JPH02241072A - ガスレーザ装置 - Google Patents
ガスレーザ装置Info
- Publication number
- JPH02241072A JPH02241072A JP6332889A JP6332889A JPH02241072A JP H02241072 A JPH02241072 A JP H02241072A JP 6332889 A JP6332889 A JP 6332889A JP 6332889 A JP6332889 A JP 6332889A JP H02241072 A JPH02241072 A JP H02241072A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- anode
- cathode
- discharge
- gas laser
- shock
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
この発明はガスレーザ媒質を放電エネルギで励起してレ
ーザ光を放出するガスレーザ装置に関する。
ーザ光を放出するガスレーザ装置に関する。
（従来の技術）
一般に、Ｔ Ｅ Ａ ＣＯ２レーザやエキシマレーザな
どのガスレーザ装置はガスレーザ媒質が収容されたレー
ザ管内に主電極を構成する陰極と陽極とが離間対向して
配置され、これらの間に主放電を発生させることによっ
て上記ガスレーザ媒質を励起してレーザ光を放出するよ
うになっている。
どのガスレーザ装置はガスレーザ媒質が収容されたレー
ザ管内に主電極を構成する陰極と陽極とが離間対向して
配置され、これらの間に主放電を発生させることによっ
て上記ガスレーザ媒質を励起してレーザ光を放出するよ
うになっている。
上記陰極と陽極との間に主放電を発生させるに先立ち、
陰極と陽極との間の空間、つまり放電空間を予備電離手
段によって予備電離し、レーザ発振が効率よ（行なえる
ようにしている。
陰極と陽極との間の空間、つまり放電空間を予備電離手
段によって予備電離し、レーザ発振が効率よ（行なえる
ようにしている。
このような従来のガスレーザ装置としては第６図に示す
構造のものがあった。すなわち、図中１はレーザ管で、
このレーザ管１内にはＣＯ２、Ｎ２、Ｈｅなどのガスを
混合したガスレーザ媒質が収容されている。また、レー
ザ管１内には一対の保持板２が離間対向して配設されて
いる。各保持板２の対向する面にはそれぞれ主電極を構
成する陰極３と陽極４とが電気的に導通した状態で保持
固定されている。これら陰極３と陽極４とは高圧電源５
に接続されているとともに上記陽極４はアースされてい
る。
構造のものがあった。すなわち、図中１はレーザ管で、
このレーザ管１内にはＣＯ２、Ｎ２、Ｈｅなどのガスを
混合したガスレーザ媒質が収容されている。また、レー
ザ管１内には一対の保持板２が離間対向して配設されて
いる。各保持板２の対向する面にはそれぞれ主電極を構
成する陰極３と陽極４とが電気的に導通した状態で保持
固定されている。これら陰極３と陽極４とは高圧電源５
に接続されているとともに上記陽極４はアースされてい
る。
上記一対の保持板２のうち、陰極３が設けられた一方の
保持板２には波形整形のためのピーキングコンデンサ６
ａを介して上部ピン電極６が陰極３の両側に、しかも長
手方向に沿って所定間隔で設けられ、他方の保持板２に
は先端を上記上部ピン電極６に対向させて下部ピン電極
７が設けられている。
保持板２には波形整形のためのピーキングコンデンサ６
ａを介して上部ピン電極６が陰極３の両側に、しかも長
手方向に沿って所定間隔で設けられ、他方の保持板２に
は先端を上記上部ピン電極６に対向させて下部ピン電極
７が設けられている。
また、上記レーザ管１内にはガスレーザ媒質を矢示方向
に循環させるファン８と、このファン８の上流側に熱交
換器９とが配設されている。
に循環させるファン８と、このファン８の上流側に熱交
換器９とが配設されている。
このような構成のガスレーザ装置においては、高圧電源
５が作動して電気エネルギが供給されると、まず上部ピ
ン電極６と下部ピン電極７との対向する端面間で放電が
生じてＵＶ光（紫外光）が発生する。そのＵＶ光は陰極
３と陽極４との間の空間、つまり放電空間を予備電離す
る。放電空間の予備電離が進み、陰極３と陽極４との間
の電圧が大きくなると、これら電極３．４間で主放電が
発生し、レーザ光が放電方向と直交する方向である各電
極３．４の長手方向に沿って発振されることになる。
