JPH02242131A - 漏れ検査方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明は、中空の気密製品の漏れを検査する漏れ検査方
法及びその装置に関するものである。

「従来の技術及びその問題点」 従来、ヘリウムガス、ハロゲンガス等を用いて、自動車
のラジェータ、エバポレータ、オイルクーラ、或いは冷
凍機のコンプレッサ等の中空の気密製品の漏れを検査す
る漏れ検査方法及びその装置については、種々の提案が
なされている。

前記ヘリウムガス等を用いた漏れ方法の概略は、漏れ検
査対象物である気密製品を検査室にセットし、気密製品
内空を吸引排気するとともに検査室内を真空ポンプによ
り吸引して真空にした後、漏れ検査用のガスを気密製品
内空に注入し、検査室内に漏れ出るガスをガス検知装置
に導いて漏れ検査を実施するものである。そのガス検知
装置では、分析管に採り入れたガスを、フィラメントに
よりイオン化して分析することにより検知する。

しかしながら、前記ヘリウムガス等を用いた漏れ検査方
法及び装置において、漏れ判定基準が異なる漏れ検査、
例えば最初に微少漏れ検査を実施し、続いて漏れ判定基
準を緩めた大きな漏れ量の漏れ検査を、同一装置により
連続して実施することができる漏れ検査方法及びその装
置は提案されていない。

それは、同−漏れ検査装置により漏れ判定基準が異なる
漏れ検査を連続して行うと、大きな漏れ量の検査の際に
は分析管に探り入れられるガス呈が多量となり、次の検
査までに排気除去されないで分析管中に残留し、ガス検
知のためのパックグランドを上昇させ、次の検査ではそ
の残留したガスが検知されて誤判定を生ずる虞れがあり
、適確な漏れ検査を実施することができないからである
。

このため、水冷式オイルクーラ等のように２室に区画さ
れ、一方の室に対しては漏れ判定基準を厳しくした微少
漏れ検査が要求され、他方の室に対しては漏れ判定基準
を緩やかにした大きな漏れ量の漏れ検査が要求される場
合には、微少漏れ検査をヘリウムガス等を用いる漏れ検
査装置により実施し、大きな漏れ量の漏れ検査は水槽中
で気泡を１ｍするいわゆる水槽を実施している。水槽を
行うと、気密製品の内空を乾燥する乾燥工程が必要とな
り、工数増加となって生産性が低下する。

また、異なる漏れ判定基準毎にヘリウムガス等を用いる
漏れ検査装置を用意することは、多額の設備費を要する
他に、漏れ検査装置へ気密製品をセットしたり取り出し
たりする工数も倍以上必要である等の問題点がある６ 「発明が解決しようとする課題」 本発明は、前記問題点を解決するためになされたもので
、ヘリウムガス等を用いた気密製品の漏れ検査方法にお
いて、漏れ判定基準が異なる漏れ検査を、ガス検知装置
に導くガス流量を一定とすることにより、同一装置によ
り連続して行うことができる漏れ検査方法及びその装置
を提供することを目的とするものである。

「課題を解決するための手段」 前記目的を達成するための具体的手段である方法は、漏
れ検査対象物である気密製品を検査室にセットし、気密
製品内空を吸引排気するとともに検査室内を真空ポンプ
により吸引して真空にした後、漏れ検査用のガスを気密
製品内空に注入し、検査室内に漏れ出るガスをガス検知
装置に導いて漏れ検査を実施する漏れ検査方法において
、検査室に漏れ出たガスをガス検知装置に導く経路中で
該ガスの流量を調整し、ほぼ一定の流量のガスを前記ガ
ス検知装置に導くようにして、漏れ判定基準の異なる漏
れ検査を連続して実施できるようにしたことを特徴とす
るものであり、 前記方法を有効に実施できる具体的手段である装置は、
漏れ検査対象物である気密製品をセットする検査室と、
該検査室にセットされた気密製品内空を吸引排気する排
気装置と、気密製品内空に漏れ検査用のガスを注入する
ガス注入装置と、前記検査室内を吸引して真空にする真
空ポンプと、ガス検知用配管により真空の検査室に漏れ
出るガスを導いて、検知するガス検知装置とから構成さ
れる漏れ検査装置において、検査室とガス検知装置との
間を連結する前記ガス検知用配管に、異なる漏れ判定基
準に応じて口径を変更できる口径可変オリフィスを介装
したことを特徴とするものである。

１作用」 前記具体的手段である方法によれば、ガス検知装置に導
く経路中でガス流量が調整され、ガス漏れ量の多少にか
かわらずほぼ一定のガス流量を、ガス検知装置に導くこ
とができ、漏れ判定基準の異なる漏れ検査を連続して行
うことができる。

