JPH02238347A - 光学特性測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、任意の物質の光学特性ａｌｌ定装置に係り、
被測定物に光を照射した時の微弱な応答光を検出する方
法に関するものである。

〔従来の技術〕

従来の光学特性甜定装置は「計８１ｇと制御ＪＶｏｌ２
．９ＮＱ７Ｐ．２３〜３０　おいて論じられているよう
に微弱な応答光を、チョツパで断続して変調し、チョツ
バの回転をビックアップして作られる信号を基準として
同期検波（ロック・イン・デイテクションにより検出す
る構成になっている．この構成による８１リ定装置の例
として、第３図に光透過特性の１１ク定例を、第４図に
光反射特性の測定例を示す。〔発明が解決しようとする
１ｌｌＩＭＡ〕上記従来技術は機械的チョッパを用いる
ために４１１定光学系が複雑になるという欠点があった
。また、光源としてレーザを用いる場合には，反射光が
レーザ光源へ戻るとレーザの異常発振を誘起することが
あるため、チョッパ面を反射防止膜でコートする必要が
生じて不便であった。

本発明は、機械的チョッパを廃して、測定光学系を簡単
化することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的は、信号発生器を用いて光源の開動電流または
駆動電圧に変調をかけ、光源が発する試験光を強度変調
して被測定物に照射し、応答光を受光器で受けて受光出
力を前記信号発生器の信号を基準信号として同期検波す
ることによって達成される． 〔作用〕 同期検波するためには応答光が変調されていることが必
要であり，従来装置はチョツパを用いて変調を行ってい
たが、本発明では代りに信号発生器を用いて光源の駆１
ｔｊ［流に変調をかけ、光源が発する試験光を強度変調
することにより、）＆調された応答光を得る方式である
ため、チョツパを必要としない． 〔実施例〕 以下、本発明の一実施例を第１図により説明する． 光［１として、駆動電流と光出力の直線性が良い半導体
レーザを用いる。信号発生器４でＩＫＨｚの周期信号を
作り光源１の駆動電流を変調して、１ＫＨｚの強度変調
がかかった試験光８を作り、被測定物５に照射する。そ
して、応答光９として透過光を選び、フォトダイオード
から成る受光器２で受光する。その受光信号を、信号発
生器４の信号を基準信号として同期検波榛３で同期検波
することにより．応答光９の強度が得られ、被ｉ１＋’
ｌ定物５の光透過特性を４１１定できる。

第２図は応答光９として反射光を選び，光反射特性を測
定する場合の実施例であり、ａｌ１定糸は第１＠の揚合
と全く同じである。

〔発明の効果〕

本発明によれば、機械的チョツバよりも電気的な信号発
生器による変調方式の方が、動作が安定で信調性が高く
、しかも、変調周波数の可能範囲が広いために、最もノ
イズの少ない周波数を選択して同期検波することができ
、ノイズ除去効果が高い．

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は本発明の実施例であり、それぞれ光
透過特性の測定例と光反射特性のΔ１り定例を示すブロ
ック図、第３図及び第４図は従来の光学特性測定装置の
例であり、それぞれ光透過特性の測定例と光反射特性の
測定例を示すブロック図である。 １・・・光源、２・・・受光器、３・・・同期検波器、
４・・・信号発生器、５・・・被δ１１定物、６・・・
チョツバ，７・・・ビックアップ，８・・・試験光、・
・・応答光．第　１　圀 第　２　２

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、任意の被測定物と電流または電圧によつて駆動され
   る光源と受光器と同期検波器と信号発生器より成り、前
   記光源の駆動電流または駆動電圧を前記信号発生器が作
   る信号を基に変調して前記光源に強度変調された試験光
   を発せしめ前記被測定物に照射し、試験光と被測定物と
   の相互干渉によつて生ずる応答光を前記受光器で受光し
   、受光出力を前記信号発生器の信号を基準信号として、
   前記同期検波器で同期検波して前記応答光の強度を求め
   ることにより、前記被測定物の光学特性を測定すること
   を特徴とする光学特性測定装置。