JPH0224567A - 流速センサ及びそれを用いた流速測定装置 - Google Patents
流速センサ及びそれを用いた流速測定装置Info
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- JPH0224567A JPH0224567A JP63174133A JP17413388A JPH0224567A JP H0224567 A JPH0224567 A JP H0224567A JP 63174133 A JP63174133 A JP 63174133A JP 17413388 A JP17413388 A JP 17413388A JP H0224567 A JPH0224567 A JP H0224567A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はボロン・ワイヤを熱線として用いた流速センサ
及びそれを用いた流速測定装置に関するものである。
及びそれを用いた流速測定装置に関するものである。
従来熱線流速計は熱線となる流速センサとして主に白金
やタングステン線のワイヤが用いられる。
やタングステン線のワイヤが用いられる。
このような白金やタングステン線は通常の温度領域では
その抵抗値と温度の関係はほぼ直線的であり次式に示す
ものとなっている。
その抵抗値と温度の関係はほぼ直線的であり次式に示す
ものとなっている。
Ｒ” Ｒａ （１＋ ａｔ （Ｔｗ −Ｔｆ）） −
−４１）ここでＲａ 二温度Ｔｆでの熱線の抵抗値Ｔ−
；熱線温度 Ｔｆ ：周囲温度 α ：抵抗率 しかしながらこのような従来の白金線として用いた熱線
風速計では、抵抗率αの値が例えば０．００４程度と極
めて小さく、温度変化によって抵抗値の変化が小さいも
のとなっていた。そして熱線流速計は第７図に示すよう
にこのような白金線を風速センサ１及び温度補償センサ
２としてブリッジ回路３の二辺に用いて構成する。温度
補償センサ２は風速センサ１と同一の温度特性を有し、
流体温度によってのみその抵抗値が変化する感温センサ
として用いる。このブリッジ回路３の偏差を差動増幅器
４及びトランジスタ５を介してブリッジ回路３にフィー
ドバックし、ブリッジ回路を平衡させ、風速センサ１を
風温に対して一定の温度差に保つようにしている。そし
て風速センサ１を風速測定領域に配置するとその温度は
風速によって変化するため、その温度変化を抵抗値とし
て検出することによって風速を測定するようにしている
。
−４１）ここでＲａ 二温度Ｔｆでの熱線の抵抗値Ｔ−
；熱線温度 Ｔｆ ：周囲温度 α ：抵抗率 しかしながらこのような従来の白金線として用いた熱線
風速計では、抵抗率αの値が例えば０．００４程度と極
めて小さく、温度変化によって抵抗値の変化が小さいも
のとなっていた。そして熱線流速計は第７図に示すよう
にこのような白金線を風速センサ１及び温度補償センサ
２としてブリッジ回路３の二辺に用いて構成する。温度
補償センサ２は風速センサ１と同一の温度特性を有し、
流体温度によってのみその抵抗値が変化する感温センサ
として用いる。このブリッジ回路３の偏差を差動増幅器
４及びトランジスタ５を介してブリッジ回路３にフィー
ドバックし、ブリッジ回路を平衡させ、風速センサ１を
風温に対して一定の温度差に保つようにしている。そし
て風速センサ１を風速測定領域に配置するとその温度は
風速によって変化するため、その温度変化を抵抗値とし
て検出することによって風速を測定するようにしている
。
（１）式に示すように白金線の抵抗の温度特性は温度差
に対して直線的に変化するため、差動増幅器４の出力は
そのまま風速値に対応するものとなっている。従って流
体温度の影響が除かれ差動増幅器４より風速値のみをブ
リッジ回路の出力より得ることができる。
