JPH02237183A - 気体レーザ装置 - Google Patents
気体レーザ装置Info
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- JPH02237183A JPH02237183A JP5853489A JP5853489A JPH02237183A JP H02237183 A JPH02237183 A JP H02237183A JP 5853489 A JP5853489 A JP 5853489A JP 5853489 A JP5853489 A JP 5853489A JP H02237183 A JPH02237183 A JP H02237183A
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
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- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明はマイクロ波放電を利用してレーザ励起を行な
う気体レーザ装置に関するものである。
う気体レーザ装置に関するものである。
第７図は、例えば特開昭６３−１８６４８３号公報に記
載された従来の気体レーザ装置を示す斜視図である。図
において、（１〉はマイクロ波を発生するマグネトロン
、ク２〉はマグネ１・ロン（１）で発生したマイクロ波
を伝送する導波管、（３〉はこの導波管の巾を広げるホ
ーン導波管、（４〉はマイクロ波結合窓、（５）はレー
ザ発振用のミラー，（６）はレーザヘッドである。第８
図は第７図Ｂ−Ｂ線断面図であり、レーザヘッド部（６
）を拡大して詳細に示している。第８図に示されるよう
に、レーザヘフド部《６〉はマイクロ波回路の一種であ
るリッジ導波管型のマイクロ波空胴の構造を持つ。第゜
８図において、（６１）はマイクロ波結合窓（４〉に続
く空胴壁、（６２）． （６３）はこの空胴壁ク６１
〉の断面の゛中央部に形成されたりッジ、（６４）は一
方のりッジ（６２）に形成された溝であり、（６５）は
マイクロ波回路の一部を構成する導電体壁であって、溝
（６４）の壁面が使用される。〈６６〉はこの導電体壁
ク６５〉に対向して設けられた、例えばアルミナなどの
誘電体であり、＜６７〉はこの誘電体（６６〉が溝（６
４〉を覆うことにより導電体壁（６５）と誘電体〈６６
）との間に形成される放電空間であって、この放電空間
（６７〉に例えばＣＯレーザガスなどのレーザ気体が封
入される。また、（６８）はりッジ（６２）， ＜６
３）に形成された冷却水路である。
載された従来の気体レーザ装置を示す斜視図である。図
において、（１〉はマイクロ波を発生するマグネトロン
、ク２〉はマグネ１・ロン（１）で発生したマイクロ波
を伝送する導波管、（３〉はこの導波管の巾を広げるホ
ーン導波管、（４〉はマイクロ波結合窓、（５）はレー
ザ発振用のミラー，（６）はレーザヘッドである。第８
図は第７図Ｂ−Ｂ線断面図であり、レーザヘッド部（６
）を拡大して詳細に示している。第８図に示されるよう
に、レーザヘフド部《６〉はマイクロ波回路の一種であ
るリッジ導波管型のマイクロ波空胴の構造を持つ。第゜
８図において、（６１）はマイクロ波結合窓（４〉に続
く空胴壁、（６２）． （６３）はこの空胴壁ク６１
〉の断面の゛中央部に形成されたりッジ、（６４）は一
方のりッジ（６２）に形成された溝であり、（６５）は
マイクロ波回路の一部を構成する導電体壁であって、溝
（６４）の壁面が使用される。〈６６〉はこの導電体壁
ク６５〉に対向して設けられた、例えばアルミナなどの
誘電体であり、＜６７〉はこの誘電体（６６〉が溝（６
４〉を覆うことにより導電体壁（６５）と誘電体〈６６
）との間に形成される放電空間であって、この放電空間
