JPH0224016Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0224016Y2 JPH0224016Y2 JP1984027151U JP2715184U JPH0224016Y2 JP H0224016 Y2 JPH0224016 Y2 JP H0224016Y2 JP 1984027151 U JP1984027151 U JP 1984027151U JP 2715184 U JP2715184 U JP 2715184U JP H0224016 Y2 JPH0224016 Y2 JP H0224016Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- purification chamber
- duct
- dust
- air purification
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Prevention Of Fouling (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
一般にウエハ等の電子部品のように微細な塵埃
をも除去した清浄空気雰囲気中において加工、組
立及び搬送作業を行うことが必要である場合に
は、これらの作業を行う室に空気清浄装置を取付
けて室内で発生する微細な塵埃等を常に除去し室
内の空気を清浄状態に維持する手段が講じられて
いる。
をも除去した清浄空気雰囲気中において加工、組
立及び搬送作業を行うことが必要である場合に
は、これらの作業を行う室に空気清浄装置を取付
けて室内で発生する微細な塵埃等を常に除去し室
内の空気を清浄状態に維持する手段が講じられて
いる。
本考案は上記した空気を清浄化した室内に搬送
装置が収納されている場合に、該室内で発生した
塵埃を除去するばかりでなく、該室の扉の開閉時
において塵埃の発生を抑止し、室内の汚染を防止
した空気清浄室内の塵埃除去装置である。
装置が収納されている場合に、該室内で発生した
塵埃を除去するばかりでなく、該室の扉の開閉時
において塵埃の発生を抑止し、室内の汚染を防止
した空気清浄室内の塵埃除去装置である。
従来、搬送装置を収納した空気清浄室の塵埃除
去装置は、第１図に示す如く、上部に上部フイル
タＦを張設し下部に物品Ａを支承したテーブルＴ
を取付けた駆動台車Ｃを収納した空気清浄室Ｈの
外部に、送気端を該室Ｈ内の上部フイルタＦの上
方に開口し吸気端を該室Ｈ内の下部に開口した空
気還流ダクトＤを配設し、該ダクトの途中に空気
循環フアンＰを介装し、搬送装置の作動によつて
発生する付着塵埃或は摩耗粉等の浮遊塵埃の大部
分は該室Ｈの下方より吸気端を経て該室Ｈの上部
フイルタＦより上方に開口している送気端より該
室Ｈ内に導入され、上部フイルタＦを通過して除
塵され、清浄空気となつて流下し、再び吸気端開
口より吸込まれて循環するから、該室内Ｈの空気
は常に清浄に保たれるが、該室Ｈの底面、すなわ
ち、駆動台車Ｃの走行レールＲ，Ｒの下方にはダ
クトＤに吸込まれない一部の塵埃が堆積し、該堆
積塵埃Ｇは前記搬送装置の保守管理のため空気清
浄室Ｈの下部を取外すときにその振動により浮遊
飛散するばかりでなく、該堆積塵埃Ｇは台車Ｃの
通過時に起る空気の移動によつて舞い上り該室Ｈ
内に浮遊拡散して空気清浄室内の雰囲気を著しく
汚染するという欠点を有していた。
去装置は、第１図に示す如く、上部に上部フイル
タＦを張設し下部に物品Ａを支承したテーブルＴ
を取付けた駆動台車Ｃを収納した空気清浄室Ｈの
外部に、送気端を該室Ｈ内の上部フイルタＦの上
方に開口し吸気端を該室Ｈ内の下部に開口した空
気還流ダクトＤを配設し、該ダクトの途中に空気
循環フアンＰを介装し、搬送装置の作動によつて
発生する付着塵埃或は摩耗粉等の浮遊塵埃の大部
分は該室Ｈの下方より吸気端を経て該室Ｈの上部
フイルタＦより上方に開口している送気端より該
室Ｈ内に導入され、上部フイルタＦを通過して除
塵され、清浄空気となつて流下し、再び吸気端開
口より吸込まれて循環するから、該室内Ｈの空気
は常に清浄に保たれるが、該室Ｈの底面、すなわ
ち、駆動台車Ｃの走行レールＲ，Ｒの下方にはダ
クトＤに吸込まれない一部の塵埃が堆積し、該堆
積塵埃Ｇは前記搬送装置の保守管理のため空気清
浄室Ｈの下部を取外すときにその振動により浮遊
飛散するばかりでなく、該堆積塵埃Ｇは台車Ｃの
通過時に起る空気の移動によつて舞い上り該室Ｈ
内に浮遊拡散して空気清浄室内の雰囲気を著しく
汚染するという欠点を有していた。
そこで本考案は上記従来の欠点を除去するため
前記堆積塵埃の発生を防止した塵埃除去装置であ
つて、以下第２図について本考案の実施例を説明
すると、 横設した管状の空気清浄室１の下面には吊持ボ
ルト２の下端で吊持された搬送装置駆動部筐３が
挿脱可能に封嵌され、該駆動部筐３内には搬送台
車４の車輪走行レール５，５と該台車４に取付け
た駆動装置６に動力を供給する複数本の給電レー
ル７，７……が収納され、該駆動部筐３の下面に
は着脱可能な底蓋８が装着されている。
前記堆積塵埃の発生を防止した塵埃除去装置であ
つて、以下第２図について本考案の実施例を説明
すると、 横設した管状の空気清浄室１の下面には吊持ボ
ルト２の下端で吊持された搬送装置駆動部筐３が
挿脱可能に封嵌され、該駆動部筐３内には搬送台
車４の車輪走行レール５，５と該台車４に取付け
た駆動装置６に動力を供給する複数本の給電レー
ル７，７……が収納され、該駆動部筐３の下面に
は着脱可能な底蓋８が装着されている。
前記台車４上には微細塵埃の付着をも避けねば
ならぬ電子部品の収納筐９の搬送テーブル１０が
駆動部筐３の上面を貫挿した支持軸１１の上端に
取付けられて空気清浄室１内に収納されている。
ならぬ電子部品の収納筐９の搬送テーブル１０が
駆動部筐３の上面を貫挿した支持軸１１の上端に
取付けられて空気清浄室１内に収納されている。
そして、前記レール５，５の下面には下部フイ
ルタ１２がスナツプ止め等公知の手段で着脱可能
に取付けられている。なお、該下部フイルタ１２
はレール５，５の下面に代えてレール下方の駆動
部筐３の側壁に着脱容易に支承されていても差支
えない。
ルタ１２がスナツプ止め等公知の手段で着脱可能
に取付けられている。なお、該下部フイルタ１２
はレール５，５の下面に代えてレール下方の駆動
部筐３の側壁に着脱容易に支承されていても差支
えない。
また、空気清浄室１内の上部には上部フイルタ
１３が取付けられ、空気清浄室１外に設けた空気
循環フアン１４の送気ダクト１５は上部フイルタ
１３の上方空気清浄室１内に開口し、吸気ダクト
１６は下部フイルタ１２の下方駆動部筐３内に開
口している。
１３が取付けられ、空気清浄室１外に設けた空気
循環フアン１４の送気ダクト１５は上部フイルタ
１３の上方空気清浄室１内に開口し、吸気ダクト
１６は下部フイルタ１２の下方駆動部筐３内に開
口している。
したがつて、空気清浄室１内の空気は下降流を
形成し、送気ダクト１５により送り込まれた空気
は上部フイルタ１３によつて除塵濾過され清浄空
気となつて下降し、その一部は空気清浄室１の底
面に形成した排気口１７から放出され、残部は支
持軸１１と駆動部筐３との隙間より駆動部筐３内
に入り、搬送装置の作動に伴う塵埃、摩耗粉等は
下降流が下部フイルタ１２を透過する際に完全に
フイルタ中に捕捉されるから、底蓋８上には微細
な塵埃、摩耗粉等が堆積することはなく、吸気ダ
クト１６を通じて再び空気清浄室１内に送入さ
れ、該室１の上部に開口した給気口１８から流入
する空気と共に還流し、空気清浄室１内の還流空
気は常に清浄に維持される。
形成し、送気ダクト１５により送り込まれた空気
は上部フイルタ１３によつて除塵濾過され清浄空
気となつて下降し、その一部は空気清浄室１の底
面に形成した排気口１７から放出され、残部は支
持軸１１と駆動部筐３との隙間より駆動部筐３内
に入り、搬送装置の作動に伴う塵埃、摩耗粉等は
下降流が下部フイルタ１２を透過する際に完全に
フイルタ中に捕捉されるから、底蓋８上には微細
な塵埃、摩耗粉等が堆積することはなく、吸気ダ
クト１６を通じて再び空気清浄室１内に送入さ
れ、該室１の上部に開口した給気口１８から流入
する空気と共に還流し、空気清浄室１内の還流空
気は常に清浄に維持される。
そして、前述した如く底蓋８上には塵埃が堆積
しないから、台車４の通過時においても底蓋８上
からの塵埃の浮遊拡散が全く発生せず、且つ台車
４の走行に伴う車輪と走行レール間に発生する摩
耗粉等についても下部フイルタ１２内に捕捉され
るから、底蓋８を取外す際に粉塵が浮遊飛散する
おそれがなく空気清浄室１内を汚染することがな
いし、また、下部フイルタ１２内に捕捉されてい
る粉塵等は該フイルタ１２を取外す際に浮遊落下
することなく、空気清浄室１内の雰囲気を汚染し
ないので、下部フイルタの交換及びメンテナンス
時の底蓋の開閉を空気清浄室１内を汚染すること
なしに遂行できる等、空気清浄室内の塵埃除去装
置としての実用的効果は著大である。
しないから、台車４の通過時においても底蓋８上
からの塵埃の浮遊拡散が全く発生せず、且つ台車
４の走行に伴う車輪と走行レール間に発生する摩
耗粉等についても下部フイルタ１２内に捕捉され
るから、底蓋８を取外す際に粉塵が浮遊飛散する
おそれがなく空気清浄室１内を汚染することがな
いし、また、下部フイルタ１２内に捕捉されてい
る粉塵等は該フイルタ１２を取外す際に浮遊落下
することなく、空気清浄室１内の雰囲気を汚染し
ないので、下部フイルタの交換及びメンテナンス
時の底蓋の開閉を空気清浄室１内を汚染すること
なしに遂行できる等、空気清浄室内の塵埃除去装
置としての実用的効果は著大である。
第１図は従来装置の概略正面断面図、第２図は
本考案の概略正面断面図である。 １……空気清浄室、３……駆動部筐、４……台
車、５……走行レール、８……底蓋、９……電子
部品収納筐、１２……下部フイルタ、１３……上
部フイルタ、１４……空気循環フアン。
本考案の概略正面断面図である。 １……空気清浄室、３……駆動部筐、４……台
車、５……走行レール、８……底蓋、９……電子
部品収納筐、１２……下部フイルタ、１３……上
部フイルタ、１４……空気循環フアン。
Claims (1)
- 上部に上部フイルタを張設し下部に物品搬送装
置を収納した空気清浄室外に空気循環フアンを介
装した空気還流ダクトを配設し、該ダクトの送気
端を前記上部フイルタより上方の空気清浄室内に
開口せしめ、ダクトの吸気端を空気清浄室下部内
に開口せしめ、空気清浄室内に下降気流を形成さ
せた空気清浄室内の塵埃除去装置において、前記
物品搬送装置の駆動部を空気清浄室内において区
画する駆動部筐の下面に着脱可能な底蓋を設ける
とともに、該搬送装置の下方に搬送装置の作動に
より発生する塵埃を捕捉する下部フイルタを着脱
可能に張設し、該下部フイルタの下方に前記ダク
トの吸気端を開口せしめた塵埃除去装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2715184U JPS60140841U (ja) | 1984-02-29 | 1984-02-29 | 物品搬送装置を収納した空気清浄室内の塵埃除去装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2715184U JPS60140841U (ja) | 1984-02-29 | 1984-02-29 | 物品搬送装置を収納した空気清浄室内の塵埃除去装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60140841U JPS60140841U (ja) | 1985-09-18 |
| JPH0224016Y2 true JPH0224016Y2 (ja) | 1990-07-02 |
Family
ID=30523827
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2715184U Granted JPS60140841U (ja) | 1984-02-29 | 1984-02-29 | 物品搬送装置を収納した空気清浄室内の塵埃除去装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60140841U (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0248016Y2 (ja) * | 1984-12-21 | 1990-12-17 | ||
| JPS62172126A (ja) * | 1986-01-25 | 1987-07-29 | Teru Saamuko Kk | 清浄化装置 |
| JPH0338585Y2 (ja) * | 1986-07-09 | 1991-08-14 | ||
| JP5290663B2 (ja) * | 2008-08-26 | 2013-09-18 | 日本無機株式会社 | 空気浄化装置及び空気浄化装置のフィルタ交換方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL7215945A (ja) * | 1972-11-24 | 1974-05-28 | ||
| JPS5546451Y2 (ja) * | 1977-09-30 | 1980-10-30 | ||
| JPS583429Y2 (ja) * | 1978-06-29 | 1983-01-20 | サナダ精工株式会社 | 布団挾持具 |
| JPS5587650A (en) * | 1978-12-26 | 1980-07-02 | Tokyo Shibaura Electric Co | Conveyor |
-
1984
- 1984-02-29 JP JP2715184U patent/JPS60140841U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60140841U (ja) | 1985-09-18 |
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