JPH02238200A - レーザ発振器におけるブロア支持装置 - Google Patents
レーザ発振器におけるブロア支持装置Info
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- JPH02238200A JPH02238200A JP1154446A JP15444689A JPH02238200A JP H02238200 A JPH02238200 A JP H02238200A JP 1154446 A JP1154446 A JP 1154446A JP 15444689 A JP15444689 A JP 15444689A JP H02238200 A JPH02238200 A JP H02238200A
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- Japan
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- blower
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- air mount
- air
- laser
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- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 6
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
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- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
- F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
- F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
- F16F15/023—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using fluid means
- F16F15/027—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using fluid means comprising control arrangements
- F16F15/0275—Control of stiffness
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野〉
この発明は、ガスレーザ発振器におけるブロアを支持す
る装置に係り、さらに詳細には、ブロアの振動を効果的
に遮断でぎる支持装置に関づる。
る装置に係り、さらに詳細には、ブロアの振動を効果的
に遮断でぎる支持装置に関づる。
（従来の技術）
ガスレーザとして、例えばＣＯ２レーデがよく知られて
いる。ＣＯ２レーザ発振器には、高速軸流型や三軸直交
型などがある。特に高速軸流型のレーザ発振器において
は、レーザ発振器におけるレーザチューブ内をレーザガ
スを高速で流すために、高圧縮比，大流吊のブロアが使
用されている。このブロアの作動時における撮動は、レ
ーザ発撮器の光学系に悪影野を与えるために、レーザ発
振器のフレームに対して、防振ゴムを介してブロアを支
持している。
いる。ＣＯ２レーザ発振器には、高速軸流型や三軸直交
型などがある。特に高速軸流型のレーザ発振器において
は、レーザ発振器におけるレーザチューブ内をレーザガ
スを高速で流すために、高圧縮比，大流吊のブロアが使
用されている。このブロアの作動時における撮動は、レ
ーザ発撮器の光学系に悪影野を与えるために、レーザ発
振器のフレームに対して、防振ゴムを介してブロアを支
持している。
（発明が解決しようとする課題）
ブロアからの振動がレーザ発振器のフレームに伝搬する
のを防止するために、防振ゴムを介してブロアを支持す
る従来の構成においては、約７５〜８０％位の防振効果
が認められる。すなわちブロアの撮動の２０〜２５％程
度は防振ゴムを介してレーザ発振器のフレームに伝搬さ
れているという問題がある。また防振ゴムは、低周波の
成動の防止効果があまり良くないという問題がある。
のを防止するために、防振ゴムを介してブロアを支持す
る従来の構成においては、約７５〜８０％位の防振効果
が認められる。すなわちブロアの撮動の２０〜２５％程
度は防振ゴムを介してレーザ発振器のフレームに伝搬さ
れているという問題がある。また防振ゴムは、低周波の
成動の防止効果があまり良くないという問題がある。
さらに従来においては、レーザ発振器のフレームに対し
、防振ゴムを介してブロアを直接取付けていたので、ブ
