JPH02238312A

JPH02238312A - 光ディスク用原盤欠陥検査方法及び装置

Info

Publication number: JPH02238312A
Application number: JP5943289A
Authority: JP
Inventors: Hidenori Uchikura; 英紀内倉
Original assignee: Fuji Photo Film Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Holdings Corp
Priority date: 1989-03-10
Filing date: 1989-03-10
Publication date: 1990-09-20

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、光ディスク用原盤の欠陥を自動的に検査する
方法、およびその装置に関するものである。

（従来の技術）各種情報を記録した再生専用の光ディスクは、アドレス
情報等の制御用情報および記録情報を担持するピットや
案内用グループが刻設された原盤にメッキを施し、この
メッキ層を剥離してスタンバーを作製し、このスタンバ
ーを金型としてプラスチック等のディスク材料を成形し
て製造される。

また、追記型の光ディスクや消去書換可能な光ディスク
（本明細書では、光磁気ディスクも含めて広く光ディス
クと称することとする）においても、上記アドレス情報
等の制御用情報を担持するピットや案内用グループが設
けられ、それらは上述と同様にして形成される。

上記の原盤は、ガラス板の表面にフォトレジストや薄い
金属の被層を形成してなるものを、カッティングマシー
ンによってカッティングする（つまりフォトレジストを
露光したり、金属層を除去する）ことによって作製され
る。このカッティングマシーンは一般に、原盤を回転さ
せながら、記録信号に基づいて変調されたＡｒレーザー
等のレーザー光を上記被層の部分に集束させることによ
って、上記のビットやグループを刻設するものである。

周知の通り、上記のピットやグループは極めて微細なも
のであるので、原盤の作製過程において微小な傷、ゴミ
等によって欠陥が発生しやすい。

このような欠陥はそのまま最終製品である光ディスクの
欠陥につながるので、原盤に多量の欠陥が有ると、光デ
ィスクは正常な情報再生や記録再生ができないものとな
ってしまう。

そこで従来より、上述のよう１ｌ：シて作製された光デ
ィスク用原盤の欠陥状態（大きさや個数等）を検査し、
その原盤をスタンバー作製に利用可能であるか否かを調
べるようにしている。またこのような検査の結果を解析
することにより、原盤製造までの前工程の問題究明や、
原盤製造後の工程における得率向上が可能となる。

（発明が解決しようとする課題）従来、上記原盤の欠陥検査は、カッティングマシーンに
よる原盤のカッティングが完了した後、その原盤を欠陥
検査装置にかけ、そこで原盤に検査用のレーザー光を照
射し、そこからの反射光を検出することによって行なわ
れていた。

しかし、上述のような原盤欠陥検査工程を設ければ、当
然原盤の作製に要する時間が長くなってしまい、また検
査用のレーザー光照射により、原盤に新たに欠陥が生じ
ることも有り得る。さらに、このような検査装置は、高
精度の原盤回転系や検査ヘッド送り系、それにビーム照
射系やフォーカス制御系等を必要とするので、非常に高
価でかつ大型のものになってしまうという問題もある。

そこで本発明は、以上述べた種々の問題を解決すること
ができる光ディスク用原盤欠陥検査方法、およびその方
法を実施する装置を提供することを目的とするものであ
る。

（課題を解決するための手段及び作用）本発明による光
ディスク用原盤欠陥検査方法は、先に述べたような原盤
のカッティングマシーンにおいては、原盤上における記
録用レーザー光の集束状態を制御するために該原盤にフ
ォーカス制御用レーザー光を照射してその原盤からの反
射光を検出し、フォーカス信号を得るようにしている点
に着目し、原盤カッティングを行ないながら、上記反射
光の検出信号に基づいて原盤の欠陥状態を検出すること
を特徴とするものである。

上記の反射光は、勿論ながら本来はフォーカス信号の生
成に用いられるものであるが、元来原盤表面の部分に照
射されたレーザー光が反射したものであるから、原盤の
表面の状態に応じて強度が変化する。したがって、この
反射光の検出信号に基づけば、原盤の欠陥状態を検出す
ることができる。