に対して直線的に変化するため、差動増幅器４の出力は
そのまま風速値に対応するものとなっている。従って流
体温度の影響が除かれ差動増幅器４より風速値のみをブ
リッジ回路の出力より得ることができる。
しかしながらこのような従来の熱線風速計では白金やタ
ングステン線の温度に対する抵抗値変化が小さいため、
低風速領域では高い感度の風速計が得られなかった。そ
して感度を上昇させようとすれば熱線自体の温度を高く
保つ必要があるが、熱線温度を上昇させれば熱線の自己
発熱によって生じる対流に伴う風速を検出してしまうた
め、正確な風速測定ができなくなるという欠点があった
。
ングステン線の温度に対する抵抗値変化が小さいため、
低風速領域では高い感度の風速計が得られなかった。そ
して感度を上昇させようとすれば熱線自体の温度を高く
保つ必要があるが、熱線温度を上昇させれば熱線の自己
発熱によって生じる対流に伴う風速を検出してしまうた
め、正確な風速測定ができなくなるという欠点があった
。
本発明はこのような従来の熱線流速計の問題点に鑑みて
なされたものであって、低流速域でも高感度で正確に測
定することができる流速センサ及び流速測定装置を提供
することを技術的課題とする。
なされたものであって、低流速域でも高感度で正確に測
定することができる流速センサ及び流速測定装置を提供
することを技術的課題とする。
本願の請求項１の発明は熱線流速計のセンサであって、
一定の径を有し、線状に形成されたボロン半導体ワイヤ
の中央の所定範囲を除く両側に金属メッキを施し、該金
属メッキ部分を電極として構成したことを特徴とするも
のである。
一定の径を有し、線状に形成されたボロン半導体ワイヤ
の中央の所定範囲を除く両側に金属メッキを施し、該金
属メッキ部分を電極として構成したことを特徴とするも
のである。
又本願の請求項２の発明は請求項１のセンサを用いた流
速測定装置であって、この流速センサを一辺に有するブ
リッジ回路と、ブリッジ回路の一対の端子が入力端に接
続されブリッジ回路に帰還電流を供給することにより流
速センサの温度を一定に保つ帰還増幅器と、を具備し、
帰還増幅器の出力に基づいて流速センサを通過する流体
の流速を検出することを特徴とするものである。
速測定装置であって、この流速センサを一辺に有するブ
リッジ回路と、ブリッジ回路の一対の端子が入力端に接
続されブリッジ回路に帰還電流を供給することにより流
速センサの温度を一定に保つ帰還増幅器と、を具備し、
帰還増幅器の出力に基づいて流速センサを通過する流体
の流速を検出することを特徴とするものである。
更に本願の請求項３の発明は請求項１のセンサを用いた
流速測定装置であって、この流速センサ及び流速センサ
と同一の構造を有し流速測定領域に配置した感温センサ
を含みこれらをいずれも電源の一端に接続したブリッジ
回路と、ブリッジ回路の一対の端子が入力端に接続され
ブリッジ回路に帰還電流を供給することにより流体温度
と流速センサとの温度差を一定に保つ帰還増幅器と、を
具備し、帰還増幅器の出力に基づいて流速センサを通過
する流体の流速を検出することを特徴とするものである
。
流速測定装置であって、この流速センサ及び流速センサ
と同一の構造を有し流速測定領域に配置した感温センサ
を含みこれらをいずれも電源の一端に接続したブリッジ
回路と、ブリッジ回路の一対の端子が入力端に接続され
ブリッジ回路に帰還電流を供給することにより流体温度
と流速センサとの温度差を一定に保つ帰還増幅器と、を
具備し、帰還増幅器の出力に基づいて流速センサを通過
する流体の流速を検出することを特徴とするものである
。
このような特徴を有する本願の請求項１の発明によれば
、ボロン半導体ワイヤを流速センサとして用いておりそ
の両端を電極としている。このセンサは特に低温度域で