ロアの水平調節が厄介であると共に、保守点検時にブロ
アの取り外しが困難であるという問題がある。
、防振ゴムを介してブロアを直接取付けていたので、ブ
ロアの水平調節が厄介であると共に、保守点検時にブロ
アの取り外しが困難であるという問題がある。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
前述のごとき従来の諸問題を解決するために、この発明
は、複数のエアーマウントアイソレータを介してレーザ
発振器の基台に支持ざれたエアーマウントベース上にガ
イドレールを設け、このガイドレールに移動可能に支持
された中間プレートにブロアを装着してなるものである
。
は、複数のエアーマウントアイソレータを介してレーザ
発振器の基台に支持ざれたエアーマウントベース上にガ
イドレールを設け、このガイドレールに移動可能に支持
された中間プレートにブロアを装着してなるものである
。
（作用）
上記構成において、複数のエアーマウントアイソレータ
に対する供給空気圧を個別に調節することにより、レー
ザ発振器の基台に対するエアーマウントベースの水平が
調節される。またエアーマウントベース上に設けたガイ
ドレールに沿って中間プレートを移動することにより、
この中間プレートに装着したブロア≠をレーザ発振器に
おける基台から側方に引き出すことができ、ブロアの取
り外し等を容易に行うことができる。
に対する供給空気圧を個別に調節することにより、レー
ザ発振器の基台に対するエアーマウントベースの水平が
調節される。またエアーマウントベース上に設けたガイ
ドレールに沿って中間プレートを移動することにより、
この中間プレートに装着したブロア≠をレーザ発振器に
おける基台から側方に引き出すことができ、ブロアの取
り外し等を容易に行うことができる。
（実施例）
第１図に概略的に示すように、高速軸流型のレーザ発振
器１は、出力ミラー３と反射ミラー５を備えると共に放
電郡７を備えたレーザ管９を具備している。このレーザ
管９には、レーザガスを高速で循環するためのルーツブ
ロア１１およびレーザガスを冷却するための熱交換器１
３が直列に接続してある。
器１は、出力ミラー３と反射ミラー５を備えると共に放
電郡７を備えたレーザ管９を具備している。このレーザ
管９には、レーザガスを高速で循環するためのルーツブ
ロア１１およびレーザガスを冷却するための熱交換器１
３が直列に接続してある。
上記構成において、ブロア１１を作動してレーザガスを
レーザ管９内に高速で循環せしめ、放電部においてレー
ザガスを励起することにより、レーザビームＬＢが発振
される。なお、この種の高速軸流型のレーザ発振器は公
知であるから、より詳細な説明は省略する。
レーザ管９内に高速で循環せしめ、放電部においてレー
ザガスを励起することにより、レーザビームＬＢが発振
される。なお、この種の高速軸流型のレーザ発振器は公
知であるから、より詳細な説明は省略する。
ところで、レーザ発振器においてブロア１１を駆動する
と振動が生じ、その振動がレーザ発振器１全体に伝搬さ
れるという問題がある。そこでこの実施例においては、
第２図に示すごとき構成によってブロア１１を支持して
いる。
と振動が生じ、その振動がレーザ発振器１全体に伝搬さ
れるという問題がある。そこでこの実施例においては、
第２図に示すごとき構成によってブロア１１を支持して
いる。
より詳細には、第２図より明らかなように、レーザ発振
器の基台（フレーム）１５の複数箇所（４箇所）には、
エアーマウントアイソレータ（空気バネ）１７を支持す
る筒状の支持ベース１つが取付けてあり、各支持ベース
１９内には、エアーマウントベース２１を支持した上記
エアーマウントアイソレータ１７が内装されている。上
記エアーマウントアイソレータ１７は、一般的な空気バ
ネの構成と同様であるので、その詳細な構成について説
明を省略する。
器の基台（フレーム）１５の複数箇所（４箇所）には、
エアーマウントアイソレータ（空気バネ）１７を支持す
る筒状の支持ベース１つが取付けてあり、各支持ベース
１９内には、エアーマウントベース２１を支持した上記
エアーマウントアイソレータ１７が内装されている。上
記エアーマウントアイソレータ１７は、一般的な空気バ
ネの構成と同様であるので、その詳細な構成について説
明を省略する。
エアーマウントベース２１上には、一対のガイドレール
２３が設けられており、このガイドレール２３上には、
前記ブロア１１を支持した中間プレート２５が複数の車
輪２７゛を介して移動自在に支承されている。上記各車
輪２７は、ヨークブラケット２９に取付けてあり、この
ヨークブラケット２９は、前記中間プレート２５に固定
したＺ形ブラケット３１にジャッキボルト３３を介して
相対的に上下調節自在に取付けてある。
２３が設けられており、このガイドレール２３上には、
前記ブロア１１を支持した中間プレート２５が複数の車
輪２７゛を介して移動自在に支承されている。上記各車