さらに、前記具体的手段である装置によれば、検査室と
ガス検知装置とを連結するガス検知用配管に、口径可変
オリフィスを介装して、異なる漏れ判定基準に応じて口
径を変更することにより、ガス検知装置に導くガス流量
をほぼ一定とすることができる。

「実施例」 本発明の漏れ検査方法及びその装置の実施例について説
明する。

第１図は、本発明方法を実施する漏れ検査装置の基本回
路図である。

漏れ検査対象物である気密製品１は、漏れ判定基準の厳
しい微少漏れ検査が実施される第１室１ａと、漏れ判定
基準の緩やかな漏れ検査が実施される第２室１ｂとを有
する。このように第１室１ａ、第２室ｌｂを有する気密
製品１としては、例えば自動車用の水冷式オイルクーラ
があり、第１室１ａがオイルタンク、第２室ｌｂが水冷
タンクに相当する。

気密製品ｌは、検査室２にセットされる。その検査室２
には、セットした気密製品ｌの第１室１ａ及び第２室ｌ
ｂの内空から排気するための、排気装置３に接続した排
気系配管３ａ、３ｂと、検査用のヘリウムガスを注入す
るガス注入装置４に接続した注入系配管４ａ、４ｂとを
接続するとともに、前記各配管３ａ、３ｂ及び４ａ、４
ｂ中に排気バルブ５ａ、５ｂ及びガス注入バルブ６ａ。

６ｂを介装し、共通配管７ａ、７ｂにより検査室２に接
続する。該共通配管７ａ、７ｂと気密製品１の第１室１
ａと第２室１ｂとは、排気及びヘリウムガス注入用の連
結ホース７ａ″、７ｂ゛により連結する。

さらに、検査室２には、真空吸引バルブ８を介装した真
空吸引配管９により真空ポンプ１０を接続するとともに
、ガス検知用配管１１によりガス検知装置１２を接続す
る。該ガス検知用配管１１には、ガス検知用バルブ１３
と口径可変オリフィス１４とを直列に介装する。ガス検
知装置１２は、ガス検知用配管１１により導いたヘリウ
ムガスを質量分析計１５で検知する。質量分析計１５で
は、採り入れたヘリウムガスをフィラメントによりイオ
ン化して分析する分析管により、当該ヘリウムガスを検
知する。

第２．３図は、前記口径可変オリフィス１４の詳細を示
した断面図及び正面図である。

口径可変オリフィス１４の本体は、密閉室２１としてそ
の下面にヘリウムガス導入管２２と、側面にヘリウムガ
ス送出管２３とを形成して、前記ガス検知用配管１１に
介装したものである。

ヘリウムガス導入管２２の内端口は、大径オリフィス２
４とし、その上面に小径オリフィス２５を、パツキン２
６を介して密着させる。該小径オリフィス２５は、密閉
室２１に差し渡した回転軸２７にキー２８及びセットビ
ス２９で固嵌されたアーム３０にピン３１により支持し
て、回転軸２７の回転により大径オリフィス２４の斜め
上方へ退避可能とする。前記回転軸２７は密閉室２１の
外部でレバー３２を固嵌し、そのレバー３２にシリンダ
３３のピストンロッド３４をピン３５により連結する。

シリンダ３３は、密閉室２１の外部に固着したステー３
６により支持する。

以下、本発明装置の作動を、気密製品１の第１室１ａに
対しては、漏れ判定基準の厳しい微少漏れ検査を、第２
室ｌｂに対しては、漏れ判定基準の緩やかな漏れ検査を
施す態様により説明する。

まず、気密製品１を検査室２ヘセツトし、気密製品１の
第１室１ａに接続した連結ホース７ａを、排気系配管３
ａとガス注入系配管４ａとを接続した共通配管７ａに連
結し、第２室１ｂに接続した連結ホース７ｂ’を、排気
系配管３ｂとガス注入系配管４ｂとを接続した共通配管
７ｂに連結する。続いて、真空吸引バルブ８を開き、真
空吸引配管９を介して真空ポンプ１０により検査室２内
を真空吸引して真空状態にした後、真空吸引バルブ８を
閉じる。また、真空の吸引開始と同時に、排気バルブ５
ａ、５ｂを開いて気密製品１の第１室１ａと第２室１ｂ
から排気装置３により排気して真空状態にし、注入され
るヘリウムガスの濃度が変化しないようにする。排気終
了により排気バルブ５ａ、５ｂを閉じて、ガス注入バル
ブ６ａを開き、微少漏れ検査を施す第１室１ａに対して
、ガス注入装置４によりヘリウムガスを注入する。

