JPH01209344A - 光ディスク及び光ディスク基板の欠陥検査装置及び欠陥検査方法 - Google Patents
光ディスク及び光ディスク基板の欠陥検査装置及び欠陥検査方法Info
- Publication number
- JPH01209344A JPH01209344A JP3419188A JP3419188A JPH01209344A JP H01209344 A JPH01209344 A JP H01209344A JP 3419188 A JP3419188 A JP 3419188A JP 3419188 A JP3419188 A JP 3419188A JP H01209344 A JPH01209344 A JP H01209344A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- defect
- defect inspection
- optical
- item
- optical disk
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000007547 defect Effects 0.000 title claims description 120
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 56
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 53
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 11
- 230000006870 function Effects 0.000 claims description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/9506—Optical discs
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、光を用いて・ｉ？！報を記録、再生、あるい
は消去する光ディスク及び、光ディスク基板の欠陥検査
装置、及び欠陥検査方法に関する。
は消去する光ディスク及び、光ディスク基板の欠陥検査
装置、及び欠陥検査方法に関する。
［従来の技術］
光ディスクは非常に記録密度が高いため、その製造段階
おいて、記録面に付着する微少な欠陥や傷が大きな問題
に成る。そこで光ディスクの製造工程では欠陥検査を行
うことが重要になる。従来、光ディスクの欠陥検査は光
ピックアップを用いて情報トラックを走査し、反射率の
以上を検出して行う方法と、ＴＶカメラ等を用いて画像
処理をしながら欠陥の検出を行う方法が行われている。
おいて、記録面に付着する微少な欠陥や傷が大きな問題
に成る。そこで光ディスクの製造工程では欠陥検査を行
うことが重要になる。従来、光ディスクの欠陥検査は光
ピックアップを用いて情報トラックを走査し、反射率の
以上を検出して行う方法と、ＴＶカメラ等を用いて画像
処理をしながら欠陥の検出を行う方法が行われている。
［発明が解決しようとする課題］
光ピックアップを用いて検査する方法では、情報トラッ
クの密度が非常に大きいため検査には長い時間がかかる
。またそもそもの記憶容量が大きいため欠陥率があまり
大きくなくとも欠陥総数はかなりの数になる。その欠陥
の長さと位置を記録するためには大きな記録容量が必要
になる。また、そのデータを処理するためにはかなりの
計算時間を必要とする。
クの密度が非常に大きいため検査には長い時間がかかる
。またそもそもの記憶容量が大きいため欠陥率があまり
大きくなくとも欠陥総数はかなりの数になる。その欠陥
の長さと位置を記録するためには大きな記録容量が必要
になる。また、そのデータを処理するためにはかなりの
計算時間を必要とする。
ＴＶカメラを用いて欠陥を検査する方法は、検査時間が
短時間ですむが、人間の目視検査程度の欠陥を見つける
のが精いっばいである。
短時間ですむが、人間の目視検査程度の欠陥を見つける
のが精いっばいである。
そこで本発明は、従来技術の欠点を改善し、精密にかつ
短時間で光ディスク及び光ディスク基板の欠陥を横歪す
る装置、及び方法を提供することを目的とする。
短時間で光ディスク及び光ディスク基板の欠陥を横歪す