輪２７は、ヨークブラケット２９に取付けてあり、この
ヨークブラケット２９は、前記中間プレート２５に固定
したＺ形ブラケット３１にジャッキボルト３３を介して
相対的に上下調節自在に取付けてある。
また、前記エアーマウントベース２１には、基台１５に
穿設した複数の螺子孔３５に対応してボルト通し孔３７
が穿設してある。さらにエアーマウントベース２１の複
数箇所には螺子孔３９が穿設してあり、各螺子孔３９に
対応して中間ブレー１・２５にはボルト通し孔４１が穿
設してある。
穿設した複数の螺子孔３５に対応してボルト通し孔３７
が穿設してある。さらにエアーマウントベース２１の複
数箇所には螺子孔３９が穿設してあり、各螺子孔３９に
対応して中間ブレー１・２５にはボルト通し孔４１が穿
設してある。
上記構成により、各エアーマウントアイソレータ１７内
の空気を排出し、エアーマウントベース２１の各通し孔
３７にボルトを貫通して、基台１５の螺子孔３５に螺入
することにより、基台１５に対してエアーマウントベー
ス２１を固定することができる。また中間プレート２５
の各通し孔４１にボルトを貫通してエアーマウントベー
ス２１の螺子孔３９に螺入することにより、エアーマウ
ントベース２１に対して中間プレート２５を固定するこ
とができる。
の空気を排出し、エアーマウントベース２１の各通し孔
３７にボルトを貫通して、基台１５の螺子孔３５に螺入
することにより、基台１５に対してエアーマウントベー
ス２１を固定することができる。また中間プレート２５
の各通し孔４１にボルトを貫通してエアーマウントベー
ス２１の螺子孔３９に螺入することにより、エアーマウ
ントベース２１に対して中間プレート２５を固定するこ
とができる。
すなわち基台１５に対してエアーマウントベース２１を
固定し、かつエアーマウントベース２１に対して中間プ
レート２５を固定することにより、搬送時に動く部分が
なく、搬送を容易に行うことができる。
固定し、かつエアーマウントベース２１に対して中間プ
レート２５を固定することにより、搬送時に動く部分が
なく、搬送を容易に行うことができる。
基台１５に対するエアーマウントベース２１の固定を解
除した後に、各エアーマウントアイソレータ１７に圧縮
空気を供給することにより、基台１５に対してエアーマ
ウントベース２１を浮上した状態に支持することができ
る。したがってブロア１１の振動が基台１５に伝搬する
ことを防止できる。この場合の防撮効率は９８％以上あ
り、防振ゴムを使用した従来に比較して防娠効率が極め
て高いものである。
除した後に、各エアーマウントアイソレータ１７に圧縮
空気を供給することにより、基台１５に対してエアーマ
ウントベース２１を浮上した状態に支持することができ
る。したがってブロア１１の振動が基台１５に伝搬する
ことを防止できる。この場合の防撮効率は９８％以上あ
り、防振ゴムを使用した従来に比較して防娠効率が極め
て高いものである。
また、エアーマウントベース２１に対する中間プレート
２５の固定状態を解除し、かつ各ジャッキボルト３３を
操作して、エアーマウントベース２１に対して中間プレ
ート２５を適宜に上昇せしめることにより、中間プレー
ト２５をガイドレール２３に沿って軽快に移動すること
ができる。したがって、例えば第３図に示すように、基
台１５に隣接して保守用架台４３を配置し、この保守用
架台４３上に備えたガイドレール４５と、前記エアーマ
ウントベース２１上のガイドレール２３とを合致せしめ
ることにより、ブロア１１を保守用架台４３上に引き出
すことができる。すなわちブロア１１の保守点検を容易
に行うことができる。
２５の固定状態を解除し、かつ各ジャッキボルト３３を
操作して、エアーマウントベース２１に対して中間プレ
ート２５を適宜に上昇せしめることにより、中間プレー
ト２５をガイドレール２３に沿って軽快に移動すること
ができる。したがって、例えば第３図に示すように、基
台１５に隣接して保守用架台４３を配置し、この保守用
架台４３上に備えたガイドレール４５と、前記エアーマ
ウントベース２１上のガイドレール２３とを合致せしめ
ることにより、ブロア１１を保守用架台４３上に引き出
すことができる。すなわちブロア１１の保守点検を容易
に行うことができる。
ところで、前述の構成により、ブロア１１の振動伝搬の
大部分を遮断することができる。しかしブロア１１の振
動の１部分は配管を介してレーザ発振器のフレームに伝
搬される。そこで、本実施例においては、第４図，第５
図に示すように、柔軟性が大きい波状のプラスヂックス
性のホース４７を配管として使用した。
大部分を遮断することができる。しかしブロア１１の振
動の１部分は配管を介してレーザ発振器のフレームに伝
搬される。そこで、本実施例においては、第４図，第５
図に示すように、柔軟性が大きい波状のプラスヂックス
性のホース４７を配管として使用した。
上述のように、配管としてホース４７を使用ずることに
より、ブロア１１の撮勤が配管を介して伝搬することを
