JPH02237703A - ダイヤモンドバイトおよびこのバイトを用いた切削装置 - Google Patents
ダイヤモンドバイトおよびこのバイトを用いた切削装置Info
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- JPH02237703A JPH02237703A JP5850489A JP5850489A JPH02237703A JP H02237703 A JPH02237703 A JP H02237703A JP 5850489 A JP5850489 A JP 5850489A JP 5850489 A JP5850489 A JP 5850489A JP H02237703 A JPH02237703 A JP H02237703A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は精密切削に用いられるダイヤモンドバイトお
よびこのダイヤモンドバイトを用いて微小切込みを行な
う切削装置に関するものである。
よびこのダイヤモンドバイトを用いて微小切込みを行な
う切削装置に関するものである。
［従来の技術］
ダイヤモンドバイトによる微小切込み切削を行なう場合
、切込み量の設定方法としては、ダイヤモンドバイトと
被加工物表面の接触点を目視で判定し、そこから工作機
械の切込み装置を用いて所定量だけ切り込むことが行わ
れている．しかし、目視による接触点の判定の精度はた
かだか数ルｍであり、また、切込み装置の分解能もｌｕ
Ｌｍ程度であるため、この方向ではサブミクロンの切込
みを与えることができない． そこで、ｌｐｍ以下の切込み量を制御することを目的と
して、ダイヤモンドバイトと被加工物表面の接触点をＱ
．１ ｐＬｍ以下の精度で検出し、その接触点を基準と
して切込み量を設定する方法が提案されている（昭和６
３年度精密工学会春季大会学術講演会文集第７３７頁参
照）．これを第３図に示す． 図において、（１）は被加工物、（２）はダイヤモンド
バイト、（３）はダイヤモンドバイト（２）に加わる反
力を検出する反力検出用圧電素子、（４）は微動工具台
で、鋼製のブロックに切り欠き（４Ｃ）を設けて平行な
板ばね部（４ｄ）， （４ｅ）を形成して固定部（４ａ
）と微動部（４ｂ）を形成するとともに、切り欠き（４
Ｃ）に駆動用圧電素子（４ｆ）を組み込んだものである
．（５）は駆動用圧電素子（４ｆ）に電圧を印加する圧
電素子電源、（６）は微動部（４ｂ）の変位量を検出す
る電気マイクロメータを用いた変位計、（７）は検出し
た変位量を電流値に変換する変位電流変換器、（８）は
反力検出用圧電素子（３）の反力を電圧として測定する
交流電圧計，（９）は演算器で、微動部（４ｂ）の変位
量および検出した反力から接触点を算出し、指示された
切込み量を圧電素子電源（５）を介して駆動用圧電素子
（４ｆ）に印加する． つぎに、動作を説明する． 演算器（９）は、まず、反力検出用圧電素子（３）から
の反力検出信号ａをモニタしながら、駆動用圧電素子（
４ｆ）への印加電圧ｂを徐々に増加し、微動部（４ｂ）
を変位させてダイヤモンドバイト（２）を被加工物（１
）に近づける．反力検出信号ａのレベルは、ダイヤモン
ドバイト（２）が被加工物（１）に接触していない間は
、第４図の特性Ａ部のようにノイズレベルでほぼ一定と
なるが，被加工物（１）に接触したときから両者（２）
． （１）の間に切削抵抗の背分力としての反力が
生じ、第４図の特性Ｂ部のように立ち上る．演算器（９
）はこの反力検出信号ａのレベルが所定値Ｃに達した時
点にダイヤモンドバイト（２）が被加工物（１）に接触
したと判断し、特性の立ち上り部Ｂの信号を最小自乗法
により直線に近゛似し、この直線とほぼ平坦な特性Ａ部
との交点Ｄを、ダイヤモンドバイト（２）と被加工物（
１）との接触点とみなす演算を行い．この接触点Ｄを基
準として、微動部（４ｂ）を指示された切込み量だけ変
位させるように圧電素子電源（５）を介して駆動用圧電
素子（４ｆ）を駆動し、変位計（６）で検出した変位量
が指示された切込み量となるように制御している． ［発明が解決しようとする課題］ ところが，従来の切削装置は、切削抵抗の背分力として
の反力から接触点を検出しているので、ダイヤモンドバ