（６７〉に例えばＣＯレーザガスなどのレーザ気体が封
入される。また、（６８）はりッジ（６２）， ＜６
３）に形成された冷却水路である。
以上のように構成された従来の気体レーザ装置において
、マグネトロン（１）で発生されたマイクロ波は導波管
（２）を通ってホーン導波管（３）で広げられ、ホーン
導波管〈３）の終端の壁面（４）に設けられたマイクロ
波結合窓ク４１〉でインピーダンスマッチングをとるこ
とにより効率よくレーザヘッド部（６）に結合される。
、マグネトロン（１）で発生されたマイクロ波は導波管
（２）を通ってホーン導波管（３）で広げられ、ホーン
導波管〈３）の終端の壁面（４）に設けられたマイクロ
波結合窓ク４１〉でインピーダンスマッチングをとるこ
とにより効率よくレーザヘッド部（６）に結合される。
レーザヘッド部（６）は第８図に示されるようにリツジ
空胴状になっているため、マイクロ波はりフジ＜６２）
． （６３）の間に集中する。この集中したマイクロ
波の強い電界によって放電空間《６７）に封入されたレ
ーザ気体が放電破壊してプラズマを発生し、レーザ媒質
が励起される。ここで、冷却水路（６８）に冷却水を流
し、放電プラズマを冷却すると共に、レーザ気体の圧力
などの放電条件を適切に選ぶことによってレーザ励起条
件が得られ、第７図中のミラー〈５〉及び図示のないも
う一枚のミラーによりレーザ共振器を形成することでレ
ーザ発振光を帰ることができる。
空胴状になっているため、マイクロ波はりフジ＜６２）
． （６３）の間に集中する。この集中したマイクロ
波の強い電界によって放電空間《６７）に封入されたレ
ーザ気体が放電破壊してプラズマを発生し、レーザ媒質
が励起される。ここで、冷却水路（６８）に冷却水を流
し、放電プラズマを冷却すると共に、レーザ気体の圧力
などの放電条件を適切に選ぶことによってレーザ励起条
件が得られ、第７図中のミラー〈５〉及び図示のないも
う一枚のミラーによりレーザ共振器を形成することでレ
ーザ発振光を帰ることができる。
また、このりッジ空胴のようにマイクロ波回路が誘電体
（６６〉とプラズマの境界に垂直な電界成分を有するマ
イクロ波モードを形成する場合、誘電体《６６）と導電
体壁〈６５）は対向して設置されているので導電体壁（
６５〉にも垂直な電界成分を有することになり、プラズ
マを貫《電界ができる。この時、導電性を持゛つプラズ
マが発生しても、マイクロ波入射窓である誘電体（６６
〉に対向してプラズマよりも数桁導電性の高い導電体壁
〈６５〉があるために、入射マイクロ波の終端電流はこ
の導電体壁（６５〉を流れ、導電体壁（６５〉近傍の電
界は強制的に導電体壁（６５）の表面に垂直にされ、プ
ラズマを貫く電界が維持される。このためマイクロ波が
プラズマ中に浸透し、プラズマを貫く電流が流れ、電流
の連続性から空間的に一様な放電プラズマが得られ、レ
ーザ発振が行われる。
（６６〉とプラズマの境界に垂直な電界成分を有するマ
イクロ波モードを形成する場合、誘電体《６６）と導電
体壁〈６５）は対向して設置されているので導電体壁（
６５〉にも垂直な電界成分を有することになり、プラズ
マを貫《電界ができる。この時、導電性を持゛つプラズ
マが発生しても、マイクロ波入射窓である誘電体（６６
〉に対向してプラズマよりも数桁導電性の高い導電体壁
〈６５〉があるために、入射マイクロ波の終端電流はこ
の導電体壁（６５〉を流れ、導電体壁（６５〉近傍の電
界は強制的に導電体壁（６５）の表面に垂直にされ、プ
ラズマを貫く電界が維持される。このためマイクロ波が
プラズマ中に浸透し、プラズマを貫く電流が流れ、電流
の連続性から空間的に一様な放電プラズマが得られ、レ
ーザ発振が行われる。
上記のような従来の気体レーザ装置では、導波管の伝送
方向の終端部に結合窓《４〉を設けているため、ホーン
導波管（３〉によりマイクロ波を均一に拡げなければ、
長さ方向、すなわちレーザ光軸方向の放電の均一性を確
