JPH02238349A - 微小部ｘ線分析における画像処理方法 - Google Patents
微小部ｘ線分析における画像処理方法Info
- Publication number
- JPH02238349A JPH02238349A JP1061209A JP6120989A JPH02238349A JP H02238349 A JPH02238349 A JP H02238349A JP 1061209 A JP1061209 A JP 1061209A JP 6120989 A JP6120989 A JP 6120989A JP H02238349 A JPH02238349 A JP H02238349A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- characteristic
- image processing
- image
- processing method
- rays
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
く産業上の利用分野〉
本発明は、例えば電子顕微鏡および所謂ＥＰＭＡ （Ｅ
ｌｅｃｔｏｒｏｎ Ｐｒｏｂｅ Ｘ−ｒａｙ Ａｎａｌ
ｙｚｅｒ）を用いた微小部Ｘ線分析における画期的な画
像処理方法に関し、より詳しくは、試料における微小な
所定範囲内に対して電子線を走査照射し、それに伴って
該所定範囲内におけるマトリクス状検出点領域から放射
される各特性Ｘ線を測定し、それら特性Ｘ線の測定結果
に基いて該試料の分析を行う微小部Ｘ線分析に対して、
全く新規な画像処理手段を適用することによって、従来
では不可能であった新しい分析分野を開拓せんとしてな
されたものであく従来の技術〉 近年になって、已ＰＭＡによる分析結果に対して画像処
理技術を応用する試みが幾つが行われるようになってい
るが、今のところ、それらによる画像処理機能は、旧来
のＥＰＭＡ分析で行われていたピーク分離，線分析．面
分析などの結果をただ単に画像化するという範囲にとど
まっている．く発明が解決しようとする課題〉 従って、上記従来技術に係る微小部Ｘ線分析における画
像処理方法においては、ＥＰＭＡによる分析結果に対し
てせっかく画像処理技術を応用しておりながら、試料を
構成する元素の種類およびその濃度（含有比率）を分析
する〔元素同定〕、という旧来のＥＰＭＡ分析の域を脱
し得るものではなかった． 本発明は、かかる従来実情に鑑みて鋭意研究の結果なさ
れたものであって、その目的は、ＥＰＭＡによる分析結
果に対して全く新規な画像処理手段を適用することによ
り、従来では不可能であった新しい分析分野、つまり、
試料を構成する元素の種類および濃度（含有比率）の分
析（元素同定〕のみにとどまらず、試料を構成する化合
物の種類や分布状態の分析〔物質同定］をも可能ならし
めるベースとなる微小部Ｘ線分析における画像処理方法
を開発せんとすることにある。
ｌｅｃｔｏｒｏｎ Ｐｒｏｂｅ Ｘ−ｒａｙ Ａｎａｌ
ｙｚｅｒ）を用いた微小部Ｘ線分析における画期的な画
像処理方法に関し、より詳しくは、試料における微小な
所定範囲内に対して電子線を走査照射し、それに伴って
該所定範囲内におけるマトリクス状検出点領域から放射
される各特性Ｘ線を測定し、それら特性Ｘ線の測定結果
に基いて該試料の分析を行う微小部Ｘ線分析に対して、
全く新規な画像処理手段を適用することによって、従来
では不可能であった新しい分析分野を開拓せんとしてな
されたものであく従来の技術〉 近年になって、已ＰＭＡによる分析結果に対して画像処
理技術を応用する試みが幾つが行われるようになってい
るが、今のところ、それらによる画像処理機能は、旧来
のＥＰＭＡ分析で行われていたピーク分離，線分析．面
分析などの結果をただ単に画像化するという範囲にとど
まっている．く発明が解決しようとする課題〉 従って、上記従来技術に係る微小部Ｘ線分析における画
像処理方法においては、ＥＰＭＡによる分析結果に対し
てせっかく画像処理技術を応用しておりながら、試料を
構成する元素の種類およびその濃度（含有比率）を分析
する〔元素同定〕、という旧来のＥＰＭＡ分析の域を脱
し得るものではなかった． 本発明は、かかる従来実情に鑑みて鋭意研究の結果なさ
れたものであって、その目的は、ＥＰＭＡによる分析結
果に対して全く新規な画像処理手段を適用することによ
り、従来では不可能であった新しい分析分野、つまり、
試料を構成する元素の種類および濃度（含有比率）の分
析（元素同定〕のみにとどまらず、試料を構成する化合