る装置、及び方法を提供することを目的とする。
［発明を解決するための手段］
（１）本発明は、光を用いて、情報を記録し再生する光
ディスクあるいは光ディスク基板の欠陥を、光ピックア
ップを用いて情報を記録再生するトラックに光を照射し
ながら反射光量の変化によって検査する欠陥検査におい
て、反射光量の変化から予め設定されたレベルにおいて
欠陥を判定するコンパレータと、前記コンパレータによ
って判定された欠陥の長さを測定するためのクロック信
号とカウンタを備え、前記カウンタの値によって欠陥の
長さを分類し各々の個数を蓄えるカウンタを備えたこと
を特徴とする。
ディスクあるいは光ディスク基板の欠陥を、光ピックア
ップを用いて情報を記録再生するトラックに光を照射し
ながら反射光量の変化によって検査する欠陥検査におい
て、反射光量の変化から予め設定されたレベルにおいて
欠陥を判定するコンパレータと、前記コンパレータによ
って判定された欠陥の長さを測定するためのクロック信
号とカウンタを備え、前記カウンタの値によって欠陥の
長さを分類し各々の個数を蓄えるカウンタを備えたこと
を特徴とする。
（２）本発明は、第１項記載の欠陥検査装置において、
欠陥の長さを計数するためのクロックを検査するための
光スポットがディスク上を走査する線速に対して校正し
−クロック分の長さが線速に対し一定になるようにした
ことを特徴とする特（３）本発明は、第１項、あるいは
第２項記載の欠陥検査装置において、欠陥の長さの分類
の分割を変更できることを特徴とする。
欠陥の長さを計数するためのクロックを検査するための
光スポットがディスク上を走査する線速に対して校正し
−クロック分の長さが線速に対し一定になるようにした
ことを特徴とする特（３）本発明は、第１項、あるいは
第２項記載の欠陥検査装置において、欠陥の長さの分類
の分割を変更できることを特徴とする。
（４）本発明は、第１項、あるいは第２項記載の欠陥検
査装置において、前記コンパレータによって判定された
欠陥の位置を記録するために検査する光ディスクあるい
は光ディスク基板の記録面を半径方向及び周方向にいく
つかの区画に分割し、その区画に対応したメモリを備え
、区画内に欠陥が存在したことを記憶する機能を有する
ことを特徴とする。
査装置において、前記コンパレータによって判定された
欠陥の位置を記録するために検査する光ディスクあるい
は光ディスク基板の記録面を半径方向及び周方向にいく
つかの区画に分割し、その区画に対応したメモリを備え
、区画内に欠陥が存在したことを記憶する機能を有する
ことを特徴とする。
（５）本発明は、第１項、あるいは第２項、あるいは第
３項記載の欠陥検査装置において、情報を記録するトラ
ックに対し、何本かにまたがる欠陥をトラック毎に独立
に欠陥としてカウントすることを特徴とする。
３項記載の欠陥検査装置において、情報を記録するトラ
ックに対し、何本かにまたがる欠陥をトラック毎に独立
に欠陥としてカウントすることを特徴とする。
（６）本発明は、第４項記載の欠陥検査装置において、
前記区画内にある、定められた長さ以上の欠陥が会った
場合のみ欠陥の存在を記憶することを特徴とする。
前記区画内にある、定められた長さ以上の欠陥が会った
場合のみ欠陥の存在を記憶することを特徴とする。
（７）本発明は、第１項、あるいは第２項、あるいは第
３項記載の欠陥検査装置において、前記分類カウンタに
分類された欠陥の個数をヒストグラムとして表示するこ
とを特徴とする。
３項記載の欠陥検査装置において、前記分類カウンタに
分類された欠陥の個数をヒストグラムとして表示するこ
とを特徴とする。
（８）本発明は、第４項記載の欠陥検査装置において、
前記区画に記憶された欠陥の存在を欠陥のマツプとして
表示することを特徴とする。
前記区画に記憶された欠陥の存在を欠陥のマツプとして
表示することを特徴とする。
（９）本発明は、第１項、あるいは第２項、あるいは第
３項、あるいは第４項、あるいは第７項、あるいは第８
項記載の欠陥検査装置において、光ピックアップを二台
以上用いることを特徴とする。
３項、あるいは第４項、あるいは第７項、あるいは第８
項記載の欠陥検査装置において、光ピックアップを二台
以上用いることを特徴とする。
［実施例］
第１図に本発明による光ディスク及び光ディスク基板の
欠陥検査装置のブロック図を示す。１０１は検査すべき