保できない。ホーン導波管（３》中では多くのマイクロ
波モードが励振可能であり、方形導波管（２〉からホー
ン導波管（３）につながる場合、ホーン導波管（３）中
ではどうしても中央部分のマイクロ波が強くなる傾向に
ある。
方向の終端部に結合窓《４〉を設けているため、ホーン
導波管（３〉によりマイクロ波を均一に拡げなければ、
長さ方向、すなわちレーザ光軸方向の放電の均一性を確
保できない。ホーン導波管（３》中では多くのマイクロ
波モードが励振可能であり、方形導波管（２〉からホー
ン導波管（３）につながる場合、ホーン導波管（３）中
ではどうしても中央部分のマイクロ波が強くなる傾向に
ある。
さらにマイクロ波の拡がりがホーンの形状とその先端に
ある負荷インピーダンスの影響を受けるため、放電とマ
イクロ波の相互作用によりマイクロ波の拡がる様子が変
化し、マイクロ波を均一に拡げる条件を求めるのが難し
い。従って、レーザ光軸方向の放電の均一性を確保する
のが難しく、レーザ発振の効率をさらに高めるのが難し
かった。
ある負荷インピーダンスの影響を受けるため、放電とマ
イクロ波の相互作用によりマイクロ波の拡がる様子が変
化し、マイクロ波を均一に拡げる条件を求めるのが難し
い。従って、レーザ光軸方向の放電の均一性を確保する
のが難しく、レーザ発振の効率をさらに高めるのが難し
かった。
これと共に、一部に電力が集中し易いから大電力を投入
できず高出力を帰離いという問題点があクたへ この発明は上記のような問題点を解決するためになされ
たもので、レーザの光軸方向の放電の均一性が簿易《、
高効率で大出力の気体レーザ装置を帰ることを目的とす
る。
できず高出力を帰離いという問題点があクたへ この発明は上記のような問題点を解決するためになされ
たもので、レーザの光軸方向の放電の均一性が簿易《、
高効率で大出力の気体レーザ装置を帰ることを目的とす
る。
この発明に係る気体レーザ装置は、マイクロ波伝送路と
マイクロ波回路とをレーザ光軸に沿うように並列配置し
、ヤイクロ波伝送路中のマイクロ波電界がほぼゼロとな
る壁面に設けたレーザ光軸方向に伸びた結合窓を通じて
誘電体の側面方向からマイクロ波を結合するようにした
ものである。
マイクロ波回路とをレーザ光軸に沿うように並列配置し
、ヤイクロ波伝送路中のマイクロ波電界がほぼゼロとな
る壁面に設けたレーザ光軸方向に伸びた結合窓を通じて
誘電体の側面方向からマイクロ波を結合するようにした
ものである。
この発明における気体レーザ装置は、マイクロ波が伝送
路中を伝送しながら、レーザ光軸方向に伸びた結合窓と
誘電体側面を通じて、マイクロ波伝送路から誘電体へ徐
々にマイクロ波結合を行なうと共に、誘電体とプラズマ
の境界に画直な電界成分が支配的なマイクロ波モードを
形成する。
路中を伝送しながら、レーザ光軸方向に伸びた結合窓と
誘電体側面を通じて、マイクロ波伝送路から誘電体へ徐
々にマイクロ波結合を行なうと共に、誘電体とプラズマ
の境界に画直な電界成分が支配的なマイクロ波モードを
形成する。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図はこの発明の一実施例による気体レーザ装置を示す斜
視図、第２図は第１図Ａ−Ａ線断面図である。この実施
例では、マイクロ波伝送路である方形導波管（２）とマ
イクロ波回路であるレーザヘッド（６）とをレーザ光軸
に沿うように並列配置し、結合窓〈４ｌ〉は導波管（２
》中のマイクロ波電界がほぼゼロとなる壁面に設けられ
、レーザ光軸方向に細長く伸びるように構成されている
。従って導波管〈２》の側面に設けられたマイクロ波結
合窓《４１）を通じて誘電体の側面方向からマイクロ波
を結合する。
図はこの発明の一実施例による気体レーザ装置を示す斜
視図、第２図は第１図Ａ−Ａ線断面図である。この実施
例では、マイクロ波伝送路である方形導波管（２）とマ