物の種類や分布状態の分析〔物質同定］をも可能ならし
めるベースとなる微小部Ｘ線分析における画像処理方法
を開発せんとすることにある。
〈課題を解決するための手段）
上記目的を達成するために、本発明は、試料における微
小な所定範囲内に対して電子線を走査照射し、それに伴
って該所定範囲内におけるマトリクス状検出点領域から
放射される各特性Ｘ線を測定し、それら特性χ線の測定
結果に基いて該試料の分析を行う微小部Ｘ線分析におい
て、前記試料の所定範囲内におけるマトリクス状検出点
領域に対応するメモリ領域およびアドレスを有するメモ
リー内に、前記特性Ｘ１Ｋの各測定結果をアドレス別に
記憶させ、 前記メモリー内に記憶させた特性Ｘ線の各測定結果を画
像情報の輝度値に変換した上でその画像輝度値ヒストグ
ラムを作成させ、 前記特性Ｘ線の画像輝度債ヒストグラムにおける各ピー
クを、隣合うピーク同士の裾野部分が干渉しないように
多値化し、 前記特性Ｘ線の画像輝度値ヒストグラムにおける各ピー
クの多値化部分のみを、前記試料の所定範囲内における
マトリクス状検出点領域に対応する画素数およびアドレ
スを有するマトリクス画面上に、互いに異なる色または
記号により表示させる、 という特異な画像処理手段を採用した微小部Ｘ線分析に
おける画像処理方法を提供するものである．く作用〉 かかる特徴ある手段を採用したことにより発揮される作
用は下記のとおりである． 即ち、本発明に係る微小部Ｘ線分析における画像処理方
法においては、試料を構成する元素の特性Ｘ線の画像輝
度値ヒストグラムを作成させ、その画像輝度値ヒストグ
ラムにおける各ピークを、隣合うピーク同士の裾野部分
が干渉しないように多値化し、そして、その画像輝度値
ヒストグラムにおける各ピークの多値化部分のみを、前
記試料の所定範囲内におけるマトリクス状検出点領域に
対応する画素数およびアドレスを有するマトリクス画面
上に、互いに異なる色または記号により表示させる、と
いう特異な画像処理手段を採用したことによって、後述
する実施例の記載からもより一層明らかとなるように、
前記各ピークが夫々占める領域および各境界、つまり、
前記試料を構成している化合物の相（分布状態）を明確
に区別して捉えることができるようになり、以て、従来
方法による元素同定にとどまらず、物質同定という全く
新しい分析分野を開拓する可能性を大きく開くことがで
きる． く実施例〉 以下、本発明に係る微小部Ｘ線分析における画像処理方
法の具体的な一実施例として、ドロマイト鉱石を試料と
した分析結果について説明する。
小な所定範囲内に対して電子線を走査照射し、それに伴
って該所定範囲内におけるマトリクス状検出点領域から
放射される各特性Ｘ線を測定し、それら特性χ線の測定
結果に基いて該試料の分析を行う微小部Ｘ線分析におい
て、前記試料の所定範囲内におけるマトリクス状検出点
領域に対応するメモリ領域およびアドレスを有するメモ
リー内に、前記特性Ｘ１Ｋの各測定結果をアドレス別に
記憶させ、 前記メモリー内に記憶させた特性Ｘ線の各測定結果を画
像情報の輝度値に変換した上でその画像輝度値ヒストグ
ラムを作成させ、 前記特性Ｘ線の画像輝度債ヒストグラムにおける各ピー
クを、隣合うピーク同士の裾野部分が干渉しないように
多値化し、 前記特性Ｘ線の画像輝度値ヒストグラムにおける各ピー
クの多値化部分のみを、前記試料の所定範囲内における
マトリクス状検出点領域に対応する画素数およびアドレ
スを有するマトリクス画面上に、互いに異なる色または
記号により表示させる、 という特異な画像処理手段を採用した微小部Ｘ線分析に
おける画像処理方法を提供するものである．く作用〉 かかる特徴ある手段を採用したことにより発揮される作
用は下記のとおりである． 即ち、本発明に係る微小部Ｘ線分析における画像処理方
法においては、試料を構成する元素の特性Ｘ線の画像輝
度値ヒストグラムを作成させ、その画像輝度値ヒストグ
ラムにおける各ピークを、隣合うピーク同士の裾野部分
が干渉しないように多値化し、そして、その画像輝度値
ヒストグラムにおける各ピークの多値化部分のみを、前
記試料の所定範囲内におけるマトリクス状検出点領域に
対応する画素数およびアドレスを有するマトリクス画面
上に、互いに異なる色または記号により表示させる、と
いう特異な画像処理手段を採用したことによって、後述
する実施例の記載からもより一層明らかとなるように、
前記各ピークが夫々占める領域および各境界、つまり、
前記試料を構成している化合物の相（分布状態）を明確
に区別して捉えることができるようになり、以て、従来
方法による元素同定にとどまらず、物質同定という全く
