JPH02244152A - 感光性組成物 - Google Patents
感光性組成物Info
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- JPH02244152A JPH02244152A JP6661889A JP6661889A JPH02244152A JP H02244152 A JPH02244152 A JP H02244152A JP 6661889 A JP6661889 A JP 6661889A JP 6661889 A JP6661889 A JP 6661889A JP H02244152 A JPH02244152 A JP H02244152A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- group
- water
- integer
- water soluble
- photosensitive composition
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/0073—Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces
- H05K3/0076—Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces characterised by the composition of the mask
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、感光性組成物に関する。
［従来の技術］
従来、水溶性ポリマーと水溶性ビスアジド系光架橋剤と
を含む感光性組成物に、ト（β−アミノエチル）γ−ア
ミノプロピルトリメトキシシラン（特公昭５１−１４１
９８２号公報）、 （Ｃ１１ｓＱ）ｉＳｉＣｓｔｌｓＮｔｌＣ１１＊Ｃ１１
＊ＮｔｌＣｓＨａＳＩ（ＱＣＩＩｉ ｈ （特開昭６０
−１４７７２９公報）などの水溶性アミノシラン化合物
を含有させる技術が知られている。
を含む感光性組成物に、ト（β−アミノエチル）γ−ア
ミノプロピルトリメトキシシラン（特公昭５１−１４１
９８２号公報）、 （Ｃ１１ｓＱ）ｉＳｉＣｓｔｌｓＮｔｌＣ１１＊Ｃ１１
＊ＮｔｌＣｓＨａＳＩ（ＱＣＩＩｉ ｈ （特開昭６０
−１４７７２９公報）などの水溶性アミノシラン化合物
を含有させる技術が知られている。
［発明が解決しようとする課！ｌＩｉ］しかしながら、
従来の水溶性アミノシラン化合物を含有してなる感光性
組成物は、下地との密着性と貯蔵安定性の両方を満たさ
ないという課題があった。
従来の水溶性アミノシラン化合物を含有してなる感光性
組成物は、下地との密着性と貯蔵安定性の両方を満たさ
ないという課題があった。
［！！１題を解決するための手段］
本発明者らは、上記課題の改善された感光性組成物を得
るべく鋭意検討した結果、本発明に到達した。
るべく鋭意検討した結果、本発明に到達した。
すなわち、本発明は水溶性ポリマーと水溶性ビスアジ
ド系光架橋剤とを含む感光性組成物に−数式（１） （式中、Ｘは水素、アルカリ金属、アルカリ土類金属、
アンモニウムまたはアミンカチオン、Ｒはメチル基また
はエチル基 Ｂ Ｉは炭素数１〜１０のアルキル基％
ＡＴム′は炭素数２〜ＩＯのアルキレン基、ｐは１〜
１０の整数、鶴は０〜１０の整数、ｎは０〜２の整数で
ある）で表わされる水溶性シラン化合物を含有させてな
ることを特徴とする感光性組成物である。
ド系光架橋剤とを含む感光性組成物に−数式（１） （式中、Ｘは水素、アルカリ金属、アルカリ土類金属、
アンモニウムまたはアミンカチオン、Ｒはメチル基また
はエチル基 Ｂ Ｉは炭素数１〜１０のアルキル基％
ＡＴム′は炭素数２〜ＩＯのアルキレン基、ｐは１〜
１０の整数、鶴は０〜１０の整数、ｎは０〜２の整数で
ある）で表わされる水溶性シラン化合物を含有させてな
ることを特徴とする感光性組成物である。