イクロ波回路であるレーザヘッド（６）とをレーザ光軸
に沿うように並列配置し、結合窓〈４ｌ〉は導波管（２
》中のマイクロ波電界がほぼゼロとなる壁面に設けられ
、レーザ光軸方向に細長く伸びるように構成されている
。従って導波管〈２》の側面に設けられたマイクロ波結
合窓《４１）を通じて誘電体の側面方向からマイクロ波
を結合する。
このように構成されたものにあっては、導波管（２）中
には第２図における矢印Ｅで示す電界ができる。即ち、
ＴＥＩＩ！モードが励振され、マイクロ波結合窓（４１
）は導波管（２〉中の電界Ｅに平行な壁面、すなわち電
界がゼロである壁面（４）に設けられた細長いスリット
からなる。このような位置に設けられた結合窓（４１）
からレーザヘッド＜６〉内にマイクロ波を結合するため
，誘電体《６６）の紙面に垂直な方向に細長く伸びた端
面（６６１）に、この端面（６６１）に平行な電界成分
が支配的あるマイクロ波が励振され、誘電体（６６〉と
放電空間《６７）の境界には垂直な電界が生じる。この
誘電体（６６〉を通じて放電空間ク６７）にマイクロ波
が供給され放電を生じさせる。放電を生じてプラズマが
発生しても、このプラズマを貫く電界が維持され均一な
放電が維持される。導波管（２）中のマイクロ波は、伝
送方向がレーザヘッドク６〉の光軸方向、即ち放電空間
の長手力向と平行であるため、導波管（２）中を伝送し
ながら側面に設けられた結合窓（４ｌ）からレーザヘッ
ド（６）に徐々に結合される。導波管（２）中のマイク
ロ波モードはホーン導波管と異なり、Ｔ Ｅ Ｉ９モー
ドだけしか存在し簿ず、結合の様子は結合窓（４１）の
形状で自由に調整することができる。
には第２図における矢印Ｅで示す電界ができる。即ち、
ＴＥＩＩ！モードが励振され、マイクロ波結合窓（４１
）は導波管（２〉中の電界Ｅに平行な壁面、すなわち電
界がゼロである壁面（４）に設けられた細長いスリット
からなる。このような位置に設けられた結合窓（４１）
からレーザヘッド＜６〉内にマイクロ波を結合するため
，誘電体《６６）の紙面に垂直な方向に細長く伸びた端
面（６６１）に、この端面（６６１）に平行な電界成分
が支配的あるマイクロ波が励振され、誘電体（６６〉と
放電空間《６７）の境界には垂直な電界が生じる。この
誘電体（６６〉を通じて放電空間ク６７）にマイクロ波
が供給され放電を生じさせる。放電を生じてプラズマが
発生しても、このプラズマを貫く電界が維持され均一な
放電が維持される。導波管（２）中のマイクロ波は、伝
送方向がレーザヘッドク６〉の光軸方向、即ち放電空間
の長手力向と平行であるため、導波管（２）中を伝送し
ながら側面に設けられた結合窓（４ｌ）からレーザヘッ
ド（６）に徐々に結合される。導波管（２）中のマイク
ロ波モードはホーン導波管と異なり、Ｔ Ｅ Ｉ９モー
ドだけしか存在し簿ず、結合の様子は結合窓（４１）の
形状で自由に調整することができる。
このため、結合窓（４１）の幅等を適当に構成すれば、
容易にレーザ光軸方向に均一に結合させることができ、
この方向の放電の分布を均一にできる。このように、深
さ方向にも光軸方向にも放電が均一になるため、放電空
間全体なレーザの励起に適当な状態にすることが容易と
なる。さらに、レーザ発振用ミラー《５〉及び（５１）
により構成されるレーザ共振器により効率の良いレーザ
発振を行なわせることができる。また、放電空間（６７
）の一部でも放電電力密度が上がり過ぎるとレーザ発扱
の効率が落ちることがある。従って、放電が不均一で電
力集中が一部でも起こっていると、この部分の放電電力
密度により投入電力の上限値が決まるため、放電空間全
体として投入可能な電力が小さくなってしまう。これに
対しこの発明で得られるような電力集中のない均一な放
電では投入可能な電力が大きくなる。従って、この発明
のものにあっては大きな発振出力が得られることになる