光ディスクあるいは光ディスク基板である。１０１のデ
ィスクの情報トラックを１０２の光ピックアップを用い
て走査し、欠陥を検出する。１０２のピックアップは１
０９のスライダに乗っており、ディスクの半径方向に移
動できる。更に、このシステムではピックアップを二台
搭載しており、検査は二台のピックアップがそれぞれデ
ィスクの半分づつを担当するようにして、検査時間の短
縮を図っている。それぞれのピックアップから出射され
た光は１０１のディスクの情報トラックに焦点を合わさ
れ、トラックに沿って全面を走査する。このピックアッ
プの光源はレーザダイオードが使用されており、レーザ
ダイオードは１０５のレーザダイオードドライブ回路に
よって制御される。また、１０５は光を所定の検査部に
焦点を結ばせるためのトラック、フォーカスサーボ制御
回路も含んでいる。１０２の光ピックアップに捕らえら
れたディスクからの反射光は、１０４の増幅機で増幅さ
れ、１０７のコンパレータによって欠陥の判定が行われ
る。コンパレータで判定された欠陥信号は、１０８のカ
ウンタ内でクロックを用いて欠陥長がカウントされ、さ
らに長さ毎に分類されランク毎に欠陥の個数を計数する
カウンタに個数が蓄えられる。また、所定の長さ以上の
欠陥であった場合には、１１０のメモリユニット内に位
置を記憶される。そのほか、１０６は光ピックアップの
位置の制御を行うスライダの制御回路、１０３はディス
クの回転を制御するスピンドルモータ制御回路となって
おり、それぞれの回路は１１２のコントローラによって
制御、あるいは指令される。また、１１２のコントロー
ラは１１３のコンピュータに接続されており、オペレー
タはコンピュータを通じて検査の指令、あるいは検査条
件の設定などが行えるようになっている。
欠陥検査装置のブロック図を示す。１０１は検査すべき
光ディスクあるいは光ディスク基板である。１０１のデ
ィスクの情報トラックを１０２の光ピックアップを用い
て走査し、欠陥を検出する。１０２のピックアップは１
０９のスライダに乗っており、ディスクの半径方向に移
動できる。更に、このシステムではピックアップを二台
搭載しており、検査は二台のピックアップがそれぞれデ
ィスクの半分づつを担当するようにして、検査時間の短
縮を図っている。それぞれのピックアップから出射され
た光は１０１のディスクの情報トラックに焦点を合わさ
れ、トラックに沿って全面を走査する。このピックアッ
プの光源はレーザダイオードが使用されており、レーザ
ダイオードは１０５のレーザダイオードドライブ回路に
よって制御される。また、１０５は光を所定の検査部に
焦点を結ばせるためのトラック、フォーカスサーボ制御
回路も含んでいる。１０２の光ピックアップに捕らえら
れたディスクからの反射光は、１０４の増幅機で増幅さ
れ、１０７のコンパレータによって欠陥の判定が行われ
る。コンパレータで判定された欠陥信号は、１０８のカ
ウンタ内でクロックを用いて欠陥長がカウントされ、さ
らに長さ毎に分類されランク毎に欠陥の個数を計数する
カウンタに個数が蓄えられる。また、所定の長さ以上の
欠陥であった場合には、１１０のメモリユニット内に位
置を記憶される。そのほか、１０６は光ピックアップの
位置の制御を行うスライダの制御回路、１０３はディス
クの回転を制御するスピンドルモータ制御回路となって
おり、それぞれの回路は１１２のコントローラによって
制御、あるいは指令される。また、１１２のコントロー
ラは１１３のコンピュータに接続されており、オペレー
タはコンピュータを通じて検査の指令、あるいは検査条
件の設定などが行えるようになっている。
第２図は、第１図の１０８のカウンタユニット内のブロ
ック図である。２０７は欠陥信号入力である。２０１は
２０７の欠陥信号がアクティブなとき、２０８のクロッ
ク信号を計数し、欠陥長を求めるカウンタである。２０
１のデータは２０２のデジタルコンパレータによって判
定され、所定のカウント数毎に２０３〜２０６のランク
分はカウンタに信号が送られ、それぞれのカウンタが計
数を行うようになっている。２１１はコントローラより
２０２に送られるランク分は設定データであり、分類の
仕方は変更できるようになっている。
ック図である。２０７は欠陥信号入力である。２０１は
２０７の欠陥信号がアクティブなとき、２０８のクロッ