防止できる。しかし、配管にホース４７を使用すると、
ブロア１１の吸引，吐出の作用によりホース４７が収縮
し、ホース４７にＦＦ２の力が作用する。上記力Ｆ＋
．Ｆ２の作用により、ブロア１１に回転モーメントＭ
（Ｍ＝（゛ｂ Ｆ＋ｌ−Ｆ２１が発生し、ブロア１１が鰺寺むくことと
なる。この場合、防振効率が低下しないように、ブロア
１１を水平に保持することが望ましい。
より、ブロア１１の撮勤が配管を介して伝搬することを
防止できる。しかし、配管にホース４７を使用すると、
ブロア１１の吸引，吐出の作用によりホース４７が収縮
し、ホース４７にＦＦ２の力が作用する。上記力Ｆ＋
．Ｆ２の作用により、ブロア１１に回転モーメントＭ
（Ｍ＝（゛ｂ Ｆ＋ｌ−Ｆ２１が発生し、ブロア１１が鰺寺むくことと
なる。この場合、防振効率が低下しないように、ブロア
１１を水平に保持することが望ましい。
そこで本実施例においては、ブロア１１を支持するエア
ーマウントベース２１を水平に調節すべく、各エアーマ
ウントアイソレータ１７へ供給される圧縮空気の圧力を
個別に調節自在に構成してある。より詳細には、第６図
に示されるように、各エアーマウントアイソレータ１７
は、各微調節減圧弁４９とチェック弁を協えた各絞り弁
５１との間に分岐接続してある。上記各微調節減圧弁４
９および各絞り弁５１は、第６図に示されるようにそれ
ぞれ並列接続してある。各微調面減圧弁４９は主減圧弁
５３を介してエアー源５５に接続してあり、また各絞り
弁５１はそれぞれ排気マフラ５７に接続してある。
ーマウントベース２１を水平に調節すべく、各エアーマ
ウントアイソレータ１７へ供給される圧縮空気の圧力を
個別に調節自在に構成してある。より詳細には、第６図
に示されるように、各エアーマウントアイソレータ１７
は、各微調節減圧弁４９とチェック弁を協えた各絞り弁
５１との間に分岐接続してある。上記各微調節減圧弁４
９および各絞り弁５１は、第６図に示されるようにそれ
ぞれ並列接続してある。各微調面減圧弁４９は主減圧弁
５３を介してエアー源５５に接続してあり、また各絞り
弁５１はそれぞれ排気マフラ５７に接続してある。
上記構成により、エアーＦＡ５５からの圧縮空気は、主
減圧弁５３により所定の圧力に減圧され、かつ各微調節
減圧弁４９によって伺別に圧力を調節された後に、各絞
り弁５１を経て排気マフラ５９から排出される。すなわ
ち各エアーマウントアイソレータ１７の圧縮空気を少但
ずつ連続的に排気することにより、各微調節減圧弁４９
の動作を動的に運転することが可能となり、各エアーマ
ウントアイソレータ１７内の圧力をそれぞれ常に一定に
保持することができ、エアーマウントベース２１を常に
水平に保持できるものである。
減圧弁５３により所定の圧力に減圧され、かつ各微調節
減圧弁４９によって伺別に圧力を調節された後に、各絞
り弁５１を経て排気マフラ５９から排出される。すなわ
ち各エアーマウントアイソレータ１７の圧縮空気を少但
ずつ連続的に排気することにより、各微調節減圧弁４９
の動作を動的に運転することが可能となり、各エアーマ
ウントアイソレータ１７内の圧力をそれぞれ常に一定に
保持することができ、エアーマウントベース２１を常に
水平に保持できるものである。
ところで、各絞り弁５１および排気マフラ５７を取り除
いて、各微調節減圧弁４９から各エアーマウントアイソ
レータ１７へ空気圧を直接流入する構成とすることも可
能である。しかし、各微調節減圧弁４９には僅か−なが
らも圧縮空気のリークがあるので、経時的には各エアー
マウントアイソレータ１７が上昇し、エアーマウントベ
ース２１を水平に保持することが困難となる。したがっ
て、各絞り弁５１と排気マフラ５７とを取り除くことは
望ましいものではない。
いて、各微調節減圧弁４９から各エアーマウントアイソ
レータ１７へ空気圧を直接流入する構成とすることも可
能である。しかし、各微調節減圧弁４９には僅か−なが
らも圧縮空気のリークがあるので、経時的には各エアー
マウントアイソレータ１７が上昇し、エアーマウントベ
ース２１を水平に保持することが困難となる。したがっ
て、各絞り弁５１と排気マフラ５７とを取り除くことは
望ましいものではない。
［発明の効果］
以上のごとき実施例の説明より理解されるように、この
発明によれば、ブロアの撮動がレーザ発振器のフレーム
に伝搬されることが防止できると共に、ブロアを支持す
るエアーマウントベースを水平に保持することが容易で
ある。また、エアーマウントベース上のガイドレールに
沿ってブロアを移動することがでるので、レーザ発振器
におけるフレームの側部ヘブロアを引き出すことができ
、ブロアの保守点検を容易に行うことができる。
発明によれば、ブロアの撮動がレーザ発振器のフレーム
に伝搬されることが防止できると共に、ブロアを支持す
るエアーマウントベースを水平に保持することが容易で
ある。また、エアーマウントベース上のガイドレールに
沿ってブロアを移動することがでるので、レーザ発振器