。
容易にレーザ光軸方向に均一に結合させることができ、
この方向の放電の分布を均一にできる。このように、深
さ方向にも光軸方向にも放電が均一になるため、放電空
間全体なレーザの励起に適当な状態にすることが容易と
なる。さらに、レーザ発振用ミラー《５〉及び（５１）
により構成されるレーザ共振器により効率の良いレーザ
発振を行なわせることができる。また、放電空間（６７
）の一部でも放電電力密度が上がり過ぎるとレーザ発扱
の効率が落ちることがある。従って、放電が不均一で電
力集中が一部でも起こっていると、この部分の放電電力
密度により投入電力の上限値が決まるため、放電空間全
体として投入可能な電力が小さくなってしまう。これに
対しこの発明で得られるような電力集中のない均一な放
電では投入可能な電力が大きくなる。従って、この発明
のものにあっては大きな発振出力が得られることになる
。
第３図はこの発明の他の実施例による気体レーザ装置を
示すレーザ光軸に垂直な断面図である。
示すレーザ光軸に垂直な断面図である。
この実施例による気体レーザ装置は、導波管（２ｌ）に
円筒導波管を用い、導波管（２ｌ）の側面にレーザヘッ
ド（６）を並列配置したものである。また、図中の矢印
Ｅで示す導波管中央の電界方向とほぼ平行になる壁面、
すなわち導波管《２１）内の電界がほぼゼロとなる面に
、紙面に垂直な方向に細長い結合窓〈４２）が設けられ
ている。従って、上記実施例と同様のマイクロ波結合が
行われ、レーザ光軸方向の放電を容易に均一にできる。
円筒導波管を用い、導波管（２ｌ）の側面にレーザヘッ
ド（６）を並列配置したものである。また、図中の矢印
Ｅで示す導波管中央の電界方向とほぼ平行になる壁面、
すなわち導波管《２１）内の電界がほぼゼロとなる面に
、紙面に垂直な方向に細長い結合窓〈４２）が設けられ
ている。従って、上記実施例と同様のマイクロ波結合が
行われ、レーザ光軸方向の放電を容易に均一にできる。
第４図は、この発明のさらに他の実施例に係るレーザヘ
ッドを示す断面図である。この実施例では、放電空間（
６７）として，リッジ（６２）の溝部に挿入した偏平な
細長い誘電体管（６６２）で構成したので、マイクロ波
が誘電体管＜ ６６２ ）の側面（６６３）から主に誘
電体管（６６２）の上部壁面を構成する誘電体部分に結
合される。このように、放電空間（６７）へのマイクロ
波の結合は上記実施例とほぼ同様に行われ、放電空間の
レーザ光軸方向にわたって均一な放電を発生できる。ま
た、放電空間（６・７）として周囲が閉じた誘電体管（
６６２ ）で構成しているため、放電ガスの封止が簡
単である利点がある。
ッドを示す断面図である。この実施例では、放電空間（
６７）として，リッジ（６２）の溝部に挿入した偏平な
細長い誘電体管（６６２）で構成したので、マイクロ波
が誘電体管＜ ６６２ ）の側面（６６３）から主に誘
電体管（６６２）の上部壁面を構成する誘電体部分に結
合される。このように、放電空間（６７）へのマイクロ
波の結合は上記実施例とほぼ同様に行われ、放電空間の
レーザ光軸方向にわたって均一な放電を発生できる。ま
た、放電空間（６・７）として周囲が閉じた誘電体管（
６６２ ）で構成しているため、放電ガスの封止が簡
単である利点がある。
第５図はこの発明のさらに他の実施例を示す断面図であ
る。この実施例にあっては、導波管（２〉から結合窓（
４１〉を通じた誘電体（６６〉へのマイクロ波の結合は
上記実施例と同様に行われ、容易にレーザ光軸方向に均
一な放電を発生できる。また、放電空間（６７１）．
＜６７２＞を誘電体（６６）の両側に設けたため、放
電空間全体にトータルとしてより多くの電力を投入でき
、２本のレーザビームにより出力の大きいビームが得ら
れる。
る。この実施例にあっては、導波管（２〉から結合窓（
４１〉を通じた誘電体（６６〉へのマイクロ波の結合は