新しい分析分野を開拓する可能性を大きく開くことがで
きる． く実施例〉 以下、本発明に係る微小部Ｘ線分析における画像処理方
法の具体的な一実施例として、ドロマイト鉱石を試料と
した分析結果について説明する。
なお、この試料（ドロマイト鉱石）は、三種類の化合物
、即ち、クカイ石（Ｃ ａ Ｍ ｇ （ Ｃ Ｏｓ）ｚ
ｌ ，ホウカイ石（Ｃ ａ ＣＯ３） ，石灰石（ Ｃ
ａ Ｃ Ｏ ｘＭｇＣＯ．）から構成されているもの
である．先ず、従来方法と同様に、電子顕微鏡およびＥ
ＰＭＡを用いて、前記試料における微小な所定範囲内に
対して電子線を走査照射し、それに伴って該試料の所定
範囲内におけるマトリクス状検出点領域の各検出点から
夫々放射される特性Ｘ線（各元素別に特有のＸ線）のエ
ネルギー強度を測定する。
、即ち、クカイ石（Ｃ ａ Ｍ ｇ （ Ｃ Ｏｓ）ｚ
ｌ ，ホウカイ石（Ｃ ａ ＣＯ３） ，石灰石（ Ｃ
ａ Ｃ Ｏ ｘＭｇＣＯ．）から構成されているもの
である．先ず、従来方法と同様に、電子顕微鏡およびＥ
ＰＭＡを用いて、前記試料における微小な所定範囲内に
対して電子線を走査照射し、それに伴って該試料の所定
範囲内におけるマトリクス状検出点領域の各検出点から
夫々放射される特性Ｘ線（各元素別に特有のＸ線）のエ
ネルギー強度を測定する。
次に、前記ＥＰＭＡにより得られた元素別の特性Ｘ線の
各エネルギー強度測定結果を、夫々、前記試料の所定範
囲内におけるマトリクス状検出点領域（例えば、２５６
Ｘ２５６ピクセル）に対応するメモリ領域（６ ５ ５
３ ６メモリー）およびアドレスを有するメモリー内
に、アドレス別に記憶させる。
各エネルギー強度測定結果を、夫々、前記試料の所定範
囲内におけるマトリクス状検出点領域（例えば、２５６
Ｘ２５６ピクセル）に対応するメモリ領域（６ ５ ５
３ ６メモリー）およびアドレスを有するメモリー内
に、アドレス別に記憶させる。
ここで、各メモリー内に記憶させた特性Ｘ線のエネルギ
ー強度測定結果を従来と同様の方法に従って解析すれば
、該試料に含まれている元素の種類（この例では、Ｃａ
，Ｍｇ，Ｃ，Ｏ ）および濃度（含有比率）が夫々分析
され、該試料の元素同定を行うことができる． 更に、前記各メモリー内に記憶されている特性Ｘ線のエ
ネルギー強度測定結果を画像情報の輝度値（画像濃度値
）に変換（例えば、０〜２５５にノルマライズ）した上
で、夫々の元素についてその画像輝度値ヒストグラム（
画像輝度値と、画像輝度値が同じビクセルのカウント数
との関係）を作成させる．第１図はその画像輝度値ヒス
トグラムの一例であって、これは、前記試料（ドロマイ
ト１ｔ，石）を構成している一元素として選定されたＣ
ａ（これは、前記三種類の化合物の全てに含まれている
共通の元素である）の特性ｘｖＡの画像輝度値ヒストグ
ラムＨを示しており、それら三種類の化合物に対応して
三つのピークＡ，Ｂ，Ｃを有していることが判る． ここで、前記Ｃａの特性Ｘ線の画像輝度値ヒストグラム
Ｈにおける各ピークＡ，Ｂ，Ｃの全ての領域におけるデ
ータ（６ ５ ５ ３ ６個の画像輝度値データ）を、
前記試料の所定範囲内におけるマトリクス状検出点領域
に対応する画素数（２５６Ｘ２５６ピクセル）およびア
ドレスを有する一つのマトリクス画面上にそのまま単純
に輝度表示させたとすると、その画面上においては、全
ピクセルの画像輝度が連続平面的（アナログ的）に変化
しているに過ぎないため、前記各ピークＡ，Ｂ，Ｃの境
界は全く把握することができない。
ー強度測定結果を従来と同様の方法に従って解析すれば
、該試料に含まれている元素の種類（この例では、Ｃａ
，Ｍｇ，Ｃ，Ｏ ）および濃度（含有比率）が夫々分析
され、該試料の元素同定を行うことができる． 更に、前記各メモリー内に記憶されている特性Ｘ線のエ
ネルギー強度測定結果を画像情報の輝度値（画像濃度値
）に変換（例えば、０〜２５５にノルマライズ）した上
で、夫々の元素についてその画像輝度値ヒストグラム（
画像輝度値と、画像輝度値が同じビクセルのカウント数
との関係）を作成させる．第１図はその画像輝度値ヒス
トグラムの一例であって、これは、前記試料（ドロマイ
ト１ｔ，石）を構成している一元素として選定されたＣ
ａ（これは、前記三種類の化合物の全てに含まれている
共通の元素である）の特性ｘｖＡの画像輝度値ヒストグ
ラムＨを示しており、それら三種類の化合物に対応して
三つのピークＡ，Ｂ，Ｃを有していることが判る． ここで、前記Ｃａの特性Ｘ線の画像輝度値ヒストグラム
Ｈにおける各ピークＡ，Ｂ，Ｃの全ての領域におけるデ