一方本発明による光ディスク用原盤欠陥検査装置は、上
述のように原盤上における記録用レーザー光の集束状態
を制御するために該原盤にフォーカス制御用レーザー光
を照射してその原盤からの反射光を検出し、フォーカス
信号を得るように構成されたカッティングマシーンにお
いて、上記反射光の検出信号を受け、該信号に基づいて
原盤の欠陥状態を検出する信号処理手段が設けられたこ
とを特徴とするものである。

なお本装置においては、上記反射光の検出信号を一たん
メモリに記憶させ、原盤カッティングが終了した後メモ
リから上記信号を読み出して、上記信号処理手段に送る
ように構成されてもよい。

（実　施　例）以下、図面に示す実施例に基づいて本発明を詳細に説明
する。

図は、本発明の一実施例による光ディスク用原盤欠陥検
査装置の概略構成を示すものである。この装置は、従来
から用いられている光ディスク用原盤カッティングマシ
ーン１０に対して、欠陥検出用の信号処理部１１が設け
られてなる。カッティングマシーン１ロには、例えばガ
ラス板１２の表面にフォトレジスト１３が被層されてな
る原盤１４がセットされ、この原盤１４はスピンドルモ
ータ１５によって高速回転される。そして例えばＡｒレ
ーザー等の光源１Ｇから射出され、光変調器１７におい
て記録信号に基づいて変調された記録用レーザー光１８
が、集光レンズ１９によって微小なスポットに絞られた
上で前記フォトレジスト１３の部分に照射される。

それにより前記フォトレジスト１３が露光し、前述した
グループや、制御用情報あるいは記録情報を担持するピ
ットがカッティングされる。

この際、前記原盤１４のカッティングがなされた部分に
は、例えばＨｅ−Ｎｅレーザ等の光源２０から射出され
たフォーカス制御用レーザー光２１が、前記集光レンズ
ｌ９によって絞られた上で照射される。このフォーカス
制御用レーザー光２１は前記原盤ｌ４の表面で反射し、
その反射光２１′　は偏光ビームスプリツタ等の分離手
段によって分離され、２分割のフォトダイオード２２Ａ
，２２Ｂによって検出される。これらのフォトダイオー
ド２２Ａ，２２Ｂの出力は図示しないフォーカスエラー
検出回路に送られ、そこで例えば両出力の差に基づいて
フォーカスエラー、すなわち前記フォーカス制御用レー
ザー光２１が（つまり記録用レーザー光１８が）前記原
盤１４の表面よりも近くで集束しているかあるいは遠く
で集束しているかが検出される。前記集光レンズ１９は
、例えば電磁コイルによって光軸方向に移動するように
なっており、フォーカスエラー検出信号に基づいて、該
エラーを解消する方向に移動される。

それとともに上記フォトダイオード２２Ａ．　２２Ｂの
出力は、前記信号処理部１１の加算アンブ２）と差動ア
ンブ２４に入力される。加算アンプ２）が出力する和信
号２５は、前記原盤１４における凹凸欠陥に対応したも
のとなり、この和信号２５をレベルコンパレータ２７の
＋（プラス）側、レベルコンバレータ２Ｂの−（マイナ
ス）側にそれぞれ入力すると、凸欠陥が有る場合はレベ
ルコンパレータ２７から出力２９が、凹欠陥が有る場合
はレベルコンバレータ２８から出力３０が得られる。一
方前記差動アンブ２４が出力する差信号２６は、前記原
盤１４における変色欠陥に対応したものとなり、この差
信号２６をレベルコンバレータ３１の＋（プラス）側、
レベルコンバレータ３２のー（マイナス）側にそれぞれ
人力すると、変色明欠陥が有る場合はレベルコンバレー
タ３１から出力３３が、変色暗欠陥が有る場合はレベル
コンバレータ３４から出力３４が得られる。