温度変化に対する抵抗値の変化が大きいものとなってい
る。従ってこの流速センサに電圧を印加し抵抗値の変化
を検出することによって流速を高感度で検知することが
できる。
、ボロン半導体ワイヤを流速センサとして用いておりそ
の両端を電極としている。このセンサは特に低温度域で
温度変化に対する抵抗値の変化が大きいものとなってい
る。従ってこの流速センサに電圧を印加し抵抗値の変化
を検出することによって流速を高感度で検知することが
できる。
本願の請求項２の発明では、この流速センサをブリッジ
回路の一辺に用いてそのブリッジを平衡させるようにし
ている。そうすれば流速センサが流体に奪われる熱量と
発熱量とが等しくなり、流速センサの温度が一定温度に
保たれる。そしてそのときのブリッジ回路に流れる電圧
又は電流値を流速出力としている。
回路の一辺に用いてそのブリッジを平衡させるようにし
ている。そうすれば流速センサが流体に奪われる熱量と
発熱量とが等しくなり、流速センサの温度が一定温度に
保たれる。そしてそのときのブリッジ回路に流れる電圧
又は電流値を流速出力としている。
又本願の請求項３の発明によれば、この流速センサ、及
びこれと同一の構成を有するセンサを温度センサとして
ブリッジの同一の電源端に接続された一辺に用いている
。こうすれば流体の温度が変化する場合にも温度変化分
が相殺されることとなり、流速センサの温度と周囲温度
との差が常に一定に保たれる。そして流速センサが流体
に奪われる熱量とその発熱量とをブリッジ回路によって
平衡させるようにしてそのときの電圧もしくは電流値を
流速信号として出力するようにしている。
びこれと同一の構成を有するセンサを温度センサとして
ブリッジの同一の電源端に接続された一辺に用いている
。こうすれば流体の温度が変化する場合にも温度変化分
が相殺されることとなり、流速センサの温度と周囲温度
との差が常に一定に保たれる。そして流速センサが流体
に奪われる熱量とその発熱量とをブリッジ回路によって
平衡させるようにしてそのときの電圧もしくは電流値を
流速信号として出力するようにしている。
第１図（ａｌ〜（Ｃ１は本願の請求項１の発明の一実施
例による流速センサを示す断面図、正面図及び斜視図で
ある。これらの図に示すように流速センサ１０は中心に
細い線例えば１２．５μｍの径を有するタングステン線
１１を用い、その周囲に直径が１００〜１５０μｍの径
を有する円筒形のボロン半導体を用いてセンサとする。
例による流速センサを示す断面図、正面図及び斜視図で
ある。これらの図に示すように流速センサ１０は中心に
細い線例えば１２．５μｍの径を有するタングステン線
１１を用い、その周囲に直径が１００〜１５０μｍの径
を有する円筒形のボロン半導体を用いてセンサとする。
このセンサ長は例えば５〜１５ｍｍとし、ボロン半導体
１２の中央の所定幅、例えば１〜５鶴の範囲を除いてそ
の表面の両側に金属、例えばニッケルを用いて金属メッ
キ１３ａ。
１２の中央の所定幅、例えば１〜５鶴の範囲を除いてそ
の表面の両側に金属、例えばニッケルを用いて金属メッ
キ１３ａ。
１３ｂを施す。そしてその金属メッキ部分に電極１４ａ
、１４ｂを取付けて流速センサとする。こうして構成さ
れた流速センサは第２図にセンサ長７１ｍ、中央の非メ
ッキ部幅２ｕとしたセンサの電圧／電流特性の一例を示
すように、電流値が充分小さければ電流と電圧とは比例
している。又第３図にこれと同一のセンサ及びセンサ長
の非メッキ幅を１ｉｍとしたセンサの抵抗温度特性を夫
々曲線Ｃ１，曲線Ｃ２として示している。本図において
は夫々のセンサに流す電流値を１μＡとした場合の例を
示しており、温度の変化によって抵抗値が急激に低下し
、特に低温度領域で変化が大きい特性を有するものとな
っており、曲線Ｃ１では温度Ｔ−のときの抵抗値Ｒ×は
