JPH02240979A - ガスレーザ装置 - Google Patents
ガスレーザ装置Info
- Publication number
- JPH02240979A JPH02240979A JP6163189A JP6163189A JPH02240979A JP H02240979 A JPH02240979 A JP H02240979A JP 6163189 A JP6163189 A JP 6163189A JP 6163189 A JP6163189 A JP 6163189A JP H02240979 A JPH02240979 A JP H02240979A
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- JP
- Japan
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- cathode
- anode
- laser
- discharge
- laser tube
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
この発明はガスレーザ媒質を放電エネルギで励起してレ
ーザ光を放出するガスレーザ装置に関する。 （従来の技術） 一般に、ＴＥＡＣＯ２レーザやエキシマレーザなどのガ
スレーザ装置はガスレーザ媒質が封入されたレーザ管内
に主電極を構成する陰極と陽極とが離間対向して配置さ
れ、これらの間に主放電を発生させることによって上記
レーザ媒質ガスを励起してレーザ光を放出するようにな
っている。 上記陰極と陽極との間に主放電を発生させるに先立ち、
陰極と陽極との間の空間、つまり放電空間をＹ−備電離
手段によって予ｆＩ電離し、レーザ発振を効率よく行な
えるようにしている。 このような従来のガスレーザ装置としては第４図と第５
図とに示す構造のものがあった。すなわち、図中１はレ
ーザ管で、このレーザ管１内にはＣＯ２、Ｎ ２ 、Ｈ
ｅなどのガスを混合したガスレーザ媒質が封入されてい
る。また、レーザ管１内には一対の保持板２が離間対向
して配置されている。各保持板２の対向する面にはそれ
ぞれ主電極を構成する陰極３と陽極４とが電気的に導通
した状態で保持固定されている。これら陰極３と陽極４
とは高圧電源５に接続されているとともに上記陽極４は
アースされている。 上記一対の保持板２のうち、陰極３が設けられた一方の
保持板２には波形整形のためのピーキングコンデンサ６
ａが接続された上部ビン電極６が上記陰極３の両側に、
しかも長手方向に沿って所定間隔で設けられ、他方の保
持板２には先端を上記上部ピン電極６に対向させて下部
ビン電極７が設けられている。 上記レーザ管１内にはガスレーザ媒質を第５図に矢印で
示す方向に循環させるファン８と、このファン８の上流
側に熱交換器９とが配設されている。さらに、レーザ管
１の軸方向一端側と他端側とにはそれぞれホルダ１１に
よって全反射ミラー１２と出力ミラー１３とが気密な状
態で保持されている。 このような構成のガスレーザ装置においては、高圧電源
５が作動して電気エネルギが供給されると、まず上部ピ
ン電極６と下部ビン電極７との対向する端面間で放電が
生じてＵＶ光（紫外光）が発生する。そのＵＶ光は陰極
３と陽極４との間の空間、つまり放電空間を予備電離す
る。放電空間め予備電離が進み、陰極３と陽極４との間
の電圧が大きくなると、これら電極３．４間で主放電が
発生してレーザ光が放出され、そのレーザ光は全反射ミ
ラー１１と出力ミラー１２との間で増幅されて上記出力
ミラー１２から発振されることになる。つまり、レーザ
光は放電方向と直交する方向である各電極３．４の長手
方向に沿って発振される。 ところで、このような構成のガスレーザ装置においては
、上部ビン電極６と下部ビン電極７との間で生じる放電
や陰極３と陽極４との間で生じる主放電によって放電空
間には衝撃波が発生することが避けられない。その衝撃
波は陰極３と陽極４とで反射してこれらの間を往復する
だけでなく、放電空間全体に伝播することになる。その
ため、その衝撃波の衝撃によって放電空間におけるガス
レーザ媒質の流れを不安定にするから、この放電空間か
ら発振されるレーザ光も不安定になることが避けられな
かった。しかも、ガスレーザ媒質の流れが不安定になる
と、レーザ発振の繰返し数を上げることができないとい
うことも生じる。 （発明が解決しようとする課題） このように、従来は放電によって生じる衝撃波の衝撃で
ガスレーザ媒質の流れが不安定になるので、レーザ光の
発振状態も不安定になるばかりか、レーザ発振の繰返し
数を上げることができないなどのことがあった。 この発明は上記事情にもとずきなされたもので、その目
的とするところは、放電によって生じる衝撃波の衝撃を
吸収できるようにしたがスレーザ装置を提供することに
ある。
ーザ光を放出するガスレーザ装置に関する。 （従来の技術） 一般に、ＴＥＡＣＯ２レーザやエキシマレーザなどのガ
スレーザ装置はガスレーザ媒質が封入されたレーザ管内
に主電極を構成する陰極と陽極とが離間対向して配置さ
れ、これらの間に主放電を発生させることによって上記
レーザ媒質ガスを励起してレーザ光を放出するようにな
っている。 上記陰極と陽極との間に主放電を発生させるに先立ち、
陰極と陽極との間の空間、つまり放電空間をＹ−備電離
手段によって予ｆＩ電離し、レーザ発振を効率よく行な
えるようにしている。 このような従来のガスレーザ装置としては第４図と第５
図とに示す構造のものがあった。すなわち、図中１はレ
ーザ管で、このレーザ管１内にはＣＯ２、Ｎ ２ 、Ｈ
ｅなどのガスを混合したガスレーザ媒質が封入されてい
る。また、レーザ管１内には一対の保持板２が離間対向
して配置されている。各保持板２の対向する面にはそれ
ぞれ主電極を構成する陰極３と陽極４とが電気的に導通
した状態で保持固定されている。これら陰極３と陽極４
とは高圧電源５に接続されているとともに上記陽極４は
アースされている。 上記一対の保持板２のうち、陰極３が設けられた一方の
保持板２には波形整形のためのピーキングコンデンサ６
ａが接続された上部ビン電極６が上記陰極３の両側に、
しかも長手方向に沿って所定間隔で設けられ、他方の保
持板２には先端を上記上部ピン電極６に対向させて下部
ビン電極７が設けられている。 上記レーザ管１内にはガスレーザ媒質を第５図に矢印で
示す方向に循環させるファン８と、このファン８の上流
側に熱交換器９とが配設されている。さらに、レーザ管
１の軸方向一端側と他端側とにはそれぞれホルダ１１に
よって全反射ミラー１２と出力ミラー１３とが気密な状
態で保持されている。 このような構成のガスレーザ装置においては、高圧電源
５が作動して電気エネルギが供給されると、まず上部ピ
ン電極６と下部ビン電極７との対向する端面間で放電が
生じてＵＶ光（紫外光）が発生する。そのＵＶ光は陰極
３と陽極４との間の空間、つまり放電空間を予備電離す
る。放電空間め予備電離が進み、陰極３と陽極４との間
の電圧が大きくなると、これら電極３．４間で主放電が
発生してレーザ光が放出され、そのレーザ光は全反射ミ
ラー１１と出力ミラー１２との間で増幅されて上記出力
ミラー１２から発振されることになる。つまり、レーザ
光は放電方向と直交する方向である各電極３．４の長手
方向に沿って発振される。 ところで、このような構成のガスレーザ装置においては
、上部ビン電極６と下部ビン電極７との間で生じる放電
や陰極３と陽極４との間で生じる主放電によって放電空
間には衝撃波が発生することが避けられない。その衝撃
波は陰極３と陽極４とで反射してこれらの間を往復する
だけでなく、放電空間全体に伝播することになる。その
ため、その衝撃波の衝撃によって放電空間におけるガス
レーザ媒質の流れを不安定にするから、この放電空間か
ら発振されるレーザ光も不安定になることが避けられな
かった。しかも、ガスレーザ媒質の流れが不安定になる
と、レーザ発振の繰返し数を上げることができないとい
うことも生じる。 （発明が解決しようとする課題） このように、従来は放電によって生じる衝撃波の衝撃で
ガスレーザ媒質の流れが不安定になるので、レーザ光の
発振状態も不安定になるばかりか、レーザ発振の繰返し