−数式（１）においてアルカリ金属としては、 Ｌｌ
ｌＮａｌに１Ｒｂ１Ｃｓ、 Ｆｒなどが挙げられる。
ｌＮａｌに１Ｒｂ１Ｃｓ、 Ｆｒなどが挙げられる。
これらのうち好ましくは、Ｌ１１Ｎａ％ Ｋである。
アルカリ土類金属としては、Ｂｅ１Ｍｇ、 Ｃａ１Ｓ
ｒ。
ｒ。
ＨａｌＲａなどが挙げられる。これらのうち好ましくは
、Ｍｇ、 Ｃａ１Ｂａである。スｎ ’ｚ （ａ”Ｄ
どδ「、Ｔ。
、Ｍｇ、 Ｃａ１Ｂａである。スｎ ’ｚ （ａ”Ｄ
どδ「、Ｔ。
アミンカチオンを形成するアミンとしては、以下のもの
が挙げられる。例えば、アルカノールアミン（モノエタ
ノールアミン、ジェタノールアミン、 トリエタノール
アミン、モノイソプロパツールアミン、ジイソプロパツ
ールアミン、 トリイソプロパツールアミン等）；脂肪
族第一アミン（メチルアミン、エチルアミン、プロピル
アミン、インプロピルアミン、ブチルアミン、アミルア
ミン、ヘキシルアミン、ヘプチルアミン等）；脂肪族第
二アミン（ジメチルアミン、ジエチルアミン、ジプロピ
ルアミン、ジイソプロピルアミン、ジブチルアミン、シ
アミルアミン等）；脂肪族第三アミン（トリメチルアミ
ン、 トリエチルアミン、 トリプリピルアミン、 ト
リブチルアミン、 トリアミルアミン等）；脂肪族不飽
和アミン（アリルアミン、ジアリルアミン等）：脂環式
アミン（シクロプロピルアミン、シクロブチルアミン、
シクロペンチルアミン、シクロヘキシルアミン等）；芳
香族アミン（アニリン、メチルアニリン、ジメチルアニ
リン、エチルアニリン、ジエチルアニリン、オルトトル
イジン、メタトルイジン、パラトルイジン、ベンジルア
ミン、ジベンジルアミン、ジフェニルアミン、 トリフ
ェニルアミン、α−ナフチルアミン、β−ナフチルアミ
ン等）などである。これらのうち好ましくは脂肪族第一
アミンのメチルアミンおよびエチルアミンである。
が挙げられる。例えば、アルカノールアミン（モノエタ
ノールアミン、ジェタノールアミン、 トリエタノール
アミン、モノイソプロパツールアミン、ジイソプロパツ
ールアミン、 トリイソプロパツールアミン等）；脂肪
族第一アミン（メチルアミン、エチルアミン、プロピル
アミン、インプロピルアミン、ブチルアミン、アミルア
ミン、ヘキシルアミン、ヘプチルアミン等）；脂肪族第
二アミン（ジメチルアミン、ジエチルアミン、ジプロピ
ルアミン、ジイソプロピルアミン、ジブチルアミン、シ
アミルアミン等）；脂肪族第三アミン（トリメチルアミ
ン、 トリエチルアミン、 トリプリピルアミン、 ト
リブチルアミン、 トリアミルアミン等）；脂肪族不飽
和アミン（アリルアミン、ジアリルアミン等）：脂環式
アミン（シクロプロピルアミン、シクロブチルアミン、
シクロペンチルアミン、シクロヘキシルアミン等）；芳
香族アミン（アニリン、メチルアニリン、ジメチルアニ
リン、エチルアニリン、ジエチルアニリン、オルトトル
イジン、メタトルイジン、パラトルイジン、ベンジルア
ミン、ジベンジルアミン、ジフェニルアミン、 トリフ
ェニルアミン、α−ナフチルアミン、β−ナフチルアミ
ン等）などである。これらのうち好ましくは脂肪族第一
アミンのメチルアミンおよびエチルアミンである。
Ｘで好ましいのは、水素、アルカリ金属およびアンモニ
ウムである。特に好ましくは水素である。
ウムである。特に好ましくは水素である。
Ｒ′の炭素数里〜１０のアルキル基としては、メチル基
、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、
イソブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ペンチル基、ヘキ
シル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基
などが挙げられる。好ましくはメチル基およびエチル基
である。
、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、
イソブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ペンチル基、ヘキ
シル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基
などが挙げられる。好ましくはメチル基およびエチル基
である。
Ａ、Ａ’の炭素数２〜ＩＯのアルキレン基としては、エ
チレン基、プロピレン基、イソプロピレン基、ブチレン
基、アミレン基、ヘキシレン基、ヘプタメチレン基、オ
クタエチレン基、ノナエチレン基、デカメチレン基など
が挙げられる。好ましくはエチレン基およびプロピレン
基である。
チレン基、プロピレン基、イソプロピレン基、ブチレン
基、アミレン基、ヘキシレン基、ヘプタメチレン基、オ
クタエチレン基、ノナエチレン基、デカメチレン基など
が挙げられる。好ましくはエチレン基およびプロピレン
基である。
ｐは好ましくは１〜４の整数である。ｐが１０を越える
と経時安定性が低（なる。
と経時安定性が低（なる。
ｎは好ましくはＯか！である。ｎが２を越えると下地と
の密着性が低くなる。
の密着性が低くなる。
−は好ましくは１〜４の整数である。園がＩＯを越える
と経時安定性が低くなる。
と経時安定性が低くなる。
一般式（１）で表わされる化合物の具体例としては、以
下の化合物が挙げられる。
下の化合物が挙げられる。
（ＣＨｓ Ｏ）ｓ Ｓ ＩＣｓ Ｈａ ＮｌＩＣＢ１
ＣＨｓ ＮＨＣＩＩａ ＧＯＯＢ（ＣＨｓｏｌｌｍＧ）
ｓＳＩＣａｌｌ＠ＮＨＣＨ＊ＣＨ１ＨＣＨａＣＯＯＨ（
ＣＬ Ｏ）ｓ Ｓ ｉＣｓ ＩＩｓ （ＮＨＣＨａ Ｃ
Ｈｚ ）ａ ＮＨＣＨａ ０００００１１歳Ｃ００Ｉ１ （ＣＨｓＯ）ｍｓＩＣ＊Ｈ＠Ｎ１１０＊１１４ＮＧａｌ
１４ＮＨＣＨ＊Ｃ００Ｒ（ＣＨｓＯ）ｓＳＩＣｓ１１ａ
ＮＨＣＩ］＊ＣＨ＊ＮＨＣ［Ｉ＊Ｃ００Ｎａ（ＣＨｉＣ
ｌｌａＯ）ｉＳＩＣｓＢａＮＨＣＨａＣＨ＊Ｎ１１ＣＩ
ＩａＣＯＯＫ（ＣＩＩｓＯ）ｓｓＩｃｓｌｌａ （ＮＯ
ＣＨ＊ＣＩＩ＊ ）ｃＮＩＩｃｌｌｍｃＯＯＮＨｍＣＨ
ｍＣＯＯｌｌａ （Ｃ１ｈＯ）ｉｓＩｃｓｌｌＪ旧７１ Ｈａ ＮＣ＠
Ｈ４ＮＩＩＣＨＩ Ｃ０（ｌｌｌａこれらのうち好まし
くは （ＣＨｓ Ｏ）ｓ Ｓ ＩＣＢ＊ Ｃｕｔ ＣＴｏ Ｎ
ＨＣｌ１＊ Ｃｌａｍ ＮＨＣＨ＊ ＣＯＯ■である。
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１４ＮＨＣＨ＊Ｃ００Ｒ（ＣＨｓＯ）ｓＳＩＣｓ１１ａ
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ＨＣｌ１＊ Ｃｌａｍ ＮＨＣＨ＊ ＣＯＯ■である。
一般式（１）で表わされる化合物は、通常の水溶性アミ
ノシラン化合物とクロル酢酸との反応、及び必要により
引き続き反応生成物を中和することによって製造するこ
とが可能である。
ノシラン化合物とクロル酢酸との反応、及び必要により
引き続き反応生成物を中和することによって製造するこ
とが可能である。
本発明において、水溶性ポリマーとしては、次のものが
挙げられる。合成高分子としてポリビニルアルコール、
ポリビニルピロリドン、ポリアクリルアミド、ポリビニ
ルメチルエーテル、ポリビニルアセタール、ポリアクリ
ル酸など；共重合体としてメチルビニルエーテルとマレ
イン酸、アクリルアミドとジアセトンアクリルアミド、
アクリルアミドとビニルアルコールなど； グラフト化
された高分子としてアクリロニトリルグラフト化ポリビ
ニルアルコール、グリシジルメタクリレートグラフト化
ポリビニルアルコール、β−オキシエチルメタクリレー
トグラフト化ポリビニルアルコールなど；半合成高分子
としてカルボキメチルセルロース、ヒドロキシメチルセ
ルロース、ヒドロキシプロピルセルロース、ポリ−Ｌ−
グルタミン酸（Ｎａ塩）など；天然高分子としてゼラチ
ン、シェラツタ、アラビアゴム、カゼインなど、および
これらの２種以上の混合物がある。
挙げられる。合成高分子としてポリビニルアルコール、