ある温度Ｔｏの抵抗値をＲｏとして次式で示される値と
なる。
、１４ｂを取付けて流速センサとする。こうして構成さ
れた流速センサは第２図にセンサ長７１ｍ、中央の非メ
ッキ部幅２ｕとしたセンサの電圧／電流特性の一例を示
すように、電流値が充分小さければ電流と電圧とは比例
している。又第３図にこれと同一のセンサ及びセンサ長
の非メッキ幅を１ｉｍとしたセンサの抵抗温度特性を夫
々曲線Ｃ１，曲線Ｃ２として示している。本図において
は夫々のセンサに流す電流値を１μＡとした場合の例を
示しており、温度の変化によって抵抗値が急激に低下し
、特に低温度領域で変化が大きい特性を有するものとな
っており、曲線Ｃ１では温度Ｔ−のときの抵抗値Ｒ×は
ある温度Ｔｏの抵抗値をＲｏとして次式で示される値と
なる。
Ｒｘ −Ｒｏ−ｅｘｐ （−０，０２３（Ｔ −Ｔｏ）
） −−（２）従って流速センサ１０の温度Ｔ−が定ま
ると（２）弐に基づいてその抵抗値Ｒｘが定まる。この
流速センサに電流を流す場合にはその抵抗値Ｒｘと電流
１ （Ａ） 、風速ｕ （ｍ／５ｅｃ）との間に以下
の式が成り立っている。
） −−（２）従って流速センサ１０の温度Ｔ−が定ま
ると（２）弐に基づいてその抵抗値Ｒｘが定まる。この
流速センサに電流を流す場合にはその抵抗値Ｒｘと電流
１ （Ａ） 、風速ｕ （ｍ／５ｅｃ）との間に以下
の式が成り立っている。
Ｉ ”ｘ Ｒｘ＝ （Ａ ＪＴ； ＋ Ｂ）Ｘ （Ｔｗ
−Ｔａ）−−（３）Ｔａは雰囲気温度、例えば２０℃
であり、定数Ａ。
−Ｔａ）−−（３）Ｔａは雰囲気温度、例えば２０℃
であり、定数Ａ。
Ｂは熱放散係数であり、流速センサの大きさや形状によ
って定まる定数である。従って例えば第４図に示すよう
に定電流ａ！Ｘ１５を用いてこの流速センサに一定電流
を供給し、この両端の電圧を検出して例えばりニアライ
ザ１６に与えることによって直線化された風速出力を得
ることができる。そしてこの流速センサは低温度域で温
度変化に対する抵抗値の変化が大きいため高怒度で風速
を測定することができる。
って定まる定数である。従って例えば第４図に示すよう
に定電流ａ！Ｘ１５を用いてこの流速センサに一定電流
を供給し、この両端の電圧を検出して例えばりニアライ
ザ１６に与えることによって直線化された風速出力を得
ることができる。そしてこの流速センサは低温度域で温
度変化に対する抵抗値の変化が大きいため高怒度で風速
を測定することができる。
次に第５図は本則の請求項２の発明の一実施例による風
速測定装置の回路図である。本図において前述した流速
センサ１０がブリッジ回路２１の一辺に接続される。ブ
リッジ回路２１は電源よりトランジスタＴｒｉを介して
接続されており、トランジスタＴｒｉのエミッタ端に固
定抵抗Ｒ１，Ｒ２が並列接続され、夫々の他端には固定
抵抗Ｒ３と前述した風速センサ１０が接地端間に接続さ
れる。
速測定装置の回路図である。本図において前述した流速
センサ１０がブリッジ回路２１の一辺に接続される。ブ
リッジ回路２１は電源よりトランジスタＴｒｉを介して
接続されており、トランジスタＴｒｉのエミッタ端に固
定抵抗Ｒ１，Ｒ２が並列接続され、夫々の他端には固定
抵抗Ｒ３と前述した風速センサ１０が接地端間に接続さ
れる。
抵抗Ｒ１とＲ３，抵抗Ｒ２と流速センサ１０の中点を夫
々ａ、ｂとすると、中点ａ、ｂを演算増幅器２２の反転
入力端子及び非反転入力端子に接続する。演算増幅器２
２はその間の電圧差を増幅する差動増幅器であって、そ
の出力をトランジスタＴｒｉのベースに与えトランジス
タＴｒｉと共にフィードバックループを構成している。
々ａ、ｂとすると、中点ａ、ｂを演算増幅器２２の反転
入力端子及び非反転入力端子に接続する。演算増幅器２
２はその間の電圧差を増幅する差動増幅器であって、そ
の出力をトランジスタＴｒｉのベースに与えトランジス