ク信号を計数し、欠陥長を求めるカウンタである。２０
１のデータは２０２のデジタルコンパレータによって判
定され、所定のカウント数毎に２０３〜２０６のランク
分はカウンタに信号が送られ、それぞれのカウンタが計
数を行うようになっている。２１１はコントローラより
２０２に送られるランク分は設定データであり、分類の
仕方は変更できるようになっている。
２０９はカウンタに計数を開始または終了させるための
信号である。２０３から２０６に蓄えられたデータは２
１０の信号線でコントローラに送られる。このように（
Ｂの大きさの分類を測定と同時に行うため、ディスクの
走査の終了直後にデータを表示することが可能である。
信号である。２０３から２０６に蓄えられたデータは２
１０の信号線でコントローラに送られる。このように（
Ｂの大きさの分類を測定と同時に行うため、ディスクの
走査の終了直後にデータを表示することが可能である。
本実施例では分類は４種類であるが、これは４種類に限
るものではない。２１２は次に説明する欠陥位置を記憶
するための信号であり、分類と同様にコントローラから
設定された長さを越える欠陥が入力されるたびに信号が
欠陥位置メモリユニットに送られる。
るものではない。２１２は次に説明する欠陥位置を記憶
するための信号であり、分類と同様にコントローラから
設定された長さを越える欠陥が入力されるたびに信号が
欠陥位置メモリユニットに送られる。
第３図は、欠陥の位置を記録するためのディスクの分割
をの例を示したものである。図に示したように″ｉＲ報
トシトラック本かと、−周を何分割かにした区画を設定
する。この図では分かりやすく大きく区画を示した。第
１図の１１０のメモリユニットは、第３図に示した分割
区画と対応したアドレスを持っており、前記のコンパレ
ータユニットから信号がくると、この区画に対応したア
ドレスに、その情報が記憶される。この情報は１ビツト
でも構わない。そうすることによってメモリの容量を非
常に少なくすることが可能である。あるいは、分割を細
かくすることも可能になる。
をの例を示したものである。図に示したように″ｉＲ報
トシトラック本かと、−周を何分割かにした区画を設定
する。この図では分かりやすく大きく区画を示した。第
１図の１１０のメモリユニットは、第３図に示した分割
区画と対応したアドレスを持っており、前記のコンパレ
ータユニットから信号がくると、この区画に対応したア
ドレスに、その情報が記憶される。この情報は１ビツト
でも構わない。そうすることによってメモリの容量を非
常に少なくすることが可能である。あるいは、分割を細
かくすることも可能になる。
第４図は、一つの大きな欠陥が般本かのトラックにまた
がって存在した場合の欠陥の処理方法の例を示す図であ
る。図中では欠陥が４本のトラックにまたがっている。
がって存在した場合の欠陥の処理方法の例を示す図であ
る。図中では欠陥が４本のトラックにまたがっている。
この場合、欠陥は各トラック毎に独立してカウントされ
る。この例の場合は１クロツクの欠陥が１．２クロツク
の欠陥が２．４クロツクの欠陥が１である。偏の位置の
記録を４クロツク以上の欠陥について行うように設定さ
れた場合、この欠陥の存在する区画に対応したメモリに
欠陥が存在したことが記録される。
る。この例の場合は１クロツクの欠陥が１．２クロツク
の欠陥が２．４クロツクの欠陥が１である。偏の位置の
記録を４クロツク以上の欠陥について行うように設定さ
れた場合、この欠陥の存在する区画に対応したメモリに
欠陥が存在したことが記録される。
本実施例の装置は、ディスクの回転が一定角速度で行わ
れるため、検査している位置によって走査する光スポッ
トのディスク面に対する線速度が変化してしまう。従っ
て欠陥長をカウントするためのクロックの周波数を数ト
ラツク毎に変えてクロックの個数がそのまま欠陥長に対
応するようにした。検査位置の認識は第１図の１０９の
スライダに取り付けた、位置センサによって行っている
が、光ピックアップの送りをステップモータをしようす
れば、ステップモータに送ったパルス数でも管理できる
。
れるため、検査している位置によって走査する光スポッ
トのディスク面に対する線速度が変化してしまう。従っ
て欠陥長をカウントするためのクロックの周波数を数ト
ラツク毎に変えてクロックの個数がそのまま欠陥長に対
応するようにした。検査位置の認識は第１図の１０９の