におけるフレームの側部ヘブロアを引き出すことができ
、ブロアの保守点検を容易に行うことができる。
図面はこの発明の一実施例を示すもので、第１図はレー
ザ発振器の構成を概略的に示した概要説明図である。第
２図はブロアの支持部の主要部を示す断面図である。第
３図はブロアを側方に引き出す作用を示す主要部分の説
明図である。第４図，第５図はブロアの配管を示すもの
で、第４図は正面図であり、第５図は第４図の右側から
みた側面図である。第６図は各エアーマウントアイソレ
ータの配管を示す説明図である。 １７・・・エアーマウントアイソレータ １５・・・基
台２１・・・エアーマウントベース ２３・・・ガイドレール ２５・・・中間プレート１１
・・・ブロア ４９・・・微調節減圧弁５１・・・絞り
弁
ザ発振器の構成を概略的に示した概要説明図である。第
２図はブロアの支持部の主要部を示す断面図である。第
３図はブロアを側方に引き出す作用を示す主要部分の説
明図である。第４図，第５図はブロアの配管を示すもの
で、第４図は正面図であり、第５図は第４図の右側から
みた側面図である。第６図は各エアーマウントアイソレ
ータの配管を示す説明図である。 １７・・・エアーマウントアイソレータ １５・・・基
台２１・・・エアーマウントベース ２３・・・ガイドレール ２５・・・中間プレート１１
・・・ブロア ４９・・・微調節減圧弁５１・・・絞り
弁
Claims (2)
- （１）複数のエアーマウントアイソレータを介してレー
ザ発振器の基台に支持されたエアーマウントベース上に
ガイドレールを設け、このガイドレールに移動可能に支
持された中間プレートにブロアを装着してなることを特
徴とするレーザ発振器におけるブロア支持装置。 - （２）複数のエアーマウントアイソレーターの供給空気
圧は個別に調節自在であり、かつ常に空気圧が供給され
ていることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の
レーザ発振器におけるブロア支持装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/210,574 US4893780A (en) | 1988-06-21 | 1988-06-21 | Gas blower support device for laser generators |
| US210574 | 1988-06-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02238200A true JPH02238200A (ja) | 1990-09-20 |
Family
ID=22783433
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1154446A Pending JPH02238200A (ja) | 1988-06-21 | 1989-06-19 | レーザ発振器におけるブロア支持装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4893780A (ja) |
| JP (1) | JPH02238200A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010050300A (ja) * | 2008-08-22 | 2010-03-04 | Gigaphoton Inc | エキシマレーザ装置 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5372425A (en) * | 1992-08-31 | 1994-12-13 | New Brunswick Scientific Co., Inc. | Cushioned restraining device for shaker apparatus |
| JP6061020B2 (ja) * | 2013-02-12 | 2017-01-18 | 村田機械株式会社 | 保管棚 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US1526045A (en) * | 1921-11-07 | 1925-02-10 | Earle E Conway | Mounting for electric motors |
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Also Published As
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|---|---|
| US4893780A (en) | 1990-01-16 |
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