タＴｒｉと共にフィードバックループを構成している。
又演算増幅器２２の出力はＡ／Ｄ変換器２３に与えられ
る。Ａ／Ｄ変換器２３はこの電圧出力をデジタル信号に
変換するものであり、その出力はメモリ２４に与えられ
る。メモリ２４は与えられたデジタル値に対応した風速
を出力するものであって、あらかしめ校正された値を記
憶しておくものとする。
る。Ａ／Ｄ変換器２３はこの電圧出力をデジタル信号に
変換するものであり、その出力はメモリ２４に与えられ
る。メモリ２４は与えられたデジタル値に対応した風速
を出力するものであって、あらかしめ校正された値を記
憶しておくものとする。
次に本実施例による風速測定装置の動作について説明す
る。この風速測定装置は流速センサｌ。
る。この風速測定装置は流速センサｌ。
の温度を常に一定に保つように制御する定温度型の風導
測定装置であって、その操作量に基づいて風速を測定す
るようにしている。さて無風状態では流速センサ１０は
以下のように定まる一定の温度に保たれている。即ち演
算増幅器２２によってブリッジ回路２１の中点ａ、ｂの
電圧が等しくなるようにフィードバック電流が供給され
るため１、定常状態では次式が成立している。
測定装置であって、その操作量に基づいて風速を測定す
るようにしている。さて無風状態では流速センサ１０は
以下のように定まる一定の温度に保たれている。即ち演
算増幅器２２によってブリッジ回路２１の中点ａ、ｂの
電圧が等しくなるようにフィードバック電流が供給され
るため１、定常状態では次式が成立している。
Ｒ１・Ｒｘ ＝Ｒ２・Ｒ３
このように流速センサ１０の抵抗値Ｒｘとそれに流れる
電流が定まると流速センサの温度Ｔ−が定まる。この温
度ＴＷは常温より充分高い温度に設定しておくものとす
る。そして流速センサが測定領域に配置され風が当たっ
た場合には、流速センサ１０の表面が冷却きれ、温度が
低下し抵抗値Ｒｘはそれに伴って上昇する。このときブ
リッジ回路２１の中点ａ、ｂ間に電位差が生じるので演
算増幅器２２のフィードバックループに流れる電流が変
化し、ブリッジ回路２１は新たな平衡に達する。
電流が定まると流速センサの温度Ｔ−が定まる。この温
度ＴＷは常温より充分高い温度に設定しておくものとす
る。そして流速センサが測定領域に配置され風が当たっ
た場合には、流速センサ１０の表面が冷却きれ、温度が
低下し抵抗値Ｒｘはそれに伴って上昇する。このときブ
リッジ回路２１の中点ａ、ｂ間に電位差が生じるので演
算増幅器２２のフィードバックループに流れる電流が変
化し、ブリッジ回路２１は新たな平衡に達する。
そしてこの帰還量は風速と対応したものとなっている。
従ってその電圧をデジタル信号に変換しメモリ２４を介
して外部に出力することによって流速信号を出力するこ
とができる。
して外部に出力することによって流速信号を出力するこ
とができる。
次に第６図は本願の請求項３の発明による流速測定装置
を示すブロック図であり、第５図と同一部分は同一符号
を付している。さて本実施例では抵抗Ｒ３に代えて流速
センサ１０と同一の構造を有するセンサを感温センサ３
０として用いる。感温センサ３０は流速測定領域には配
置するが加熱しないので周囲の温度変化のみが検知され
る。こうすれば周囲の温度の変化によっても常にブリッ
ジ回路２１がバランスされることとなる。そして流速セ
ンサ１０を測定領域に配置すれば風速に応じて流速セン
サ１０の抵抗が変化するが、感温センサ３０の抵抗値は
風速によっては変化しない。
を示すブロック図であり、第５図と同一部分は同一符号
を付している。さて本実施例では抵抗Ｒ３に代えて流速
センサ１０と同一の構造を有するセンサを感温センサ３
０として用いる。感温センサ３０は流速測定領域には配
置するが加熱しないので周囲の温度変化のみが検知され