スライダに取り付けた、位置センサによって行っている
が、光ピックアップの送りをステップモータをしようす
れば、ステップモータに送ったパルス数でも管理できる
。
第５図は本発明の欠陥検査機によって、欠陥検査を行っ
た結果の例である。ここでは第２図に示した分類用カウ
ンタの４個の設定を（１）全数、（２）１０ミクロン以
上、 （３）２０ミクロン以上、 （４）５０ミクロン
以上とした。第５図のヒストグラムでは（２）−（１）
、 （３）−（２）、（４）−（３）、 （４）の値が
それぞれのランクの値になっている。もちろんここでの
分類の設定は一例であり、分類は任意に決められる。
た結果の例である。ここでは第２図に示した分類用カウ
ンタの４個の設定を（１）全数、（２）１０ミクロン以
上、 （３）２０ミクロン以上、 （４）５０ミクロン
以上とした。第５図のヒストグラムでは（２）−（１）
、 （３）−（２）、（４）−（３）、 （４）の値が
それぞれのランクの値になっている。もちろんここでの
分類の設定は一例であり、分類は任意に決められる。
第６図は、前記と同様に検査結果の一例である。
位置記憶用のメモリユニットに記録された位置情報を具
体的なディスクの図として表示したものである。この例
では、１０ミクロンを越える欠陥が発見された位置のみ
を記録し表示している。欠陥位置をこの例に示した様な
マツプにする場合、一つの点の大６さがある程度大きい
ので、本発明で行ったようなディスクをある大きさの区
画に分割しその中に欠陥があったかどうかのみを記憶す
ることで充分である。
体的なディスクの図として表示したものである。この例
では、１０ミクロンを越える欠陥が発見された位置のみ
を記録し表示している。欠陥位置をこの例に示した様な
マツプにする場合、一つの点の大６さがある程度大きい
ので、本発明で行ったようなディスクをある大きさの区
画に分割しその中に欠陥があったかどうかのみを記憶す
ることで充分である。
ディスクがプリフォーマットされていて、ピットが形成
されているディスクについては、セクタマーク等を検出
することによって、プリピットが形成されている領域で
欠陥検査を行わないようにマスクをかける方法、あるい
は、逆に欠陥検査すべきユーザエリアに許可信号を出す
ことによって、欠陥検査を行うことができる。
されているディスクについては、セクタマーク等を検出
することによって、プリピットが形成されている領域で
欠陥検査を行わないようにマスクをかける方法、あるい
は、逆に欠陥検査すべきユーザエリアに許可信号を出す
ことによって、欠陥検査を行うことができる。
［発明の効果コ
以上実施例を用いて説明したように、本発明による欠陥
検査方法、欠陥検査装置を用いれば、光ピックアップを
用いるため、精密な検査が可能で、欠陥のみならず、光
ディスク及び光ディスク基板の案内溝等のチエツクも可
能であり、かつディスク面の走査が終了するとすぐに検
査結果の表示が可能であり、かつ多数のピックアップを
用いることで、検査時間を短縮することが可能である。
検査方法、欠陥検査装置を用いれば、光ピックアップを
用いるため、精密な検査が可能で、欠陥のみならず、光
ディスク及び光ディスク基板の案内溝等のチエツクも可
能であり、かつディスク面の走査が終了するとすぐに検
査結果の表示が可能であり、かつ多数のピックアップを
用いることで、検査時間を短縮することが可能である。
第１図は、本発明による欠陥検査装置のブロック図であ
る。 第２図は、本発明による欠陥検査装置の欠陥長を分類す
るための装置のブロック図である。 第３図は、本発明による欠陥検査において欠陥の位置を
記録、あるいは表示するときのディスク面の分割方法を
示した模式図である。 第４図は、本発明において、何本かのトラックにまたが
る欠陥が発見された場合の欠陥のカウント方法を示す模
式図である。 第５図は、本発明による欠陥検査装置によって、欠陥検
査した結果の例を示す度数分布図である。 第６図は、本発明による欠陥検査装置によって、欠陥検
査した結果の例を示す欠陥の分布図である。 以上 出願人 セイコーエプソン株式会社 箋２図 箋３図 欠陥列 ｓ５図
る。 第２図は、本発明による欠陥検査装置の欠陥長を分類す
るための装置のブロック図である。 第３図は、本発明による欠陥検査において欠陥の位置を
記録、あるいは表示するときのディスク面の分割方法を