この時、第１室１ａに漏れがあれば、ヘリウムガスは真
空状態の検査室２内へ漏れ出る。検査室２内へ漏れ出た
ヘリウムガスを、ガス検知用バルブ１３を開き、ガス検
知用配管１１を介してガス検知波Ｍ１２の質量分析計１
５へ導く、この場合、口径可変オリフィス１４の密閉室
２１の外部に配置したシリンダ３３を駆動し、ピストン
ロッド３４を伸張させレバー３４により回転軸２７を反
時計方向に回動して、大径オリフィス２４上に密着する
小径オリフィス２５を、斜め上方に退避させる。従って
、ヘリウムガスは密閉室２１にガス導入管２２の内端口
の大径オリフィス２４からその流れを絞られることなく
導入され、ガス送出管２３からガス検知装置１２の質量
分析計１５に送出され、そのガス流量が予め設定した一
定量以上計測されることにより第１室１ａの微少漏れを
検知する。

第１室１ａに対する微少漏れ検査が終了した後は、前記
ガス注入バルブ６ａとガス検知用バルブ１３を閉じる。

続いて、気密製品１の第２室１ｂに対して、漏れ判定基
準の緩やかな漏れ検査を実施する。前記と同様に検査室
２内を真空吸引して、真空状態にするとともに排気バル
ブ５ａを開いて、第１室ｌａ内に注入されたヘリウムガ
スを排出する。これは、第１室ｌａ内に漏れ判定基準以
下の漏れがあった場合、第２室１ｂの漏れ検査時に第１
室ｌａ内に残留するヘリウムガスが漏れ出て、第２室ｌ
ｂの漏れ検査に影響を与えないようにするためである。

また、排気バルブ５ｂを開いて第２室ｌｂからも排気す
る。このように、第１室１ａ内及び第２室１ｂ内を排気
して真空状態にし、新たに注入されるヘリウムガスの濃
度が変化しないようにする。第１室１ａ及び第２室ｌｂ
からの排気が終了後、排気バルブ５ａ、５ｂを閉じ、ガ
ス注入バルブ６ｂを開き第２室ｌｂに対してヘリウムガ
スを注入する。この時、第２室ｌｂに漏れがあれば、ヘ
リウムガスは真空状態の検査室２内に漏れ出る。

このヘリウムガスを、ガス検知用バルブ１３を開き、ガ
ス検知用配管１１を介してガス検知装置１２の質量分析
計１５へ導く、この場合、第２室１ｂに漏れがあると前
記微少漏れ検査の場合よりも大量のガスが漏れ出るので
、口径可変オリフィス１４の密閉室２１の外部に配置し
たシリンダ３３のピストンロッド３４を収縮させ、レバ
ー３４により回転軸２７を時計方向に回動して、大径オ
リフィス２４上に小径オリフィス２５を密着させる。従
って、ヘリウムガスはガス導入管２２の内端口の小径オ
リフィス２５により、その流量を前記した微少漏れ検査
時と同じレベルまで絞られ、さらに密閉室２１に導入さ
れてその流速を緩和し、ガス送出管２３からガス検知装
置１２の質量分析計１５に送出され、そのガス流量が予
め設定した一定量以上計測されることにより第２室ｌｂ
の漏れを検知する。

以上のように、漏れ判定基準の厳しい微少漏れ検査と、
漏れ判定基準の緩やかな漏れ検査の場合とで、口径可変
オリフィス１４の口径を変え、漏れ検査袋Ｗ、１２の質
量分析計１５に導かれるヘリウムガスの流量を微少漏れ
判定基準に合わせてほぼ一定とすることにより、ガス検
知のための質量分析計１５のバックグランドの上昇又は
変動を防止して、同一装置で異なる漏れ判定基準の漏れ
検査が連続して可能になる。

また、前記漏れ検査装置をシステム化し、各配管に介装
されたバルブ等、口径可変オリフィス１４の作動させる
シリンダ３３の駆動、被検査対象物である気密製品１の
検査室２へのセット及び取り出し等を、一連のプログラ
ムにより制御して、自動的にかつ連続的に異なる漏れ判
定基準の漏れ検査を実施することも可能である。

前記実施例は、始めに漏れ判定基準の厳しい微少漏れ検
査を行い、次に漏れ判定基準の緩やかな漏れ検査を行っ
たが、この順序を逆にしても差し支えない。

但し、微少漏れ検査に移る前の検査室２の真空吸引、気
密製品１の第１．第２室１ａ、ｌｂの排気を入念に行っ
て、残留ヘリウムが微少漏れ検査に影響を与えないよう
にする必要がある。