ポリビニルピロリドン、ポリアクリルアミド、ポリビニ
ルメチルエーテル、ポリビニルアセタール、ポリアクリ
ル酸など；共重合体としてメチルビニルエーテルとマレ
イン酸、アクリルアミドとジアセトンアクリルアミド、
アクリルアミドとビニルアルコールなど； グラフト化
された高分子としてアクリロニトリルグラフト化ポリビ
ニルアルコール、グリシジルメタクリレートグラフト化
ポリビニルアルコール、β−オキシエチルメタクリレー
トグラフト化ポリビニルアルコールなど；半合成高分子
としてカルボキメチルセルロース、ヒドロキシメチルセ
ルロース、ヒドロキシプロピルセルロース、ポリ−Ｌ−
グルタミン酸（Ｎａ塩）など；天然高分子としてゼラチ
ン、シェラツタ、アラビアゴム、カゼインなど、および
これらの２種以上の混合物がある。
これらのうち、好ましいのは単重合体としてはポリビニ
ルアルコール、ポリビニルピロリドン、ポリアクリルア
ミド、共重合体としてはアクリルアミドおよびジアセト
ンアクリルアミド、また天然高分子としてはゼラチンで
あり、特に好ましいのはポリビニルアルコール、ポリビ
ニルピロリドン、ポリアクリルアミドの単体およびこれ
らの２１１１以上の混合物である。
ルアルコール、ポリビニルピロリドン、ポリアクリルア
ミド、共重合体としてはアクリルアミドおよびジアセト
ンアクリルアミド、また天然高分子としてはゼラチンで
あり、特に好ましいのはポリビニルアルコール、ポリビ
ニルピロリドン、ポリアクリルアミドの単体およびこれ
らの２１１１以上の混合物である。
本発明において使用される水溶性ビスアジド系光架橋剤
としては通常の化合物、例えば４，４′−ジアジドスチ
ルベン−２，２′−ジスルホン酸、４．４’−ジアジド
ベンザルアセトフェノン−２−スルホン酸、４．４’−
ジアジドスチルベン−α−カルボン酸およびこれらの塩
を挙げることができる。これらのうち特に好ましいのは
４，４′−ジアジドスチルベン−２，２９−ジスルホン
酸およびその塩である。
としては通常の化合物、例えば４，４′−ジアジドスチ
ルベン−２，２′−ジスルホン酸、４．４’−ジアジド
ベンザルアセトフェノン−２−スルホン酸、４．４’−
ジアジドスチルベン−α−カルボン酸およびこれらの塩
を挙げることができる。これらのうち特に好ましいのは
４，４′−ジアジドスチルベン−２，２９−ジスルホン
酸およびその塩である。
本発明の感光性組成物には、必要により界面活性剤、有
機溶剤、酸化防止剤、ラジカル捕捉剤などを混入併用し
てもよい。
機溶剤、酸化防止剤、ラジカル捕捉剤などを混入併用し
てもよい。
界面活性剤としては、通常の非イオン系界面活性剤例え
ば、ポリエチレングリコール型（高級アルコールエチレ
ンオキサイド付加物、アルキルフェノ−ρエチレンオキ
サイド付加物、アリールフェノールエチレンオキサイド
付加物、脂肪酸エチレンオキサイド付加物、多価アルコ
ール脂肪酸エステルエチレンオキサイド付加物、高級ア
ルコールアルキルアミンエチレンオキサイド付加物、脂
肪酸アミドエチレンオキサイド付加物、油脂のエチレン
オキサイド付加物、ポリプロピレングリコールエチレン
オキサイド付加物など）多価アルコール’ＪＩＣグリセ
ロールの脂肪酸エステル、ペンタエリスリトールの脂肪
酸エステル、ソルビトール及びソルビタンの脂肪酸エス
テル、シー糖の脂肪酸エステル、多価アルコールのアル
キルエーテル、アルカノールアミン類の脂肪酸アミドな
と）が挙げられる。これらのうち好ましくはアルキルフ
ェノールエチレンオキサイド付加物、アリールフェノー
ルエチレンオキサイド付加物である。
ば、ポリエチレングリコール型（高級アルコールエチレ
ンオキサイド付加物、アルキルフェノ−ρエチレンオキ
サイド付加物、アリールフェノールエチレンオキサイド
付加物、脂肪酸エチレンオキサイド付加物、多価アルコ
ール脂肪酸エステルエチレンオキサイド付加物、高級ア
ルコールアルキルアミンエチレンオキサイド付加物、脂
肪酸アミドエチレンオキサイド付加物、油脂のエチレン