示した模式図である。 第４図は、本発明において、何本かのトラックにまたが
る欠陥が発見された場合の欠陥のカウント方法を示す模
式図である。 第５図は、本発明による欠陥検査装置によって、欠陥検
査した結果の例を示す度数分布図である。 第６図は、本発明による欠陥検査装置によって、欠陥検
査した結果の例を示す欠陥の分布図である。 以上 出願人 セイコーエプソン株式会社 箋２図 箋３図 欠陥列 ｓ５図
Claims (9)
- （１）光を用いて、情報を記録し再生する光ディスクあ
るいは光ディスク基板の欠陥を、光ピックアップを用い
て情報を記録再生するトラックに光を照射しながら反射
光量の変化によって検査する欠陥検査において、反射光
量の変化から予め設定されたレベルにおいて欠陥を判定
するコンパレータと、前記コンパレータによって判定さ
れた欠陥の長さを測定するためのクロック信号とカウン
タを備え、前記カウンタの値によって欠陥の長さを分類
し各々の個数を蓄えるカウンタを備えたことを特徴とす
る光ディスク及び光ディスク基板の欠陥検査装置。 - （２）第１項記載の欠陥検査装置において、欠陥の長さ
を計数するためのクロックを検査するための光スポット
がディスク上を走査する線速に対して校正し一クロック
分の長さが線速に対し一定になるようにしたことを特徴
とする光ディスク及び光ディスク基板の欠陥検査装置。 - （３）第１項、あるいは第２項記載の欠陥検査装置にお
いて、欠陥の長さの分類の分割を変更できることを特徴
とする光ディスク及び光ディスク基板の欠陥検査装置。 - （４）第１項、あるいは第２項記載の欠陥検査装置にお
いて、前記コンパレータによって判定された欠陥の位置
を記録するために検査する光ディスクあるいは光ディス
ク基板の記録面を半径方向及び周方向にいくつかの区画
に分割し、その区画に対応したメモリを備え、区画内に
欠陥が存在したことを記憶する機能を有することを特徴
とする光ディスク及び光ディスク基板の欠陥検査装置。 - （５）第１項、あるいは第２項、あるいは第３項記載の
欠陥検査装置において、情報を記録するトラックに対し
、何本かにまたがる欠陥をトラック毎に独立に欠陥とし
てカウントすることを特徴とする光ディスク及び光ディ
スクの欠陥検査装置。 - （６）第４項記載の欠陥検査装置において、前記区画内
にある、定められた長さ以上の欠陥が会った場合のみ欠
陥の存在を記憶することを特徴とする光ディスク及び光
ディスク基板の欠陥検査方法。 - （７）第１項、あるいは第２項、あるいは第３項記載の
欠陥検査装置において、前記分類カウンタに分類された
欠陥の個数をヒストグラムとして表示することを特徴と
する光ディスク及び光ディスク基板の欠陥検査装置。 - （８）第４項記載の欠陥検査装置において、前記区画に
記憶された欠陥の存在を欠陥のマップとして表示するこ
とを特徴とする光ディスク及び光ディスク基板の欠陥検
査装置。 - （９）第１項、あるいは第２項、あるいは第３項、ある
いは第４項、あるいは第７項、あるいは第８項記載の欠
陥検査装置において、光ピックアップを二台以上用いる
ことを特徴とする光ディスク及び光ディスク基板の欠陥
検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3419188A JPH01209344A (ja) | 1988-02-17 | 1988-02-17 | 光ディスク及び光ディスク基板の欠陥検査装置及び欠陥検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3419188A JPH01209344A (ja) | 1988-02-17 | 1988-02-17 | 光ディスク及び光ディスク基板の欠陥検査装置及び欠陥検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01209344A true JPH01209344A (ja) | 1989-08-23 |
Family
ID=12407289