ータ（６ ５ ５ ３ ６個の画像輝度値データ）を、
前記試料の所定範囲内におけるマトリクス状検出点領域
に対応する画素数（２５６Ｘ２５６ピクセル）およびア
ドレスを有する一つのマトリクス画面上にそのまま単純
に輝度表示させたとすると、その画面上においては、全
ピクセルの画像輝度が連続平面的（アナログ的）に変化
しているに過ぎないため、前記各ピークＡ，Ｂ，Ｃの境
界は全く把握することができない。
そこで、前記Ｃａの特性Ｘ線の画像輝度値ヒストグラム
Ｈにおける各ピークＡ，Ｂ，Ｃを、前記第１図に示して
いるように、互いに隣合うピーク同士（ＡとＢ，ＢとＣ
）の裾野部分が干渉しないように多値化（ａ，ｂ，ｃ部
分に分割）し、しかも、それら各ピークＡ，Ｂ，Ｃの多
値化部分（ａ，ｂ， ｃ）のみを、第２図に示してい
るように、前記試料の所定範囲内におけるマトリクス状
検出点領域に対応する画素数（２５６ｘ２５６ピクセル
）およびアドレスを有する一つのマトリクス画面Ｐ（例
えばＣＲＴ）上に、互いに異なる色（例えば、赤，青，
黄）または記号（例えば、Ｏ．×，Δ）により表示させ
る（マッピングする）、という特殊な手段を構ずること
によって、前記各ピークＡ，Ｂ，Ｃが夫々占める領域お
よび各境界、つまり、前記試料（ドロマイト鉱石）を構
成している三種類の化合物の相を明確に区別して捉える
ことができる．なお、前記各ピークＡ，Ｂ，Ｃの多値化
部分（ａ， ｂ， ｃ）の採り方を極端に狭くしす
ぎると、前記マトリクス画面Ｐ上におけるバックグラウ
ンド部分が多くなりすぎて、各領域の境界が判然としな
くなるので、それら多値化部分（ａ， ｂ，Ｃ）は、
隣合うピーク同士の裾野部分が干渉しない範囲において
、できるだけ広く採るようにするのが望ましい． そして、その他の元素（Ｍｇ，Ｃ， ○）についても、
夫々、上記Ｃａに対すると同様の画像処理を行って、そ
れらの結果を総合することにより、前記試料（ドロマイ
ト鉱石）を構成している三種類の化合物の種類，分布状
態等を分析することができ、以って、従来方法による元
素同定にとどまらず、物質同定という全く新しい分析分
野を開拓することができる． なお、上記本発明に係る微小部Ｘ線分析における画像処
理方法は、今のところ、全ての場合における物質同定に
完璧に通用するとは言えないものの、更なる周辺改良技
術の積み重ねによって、より優れた新しい分析分野の確
立を大いに期待し得るベース技術として位置付けること
ができるものである． く発明の効果〉 以上詳述したところから明らかなように、本発明に係る
微小部Ｘ線分析における画像処理方法によれば、特に、
試料を構成する元素の特性Ｘ線の画像輝度値ヒストグラ
ムを作成させ、その画像輝度値ヒストグラムにおける各
ピークを、隣合うピーク同士の裾野部分が干渉しないよ
うに多値化し、そして、その画像輝度値ヒストグラムに
おける各ピークの多値化部分のみを、前記試料の所定範
囲内におけるマトリクス状検出点領域に対応する画素数
およびアドレスを有するマトリクス画面上に、互いに異
なる色または記号により表示させる、という特異な画像
処理手段を採用したことにより、前記各ピークが夫々占
める領域および各境界、つまり、前記試料を構成してい
る化合物の相（分布状Ｂ）を明確に区別して捉えること
ができるようになり、以て、従来では不可能であった新
しい分析分野、即ち、試料を構成する元素の種類および
濃度（含有比率）の分析〔元素同定］のみにとどまらず
、試料を構成する化合物の種類や分布状態の分析〔物質
同定〕の可能性が大きく開かれる、という顕著に優れた
効果が発揮され、従って、本発明の産業上の利用価値は
極めて大きい。
Ｈにおける各ピークＡ，Ｂ，Ｃを、前記第１図に示して
いるように、互いに隣合うピーク同士（ＡとＢ，ＢとＣ
）の裾野部分が干渉しないように多値化（ａ，ｂ，ｃ部
分に分割）し、しかも、それら各ピークＡ，Ｂ，Ｃの多
値化部分（ａ，ｂ， ｃ）のみを、第２図に示してい
るように、前記試料の所定範囲内におけるマトリクス状
検出点領域に対応する画素数（２５６ｘ２５６ピクセル
）およびアドレスを有する一つのマトリクス画面Ｐ（例
えばＣＲＴ）上に、互いに異なる色（例えば、赤，青，
黄）または記号（例えば、Ｏ．×，Δ）により表示させ
る（マッピングする）、という特殊な手段を構ずること
によって、前記各ピークＡ，Ｂ，Ｃが夫々占める領域お
よび各境界、つまり、前記試料（ドロマイト鉱石）を構
成している三種類の化合物の相を明確に区別して捉える
ことができる．なお、前記各ピークＡ，Ｂ，Ｃの多値化
部分（ａ， ｂ， ｃ）の採り方を極端に狭くしす
ぎると、前記マトリクス画面Ｐ上におけるバックグラウ