イト（２）に切り込みを与えなければ反力が検出できな
い．したがって、最小自乗法によって算出した直線との
交点Ｄは、真の接触点と一致しない．つまり、原理上、
厳密な接触点を検出することができない．その結果、高
精度の切削加工ができないという問題点があった．また
、最小自乗法による高速演算を行なう必要があるので演
算器（８）の機能が複雑になり、さらに、接触点の検出
誤差を小さくするには、高感度、高剛性の反力検出用圧
電素子（３）が必要になり、コストアップを招くという
問題点もあった。
、切込み量の設定方法としては、ダイヤモンドバイトと
被加工物表面の接触点を目視で判定し、そこから工作機
械の切込み装置を用いて所定量だけ切り込むことが行わ
れている．しかし、目視による接触点の判定の精度はた
かだか数ルｍであり、また、切込み装置の分解能もｌｕ
Ｌｍ程度であるため、この方向ではサブミクロンの切込
みを与えることができない． そこで、ｌｐｍ以下の切込み量を制御することを目的と
して、ダイヤモンドバイトと被加工物表面の接触点をＱ
．１ ｐＬｍ以下の精度で検出し、その接触点を基準と
して切込み量を設定する方法が提案されている（昭和６
３年度精密工学会春季大会学術講演会文集第７３７頁参
照）．これを第３図に示す． 図において、（１）は被加工物、（２）はダイヤモンド
バイト、（３）はダイヤモンドバイト（２）に加わる反
力を検出する反力検出用圧電素子、（４）は微動工具台
で、鋼製のブロックに切り欠き（４Ｃ）を設けて平行な
板ばね部（４ｄ）， （４ｅ）を形成して固定部（４ａ
）と微動部（４ｂ）を形成するとともに、切り欠き（４
Ｃ）に駆動用圧電素子（４ｆ）を組み込んだものである
．（５）は駆動用圧電素子（４ｆ）に電圧を印加する圧
電素子電源、（６）は微動部（４ｂ）の変位量を検出す
る電気マイクロメータを用いた変位計、（７）は検出し
た変位量を電流値に変換する変位電流変換器、（８）は
反力検出用圧電素子（３）の反力を電圧として測定する
交流電圧計，（９）は演算器で、微動部（４ｂ）の変位
量および検出した反力から接触点を算出し、指示された
切込み量を圧電素子電源（５）を介して駆動用圧電素子
（４ｆ）に印加する． つぎに、動作を説明する． 演算器（９）は、まず、反力検出用圧電素子（３）から
の反力検出信号ａをモニタしながら、駆動用圧電素子（
４ｆ）への印加電圧ｂを徐々に増加し、微動部（４ｂ）
を変位させてダイヤモンドバイト（２）を被加工物（１
）に近づける．反力検出信号ａのレベルは、ダイヤモン
ドバイト（２）が被加工物（１）に接触していない間は
、第４図の特性Ａ部のようにノイズレベルでほぼ一定と
なるが，被加工物（１）に接触したときから両者（２）
． （１）の間に切削抵抗の背分力としての反力が
生じ、第４図の特性Ｂ部のように立ち上る．演算器（９
）はこの反力検出信号ａのレベルが所定値Ｃに達した時
点にダイヤモンドバイト（２）が被加工物（１）に接触
したと判断し、特性の立ち上り部Ｂの信号を最小自乗法
により直線に近゛似し、この直線とほぼ平坦な特性Ａ部
との交点Ｄを、ダイヤモンドバイト（２）と被加工物（
１）との接触点とみなす演算を行い．この接触点Ｄを基
準として、微動部（４ｂ）を指示された切込み量だけ変
位させるように圧電素子電源（５）を介して駆動用圧電
素子（４ｆ）を駆動し、変位計（６）で検出した変位量
が指示された切込み量となるように制御している． ［発明が解決しようとする課題］ ところが，従来の切削装置は、切削抵抗の背分力として
の反力から接触点を検出しているので、ダイヤモンドバ
イト（２）に切り込みを与えなければ反力が検出できな
い．したがって、最小自乗法によって算出した直線との
交点Ｄは、真の接触点と一致しない．つまり、原理上、
厳密な接触点を検出することができない．その結果、高
精度の切削加工ができないという問題点があった．また
、最小自乗法による高速演算を行なう必要があるので演
算器（８）の機能が複雑になり、さらに、接触点の検出
誤差を小さくするには、高感度、高剛性の反力検出用圧
電素子（３）が必要になり、コストアップを招くという
問題点もあった。
この発明は上記のような問題点の解消を目的としてなさ
れたもので、導電性を有する被加工物を高い精度で切削
できる切削装置および切削装置に用いるダイヤモンドバ