上記実施例と同様に行われ、容易にレーザ光軸方向に均
一な放電を発生できる。また、放電空間（６７１）．
＜６７２＞を誘電体（６６）の両側に設けたため、放
電空間全体にトータルとしてより多くの電力を投入でき
、２本のレーザビームにより出力の大きいビームが得ら
れる。
第６図はこの発明のさらに他の実施例を示す斜視図であ
る。この実施例では、結合窓（４３）， （４４）．《
４５）を分割して設けた。このように、細長い結合窓を
複数に分割して設け、例えば各々の結合窓の形状を適当
に設定することで、レーザ光軸方向の放電の均一性をよ
り良くすることも可能になる。
る。この実施例では、結合窓（４３）， （４４）．《
４５）を分割して設けた。このように、細長い結合窓を
複数に分割して設け、例えば各々の結合窓の形状を適当
に設定することで、レーザ光軸方向の放電の均一性をよ
り良くすることも可能になる。
なお、上記実施例ではマイクロ波伝送路に方形導波管や
円箇導波管を用いたものについて説明したが、リッジ導
波管等その他の伝送路を用いても良いということは言う
までもない。
円箇導波管を用いたものについて説明したが、リッジ導
波管等その他の伝送路を用いても良いということは言う
までもない。
以上のように、この発明によれば、マイクロ波発振器か
らのマイクロ波をマイクロ波伝送路を通じてマイクロ波
回路へ伝送し、このマイクロ波回路中の少なくとも一面
が誘電体で仕切られた空間に上記マイクロ波によりプラ
ズマを発生しレーザ励起を行う気体レーザ装置において
、マイクロ波伝送路とマイクロ波回路とをレーザ光軸に
沿うように並列配置すると共に、マイクロ波伝送路中の
マイクロ波電界がほぼゼロとなる壁面に設けたレーザ光
軸方向に伸びた結合窓を通じて、誘電体の側面方向から
この誘電体中にマイクロ波を結合することにより、レー
ザ光軸方向に均一な放電が辱られ、コンパクトな構成で
，レーザの発振効率が高く、出力も大きな気体レーザ装
置が得ら゛れる効果がある。
らのマイクロ波をマイクロ波伝送路を通じてマイクロ波
回路へ伝送し、このマイクロ波回路中の少なくとも一面
が誘電体で仕切られた空間に上記マイクロ波によりプラ
ズマを発生しレーザ励起を行う気体レーザ装置において
、マイクロ波伝送路とマイクロ波回路とをレーザ光軸に
沿うように並列配置すると共に、マイクロ波伝送路中の
マイクロ波電界がほぼゼロとなる壁面に設けたレーザ光
軸方向に伸びた結合窓を通じて、誘電体の側面方向から
この誘電体中にマイクロ波を結合することにより、レー
ザ光軸方向に均一な放電が辱られ、コンパクトな構成で
，レーザの発振効率が高く、出力も大きな気体レーザ装
置が得ら゛れる効果がある。
第１図はこの発明の一実施例による気体レーザ装置を示
す斜視図、第２図は第１図Ａ−Ａ線断面図、第３図はこ
の発明の他の実施例に係るレーザヘッドを示す断面図、
第４図および第５図はそれぞれこの発明のさらに他の実
施例に係るレーザヘッドを示す断面図、第６図はこの発
明のさらに他の実施例を示す斜視図、第７図は従来の気
体レーザ装置を示す斜視図、第８図｛よ第７図Ｂ−Ｂｍ
断面図である。 （１）・・・マグネトロン、（２》・・壷導波管、（４
１）．（４２）．（４３）．（４４），＜４５）●−φ
マイクロ波結合窓、 （６）・・・レーザヘシド、
（ ６６）． （６８２）・・・誘電体、（ ６８１
）， （ ８８３ ）・・争誘電体の側面、（６７）・
・番放電空間。 なお、各図中同一符号は同一、又は相当部分を示す。 代 理 人 大 岩 増 雄
す斜視図、第２図は第１図Ａ−Ａ線断面図、第３図はこ
の発明の他の実施例に係るレーザヘッドを示す断面図、
第４図および第５図はそれぞれこの発明のさらに他の実
施例に係るレーザヘッドを示す断面図、第６図はこの発
明のさらに他の実施例を示す斜視図、第７図は従来の気
体レーザ装置を示す斜視図、第８図｛よ第７図Ｂ−Ｂｍ
断面図である。 （１）・・・マグネトロン、（２》・・壷導波管、（４
１）．（４２）．（４３）．（４４），＜４５）●−φ
マイクロ波結合窓、 （６）・・・レーザヘシド、
（ ６６）． （６８２）・・・誘電体、（ ６８１
）， （ ８８３ ）・・争誘電体の側面、（６７）・
・番放電空間。 なお、各図中同一符号は同一、又は相当部分を示す。 代 理 人 大 岩 増 雄
Claims (1)
- マイクロ波発振器からのマイクロ波をマイクロ波伝送
路を通じてマイクロ波回路へ伝送し、このマイクロ波回
路中の少なくとも一面が誘電体で仕切られた放電空間に
上記マイクロ波によりプラズマを発生しレーザ励起を行
なう気体レーザ装置において、上記マイクロ波伝送路と
上記マイクロ波回路とをレーザ光軸に沿うように並列配
置すると共に、上記マイクロ波伝送路中のマイクロ波電
界がほぼゼロとなる壁面に設けた上記レーザ光軸方向に
伸びた結合窓を通じて、上記誘電体の側面方向からこの
誘電体中に上記マイクロ波を結合することを特徴とする
気体レーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5853489A JPH02237183A (ja) | 1989-03-10 | 1989-03-10 | 気体レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5853489A JPH02237183A (ja) | 1989-03-10 | 1989-03-10 | 気体レーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02237183A true JPH02237183A (ja) | 1990-09-19 |
Family
ID=13087102
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5853489A Pending JPH02237183A (ja) | 1989-03-10 | 1989-03-10 | 気体レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02237183A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1026796A3 (en) * | 1999-02-01 | 2001-09-12 | Tadahiro Ohmi | Laser oscillating apparatus, exposure apparatus using the same, and device fabrication method |
-
1989
- 1989-03-10 JP JP5853489A patent/JPH02237183A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1026796A3 (en) * | 1999-02-01 | 2001-09-12 | Tadahiro Ohmi | Laser oscillating apparatus, exposure apparatus using the same, and device fabrication method |
| US6829279B1 (en) | 1999-02-01 | 2004-12-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Laser oscillating apparatus, exposure apparatus using the same and device fabrication method |
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