ンド部分が多くなりすぎて、各領域の境界が判然としな
くなるので、それら多値化部分（ａ， ｂ，Ｃ）は、
隣合うピーク同士の裾野部分が干渉しない範囲において
、できるだけ広く採るようにするのが望ましい． そして、その他の元素（Ｍｇ，Ｃ， ○）についても、
夫々、上記Ｃａに対すると同様の画像処理を行って、そ
れらの結果を総合することにより、前記試料（ドロマイ
ト鉱石）を構成している三種類の化合物の種類，分布状
態等を分析することができ、以って、従来方法による元
素同定にとどまらず、物質同定という全く新しい分析分
野を開拓することができる． なお、上記本発明に係る微小部Ｘ線分析における画像処
理方法は、今のところ、全ての場合における物質同定に
完璧に通用するとは言えないものの、更なる周辺改良技
術の積み重ねによって、より優れた新しい分析分野の確
立を大いに期待し得るベース技術として位置付けること
ができるものである． く発明の効果〉 以上詳述したところから明らかなように、本発明に係る
微小部Ｘ線分析における画像処理方法によれば、特に、
試料を構成する元素の特性Ｘ線の画像輝度値ヒストグラ
ムを作成させ、その画像輝度値ヒストグラムにおける各
ピークを、隣合うピーク同士の裾野部分が干渉しないよ
うに多値化し、そして、その画像輝度値ヒストグラムに
おける各ピークの多値化部分のみを、前記試料の所定範
囲内におけるマトリクス状検出点領域に対応する画素数
およびアドレスを有するマトリクス画面上に、互いに異
なる色または記号により表示させる、という特異な画像
処理手段を採用したことにより、前記各ピークが夫々占
める領域および各境界、つまり、前記試料を構成してい
る化合物の相（分布状Ｂ）を明確に区別して捉えること
ができるようになり、以て、従来では不可能であった新
しい分析分野、即ち、試料を構成する元素の種類および
濃度（含有比率）の分析〔元素同定］のみにとどまらず
、試料を構成する化合物の種類や分布状態の分析〔物質
同定〕の可能性が大きく開かれる、という顕著に優れた
効果が発揮され、従って、本発明の産業上の利用価値は
極めて大きい。
図面は、本発明に係る微小部Ｘ線分析における画像処理
方法の具体的な一実施例を説明するためのものであって
、第１図はドロマイト鉱石を試料とした場合のＣａの特
性Ｘ線の画像輝度値ヒストグラムおよびその多値化方法
の説明図であり、第２図はＣａの分布状態を表示したマ
，トリクス画面の模式的説明図である。 Ｈ・・・・・・特性Ｘ線の画像輝度値ヒストグラム、Ａ
，Ｂ，Ｃ・・・・・・ピーク、 ａ，ｂ，ｃ・・・・・・多値化部分、 Ｐ・・・・・・マトリクス画面． 出願人 株式会社 堀 場 製 作 所代理人 弁
理士 藤 本 英 夫 ＣＬ （ ｒｖ▲：Ｓへ哨｛叱）
方法の具体的な一実施例を説明するためのものであって
、第１図はドロマイト鉱石を試料とした場合のＣａの特
性Ｘ線の画像輝度値ヒストグラムおよびその多値化方法
の説明図であり、第２図はＣａの分布状態を表示したマ
，トリクス画面の模式的説明図である。 Ｈ・・・・・・特性Ｘ線の画像輝度値ヒストグラム、Ａ
，Ｂ，Ｃ・・・・・・ピーク、 ａ，ｂ，ｃ・・・・・・多値化部分、 Ｐ・・・・・・マトリクス画面． 出願人 株式会社 堀 場 製 作 所代理人 弁
理士 藤 本 英 夫 ＣＬ （ ｒｖ▲：Ｓへ哨｛叱）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 試料における微小な所定範囲内に対して電子線を走査照
射し、それに伴って該所定範囲内におけるマトリクス状
検出点領域から放射される各特性Ｘ線を測定し、それら
特性Ｘ線の測定結果に基いて該試料の分析を行う微小部
Ｘ線分析において、前記試料の所定範囲内におけるマト
リクス状検出点領域に対応するメモリ領域およびアドレ
スを有するメモリー内に、前記特性Ｘ線の各測定結果を
アドレス別に記憶させ、 前記メモリー内に記憶させた特性Ｘ線の各測定結果を画
像情報の輝度値に変換した上でその画像輝度値ヒストグ
ラムを作成させ、 前記特性Ｘ線の画像輝度値ヒストグラムにおける各ピー
クを、隣合うピーク同士の裾野部分が干渉しないように
多値化し、 前記特性Ｘ線の画像輝度値ヒストグラムにおける各ピー
クの多値化部分のみを、前記試料の所定範囲内における
マトリクス状検出点領域に対応する画素数およびアドレ
スを有するマトリクス画面上に、互いに異なる色または
記号により表示させる、 ようにしたことを特徴とする微小部Ｘ線分析における画