数を上げることができないなどのことがあった。 この発明は上記事情にもとずきなされたもので、その目
的とするところは、放電によって生じる衝撃波の衝撃を
吸収できるようにしたがスレーザ装置を提供することに
ある。
（課題を解決するための手段及び作用）上記課題を解決
するためにこの発明は、ガスレーザ媒質が封入されたレ
ーザ管と、このレーザ管内に離間対向して配設された陰
極および陽極からなる主電極と、上記陰極と陽極との間
に電圧を印加する高圧電源と、上記陰極と陽極との間に
生しる主放電に先立つて放電空間を予備電離する予！７
８離手段と、上記陰極と陽極との間に生じる主放電の方
向と直交する光軸方向一端側に配置された全反射ミラー
および他端側に配置された出力ミラーとを具備し、上記
全反射ミラーと出力ミラーとの少なくともどちらか一方
は、上記レーザ管に設けられた保持部に衝撃吸収部材を
介して保持する このような構成とすることで、放電によって発生し放電
空間の全体にわたって伝播する衝撃波が全反射ミラーあ
るいは出力ミラーに衝突すると、その衝撃を上記衝撃吸
収部材によって吸収するようにした。 （実施例） 以下、この発明の一実施例を第１図乃至第３図を参照し
て説明する。なお、第４図に示す従来構造と同一部分に
は同一記号を付して説明を省略する。 すなわち、この発明は、全反射ミラー１１がレーザ管１
の軸方向一端側に設けられた第１の保持部２１に保持さ
れ、出力ミラー１２はレーザ管１の他端面に設けられた
第２の保持部２２に保持されている。 上記第１の保持部２１は、第２図に示すようにレーザ管
１の一端面に穿設された第１の通孔２３と対応する位置
に取付けられたベース板２４と、このベース板２４の上
記レーザ管１の一端面と対向する一側面に形成された四
部２５と、この凹部２５に設けられたゴム材やコルクな
どの衝撃を吸収する材料で作られたシート状の衝撃吸収
部材２６とから構成されている。そして、この衝撃吸収
部材２６に上記全反射ミラー１１が接合固定されている
。 上記第２の保持部２２は、第３図に示すように第１の保
持部２１と同様レーザ管１の他端面に穿設された第２の
通孔２７と対応する部分に設けられたベース板２８と、
このベース板２８の上記レーザ管１の他端面と対向する
一側面に形成された凹部２９と、この凹部２９に設けら
れたゴム材やコルクなどの衝撃を吸収する材料で作られ
たシート状の衝撃吸収部材３１とから構成され、この衝
撃吸収部材３１に上記出力ミラー１２が接合固定されて
いる。 なお、上記ベース板２８と衝撃吸収部材３１とには、上
記第２の通孔２７と対応する部分にレーザ光が通過する
ための透孔２８ ａ ｓ ３１ ａが穿設されている。 このような構成のガスレーザ装置において、高圧電源５
を作動させると、上部ビン電極６と下部ビン電極７との
間で放電が生じてＵＶ光が発生し、そのＵＶ光が放電空
間に流れてこの放電空間が予ｆａ電離される。このよう
にして放電空間の予備電離が十分に進むと、陰極３と陽
極４との間で主放電が発生し、その放電方向と直交する
方向にレーザ光が出力されることになる。 放電空間を予備電離するための放電と、レーザ光を出力
させるための主放電とが発生すると、これらの放電によ
って衝撃波が生じ、その衝撃波は放電空間全体に伝播す
る。放電空間に伝播した衝撃波のうち、レーザ光の光・
軸方向であるレーザ管□１の軸方向に伝播した衝撃波は
それぞれ衝撃吸収部材２６．３１を介してベース板２４
．２８に取付けられた全反射ミラー１１と出力ミラー１
２とに衝突する。そのため、上記衝撃波の衝撃は上記衝
撃吸収部材２６．３１によって吸収されて低下するから
、衝撃波が放電空間のガスレーザ媒質に与える影響を短
時間で収めることができる。したがって、放電空間で繰
返して行われる放電が衝撃波の衝撃の影響を受けて不安
定になることが少なく、しかも放電の繰返し数を上げる
ことが可能となる。 なお、上記一実施例では全反射ミラーと出力ミラーとの
両方を衝撃吸収部材を介して取付けるようにしたが、こ
れらミラーのどちらか一方だけを衝撃吸収部材を介して
設けるようにしても、衝撃波の衝撃を吸収することがで
きる。また、衝撃吸収部材はゴム材やコルクの代わりに