オキサイド付加物、ポリプロピレングリコールエチレン
オキサイド付加物など）多価アルコール’ＪＩＣグリセ
ロールの脂肪酸エステル、ペンタエリスリトールの脂肪
酸エステル、ソルビトール及びソルビタンの脂肪酸エス
テル、シー糖の脂肪酸エステル、多価アルコールのアル
キルエーテル、アルカノールアミン類の脂肪酸アミドな
と）が挙げられる。これらのうち好ましくはアルキルフ
ェノールエチレンオキサイド付加物、アリールフェノー
ルエチレンオキサイド付加物である。
有機溶剤としては、各成分と相溶するものなら特に限定
されないが例えばアルコール類として、メタノール、エ
タノール、プロパツール、イソプロパツール、ブタノー
ル、５ｅａ−ブタノール、アミルアルコール、２−エチ
ル−１−ヘキサノール、シクロヘキサノール、フェノー
ル、エチレングリコール、プロピレングリフール、ｌ、
３−ブタンジオール、！、４−ブタンジオール、グリセ
リンなど；ケトンアルコールとしてジアセトンアルコー
ル等；酸類として蟻酸、酢酸、プロピオン酸など； エ
ーテルアルコール類としてグリコールエーテル、ジエチ
レングリコール、 トリエチレングリコール、ヘキサメ
チレングリコール、ポリエチレングリコール、２．２−
チオジェタノールなど； ラクトン類としてγ−ブチロ
ラクトンなど；エステル類として乳酸エチルなど；ケト
ン類としてメチルシクロヘキサノンなど；塩素化炭化水
素類としてメチレンジクロライド、クロロホルム、エチ
レンジクロライドなど；ラクタム類として２−ピロリド
ン、トメチル−２−ピロリドン、トビニル−２−ピロリ
ドンなど； アミン類としてブチルアミン、シクロヘキ
シルアミン、ア二りン、エチレンジアミン、ピリジン、
モルホリン、２−アミンエタノール、ジェタノールアミ
ン、トリエタノールアミン、アミノエチルエタノールア
ミン、２−ヒドロキシエチルモルホリン、２−アミノ−
２−メチル−！−プロパツールなど； ニトロパラフィ
ン類トしてニトロメタン、ニトロエタンナト； アミド
類としてＮ、Ｉｆ−ジメチルホルムアミド、Ｎ、トジメ
チルアセトアミドなど及びこれらの２種以上の混合物が
挙げられる。
されないが例えばアルコール類として、メタノール、エ
タノール、プロパツール、イソプロパツール、ブタノー
ル、５ｅａ−ブタノール、アミルアルコール、２−エチ
ル−１−ヘキサノール、シクロヘキサノール、フェノー
ル、エチレングリコール、プロピレングリフール、ｌ、
３−ブタンジオール、！、４−ブタンジオール、グリセ
リンなど；ケトンアルコールとしてジアセトンアルコー
ル等；酸類として蟻酸、酢酸、プロピオン酸など； エ
ーテルアルコール類としてグリコールエーテル、ジエチ
レングリコール、 トリエチレングリコール、ヘキサメ
チレングリコール、ポリエチレングリコール、２．２−
チオジェタノールなど； ラクトン類としてγ−ブチロ
ラクトンなど；エステル類として乳酸エチルなど；ケト
ン類としてメチルシクロヘキサノンなど；塩素化炭化水
素類としてメチレンジクロライド、クロロホルム、エチ
レンジクロライドなど；ラクタム類として２−ピロリド
ン、トメチル−２−ピロリドン、トビニル−２−ピロリ
ドンなど； アミン類としてブチルアミン、シクロヘキ
シルアミン、ア二りン、エチレンジアミン、ピリジン、
モルホリン、２−アミンエタノール、ジェタノールアミ
ン、トリエタノールアミン、アミノエチルエタノールア
ミン、２−ヒドロキシエチルモルホリン、２−アミノ−
２−メチル−！−プロパツールなど； ニトロパラフィ
ン類トしてニトロメタン、ニトロエタンナト； アミド
類としてＮ、Ｉｆ−ジメチルホルムアミド、Ｎ、トジメ
チルアセトアミドなど及びこれらの２種以上の混合物が
挙げられる。
酸化防止剤としては例えば、フェノール系化合物（ヒン
ダードフェノール系化合物など）、アミン系化合物、没
食子酸エステルなど及びこれらの２ｍ以上の混合物が挙
げられる。
ダードフェノール系化合物など）、アミン系化合物、没
食子酸エステルなど及びこれらの２ｍ以上の混合物が挙