像処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1061209A JP2631829B2 (ja) | 1989-03-13 | 1989-03-13 | 微小部ｘ線分析における画像処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1061209A JP2631829B2 (ja) | 1989-03-13 | 1989-03-13 | 微小部ｘ線分析における画像処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02238349A true JPH02238349A (ja) | 1990-09-20 |
| JP2631829B2 JP2631829B2 (ja) | 1997-07-16 |
Family
ID=13164575
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1061209A Expired - Lifetime JP2631829B2 (ja) | 1989-03-13 | 1989-03-13 | 微小部ｘ線分析における画像処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2631829B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05172765A (ja) * | 1991-12-24 | 1993-07-09 | Sharp Corp | Ａｅｓ分析におけるドリフト補正方法 |
| WO2018173629A1 (ja) * | 2017-03-22 | 2018-09-27 | 三菱マテリアル株式会社 | 金属中の析出物粒子密度の測定方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6270740A (ja) * | 1985-09-24 | 1987-04-01 | Shimadzu Corp | Ｘ線分光定量分析方法 |
| JPS63318055A (ja) * | 1987-06-19 | 1988-12-26 | Shimadzu Corp | Ｅｐｍａの測定デ−タ表示方法 |
-
1989
- 1989-03-13 JP JP1061209A patent/JP2631829B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6270740A (ja) * | 1985-09-24 | 1987-04-01 | Shimadzu Corp | Ｘ線分光定量分析方法 |
| JPS63318055A (ja) * | 1987-06-19 | 1988-12-26 | Shimadzu Corp | Ｅｐｍａの測定デ−タ表示方法 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05172765A (ja) * | 1991-12-24 | 1993-07-09 | Sharp Corp | Ａｅｓ分析におけるドリフト補正方法 |
| WO2018173629A1 (ja) * | 2017-03-22 | 2018-09-27 | 三菱マテリアル株式会社 | 金属中の析出物粒子密度の測定方法 |
| JP2018159576A (ja) * | 2017-03-22 | 2018-10-11 | 三菱マテリアル株式会社 | 銅、鉄、コバルト又はニッケルからなる金属中の析出物粒子密度の測定方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2631829B2 (ja) | 1997-07-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Cucci et al. | Remote-sensing hyperspectral imaging for applications in archaeological areas: Non-invasive investigations on wall paintings and on mural inscriptions in the Pompeii site | |
| CN109269953B (zh) | 岩石无机矿物孔隙分类表征的方法 | |
| Arenal et al. | Extending the analysis of EELS spectrum-imaging data, from elemental to bond mapping in complex nanostructures | |