５が作動して電気エネルギが供給されると、まず上部ピ
ン電極６と下部ピン電極７との対向する端面間で放電が
生じてＵＶ光（紫外光）が発生する。そのＵＶ光は陰極
３と陽極４との間の空間、つまり放電空間を予備電離す
る。放電空間の予備電離が進み、陰極３と陽極４との間
の電圧が大きくなると、これら電極３．４間で主放電が
発生し、レーザ光が放電方向と直交する方向である各電
極３．４の長手方向に沿って発振されることになる。
しかしながら、このような構成のガスレーザ装置におい
ては、陰極３と陽極４との間で主放電が生じると、その
主放電によって放電空間には衝撃波が発生する。その衝
撃波は周囲に広がってゆくだけでなく、陰極３と陽極４
とで反射し、これらの間を何回も往復する。そのため、
その衝撃波の衝撃によって放電空間のガスレーザ媒質の
流れを不安定にするから、この放電空間から発振される
レーザ光も不安定になる。とくに、レーザ発振の繰返し
数を上げると、その傾向が顕著になるため、繰返し数を
上げることが難しくなる。
ては、陰極３と陽極４との間で主放電が生じると、その
主放電によって放電空間には衝撃波が発生する。その衝
撃波は周囲に広がってゆくだけでなく、陰極３と陽極４
とで反射し、これらの間を何回も往復する。そのため、
その衝撃波の衝撃によって放電空間のガスレーザ媒質の
流れを不安定にするから、この放電空間から発振される
レーザ光も不安定になる。とくに、レーザ発振の繰返し
数を上げると、その傾向が顕著になるため、繰返し数を
上げることが難しくなる。
また、放電空間に発生する衝撃波は、陰極３と陽極４と
の間に生じる主放電だけでなく、放電空間を予備電離す
る上部ピン電極６と下部ピン電極７との間に生じる放電
によっても発生し、その衝撃波の衝撃によってもレーザ
発振が不安定になるということがある。
の間に生じる主放電だけでなく、放電空間を予備電離す
る上部ピン電極６と下部ピン電極７との間に生じる放電
によっても発生し、その衝撃波の衝撃によってもレーザ
発振が不安定になるということがある。
（発明が解決しようとする課題）
このように、従来は陰極と陽極との間の放電や放電空間
を予備電離するビシ電極間の放電によって衝撃波が発生
し、その衝撃波の衝撃によってガスレーザ媒質の流れが
不安定になり、安定した状態でレーザ光が発振されなく
なるということがあった。
を予備電離するビシ電極間の放電によって衝撃波が発生
し、その衝撃波の衝撃によってガスレーザ媒質の流れが
不安定になり、安定した状態でレーザ光が発振されなく
なるということがあった。
この発明は上記事情にもとずきなされたもので、その第
１の目的は、陰極と陽極との間の放電によって生じる衝
撃波の衝撃を吸収することができるようにしたガスレー
ザ装置を提供することにある。
１の目的は、陰極と陽極との間の放電によって生じる衝
撃波の衝撃を吸収することができるようにしたガスレー
ザ装置を提供することにある。
また、この発明の第２の目的は、放電空間を予備電離す
るためのピン電極間の放電によって生じる衝撃波の衝撃
を吸収できるようにしたガスレーザ装置を提供すること
にある。
るためのピン電極間の放電によって生じる衝撃波の衝撃
を吸収できるようにしたガスレーザ装置を提供すること
にある。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段及び作用）上記課題を解決
するために請求項１に記載されたこの発明は、ガスレー
ザ媒質が封入されたレーザ管と、このレーザ管内に離間
対向して配置された陰極および陽極とからなる主電極と
、上記陰極と陽極との間に電圧を印加する高圧電源と、
上記陰極と陽極との間に生じる主放電に先立って放電空
間を予備電離する予備電離手段とを具備し、上記陰極あ
るいは陽極の少なくとも一方は、金属板を中空状に形成
した外装体と、この外装体内に充填された衝撃を吸収す
るコア材とから構成する。
するために請求項１に記載されたこの発明は、ガスレー
ザ媒質が封入されたレーザ管と、このレーザ管内に離間
対向して配置された陰極および陽極とからなる主電極と
、上記陰極と陽極との間に電圧を印加する高圧電源と、
上記陰極と陽極との間に生じる主放電に先立って放電空
間を予備電離する予備電離手段とを具備し、上記陰極あ
るいは陽極の少なくとも一方は、金属板を中空状に形成
した外装体と、この外装体内に充填された衝撃を吸収す
るコア材とから構成する。
それによって、主放電によって生じる衝撃波の衝撃を上