げられる。
ラジカル捕捉剤としては例えばハイドロキノン、ハイド
ロキノンモノメチルエーテル、ピロガロール、ターシャ
リブチルカテコール、フェノチアジンなどが挙げられる
。
ロキノンモノメチルエーテル、ピロガロール、ターシャ
リブチルカテコール、フェノチアジンなどが挙げられる
。
水溶性ビスアジド系光架橋剤／水溶性ポリマーの重量比
は通常１／１００〜５０／１００． 好ましくは５／
１００〜３０／１００である。
は通常１／１００〜５０／１００． 好ましくは５／
１００〜３０／１００である。
水溶性シラン化合物／水溶性ポリマーの重量比は通常鳳
／１０００〜１００／１００Ｇ、 好ましくは５／１
０００〜３Ｇ／１０００である。
／１０００〜１００／１００Ｇ、 好ましくは５／１
０００〜３Ｇ／１０００である。
本発明の感光性組成物の組成（重量％）は、通常水溶性
ポリマー ０．５〜３０．０水溶性ビ
スアジド系光架橋剤 ｏ、ｏｏｓ〜１５．０水溶性シラ
ン化合物 ｏ 、ｏｏｏｓ〜３．０水
ｔｏ、ｏ ＃ｓｓ
、ｓ界面活性剤 ０〜３．０有
機溶剤 ０〜５０．０酸化防
止剤 ０〜３．０ラジカル捕捉
剤 ０−１．０の範囲内にある。
ポリマー ０．５〜３０．０水溶性ビ
スアジド系光架橋剤 ｏ、ｏｏｓ〜１５．０水溶性シラ
ン化合物 ｏ 、ｏｏｏｓ〜３．０水
ｔｏ、ｏ ＃ｓｓ
、ｓ界面活性剤 ０〜３．０有
機溶剤 ０〜５０．０酸化防
止剤 ０〜３．０ラジカル捕捉
剤 ０−１．０の範囲内にある。
本発明の感光性組成物は種々の無機物（鉄、アルミニウ
ム、銅、これらの合金、ブリキ、 トタンなどの金属類
；瓦、スレート、タイル、ホウロウ、セメント、レンガ
、ガラス等の窯業製品など）及び有機物（プラスチック
、繊維製品、木材、皮革など）に適用可能である。
ム、銅、これらの合金、ブリキ、 トタンなどの金属類
；瓦、スレート、タイル、ホウロウ、セメント、レンガ
、ガラス等の窯業製品など）及び有機物（プラスチック
、繊維製品、木材、皮革など）に適用可能である。
適用方法としては、スプレー スピンコーター刷毛、ヘ
ラなどで塗布する方法、及び浸漬する方法が挙げられる
。
ラなどで塗布する方法、及び浸漬する方法が挙げられる
。
硬化方法は、通常の光照射による方法が使用できる。光
による硬化には、次のような照射光源が適当である。例
えば、低圧水銀灯、中圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水
銀灯、キセノンランプ、メタルハロゲンランプ、電子線
照射装置、Ｘ線照射装置、レーザー（アルゴンレーザー
色素レーザー 窒素レーザー ヘリウムカドミウムレ
ーザー等）等がある。これらのうち、好ましくは高圧水
銀灯及び超高圧水銀灯である。
による硬化には、次のような照射光源が適当である。例
えば、低圧水銀灯、中圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水
銀灯、キセノンランプ、メタルハロゲンランプ、電子線
照射装置、Ｘ線照射装置、レーザー（アルゴンレーザー
色素レーザー 窒素レーザー ヘリウムカドミウムレ
ーザー等）等がある。これらのうち、好ましくは高圧水
銀灯及び超高圧水銀灯である。
［実施例］
以下、実施例により本発明を更に説明するが、本発明は
これに限定されるものではない。以下において、部はそ
れぞれ重量部を示す。
これに限定されるものではない。以下において、部はそ
れぞれ重量部を示す。
実施例１〜４および比較例１〜４
下記の原料を混合溶解したのち、表１にまとめたポリヒ
ニルピロリドｙ ： Ｋ−９０（ＢＡＳＦ製＞
ｔｏｏ部４．４′−ジアジドスチルベン −２，２ξジスルホン酸Ｎａ塩 ３部ノ
ニルフェノールエチレンオキサイド ２０モル付加物二 ）二ポール２００ ３部（
三部化成工業（株）製） イオン交換水 ８０００部各
水溶性シラン化合物をそれぞれ２部ずつ配合し感光性組
成物とした。
ニルピロリドｙ ： Ｋ−９０（ＢＡＳＦ製＞
ｔｏｏ部４．４′−ジアジドスチルベン −２，２ξジスルホン酸Ｎａ塩 ３部ノ
ニルフェノールエチレンオキサイド ２０モル付加物二 ）二ポール２００ ３部（
三部化成工業（株）製） イオン交換水 ８０００部各
水溶性シラン化合物をそれぞれ２部ずつ配合し感光性組
成物とした。
ここで得られた感光性組成物をガラス基板（１００Ｘ
１００ｍｍ）上に塗布乾燥したのちマスク（直径０．３
５−一の円をピッチ０．６膳■で２次元に配列したもの
）を密着し、ｓｏｏｗの超高圧水銀灯で１分間露光した
。次に密着力を比較するために下記の条件で現像した。
１００ｍｍ）上に塗布乾燥したのちマスク（直径０．３
５−一の円をピッチ０．６膳■で２次元に配列したもの
）を密着し、ｓｏｏｗの超高圧水銀灯で１分間露光した
。次に密着力を比較するために下記の条件で現像した。
現像液 イオン交換水
水 圧 １．５ｋｇ／
ｃ＋ｅ”液 温 ３
０〜３５℃ノズル−パネル間距離 ３００膳−
ノズル径 １．０腸鵬φ現像時間
３０秒ここで得られたドツトの欠
落個数を単位面積（４Ｘ４ｃ１）当りについて観察した
結果を表２にまとめた。
ｃ＋ｅ”液 温 ３
０〜３５℃ノズル−パネル間距離 ３００膳−
ノズル径 １．０腸鵬φ現像時間
３０秒ここで得られたドツトの欠
落個数を単位面積（４Ｘ４ｃ１）当りについて観察した
結果を表２にまとめた。
また、これらの感光性組成物の貯蔵安定性を評価するた
め、暗所２５℃で一ケ月間保存したのちの外観変化の観
察結果についても表２にまとめた。
め、暗所２５℃で一ケ月間保存したのちの外観変化の観
察結果についても表２にまとめた。
表
表２
外観変化の評価基準
◎：変化なし
０：わずかにかすみ発生
Δ：かすみ発生
Ｘ：沈澱（ゲル物）発生
ポリビニルピロリドン： Ｋ−９０（ＧＡＦ社製）
５０部ポリビニルアルコール： ＥＧ−４０ （日本合成（株）製） ５０部４．４ゝ−ジア
ジドスチルベン−２，２′−ジスルホン酸Ｎａ塩
８部 ノニルフェノールエチレンオキサイド ２０モル付加物二 ノ二ポール２００ ３部（三洋、
化成工業（株）製） イオン交換水 ＧＯＯＯ部各
水溶性シラン化合物をそれぞれ２部ずつ配合し感光性組
成物とした。
５０部ポリビニルアルコール： ＥＧ−４０ （日本合成（株）製） ５０部４．４ゝ−ジア
ジドスチルベン−２，２′−ジスルホン酸Ｎａ塩
８部 ノニルフェノールエチレンオキサイド ２０モル付加物二 ノ二ポール２００ ３部（三洋、
化成工業（株）製） イオン交換水 ＧＯＯＯ部各
水溶性シラン化合物をそれぞれ２部ずつ配合し感光性組
成物とした。
これらについて実施例１〜４と同様に評価した結果を表
３にまとめた。
３にまとめた。
実施例５〜８および比較例５〜８
下記の原料を混合溶解したのち、表１にまとめた表
ノニルフェノールエチレンオキサイド
２０モル付加物二 ノ二ポール２００３部（三部化成工
業（株）製） イオン交換水 ７０００部各水
溶性シラン化合物をそれぞれ２部ずつ配合し感光性組成
物とした。
業（株）製） イオン交換水 ７０００部各水
溶性シラン化合物をそれぞれ２部ずつ配合し感光性組成
物とした。
これらについて実施例１〜４と同様に評価した結果を表
４にまとめた。
４にまとめた。
表４
実施例９〜１２及び比較例９〜１２
下記の原料を混合溶解したのち、表１にまとめたポリビ
ニルピロリドン： Ｋ−９０（ＢＡＳＦ社製） ７０
部ポリアクリルアミド：サンフロラクト５２０Ｐ ３０
部（三部化成工業（株）製） ４．４’−ジアジドスチルベン−２，２＃−ジスルホン
酸Ｎａ塩 ６部［発明の効果］ 本発明の感光性組成物は、次のような効果を奏する。
ニルピロリドン： Ｋ−９０（ＢＡＳＦ社製） ７０
部ポリアクリルアミド：サンフロラクト５２０Ｐ ３０
部（三部化成工業（株）製） ４．４’−ジアジドスチルベン−２，２＃−ジスルホン
酸Ｎａ塩 ６部［発明の効果］ 本発明の感光性組成物は、次のような効果を奏する。
（１）下地との密着力が高くなる
（２）貯蔵安定性に優れている
（２）解像力が大きい