上記の各欠陥を示すコンバレータ出力２９、３０、３３
および３４はそれぞれ、欠陥信号としてタイムコンバレ
ータ３５、３Ｂ、３７および３８に入力される。タイム
コンパレータ３５、３Ｂ、３７および３８は、これらの
欠陥信号２９、３０、３３および３４の各パルス幅（こ
れは前記原盤１４上の欠陥の大きさに対応する）を例え
ば大、中、小の３段階に弁別した上で、カウンター３９
、４０、４１および４２に送る。これらのカウンター３
９、４０、４１および４２は弁別された１２種類の各信
号の個数を計数し、その計数結果を示すデータを、例え
ばパーソナルコンピュータからなる分析装置４３に送る
。分析装置４３には上記の計数データに加えて、前記タ
イムコンバレータ３５、３６、３７および３８の出力そ
のものや、前記スピンドルモータｌ５の回転に同期した
回転信号４４、および全体制御装置４７が発するカッテ
ィングスタート信号４８が入力され、該分析装置４３は
これらの入力に基づいて、前述した１２通り（種類数４
×大きさレベル３）の各欠陥のカウント値グラフや、前
記原盤１４における欠陥分布マップを出力する。なお上
記回転信号４４は、回転信号発生器４５が出力した後、
アンプ４６によって増幅されたものである。

（発明の効果）以上詳細に説明した通り本発明においては、原盤カッテ
ィングマシーンにおけるフォーカス制御用レーザー光の
検出信号を利用して原盤欠陥検査を行なうようにしたか
ら、原盤欠陥検査のために原盤回転系や検査ヘッド送り
系、さらにはビーム照射系、フォーカス制御系等を独自
に設ける必要が無くなる。よって本発明の装置は、信号
処理手段だけの簡潔な構成のものとなり、小型でかつ低
コストで製造可能なものとなる。

また本発明においては、原盤欠陥検査のためのみに原盤
に検査用レーザー光を照射する必要が無いから、この検
査のために原盤の欠陥が増大するという不具合も生じな
い。その上本発明の方法においては、原盤カッティング
を行ないながらそれと平行して原盤欠陥検査を行なうよ
うにしたから、本方法によれば光ディスクの製造から検
査終了までに要する時間を短縮することができる。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の一実施例による原盤欠陥検査装置を示す概
略構成図である。１０・・・カッティングマシーン　１１・・・信号処理
部１２・・・ガラス板　　　　　　１３・・・フォトレ
ジスト１４・・・光ディスク用原盤　　１５・・・スピ
ンドルモータ１６、２０・・・光　源　　　　　１７・
・・光変調器１８・・・記録用レーザー光　　１９・・
・集光レンズ２１・・・フォーカス制御用レーザー光　
２１′　・・・反射光２２Ａ，２２Ｂ・・・フォトダイ
オード２）・・・加算アンブ　　　　　２４・・・差動
アンブ２５・・・和信号　　　　　　　２６・・・差信
号２７、２８、３１、３２・・・レベルコンパレータ３
５、３６、３７、３８・・・タイムコンバレータ３９、
４０、４１、４２・・・カウンター　４３・・・分析装
置４４・・・回転信号　　　　　　４５・・・回転信号
発生器４７・・・全体制御装置４８・・・カッティングスタート信号一９１一

Claims

【特許請求の範囲】

（１）光ディスク用原盤の表面をレーザー光でカッティ
ングするとともに、光ディスク用原盤上における前記レーザー光の集束状態
を制御するために該原盤にフォーカス制御用レーザー光
を照射してその原盤からの反射光を検出し、フォーカス
信号を得るカッティングマシーンを作動させる際に、前記カッティングを行ないながら、前記反射光の検出信
号に基づいて、前記原盤の欠陥状態を検出することを特
徴とする光ディスク用原盤欠陥検査方法。
（２）光ディスク用原盤の表面をレーザー光でカッティ
ングするとともに、光ディスク用原盤上における前記レーザー光の集束状態
を制御するために該原盤にフォーカス制御用レーザー光
を照射してその原盤からの反射光を検出し、フォーカス
信号を得るカッティングマシーンにおいて、前記反射光の検出信号を受け、該信号に基づいて前記原
盤の欠陥状態を検出する信号処理手段が設けられてなる
光ディスク用原盤欠陥検査装置。