記コア材で吸収するようにした。
記コア材で吸収するようにした。
また、請求項２に記載されたこの発明は、ガスレーザ媒
質が収容されたレーザ管と、このレーザ管内に離間対向
して配置された陰極および陽極とからなる主電極と、上
記陰極と陽極との間に電圧を印加する高圧電源と、上記
陰極と陽極との間に生じる主放電に先立って放電空間を
予備電離する予備電離手段とを具備し、上記予備電離手
段は、先端を離間対向させて配設された複数組のピン電
極からなり、対向する一対のピン電極の少なくとも一方
は伸縮自在または衝撃を吸収する構造とする。
質が収容されたレーザ管と、このレーザ管内に離間対向
して配置された陰極および陽極とからなる主電極と、上
記陰極と陽極との間に電圧を印加する高圧電源と、上記
陰極と陽極との間に生じる主放電に先立って放電空間を
予備電離する予備電離手段とを具備し、上記予備電離手
段は、先端を離間対向させて配設された複数組のピン電
極からなり、対向する一対のピン電極の少なくとも一方
は伸縮自在または衝撃を吸収する構造とする。
それによって、一対のピン電極間で発生する放電による
衝撃波の衝撃を、上記ピン電極によって吸収するように
した。
衝撃波の衝撃を、上記ピン電極によって吸収するように
した。
（実施例）
以下、この発明の一実施例を第１図乃至第３因を参照し
て説明する。なお、第６図に示す構成と同一部分には同
一記号を付して説明を省略する。
て説明する。なお、第６図に示す構成と同一部分には同
一記号を付して説明を省略する。
すなわち、この発明においては、陽極２１は、薄い金属
板によって保持板２ａと接合する下面側が開放した断面
蒲鉾状の中空に形成された外装体２２と、この外装体２
２内に充填されたコア材２３とから構成されている。上
記保持板２ａとコア材２３は、ともにコルク、ゴム材、
鉛などのような衝撃波の衝撃を吸収することができる材
料で作られている。
板によって保持板２ａと接合する下面側が開放した断面
蒲鉾状の中空に形成された外装体２２と、この外装体２
２内に充填されたコア材２３とから構成されている。上
記保持板２ａとコア材２３は、ともにコルク、ゴム材、
鉛などのような衝撃波の衝撃を吸収することができる材
料で作られている。
そして、上記陽極２１は、その外装体２２の幅方向両側
に設けられたフランジ２２ａを上記保持板２ａにボルト
２４によって固定されて設けられている。
に設けられたフランジ２２ａを上記保持板２ａにボルト
２４によって固定されて設けられている。
また、予備電離手段を構成する一対のピン電極のうち、
下部ピン電極７ａは上記保持板２ａやコア材２３と同様
衝撃波の衝撃を吸収する材料で作られている。下部ピン
電極７ａを形成する材料がコルクやゴム材などのように
非導電性である場合には、そのピン電極７ａの上端面に
は第３図に示すように銅などの導電性の金属板２４が取
着され、この金属板２４にはコイル状の導ｍ線２６の一
端が接続されている。この導電線２６の他端は高圧電源
５に接続されている。また、上記陽極２１の外装体２２
を保持板２ａに固定して上記外装体２２と電気的に導通
したボルト２４も上記導電線２６と同様に高圧電源５に
接続されている。
下部ピン電極７ａは上記保持板２ａやコア材２３と同様
衝撃波の衝撃を吸収する材料で作られている。下部ピン
電極７ａを形成する材料がコルクやゴム材などのように
非導電性である場合には、そのピン電極７ａの上端面に
は第３図に示すように銅などの導電性の金属板２４が取
着され、この金属板２４にはコイル状の導ｍ線２６の一
端が接続されている。この導電線２６の他端は高圧電源
５に接続されている。また、上記陽極２１の外装体２２
を保持板２ａに固定して上記外装体２２と電気的に導通
したボルト２４も上記導電線２６と同様に高圧電源５に
接続されている。
このような構成のガスレーザ装置において、高圧電源５
を作動させると、上部ピン電極６′と下部ピン電極７ａ
との間で放電が生じてＵＶ光が発生し、そのＵＶ光が放
電空間に流れてこの放電空間が予備電離される。このよ
うにして放電空間の予備電離が十分に進むと、陰極３と
陽極２１との間で主放電が発生し、その放電方向と直交
する方向にレーザ光が出力されることになる。
を作動させると、上部ピン電極６′と下部ピン電極７ａ
との間で放電が生じてＵＶ光が発生し、そのＵＶ光が放
電空間に流れてこの放電空間が予備電離される。このよ
うにして放電空間の予備電離が十分に進むと、陰極３と
陽極２１との間で主放電が発生し、その放電方向と直交