コイルばねに置き変えてもよい。 〔発明の効果］ 以上述べたようにこの発明は、全反射ミラーと出力ミラ
ーの少なくとも一方を、レーザ管に形成された保持部に
衝撃吸収部材を介して設けるようにしたから、放電によ
って生じた衝撃波が上記ミラーに衝突すると、その衝撃
は上記衝撃吸収部材によって吸収される。したがって、
放電による衝撃波の影響で放電空間のガスレーザ媒質の
流れが乱れても、その乱れを短時間で収めることができ
るから、レーザ出力の安定化が計れるばかりが、レーザ
発振の繰返し数を上げることができる。
するためにこの発明は、ガスレーザ媒質が封入されたレ
ーザ管と、このレーザ管内に離間対向して配設された陰
極および陽極からなる主電極と、上記陰極と陽極との間
に電圧を印加する高圧電源と、上記陰極と陽極との間に
生しる主放電に先立つて放電空間を予備電離する予！７
８離手段と、上記陰極と陽極との間に生じる主放電の方
向と直交する光軸方向一端側に配置された全反射ミラー
および他端側に配置された出力ミラーとを具備し、上記
全反射ミラーと出力ミラーとの少なくともどちらか一方
は、上記レーザ管に設けられた保持部に衝撃吸収部材を
介して保持する このような構成とすることで、放電によって発生し放電
空間の全体にわたって伝播する衝撃波が全反射ミラーあ
るいは出力ミラーに衝突すると、その衝撃を上記衝撃吸
収部材によって吸収するようにした。 （実施例） 以下、この発明の一実施例を第１図乃至第３図を参照し
て説明する。なお、第４図に示す従来構造と同一部分に
は同一記号を付して説明を省略する。 すなわち、この発明は、全反射ミラー１１がレーザ管１
の軸方向一端側に設けられた第１の保持部２１に保持さ
れ、出力ミラー１２はレーザ管１の他端面に設けられた
第２の保持部２２に保持されている。 上記第１の保持部２１は、第２図に示すようにレーザ管
１の一端面に穿設された第１の通孔２３と対応する位置
に取付けられたベース板２４と、このベース板２４の上
記レーザ管１の一端面と対向する一側面に形成された四
部２５と、この凹部２５に設けられたゴム材やコルクな
どの衝撃を吸収する材料で作られたシート状の衝撃吸収
部材２６とから構成されている。そして、この衝撃吸収
部材２６に上記全反射ミラー１１が接合固定されている
。 上記第２の保持部２２は、第３図に示すように第１の保
持部２１と同様レーザ管１の他端面に穿設された第２の
通孔２７と対応する部分に設けられたベース板２８と、
このベース板２８の上記レーザ管１の他端面と対向する
一側面に形成された凹部２９と、この凹部２９に設けら
れたゴム材やコルクなどの衝撃を吸収する材料で作られ
たシート状の衝撃吸収部材３１とから構成され、この衝
撃吸収部材３１に上記出力ミラー１２が接合固定されて
いる。 なお、上記ベース板２８と衝撃吸収部材３１とには、上
記第２の通孔２７と対応する部分にレーザ光が通過する
ための透孔２８ ａ ｓ ３１ ａが穿設されている。 このような構成のガスレーザ装置において、高圧電源５
を作動させると、上部ビン電極６と下部ビン電極７との
間で放電が生じてＵＶ光が発生し、そのＵＶ光が放電空
間に流れてこの放電空間が予ｆａ電離される。このよう
にして放電空間の予備電離が十分に進むと、陰極３と陽
極４との間で主放電が発生し、その放電方向と直交する
方向にレーザ光が出力されることになる。 放電空間を予備電離するための放電と、レーザ光を出力
させるための主放電とが発生すると、これらの放電によ
って衝撃波が生じ、その衝撃波は放電空間全体に伝播す
る。放電空間に伝播した衝撃波のうち、レーザ光の光・
軸方向であるレーザ管□１の軸方向に伝播した衝撃波は
それぞれ衝撃吸収部材２６．３１を介してベース板２４
．２８に取付けられた全反射ミラー１１と出力ミラー１
２とに衝突する。そのため、上記衝撃波の衝撃は上記衝
撃吸収部材２６．３１によって吸収されて低下するから
、衝撃波が放電空間のガスレーザ媒質に与える影響を短
時間で収めることができる。したがって、放電空間で繰
返して行われる放電が衝撃波の衝撃の影響を受けて不安
定になることが少なく、しかも放電の繰返し数を上げる
ことが可能となる。 なお、上記一実施例では全反射ミラーと出力ミラーとの