イトを得ることを目的とする． ［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するために、この発明のダイヤモンドバ
イトは、すくい面および切れ刃稜に導電性を有するイオ
ン注入層が形成されている点を特徴としている． また、この発明の切削装置は、上記ダイヤモンドバイト
と導電性の被加工物との間に電圧を印加して当該ダイヤ
モンドバイトと被加工物との間の電気抵抗値または両者
の間を流れる電流値を測定する手段と、上記電気抵抗値
または電流値の変化に基づいてダイヤモンドバイトと被
加工物の接触点を検知する手段と、この検知した接触点
からダイヤモンドバイトを所定量切り込ませる駆動制御
手段とを備えた点を特徴とする． ［作用］ この発明によれば、被加工物だけでなくダイヤモンドバ
イトも導電性を有しているので、ダイヤモンドバイトと
被加工物との間に電圧を印加することによって、この間
の電気抵抗値または両者の間を流れる電流値を測定でき
る。この電気抵抗値または電流値は、ダイヤモンドバイ
トと被加工物とが接触した瞬間に急激に変化するから、
この変化点を検出することで容易に接触点を検知するこ
とができる．したがって、接触点を切削抵抗により判断
ずる従来の方法よりも、正確に接触点を検知できる． また、上記電気抵抗値および電流値は、その測定が比較
的容易で、反力を検知する高価な圧電素子が不要になる
． ［実施例］ 以下、この発明の一実施例を図面にしたがって説明する
． 第１図はダイヤモンドバイト（２）の刃先を示す拡大図
で、（２ａ）はすくい面、（２ｂ）は逃げ面、（２ｃ）
は切れ刃稜で、これらすくい面（２ａ） ，逃げ面（２
ｂ）および切れ刃稜（２Ｃ）には、たとえば窒素やアル
ゴンなどのイオン注入層（２ｄ）が形成されている．こ
のイオン注入層（２ｄ）は、ダイヤモンドバイト（２）
の表面における多数の炭素分子間に、窒素やアルゴンな
どのイオンが注入されてなり、このイオン注入層（２ｄ
）によって、バイト（２）の刃先に導電性をもたせてい
る． 第２図において、ダイヤモンドバイト（２）は、シャン
ク（２ｅ）がたとえば微動工具台（４）の微動部（４ｂ
）に固定ｙれている， （１０）は直流電源で、ダイヤ
モンドバイト（２）のイオン注入層（２ｄ）と、導電性
の被加工物（１）との間に電圧を印加するものである，
（１１）は電流計で、直流電源（１０）を含む回路（
１２）の電流値を測定するものである， （１３）は制
御装置で，図示していない比較器を備えており、電流計
（１１）で測定された電流値Ｃと、あらかじめ設定され
たしきい値とを比較して、ダイヤモンドバイト（２）と
被加工物（１）との接触を判断するものである． なお、その他の構成は第３図の従来例と同様であり、同
一部分または相当部分に同一符号を付して、その詳しい
説明を省略する。
れたもので、導電性を有する被加工物を高い精度で切削
できる切削装置および切削装置に用いるダイヤモンドバ
イトを得ることを目的とする． ［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するために、この発明のダイヤモンドバ
イトは、すくい面および切れ刃稜に導電性を有するイオ
ン注入層が形成されている点を特徴としている． また、この発明の切削装置は、上記ダイヤモンドバイト
と導電性の被加工物との間に電圧を印加して当該ダイヤ
モンドバイトと被加工物との間の電気抵抗値または両者
の間を流れる電流値を測定する手段と、上記電気抵抗値
または電流値の変化に基づいてダイヤモンドバイトと被
加工物の接触点を検知する手段と、この検知した接触点
からダイヤモンドバイトを所定量切り込ませる駆動制御
手段とを備えた点を特徴とする． ［作用］ この発明によれば、被加工物だけでなくダイヤモンドバ
イトも導電性を有しているので、ダイヤモンドバイトと
被加工物との間に電圧を印加することによって、この間
の電気抵抗値または両者の間を流れる電流値を測定でき
る。この電気抵抗値または電流値は、ダイヤモンドバイ
トと被加工物とが接触した瞬間に急激に変化するから、
この変化点を検出することで容易に接触点を検知するこ
とができる．したがって、接触点を切削抵抗により判断
ずる従来の方法よりも、正確に接触点を検知できる． また、上記電気抵抗値および電流値は、その測定が比較