「他の実施例」 第４図は、前記口径可変オリフィス１４の変形実施例を
示したものである。

密閉室２１に形成したヘリウムガス導入管２２の内端口
縁部４１に、ｆｉ頭同円錐形ニードルバルブ４２に対応
する弁座４３を設け、該ニードルバルブ４２を接近又は
離間させることにより、ヘリウムガスの通過流量を可変
しようとするものである。ニードルバルブ４２のニード
ル４４を、密閉室２１の外部に突出させ、該ニードル４
４を図示しないマイコン制御のサーボモータ等で作動さ
せることにより、連続的かつ無段階にヘリウムガスの流
量を調整できる。

第５図は、ガス検知用配管１１にそれぞれ異なる口径の
オリフィス５１と、切換バルブラ２とを介装した複数の
分岐配管５３を並列に設けたものである。何れか−の分
岐配管５３の切換バルブ５２を開き、他の切換バルブ５
２を閉じることにより、段階的にヘリウムガスの流量を
調整できる。

前記各実施例に基づけば、二級上の複数の室を有する気
密製品や、同時に複数の気密製品に対して異なる漏れ判
定基準の漏れ検査を実施することもできる。

尚、漏れ検査用のガスとしては、ヘリウムガスの他にア
ルゴン、フレオン等を用いることができる。

［発明の効果」 本発明の漏れ検査方法は、前記具体的手段及び作用の説
明で明らかにしたように、ガス検知装置に導く経路中で
ガス流量が調整され、ガス漏れ量の多少にかかわらずほ
ぼ一定のガス流量を、ガス検知装置に導くことができる
から、多量のガスが流れ込んでガス検知のためのバック
グランドの上昇や変動を生じることらなく、−台のｖ、
備で異なる漏れ判定基準の漏れ検査を連続して実施でき
、設備コストの面で大幅なコストダウンを図ることが可
能となるばかりでなく、作業性を向上させることができ
る効果がある。

また、本発明の漏れ検査装置は、前記具体的手段及び作
用の説明で明らかにしたように、検査室とガス検知装置
とを連結するガス検知用配管に、口径可変オリフィスを
介装して、異なる漏れ判定基準に応じて口径を変更する
ことにより、ガス検知装置に導くガス流量をほぼ一定と
することができ、本発明方法を効果的に実施することが
できる。

第１図

【図面の簡単な説明】

添付図面は本発明の実施例を示し、第１図は漏れ検査装
置の基本回路図、第２図は口径可変オリフィスの断面図
、第３図は同正面図、第４図は口径可変オリフィスの変
形実施例、第５図は他の変形実施例を示した回路図の一
部である。 １１．、気密製品、　２１０．検査室、　３１１．排気
装置、　３ａ、３ｂ、、、排気系配管、　４．１．ガス
注入装置、　４ａ、４ｂ、、、ガス注入系配管、１０、
、、真空ポンプ、　１１　、、、ガス検知用配管、１２
　、、、ガス検知装置、　１４　、、、口径可変オリフ
ィス、　２１　、、、密閉室。 第 図 第 図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 　（１）漏れ検査対象物である気密製品を検査室にセッ
   トし、気密製品内空を吸引排気するとともに検査室内を
   真空ポンプにより吸引して真空にした後、漏れ検査用の
   ガスを気密製品内空に注入し、検査室内に漏れ出るガス
   をガス検知装置に導いて漏れ検査を実施する漏れ検査方
   法において、検査室に漏れ出たガスをガス検知装置に導
   く経路中で該ガスの流量を調整し、ほぼ一定の流量のガ
   スを前記ガス検知装置に導くようにして、漏れ判定基準
   の異なる漏れ検査を連続して実施できるようにしたこと
   を特徴とする漏れ検査方法。
2. 　（２）漏れ検査対象物である気密製品をセットする検
   査室と、該検査室にセットされた気密製品内空を吸引排
   気する排気装置と、気密製品内空に漏れ検査用のガスを
   注入するガス注入装置と、前記検査室内を吸引して真空
   にする真空ポンプと、ガス検知用配管により真空の検査
   室に漏れ出るガスを導いて、検知するガス検知装置とか
   ら構成される漏れ検査装置において、 検査室とガス検知装置との間を連結する前記ガス検知用
   配管に、異なる漏れ判定基準に応じて口径を変更できる
   口径可変オリフィスを介装したことを特徴とする漏れ検
   査装置。