両方を衝撃吸収部材を介して取付けるようにしたが、こ
れらミラーのどちらか一方だけを衝撃吸収部材を介して
設けるようにしても、衝撃波の衝撃を吸収することがで
きる。また、衝撃吸収部材はゴム材やコルクの代わりに
コイルばねに置き変えてもよい。 〔発明の効果］ 以上述べたようにこの発明は、全反射ミラーと出力ミラ
ーの少なくとも一方を、レーザ管に形成された保持部に
衝撃吸収部材を介して設けるようにしたから、放電によ
って生じた衝撃波が上記ミラーに衝突すると、その衝撃
は上記衝撃吸収部材によって吸収される。したがって、
放電による衝撃波の影響で放電空間のガスレーザ媒質の
流れが乱れても、その乱れを短時間で収めることができ
るから、レーザ出力の安定化が計れるばかりが、レーザ
発振の繰返し数を上げることができる。
第１図はこの発明の一実施例を示すレーザ管の光軸方向
に沿う断面図、第２図は同じく全反射ミラーの拡大断面
図、第３図は同じく出力ミラーの拡大断面図、第４図は
従来のガスレーザ装置の光軸方向に沿う断面図、第５図
は同じく光軸方向と直交する方向の断面図である。 １・・・レーザ管、３・・・陰極、４・・・陽極、５・
・・高圧電源、６・・・上部ビン電極、７・・・下部ピ
ン電極、１１・・・全反射ミラー １２・・・出力ミラ
ー ２１・・・第１の保持部、２２・・・第２の保持部
、４２４．２８・・・ベース板、２６．３１・・・衝撃
吸収部材。
に沿う断面図、第２図は同じく全反射ミラーの拡大断面
図、第３図は同じく出力ミラーの拡大断面図、第４図は
従来のガスレーザ装置の光軸方向に沿う断面図、第５図
は同じく光軸方向と直交する方向の断面図である。 １・・・レーザ管、３・・・陰極、４・・・陽極、５・
・・高圧電源、６・・・上部ビン電極、７・・・下部ピ
ン電極、１１・・・全反射ミラー １２・・・出力ミラ
ー ２１・・・第１の保持部、２２・・・第２の保持部
、４２４．２８・・・ベース板、２６．３１・・・衝撃
吸収部材。
Claims (1)
- ガスレーザ媒質が封入されたレーザ管と、このレーザ
管内に離間対向して配設された陰極および陽極からなる
主電極と、上記陰極と陽極との間に電圧を印加する高圧
電源と、上記陰極と陽極との間に生じる主放電に先立っ
て放電空間を予備電離する予備電離手段と、上記陰極と
陽極との間に生じる主放電の方向と直交する光軸方向一
端側に配置された全反射ミラーおよび他端側に配置され
た出力ミラーとを具備し、上記全反射ミラーと出力ミラ
ーとの少なくともどちらか一方は、上記レーザ管に設け
られた保持部に衝撃吸収部材を介して保持されているこ
とを特徴とするガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6163189A JPH02240979A (ja) | 1989-03-14 | 1989-03-14 | ガスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6163189A JPH02240979A (ja) | 1989-03-14 | 1989-03-14 | ガスレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02240979A true JPH02240979A (ja) | 1990-09-25 |
Family
ID=13176733
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6163189A Pending JPH02240979A (ja) | 1989-03-14 | 1989-03-14 | ガスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02240979A (ja) |
-
1989
- 1989-03-14 JP JP6163189A patent/JPH02240979A/ja active Pending
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