的容易で、反力を検知する高価な圧電素子が不要になる
． ［実施例］ 以下、この発明の一実施例を図面にしたがって説明する
． 第１図はダイヤモンドバイト（２）の刃先を示す拡大図
で、（２ａ）はすくい面、（２ｂ）は逃げ面、（２ｃ）
は切れ刃稜で、これらすくい面（２ａ） ，逃げ面（２
ｂ）および切れ刃稜（２Ｃ）には、たとえば窒素やアル
ゴンなどのイオン注入層（２ｄ）が形成されている．こ
のイオン注入層（２ｄ）は、ダイヤモンドバイト（２）
の表面における多数の炭素分子間に、窒素やアルゴンな
どのイオンが注入されてなり、このイオン注入層（２ｄ
）によって、バイト（２）の刃先に導電性をもたせてい
る． 第２図において、ダイヤモンドバイト（２）は、シャン
ク（２ｅ）がたとえば微動工具台（４）の微動部（４ｂ
）に固定ｙれている， （１０）は直流電源で、ダイヤ
モンドバイト（２）のイオン注入層（２ｄ）と、導電性
の被加工物（１）との間に電圧を印加するものである，
（１１）は電流計で、直流電源（１０）を含む回路（
１２）の電流値を測定するものである， （１３）は制
御装置で，図示していない比較器を備えており、電流計
（１１）で測定された電流値Ｃと、あらかじめ設定され
たしきい値とを比較して、ダイヤモンドバイト（２）と
被加工物（１）との接触を判断するものである． なお、その他の構成は第３図の従来例と同様であり、同
一部分または相当部分に同一符号を付して、その詳しい
説明を省略する。
つぎに、動作を説川する．
まず、ダイヤモンドバイト（２）と被加工物（１）との
間に電圧を印加した状態で、微動工具台（４）により、
ダイヤモンドバイト（２）を被加工物（１）に近づける
とともに、回路（１２）の電流値を電流計（１１）で測
定する．やがて、ダイヤモンドバイト（２）の切れ刃稜
（２Ｃ）が、被加工物（１）に接触すると回路（１２）
が閉成されて電流が流れる。
間に電圧を印加した状態で、微動工具台（４）により、
ダイヤモンドバイト（２）を被加工物（１）に近づける
とともに、回路（１２）の電流値を電流計（１１）で測
定する．やがて、ダイヤモンドバイト（２）の切れ刃稜
（２Ｃ）が、被加工物（１）に接触すると回路（１２）
が閉成されて電流が流れる。
電流計（ｌ１）は回路（ｌ２）の電流値Ｃを検出し、こ
れを制御装置（１３）に出力する．制御装置（１３）は
、入力された電流値Ｃとしきい値とを比較して、電流値
Ｃがしきい値よりも大きくなったとき、ダイヤモンドバ
イト（２）の切れ刃稜（２Ｃ）が被加工物（１）に接触
したと判断し、この接触した位置（接触点）を基準とし
て第３図の従来例と同様に圧電素子電源（５）を介して
駆動用圧電素子（４ｆ）を駆動し、変位計（６）の検出
信号によって指示された微小量の切り込みがなされるよ
うに制御する．このように、上記実施例においては、ダ
イヤモンドバイト（２）のすくい面（２ａ）および切れ
刃稜（２ｃ）にイオン注入層（２ｄ）を形成したので、
導電性の被加工物（１） とダイヤモンドバイト（２）
の切れ刃稜（２Ｃ）とが接触した瞬間に、回路（１２）
に電流が流れるので、接触点を精度良く検出できる。し
たがって、従来よりも切削の精度が向−トする。
れを制御装置（１３）に出力する．制御装置（１３）は
、入力された電流値Ｃとしきい値とを比較して、電流値
Ｃがしきい値よりも大きくなったとき、ダイヤモンドバ
イト（２）の切れ刃稜（２Ｃ）が被加工物（１）に接触
したと判断し、この接触した位置（接触点）を基準とし
て第３図の従来例と同様に圧電素子電源（５）を介して
駆動用圧電素子（４ｆ）を駆動し、変位計（６）の検出
信号によって指示された微小量の切り込みがなされるよ
うに制御する．このように、上記実施例においては、ダ
イヤモンドバイト（２）のすくい面（２ａ）および切れ
刃稜（２ｃ）にイオン注入層（２ｄ）を形成したので、
導電性の被加工物（１） とダイヤモンドバイト（２）
の切れ刃稜（２Ｃ）とが接触した瞬間に、回路（１２）
に電流が流れるので、接触点を精度良く検出できる。し
たがって、従来よりも切削の精度が向−トする。
また、電流値Ｃは接触した瞬間に急激に変化する．した
がって、制御装Ｉ！ （１３）の比較器による電流値Ｃ
としきい値との比較のように、簡単に接触点を検知でき
るから、従来の最小自乗法による演算を行う必要がない
