555A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Toyota Auto Body Co Ltd | リニアモータ式自動ドア |
| JP2015156444A (ja) * | 2014-02-20 | 2015-08-27 | ファナック株式会社 | 起動工程を効率化したガスレーザ装置 |
| US9240665B2 (en) | 2014-02-20 | 2016-01-19 | Fanuc Corporation | Gas laser apparatus carrying out improved startup process |
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