（４）耐食性、耐摩耗性に優れた塗膜を形成する（５）
公害問題の発生のおそれがないこと上記効果を奏するこ
とから本発明の感光性組成物は、ブラウン管用シャドウ
マスク製造用フォトレジスト、ブラウン管ブラックマト
リックス製造用フォトレジスト、カラーフィルター製造
用フォトｌｚ／スト、プリント配線板製造用エツチング
レジスト、製版用フォトレジスト用として有用である。
公害問題の発生のおそれがないこと上記効果を奏するこ
とから本発明の感光性組成物は、ブラウン管用シャドウ
マスク製造用フォトレジスト、ブラウン管ブラックマト
リックス製造用フォトレジスト、カラーフィルター製造
用フォトｌｚ／スト、プリント配線板製造用エツチング
レジスト、製版用フォトレジスト用として有用である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、水溶性ポリマーと水溶性ビスアジド系光架橋剤とを
含む感光性組成物に一般式（１） ▲数式、化学式、表等があります▼（１） （式中、Ｘは水素、アルカリ金属、アルカリ土類金属、
アンモニウムまたはアミンカチオン、Ｒはメチル基また
はエチル基、Ｒ′は炭素数１〜１０のアルキル基、Ａ，
Ａ′は炭素数２〜１０のアルキレン基、ｐは１〜１０の
整数、ｍは０〜１０の整数、ｎは０〜２の整数である）
で表わされる水溶性シラン化合物を含有させてなること
を特徴とする感光性組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6661889A JPH02244152A (ja) | 1989-03-17 | 1989-03-17 | 感光性組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6661889A JPH02244152A (ja) | 1989-03-17 | 1989-03-17 | 感光性組成物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02244152A true JPH02244152A (ja) | 1990-09-28 |
Family
ID=13321062
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6661889A Pending JPH02244152A (ja) | 1989-03-17 | 1989-03-17 | 感光性組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02244152A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0320286A (ja) * | 1989-06-16 | 1991-01-29 | Shin Etsu Chem Co Ltd | シラン化合物およびその製造方法 |
| JP2003513129A (ja) * | 1999-10-26 | 2003-04-08 | モナ・インダストリーズ・インコーポレーテッド | 双性イオン性シロキサンポリマーおよびそれから生成されたイオン架橋ポリマー |
-
1989
- 1989-03-17 JP JP6661889A patent/JPH02244152A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0320286A (ja) * | 1989-06-16 | 1991-01-29 | Shin Etsu Chem Co Ltd | シラン化合物およびその製造方法 |
| JP2003513129A (ja) * | 1999-10-26 | 2003-04-08 | モナ・インダストリーズ・インコーポレーテッド | 双性イオン性シロキサンポリマーおよびそれから生成されたイオン架橋ポリマー |
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