| US5715334A (en) | Digital pixel-accurate intensity processing method for image information enhancement | |
| US6201240B1 (en) | SEM image enhancement using narrow band detection and color assignment | |
| CN109596698B (zh) | 用于评价质谱成像制备质量的方法及其套件 | |
| WO2017203600A1 (ja) | 欠陥分類装置および欠陥分類方法 | |
| JPH09184715A (ja) | パターン形状検査装置 | |
| CN102194641A (zh) | 质量分析数据处理方法和质量分析数据处理设备 | |
| Verbeeck et al. | Energy-filtered transmission electron microscopy: an overview | |
| Price et al. | Unravelling the spatial dependency of the complex solid-state chemistry of Pb in a paint micro-sample from Rembrandt's Homer using XRD-CT | |
| US20060210129A1 (en) | Method and apparatus for multiple labeling detection and evaluation of a plurality of particles | |
| Bryan et al. | A microcomputer based digital imaging system for ion microanalysis | |
| Gomati et al. | Scatter diagrams in energy analysed digital imaging: application to scanning Auger microscopy | |
| KR920003932B1 (ko) | 반도체장치의 수지모울드의 외관검사방법과 그 외관검사장치 | |
| JPH02238349A (ja) | 微小部ｘ線分析における画像処理方法 | |
| Komenda | Automatic recognition of complex microstructures using the Image Classifier | |
| Scott | The application of scanning X‐ray fluorescence microanalysis in the examination of cultural materials | |
| JP2589575B2 (ja) | 微小部ｘ線分析における多元素化合物の分析方法 | |
| Vandenabeele | Evaluating the influence of step size in macro-raman mapping experiments | |
| Fassett et al. | Digital image processing in ion microscope analysis: Study of crystal structure effects in secondary ion mass spectrometry | |
| JPH02248847A (ja) | 微小部ｘ線分析における三元素化合物の分析方法 | |
| JP2573053B2 (ja) | 微小部ｘ線分析における二元素化合物の分析方法 | |
| Danilatos | Colour micrographs for backscattered electron signals in the SEM | |
| Polak et al. | An investigation of three metal point marking on a grounded paper using different application modes of the scanning electron microscope |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |