JPH0224074Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0224074Y2 JPH0224074Y2 JP19310184U JP19310184U JPH0224074Y2 JP H0224074 Y2 JPH0224074 Y2 JP H0224074Y2 JP 19310184 U JP19310184 U JP 19310184U JP 19310184 U JP19310184 U JP 19310184U JP H0224074 Y2 JPH0224074 Y2 JP H0224074Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- graphite crucible
- temperature
- crucible
- measuring
- graphite
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 46
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims description 46
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims description 46
- 230000006698 induction Effects 0.000 claims description 18
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 13
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- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 7
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 5
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Landscapes
- Muffle Furnaces And Rotary Kilns (AREA)
- Furnace Details (AREA)
- Crucibles And Fluidized-Bed Furnaces (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔考案の属する技術分野〕
本考案は密閉容器内に発熱体として内蔵される
黒鉛るつぼの内部温度を放射温度計により測定す
る手段を備えた真空誘導炉に関する。この種の真
空誘導炉においては簡単な構成で黒鉛るつぼの内
部温度ができる限り正確に測定し得る手段を備え
ていることが要求される。
黒鉛るつぼの内部温度を放射温度計により測定す
る手段を備えた真空誘導炉に関する。この種の真
空誘導炉においては簡単な構成で黒鉛るつぼの内
部温度ができる限り正確に測定し得る手段を備え
ていることが要求される。
一般にこの種の真空誘導炉においては、第2図
に示す如く発熱体としての通常ほぼ円筒形をなす
黒鉛るつぼ1の周囲を包囲する断熱材2の外側面
に沿つて加熱用コイル4を設けてなる炉本体を密
閉容器5の内部に固定し、適宜の真空操作手段
(図示せず)を介して前記密閉容器5の内部を所
定の真空度に保つか、あるいは時に不活性ガスに
よる炉気制御のもとに前記加熱用コイル4に給電
し、該コイル4による電磁誘導作用にもとづく前
記るつぼ1の側壁1bの発熱を利用してるつぼ内
部の装入金属を加熱処理する如くになつている。
に示す如く発熱体としての通常ほぼ円筒形をなす
黒鉛るつぼ1の周囲を包囲する断熱材2の外側面
に沿つて加熱用コイル4を設けてなる炉本体を密
閉容器5の内部に固定し、適宜の真空操作手段
(図示せず)を介して前記密閉容器5の内部を所
定の真空度に保つか、あるいは時に不活性ガスに
よる炉気制御のもとに前記加熱用コイル4に給電
し、該コイル4による電磁誘導作用にもとづく前
記るつぼ1の側壁1bの発熱を利用してるつぼ内
部の装入金属を加熱処理する如くになつている。
その場合前記装入金属の処理に深く影響する前
記黒鉛るつぼ1の内部温度を測定するには、従来
の真空誘導炉の場合には放射温度計を用いて黒鉛
るつぼ1の上部ふた1aの表面温度を測定する
か、あるいは黒鉛るつぼ1の側壁1bの温度を測
定して黒鉛るつぼ内部特にその中央部の温度を推
定する方法が採られている。
記黒鉛るつぼ1の内部温度を測定するには、従来
の真空誘導炉の場合には放射温度計を用いて黒鉛
るつぼ1の上部ふた1aの表面温度を測定する
か、あるいは黒鉛るつぼ1の側壁1bの温度を測
定して黒鉛るつぼ内部特にその中央部の温度を推
定する方法が採られている。
しかし前者の黒鉛るつぼ1の上部ふた1aの表
面を測定してるつぼ内温度を推定する方法は、当
該黒鉛るつぼ1が本来その側方に位置する加熱用
コイル4の電磁誘導作用にもづく主として前記る
つぼ1の側壁の発熱により内部の装入金属を加熱
処理するものであるから、前記黒鉛るつぼ1の内
部においてもその中央部とその上下両端部とにお
いて温度が異なり、中央部が最も高く両端部に至
るほど低くなつているため、前記の如く上部ふた
1aの表面において測定した温度により前記黒鉛
るつぼ1の中央部の温度を推定することは誤差が
大になり過ぎるという難点を免れない。
面を測定してるつぼ内温度を推定する方法は、当
該黒鉛るつぼ1が本来その側方に位置する加熱用
コイル4の電磁誘導作用にもづく主として前記る
つぼ1の側壁の発熱により内部の装入金属を加熱
処理するものであるから、前記黒鉛るつぼ1の内
部においてもその中央部とその上下両端部とにお
いて温度が異なり、中央部が最も高く両端部に至
るほど低くなつているため、前記の如く上部ふた
1aの表面において測定した温度により前記黒鉛
るつぼ1の中央部の温度を推定することは誤差が
大になり過ぎるという難点を免れない。
一方後者の黒鉛るつぼ1の側壁の外表面におい
て測定した温度で前記るつぼ1内中央部の温度を
推定する方法は、前記温度測定点が前記るつぼ1
内の中央部により接近し、したがつて推定された
中央部の温度がより正確になる利点はあるが、前
記黒鉛るつぼ1が断熱体2によつてその側壁が覆
われている上に加熱用コイル4が更に前記断熱材
2の外周に装着されているため、前記コイル4の
絶縁物と前記断熱材とをうがつて放射温度計の前
記黒鉛るつぼ1の側壁外表面の温度を計測するの
に必要な径を有する穴を設けることが技術的に著
しく困難であるという欠点を有している。
て測定した温度で前記るつぼ1内中央部の温度を
推定する方法は、前記温度測定点が前記るつぼ1
内の中央部により接近し、したがつて推定された
中央部の温度がより正確になる利点はあるが、前
記黒鉛るつぼ1が断熱体2によつてその側壁が覆
われている上に加熱用コイル4が更に前記断熱材
2の外周に装着されているため、前記コイル4の
絶縁物と前記断熱材とをうがつて放射温度計の前
記黒鉛るつぼ1の側壁外表面の温度を計測するの
に必要な径を有する穴を設けることが技術的に著
しく困難であるという欠点を有している。
本考案は従来の真空誘導炉における黒鉛るつぼ
の外表面の温度を計測して前記るつぼ内部の温度
を推定する手段が有する前記の如き欠点に鑑み、
簡単な構成で直接的にかつ極めて正確に前記黒鉛
るつぼの内部の特に中央部の温度を測定し得る手
段を備えた真空誘導炉を提供することを目的とす
る。
の外表面の温度を計測して前記るつぼ内部の温度
を推定する手段が有する前記の如き欠点に鑑み、
簡単な構成で直接的にかつ極めて正確に前記黒鉛
るつぼの内部の特に中央部の温度を測定し得る手
段を備えた真空誘導炉を提供することを目的とす
る。
前記の目的を達成するために本考案では首記の
誘導炉において、前記黒鉛るつぼの上部ふたに設
けた穴を通して一端が閉鎖された黒鉛からなる中
空の円筒を前記閉鎖された端部が前記黒鉛るつぼ
の内部に位置する如くに挿入固定し、かつ前記密
閉容器のふたの前記中空円筒の上方の部分に前記
放射温度計により前記中空円筒の前記閉鎖された
端部の内面の温度を計測するための窓を形成する
ことにより、前記黒鉛るつぼの内部、特にその中
央部の温度を直接にかつ正確に計測するものであ
る。
誘導炉において、前記黒鉛るつぼの上部ふたに設
けた穴を通して一端が閉鎖された黒鉛からなる中
空の円筒を前記閉鎖された端部が前記黒鉛るつぼ
の内部に位置する如くに挿入固定し、かつ前記密
閉容器のふたの前記中空円筒の上方の部分に前記
放射温度計により前記中空円筒の前記閉鎖された
端部の内面の温度を計測するための窓を形成する
ことにより、前記黒鉛るつぼの内部、特にその中
央部の温度を直接にかつ正確に計測するものであ
る。
次に図面に表わされた実施例にもとづいて本考
案の詳細を説明する。
案の詳細を説明する。
第1図に示す本考案の真空誘導炉において、ほ
ぼ円筒形をなす黒鉛るつぼ1の周囲を断熱材2に
よつて包囲し、該断熱材2の外周に沿つて加熱用
コイル4を装着してなる炉本体を適宜の支持材8
を介して密閉容器5の内部に固定し、該密閉容器
5の内部を真空にするかあるいは場合によつては
不活性ガスの存在のもとに前記加熱用コイル4に
給電し、前記黒鉛るつぼ1の側壁の発熱により内
部の装入金属を加熱処理する如くにされているこ
とは従来の真空誘導炉の場合と同様である。
ぼ円筒形をなす黒鉛るつぼ1の周囲を断熱材2に
よつて包囲し、該断熱材2の外周に沿つて加熱用
コイル4を装着してなる炉本体を適宜の支持材8
を介して密閉容器5の内部に固定し、該密閉容器
5の内部を真空にするかあるいは場合によつては
不活性ガスの存在のもとに前記加熱用コイル4に
給電し、前記黒鉛るつぼ1の側壁の発熱により内
部の装入金属を加熱処理する如くにされているこ
とは従来の真空誘導炉の場合と同様である。
しかし本考案の真空誘導炉においては密閉容器
5の内部の前記黒鉛るつぼ1の上部ふた1aに適
宜の内径を有する穴9が形成され、該穴9の内径
にほぼ等しい外径を有しその一端3aが閉鎖され
た適宜長さの黒鉛の中空円筒即ち測温筒3を前記
上部ふた1aの上側に設けられる断熱材2aを通
して、前記閉鎖された端部3aが黒鉛るつぼ1の
内部に位置する如くに挿入し、前記測温筒3の開
口した端部に形成されたつば3bにより前記断熱
材2aに支持固定されている。更に前記密閉容器
5のふた5aの前記測温筒3の上方に該当する部
分に適宜の内径を有する測温用窓6が形成され、
かつ外部により放射温度計7により前記密閉容器
5の内部の温度を計測するのに好都合な透明体か
らなる密閉具6aで前記測温用窓6は密閉されて
いる。
5の内部の前記黒鉛るつぼ1の上部ふた1aに適
宜の内径を有する穴9が形成され、該穴9の内径
にほぼ等しい外径を有しその一端3aが閉鎖され
た適宜長さの黒鉛の中空円筒即ち測温筒3を前記
上部ふた1aの上側に設けられる断熱材2aを通
して、前記閉鎖された端部3aが黒鉛るつぼ1の
内部に位置する如くに挿入し、前記測温筒3の開
口した端部に形成されたつば3bにより前記断熱
材2aに支持固定されている。更に前記密閉容器
5のふた5aの前記測温筒3の上方に該当する部
分に適宜の内径を有する測温用窓6が形成され、
かつ外部により放射温度計7により前記密閉容器
5の内部の温度を計測するのに好都合な透明体か
らなる密閉具6aで前記測温用窓6は密閉されて
いる。
前記の如き真空誘導炉の密閉容器5内に固定さ
れた黒鉛るつぼ1の内部温度を測定するには、第
1図に示す如く前記測温用窓6を通して放射温度
計7により前記測温筒3の閉鎖された端部3aの
内面温度を計測すれば良い。この場合前記測温筒
3の前記端部3aは前記黒鉛るつぼ1の内部に位
置するから、当該るつぼ1の内容積に応じて前記
測温筒3の長さを適宜選定することにより、従来
の真空誘導炉の場合の如く、黒鉛るつぼ1の上部
ふた1aの表面あるいは当該るつぼ1の側壁1b
の表面の温度を計測して該るつぼ1の内部温度を
推定するのに比較してはるかに容易にかつ正確に
検知することが可能である。この場合特に前記測
温筒3を黒鉛るつぼ1の上部ふた1aのほぼ中央
部に位置し得る如くに固定し、密閉容器5のふた
5aの前記測温筒3の垂直上方の位置に測温用窓
を設けるならば実際的に前記黒鉛るつぼ1の内部
の中央部附近の温度を検知し得る利点がある。
れた黒鉛るつぼ1の内部温度を測定するには、第
1図に示す如く前記測温用窓6を通して放射温度
計7により前記測温筒3の閉鎖された端部3aの
内面温度を計測すれば良い。この場合前記測温筒
3の前記端部3aは前記黒鉛るつぼ1の内部に位
置するから、当該るつぼ1の内容積に応じて前記
測温筒3の長さを適宜選定することにより、従来
の真空誘導炉の場合の如く、黒鉛るつぼ1の上部
ふた1aの表面あるいは当該るつぼ1の側壁1b
の表面の温度を計測して該るつぼ1の内部温度を
推定するのに比較してはるかに容易にかつ正確に
検知することが可能である。この場合特に前記測
温筒3を黒鉛るつぼ1の上部ふた1aのほぼ中央
部に位置し得る如くに固定し、密閉容器5のふた
5aの前記測温筒3の垂直上方の位置に測温用窓
を設けるならば実際的に前記黒鉛るつぼ1の内部
の中央部附近の温度を検知し得る利点がある。
本考案は以上に説明した如く、密閉容器内に発
熱体として内蔵される黒鉛るつぼの内部温度を放
射温度計により測定する手段を備えた真空誘導炉
において、前記黒鉛るつぼの上部ふたに設けた穴
を通して一端が閉鎖された黒鉛からなる中空の円
筒を前記閉鎖された端部が前記黒鉛るつぼの内部
に位置する如くに挿入固定し、かつ前記密閉容器
のふたの前記中空円筒の上方の部分に前記放射温
度計により前記中空円筒の前記閉鎖された端部の
内面の温度を計測するための窓を形成することに
より、真空誘導炉の内部の黒鉛るつぼの内部温度
特にその中央部の温度を従来より容易にかつ正確
に検知し得る効果がある。
熱体として内蔵される黒鉛るつぼの内部温度を放
射温度計により測定する手段を備えた真空誘導炉
において、前記黒鉛るつぼの上部ふたに設けた穴
を通して一端が閉鎖された黒鉛からなる中空の円
筒を前記閉鎖された端部が前記黒鉛るつぼの内部
に位置する如くに挿入固定し、かつ前記密閉容器
のふたの前記中空円筒の上方の部分に前記放射温
度計により前記中空円筒の前記閉鎖された端部の
内面の温度を計測するための窓を形成することに
より、真空誘導炉の内部の黒鉛るつぼの内部温度
特にその中央部の温度を従来より容易にかつ正確
に検知し得る効果がある。
第1図は本考案に関わる真空誘導炉の構成の一
実施例を示す総断面概略図を、第2図は従来一般
の真空誘導炉の構成を例示する縦断面概略図を表
わす。 1……黒鉛るつぼ、1a……黒鉛るつぼの上部
ふた、1b……黒鉛るつぼの側壁、3……測温筒
(中空円筒)、3a……測温筒の閉鎖された端部、
4……加熱コイル、5……密閉容器、5a……密
閉容器ふた、6……窓、7……放射温度計。
実施例を示す総断面概略図を、第2図は従来一般
の真空誘導炉の構成を例示する縦断面概略図を表
わす。 1……黒鉛るつぼ、1a……黒鉛るつぼの上部
ふた、1b……黒鉛るつぼの側壁、3……測温筒
(中空円筒)、3a……測温筒の閉鎖された端部、
4……加熱コイル、5……密閉容器、5a……密
閉容器ふた、6……窓、7……放射温度計。
Claims (1)
- 密閉容器内に発熱体として内蔵される黒鉛るつ
ぼの内部温度を放射温度計により計測する手段を
備えた真空誘導炉において、前記黒鉛るつぼの上
部ふたに設けた穴を通して一端が閉鎖された黒鉛
からなる中空の円筒を前記閉鎖された端部が前記
黒鉛るつぼの内部に位置する如くに挿入固定し、
かつ前記密閉容器のふたの前記中空円筒の上方の
部分に前記放射温度計により前記中空円筒の前記
閉鎖された端部の内面の温度を計測するための窓
を形成してなることを特徴とする真空誘導炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19310184U JPH0224074Y2 (ja) | 1984-12-20 | 1984-12-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19310184U JPH0224074Y2 (ja) | 1984-12-20 | 1984-12-20 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61106896U JPS61106896U (ja) | 1986-07-07 |
| JPH0224074Y2 true JPH0224074Y2 (ja) | 1990-07-02 |
Family
ID=30750519
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19310184U Expired JPH0224074Y2 (ja) | 1984-12-20 | 1984-12-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0224074Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AT524250B1 (de) * | 2020-09-28 | 2022-07-15 | Ebner Ind Ofenbau | Vorrichtung zum Züchten von Einkristallen, insbesondere von Einkristallen aus Siliziumcarbid |
-
1984
- 1984-12-20 JP JP19310184U patent/JPH0224074Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61106896U (ja) | 1986-07-07 |
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