する方向にレーザ光が出力されることになる。
放電空間を予備電離するに際し、上部ピン電極６と下部
ピン電極７ａとの間で放電が生じると、その放電によっ
て衝撃波が各ピン電極６．７ａの軸方向に生じる。ピン
電極６．７ａ間の放電によって生じる衝撃波の衝撃は、
下部ピン電極７ａが衝撃を吸収する材料で作られている
から、その下部ピン電極７ａによって吸収される。しか
も、下部ピン電極７ａが立設された保持板２ａも衝撃を
吸収する材料で作られているから、下部ピン電極７ａか
ら上記保持板２ａに伝わる衝撃も吸収されることになる
。したがって、放電空間を予備電離することによって生
じる衝撃波の衝撃でレーザ媒質ガスの流れに乱れが生じ
るのが防止される。
ピン電極７ａとの間で放電が生じると、その放電によっ
て衝撃波が各ピン電極６．７ａの軸方向に生じる。ピン
電極６．７ａ間の放電によって生じる衝撃波の衝撃は、
下部ピン電極７ａが衝撃を吸収する材料で作られている
から、その下部ピン電極７ａによって吸収される。しか
も、下部ピン電極７ａが立設された保持板２ａも衝撃を
吸収する材料で作られているから、下部ピン電極７ａか
ら上記保持板２ａに伝わる衝撃も吸収されることになる
。したがって、放電空間を予備電離することによって生
じる衝撃波の衝撃でレーザ媒質ガスの流れに乱れが生じ
るのが防止される。
また、予備電離に続いて陰極３と陽極２１との間に主放
電が生じ、その主放電によってこれらの間に衝撃波が生
じるとその衝撃波の衝撃波は、上記陽極２１の外装体２
２内に充填されたコア材２３によって吸収され、しかも
外装体２２から保持板２ａに伝わる衝撃波は、その保持
板２ａによって吸収されることになる。したがって、陰
極３と陽極２１との間に生じる主放電による衝撃も良好
に吸収されることになるから、主放電によってレーザ媒
質ガスの流れに乱れが生じることも防止される。
電が生じ、その主放電によってこれらの間に衝撃波が生
じるとその衝撃波の衝撃波は、上記陽極２１の外装体２
２内に充填されたコア材２３によって吸収され、しかも
外装体２２から保持板２ａに伝わる衝撃波は、その保持
板２ａによって吸収されることになる。したがって、陰
極３と陽極２１との間に生じる主放電による衝撃も良好
に吸収されることになるから、主放電によってレーザ媒
質ガスの流れに乱れが生じることも防止される。
このように、予備電離や主放電によって生じる衝撃波の
衝撃で放電空間を流れるレーザ媒質ガスの流れに乱れが
生じるのが防止されれば、レーザ光を高繰返しで出力さ
せることができる。
衝撃で放電空間を流れるレーザ媒質ガスの流れに乱れが
生じるのが防止されれば、レーザ光を高繰返しで出力さ
せることができる。
なお、衝撃を吸収するピン電極の構造としては、第４図
あるいは第５図に示すようにしてもよい。
あるいは第５図に示すようにしてもよい。
すなわち、第４図は下部ピン電極７ａが電気的絶縁性の
衝撃を吸収する材料で作られている場合に、上記一実施
例に示された導電線２６に代わり、上記ピン電極７ａの
外周面を金属メツシュ３１で被覆し、この金属メツシュ
３１の上端に金属板２４を固着し、他端を高圧電源５に
接続するようにした。このような構造とすれば、コイル
状の導電線２６を用いた場合に比べてインダクタンスを
小さくすることができる。
衝撃を吸収する材料で作られている場合に、上記一実施
例に示された導電線２６に代わり、上記ピン電極７ａの
外周面を金属メツシュ３１で被覆し、この金属メツシュ
３１の上端に金属板２４を固着し、他端を高圧電源５に
接続するようにした。このような構造とすれば、コイル
状の導電線２６を用いた場合に比べてインダクタンスを
小さくすることができる。
また、第５図に示す構造は下部ピン電極７ａを金属製の
ベローズ３２で作るようにしたもので、このような構造
によれば、衝撃波の衝撃によって上記ベローズ３２が軸
方向に弾性的に伸縮変形し、その衝撃を吸収することが
できる。
ベローズ３２で作るようにしたもので、このような構造
によれば、衝撃波の衝撃によって上記ベローズ３２が軸
方向に弾性的に伸縮変形し、その衝撃を吸収することが
できる。
また、上記各実施例では陽極２１と下部ピン電極７ａと
を衝撃を吸収する構造としたが、陰極３と上部ピン電極
６も衝撃を吸収する構造としてもよく、要は少なくとも
一方が衝撃を吸収する構造であればよい。
を衝撃を吸収する構造としたが、陰極３と上部ピン電極
６も衝撃を吸収する構造としてもよく、要は少なくとも
一方が衝撃を吸収する構造であればよい。
［発明の効果］
以上述べたように請求項１に記載されたこの発明は、陰
極あるいは陽極の少なくとも〒方を中空の金属板からな
る外装体と、この外装体の中空部内に充填されたコア材
とから構成した。したがって、主放電によって放電空間
に生じる衝撃波の衝撃を上記コア材によって吸収しガス
レーザ媒質の流れが乱れるのを防止することができるか
ら、レーザ光を高繰返しで出力させることができる。
極あるいは陽極の少なくとも〒方を中空の金属板からな
る外装体と、この外装体の中空部内に充填されたコア材
とから構成した。したがって、主放電によって放電空間
に生じる衝撃波の衝撃を上記コア材によって吸収しガス
レーザ媒質の流れが乱れるのを防止することができるか
ら、レーザ光を高繰返しで出力させることができる。
また、請求項２に記載されたこの発明によれば、予ｆＮ
Ｔｉ離手段として用いられている対向する一対のピン電
極のうちの少なくとも一方を伸縮自在または衝撃を吸収
する構造とした。したがって、放電空間を予備電離する
際に生じる衝撃波の衝撃を吸収してガスレーザ媒質の流
れに乱れが生じるのを防止し、レーザ光を安定した状態
で出力することができる。
Ｔｉ離手段として用いられている対向する一対のピン電
極のうちの少なくとも一方を伸縮自在または衝撃を吸収
する構造とした。したがって、放電空間を予備電離する
際に生じる衝撃波の衝撃を吸収してガスレーザ媒質の流
れに乱れが生じるのを防止し、レーザ光を安定した状態
で出力することができる。
第１図はこの発明の一実施例を示すガスレーザ装置の断
面図、第２図は同じく陰極と陽極との拡大断面図、第３
図は同じくピン電極の斜視図、第４図と第５図はそれぞ
れこの発明の他の実施例を示すピン電極の断面図、第６
図は従来のガスレーザ装置の断面図である。 １・・・レーザ管、３・・・陰極、５・・・高圧電源、
６・・・上部ピン電極、７ａ・・・下部ピン電極、２１
・・・陽極、２２・・・外装体、２３・・・コア材、３
２・・・ベローズ。 第４図 第５図
面図、第２図は同じく陰極と陽極との拡大断面図、第３
図は同じくピン電極の斜視図、第４図と第５図はそれぞ
れこの発明の他の実施例を示すピン電極の断面図、第６
図は従来のガスレーザ装置の断面図である。 １・・・レーザ管、３・・・陰極、５・・・高圧電源、
６・・・上部ピン電極、７ａ・・・下部ピン電極、２１
・・・陽極、２２・・・外装体、２３・・・コア材、３
２・・・ベローズ。 第４図 第５図
Claims (2)
- （１）ガスレーザ媒質が封入されたレーザ管と、このレ
ーザ管内に離間対向して配置された陰極および陽極とか
らなる主電極と、上記陰極と陽極との間に電圧を印加す
る高圧電源と、上記陰極と陽極との間に生じる主放電に
先立って放電空間を予備電離する予備電離手段とを具備
し、上記陰極あるいは陽極の少なくとも一方は、金属板
を中空状に形成した外装体と、この外装体内に充填され
た衝撃を吸収するコア材とから構成されていることを特
徴とするガスレーザ装置。 - （２）ガスレーザ媒質が収容されたレーザ管と、このレ
ーザ管内に離間対向して配置された陰極および陽極とか
らなる主電極と、上記陰極と陽極との間に電圧を印加す
る高圧電源と、上記陰極と陽極との間に生じる主放電に
先立って放電空間を予備電離する予備電離手段とを具備
し、上記予備電離手段は、先端を離間対向させて配設さ
れた複数組のピン電極からなり、対向する一対のピン電
極の少なくとも一方は伸縮自在または衝撃を吸収する構
造となっていることを特徴とするガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6332889A JPH02241072A (ja) | 1989-03-15 | 1989-03-15 | ガスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6332889A JPH02241072A (ja) | 1989-03-15 | 1989-03-15 | ガスレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02241072A true JPH02241072A (ja) | 1990-09-25 |
Family
ID=13226076
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6332889A Pending JPH02241072A (ja) | 1989-03-15 | 1989-03-15 | ガスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02241072A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003060270A (ja) * | 2001-08-10 | 2003-02-28 | Gigaphoton Inc | パルス発振ガスレーザ装置 |
| CN105762619A (zh) * | 2016-05-12 | 2016-07-13 | 清华大学深圳研究生院 | 一种激光器电极与外壳体装配结构和辅助装配装置 |
-
1989
- 1989-03-15 JP JP6332889A patent/JPH02241072A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003060270A (ja) * | 2001-08-10 | 2003-02-28 | Gigaphoton Inc | パルス発振ガスレーザ装置 |
| CN105762619A (zh) * | 2016-05-12 | 2016-07-13 | 清华大学深圳研究生院 | 一种激光器电极与外壳体装配结构和辅助装配装置 |
| CN105762619B (zh) * | 2016-05-12 | 2018-06-15 | 清华大学深圳研究生院 | 一种激光器电极与外壳体装配结构和辅助装配装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2564423B2 (ja) | レーザ装置 | |
| US4686682A (en) | Discharge excitation type short pulse laser device | |
| US4718072A (en) | Corona discharge preionizer for gas laser | |
| US4556981A (en) | Laser of the TE type, especially a high-energy laser | |
| JPH08772Y2 (ja) | 再結合レーザ | |
| EP0637106B1 (en) | Discharge excitation type laser device | |
| JP2911987B2 (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JPH0467797B2 (ja) | ||
| JPS62243379A (ja) | 気体パルス・レ−ザ装置 | |
| JPH02240979A (ja) | ガスレーザ装置 | |
| JPH04105378A (ja) | 放電励起エキシマレーザ装置 | |
| Sabotinov et al. | Copper laser with record specific average output power | |
| JPH0528514B2 (ja) | ||
| JPH01194374A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JPH07183603A (ja) | パルスガスレーザ装置 | |
| JPS63227074A (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| JPH03248583A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| Rácz et al. | Direct generation of sub-nanosecond pulses in a high-pressure miniature excimer laser | |
| JPH0774412A (ja) | コンデンサ及びパルスレーザ装置 | |
| JPS63228682A (ja) | ガスレ−ザ発振装置 | |
| JPH03127883A (ja) | ガスレーザ装置 | |
| JPH02240981A (ja) | ガスレーザ装置 | |
| JPH0381314B2 (ja) | ||
| JP2581377B2 (ja) | エキシマレーザ装置 | |
| JP2753088B2 (ja) | パルスガスレーザ発振装置 |