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3419188A Pending JPH01209344A (ja) | 1988-02-17 | 1988-02-17 | 光ディスク及び光ディスク基板の欠陥検査装置及び欠陥検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01209344A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0671742A1 (de) * | 1991-06-07 | 1995-09-13 | Deutsche Thomson-Brandt Gmbh | Fehlerartsignalisation optischer Informationsträger |
| JP2011122998A (ja) * | 2009-12-14 | 2011-06-23 | Hitachi High-Technologies Corp | ディスクの表面欠陥検査方法および検査装置 |
-
1988
- 1988-02-17 JP JP3419188A patent/JPH01209344A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0671742A1 (de) * | 1991-06-07 | 1995-09-13 | Deutsche Thomson-Brandt Gmbh | Fehlerartsignalisation optischer Informationsträger |
| JP2011122998A (ja) * | 2009-12-14 | 2011-06-23 | Hitachi High-Technologies Corp | ディスクの表面欠陥検査方法および検査装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4504939A (en) | Storage medium track pitch detector | |
| CN1643365B (zh) | 分析装置及其使用的分析用盘片 | |
| JPH01209344A (ja) | 光ディスク及び光ディスク基板の欠陥検査装置及び欠陥検査方法 | |
| JPH0245739A (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
| JPS61211876A (ja) | 光デイスク欠陥評価装置 | |
| US4896227A (en) | Method of locating and inspecting dropouts on a magnetic disc | |
| JP2809479B2 (ja) | データ記録再生装置 | |
| JPH0572143A (ja) | スタンパの欠陥検査方法 | |
| JPH05159507A (ja) | 光ディスクの検査装置および方法 | |
| JPS6326832A (ja) | 光デイスク装置 | |
| JPH0580983B2 (ja) | ||
| JPS63253242A (ja) | 傷の検査装置 | |
| JPH05342638A (ja) | 光ディスクの検査装置及びその検査方法 | |
| EP0303454A2 (en) | Method of locating and inspecting dropouts on a magnetic disc | |
| JP4064271B2 (ja) | 光ピックアップの検査装置および検査方法 | |
| JPH04248Y2 (ja) | ||
| JP3528346B2 (ja) | 光磁気ディスク検査装置及び光磁気ディスクの検査方法 | |
| JP2674242B2 (ja) | ディスク記憶装置の記録媒体の欠陥検査方法 | |
| JPH03292647A (ja) | 光ディスク検査装置 | |
| WO2003102556A1 (en) | Analysis device and analysis disc used for the same | |
| JPH0963178A (ja) | 光記録媒体の検査装置、検査方法および製造方法 | |
| JPS6220611B2 (ja) | ||
| JPH07121910A (ja) | 光デイスク検査方法及び光デイスク検査装置 | |
| KR100392398B1 (ko) | 픽업 유니트 검사장치 | |
| JPH0577029B2 (ja) |