ので、制御装置（ｌ３）の構造が簡単になる．しかも、
電流値Ｃの測定は、従来の反力の測定と異なり、高価な
圧電素子を必要としない．このように、制御装ｉ！（１
３）の構造が簡単になるとともに反力検出用の圧電素子
が不要になるので、切削装置のコストダウンが図れる。
がって、制御装Ｉ！ （１３）の比較器による電流値Ｃ
としきい値との比較のように、簡単に接触点を検知でき
るから、従来の最小自乗法による演算を行う必要がない
ので、制御装置（ｌ３）の構造が簡単になる．しかも、
電流値Ｃの測定は、従来の反力の測定と異なり、高価な
圧電素子を必要としない．このように、制御装ｉ！（１
３）の構造が簡単になるとともに反力検出用の圧電素子
が不要になるので、切削装置のコストダウンが図れる。
ところで、上記実施例では、回路（ｌ２）の電流値を測
定したが、これに代えて、ダイヤモンドバイト（２）と
被加工物（１）との間の電気抵抗値を測定し、この抵抗
値の変化に基づいて接触点を検知してもよい． また、上記実施例では、ダイヤモンドバイト（２）のす
くい面（２ａ） ． Ａげ面（２ｂ）および切れ刃稜（
２ｃ）にイオン注入層（２ｄ）を形成したが，イオン注
入層（２ｄ）が、すくい面（２ａ）および切れ刃稜（２
Ｃ）に形成されていればよい． なお、注入イオンは、窒素やアルゴンだけでなく、ダイ
ヤモンドバイト（２）に導電性を付与できるものであれ
ばよい． ［発明の効果］ 以上説明したように、この発明によれば、ダイヤモンド
バイトのすくい面および切れ刃稜にイオン注入層を形成
したので、導電性の被加工物について、接触点の検知が
極めて正確かつ容易になるから、高い精度で微小な切込
み切削ができるとともに、切削装置の構成を簡易にして
コストダウンを図ることができる．
定したが、これに代えて、ダイヤモンドバイト（２）と
被加工物（１）との間の電気抵抗値を測定し、この抵抗
値の変化に基づいて接触点を検知してもよい． また、上記実施例では、ダイヤモンドバイト（２）のす
くい面（２ａ） ． Ａげ面（２ｂ）および切れ刃稜（
２ｃ）にイオン注入層（２ｄ）を形成したが，イオン注
入層（２ｄ）が、すくい面（２ａ）および切れ刃稜（２
Ｃ）に形成されていればよい． なお、注入イオンは、窒素やアルゴンだけでなく、ダイ
ヤモンドバイト（２）に導電性を付与できるものであれ
ばよい． ［発明の効果］ 以上説明したように、この発明によれば、ダイヤモンド
バイトのすくい面および切れ刃稜にイオン注入層を形成
したので、導電性の被加工物について、接触点の検知が
極めて正確かつ容易になるから、高い精度で微小な切込
み切削ができるとともに、切削装置の構成を簡易にして
コストダウンを図ることができる．
第１図はこの発明の一実施例を示すダイヤモンドバイト
の先端部の拡大断面図、第２図はこの発明の一実施例で
ある切削装置の概略構成図、第３図は従来の切削装置の
概略構成図，第４図はバイトの送り量に対する反力検出
信号レベルの変化を示す特性図である． （１）・・・被加工物、（２）・・・ダイヤモンドバイ
ト、（２ａ）・・・すくい面、（２Ｃ）・・・切れ刃稜
、（２ｄ）・・・イオン注入層、（４）・・・微動工具
台， （４ｆ）・・・駆動用圧電素子，（５）・・・圧
電素子電源、（６）・・・変位計、（７）・・・変位電
流変換器、（１０）・・・直流電源、（ｌ１）・・・電
流計、（１３）・・・制御装置． なお、図中、同一符号は同一もしくは相当部分を示す．
の先端部の拡大断面図、第２図はこの発明の一実施例で
ある切削装置の概略構成図、第３図は従来の切削装置の
概略構成図，第４図はバイトの送り量に対する反力検出
信号レベルの変化を示す特性図である． （１）・・・被加工物、（２）・・・ダイヤモンドバイ
ト、（２ａ）・・・すくい面、（２Ｃ）・・・切れ刃稜
、（２ｄ）・・・イオン注入層、（４）・・・微動工具
台， （４ｆ）・・・駆動用圧電素子，（５）・・・圧
電素子電源、（６）・・・変位計、（７）・・・変位電
流変換器、（１０）・・・直流電源、（ｌ１）・・・電
流計、（１３）・・・制御装置． なお、図中、同一符号は同一もしくは相当部分を示す．
Claims (2)
- （１）すくい面および切れ刃稜に導電性を有するイオン
注入層が形成されてなるダイヤモンドバイト。 - （２）すくい面および切れ刃稜に導電性を有するイオン
注入層が形成されているダイヤモンドバイトを保持する
微動工具台と、このダイヤモンドバイトの導電性イオン
注入層と導電性の被加工物との間に電圧を印加し、当該
ダイヤモンドバイトと被加工物との間の電気抵抗値また
は両者間を流れる電流値を測定する手段と、この測定し
た電気抵抗値または電流値の変化に基づき当該ダイヤモ
ンドバイトが被加工物に接触した位置を検知する手段と
、この検知した接触した位置から当該ダイヤモンドバイ
トを所定量だけ切り込ませるように上記微動工具体を駆
動制御する手段とを備えた切削装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5850489A JPH02237703A (ja) | 1989-03-10 | 1989-03-10 | ダイヤモンドバイトおよびこのバイトを用いた切削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5850489A JPH02237703A (ja) | 1989-03-10 | 1989-03-10 | ダイヤモンドバイトおよびこのバイトを用いた切削装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02237703A true JPH02237703A (ja) | 1990-09-20 |
Family
ID=13086251
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5850489A Pending JPH02237703A (ja) | 1989-03-10 | 1989-03-10 | ダイヤモンドバイトおよびこのバイトを用いた切削装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02237703A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08197309A (ja) * | 1995-01-19 | 1996-08-06 | Fanuc Ltd | イオン注入したダイヤモンド切削工具 |
| JP2006255836A (ja) * | 2005-03-17 | 2006-09-28 | Shoichi Shimada | ＶＩＩＩａ族の４周期に属する元素またはＴｉのいずれかを含む材料の加工方法および加工装置 |
| JP2013035732A (ja) * | 2011-08-10 | 2013-02-21 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 導電層付き単結晶ダイヤモンドおよびそれを用いた工具 |
| JP2019081699A (ja) * | 2012-06-29 | 2019-05-30 | 住友電気工業株式会社 | 単結晶ダイヤモンド工具及び単結晶ダイヤモンド工具の製造方法 |
-
1989
- 1989-03-10 JP JP5850489A patent/JPH02237703A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08197309A (ja) * | 1995-01-19 | 1996-08-06 | Fanuc Ltd | イオン注入したダイヤモンド切削工具 |
| JP2006255836A (ja) * | 2005-03-17 | 2006-09-28 | Shoichi Shimada | ＶＩＩＩａ族の４周期に属する元素またはＴｉのいずれかを含む材料の加工方法および加工装置 |
| JP2013035732A (ja) * | 2011-08-10 | 2013-02-21 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 導電層付き単結晶ダイヤモンドおよびそれを用いた工具 |
| JP2019081699A (ja) * | 2012-06-29 | 2019-05-30 | 住友電気工業株式会社 | 単結晶ダイヤモンド工具及び単結晶ダイヤモンド工具の製造方法 |
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