る。こうすれば周囲の温度の変化によっても常にブリッ
ジ回路２１がバランスされることとなる。そして流速セ
ンサ１０を測定領域に配置すれば風速に応じて流速セン
サ１０の抵抗が変化するが、感温センサ３０の抵抗値は
風速によっては変化しない。
従って流速センサ１０と流体温度との温度差が常に一定
となるように変化することとなる。そして演算増幅器２
２の出力をＡ／Ｄ変換器２３によってデジタル量に変換
し、リニアライズするためにメモリ２５に与える。こう
すればメモリ２５からの出力によってデジタル化された
風速値を得ることができ、又その出力をＤ／Ａ変換器２
６によりＤ／Ａ変換してアナログ信号として出力するこ
ともできる。そしてこの場合には流体温度の影響を受け
ることがないため、流速センサ１０と流体温度との差を
低い温度、例えば５℃に保つようにしておくことができ
る。こうすれば流速センサ１０の動作範囲が低温度領域
となり、例えば第３図に示すように抵抗の変化量が大き
い領域Ｄ１となるため高感度で流速を測定することがで
きる。
となるように変化することとなる。そして演算増幅器２
２の出力をＡ／Ｄ変換器２３によってデジタル量に変換
し、リニアライズするためにメモリ２５に与える。こう
すればメモリ２５からの出力によってデジタル化された
風速値を得ることができ、又その出力をＤ／Ａ変換器２
６によりＤ／Ａ変換してアナログ信号として出力するこ
ともできる。そしてこの場合には流体温度の影響を受け
ることがないため、流速センサ１０と流体温度との差を
低い温度、例えば５℃に保つようにしておくことができ
る。こうすれば流速センサ１０の動作範囲が低温度領域
となり、例えば第３図に示すように抵抗の変化量が大き
い領域Ｄ１となるため高感度で流速を測定することがで
きる。
尚上述した各実施例は風速測定装置について説明してい
るが、本発明は風速だけでなく種々の流体の速度を測定
することができることはいうまでもない。
るが、本発明は風速だけでなく種々の流体の速度を測定
することができることはいうまでもない。
このように本願の請求項１の発明によれば、ボロン半導
体ワイヤをセンサとして用いており特に低温度領域で抵
抗値の変化が大きいため、高感度の流速センサとするこ
とができる。又本願の請求項′２の発明ではこのセンサ
を用いて定温度型流速測定装置を構成しており、感度が
高（熱容量が小さいため応答性が高い流速測定装置とす
ることができる。更に本願の請求項３の発明ではこの流
速センサをブリッジ回路の二辺に用いて一方を流速セン
サ、他方を感温センサとして定温度差型の流速測定装置
を構成している。こうすれば流速センサは流体温度より
わずかに高い値に保ってお（ことによって流速度域で高
感度の流速測定装置とすることが可能である。そして従
来の白金等による熱線流速計と異なり感度を上げるため
に動作温度を上昇させる必要がなく、自己加熱による対
流を生じる恐れがなく正確に流速を測定することができ
るという効果も得られる。
体ワイヤをセンサとして用いており特に低温度領域で抵
抗値の変化が大きいため、高感度の流速センサとするこ
とができる。又本願の請求項′２の発明ではこのセンサ
を用いて定温度型流速測定装置を構成しており、感度が
高（熱容量が小さいため応答性が高い流速測定装置とす
ることができる。更に本願の請求項３の発明ではこの流
速センサをブリッジ回路の二辺に用いて一方を流速セン
サ、他方を感温センサとして定温度差型の流速測定装置
を構成している。こうすれば流速センサは流体温度より
わずかに高い値に保ってお（ことによって流速度域で高
感度の流速測定装置とすることが可能である。そして従
来の白金等による熱線流速計と異なり感度を上げるため
に動作温度を上昇させる必要がなく、自己加熱による対
流を生じる恐れがなく正確に流速を測定することができ
るという効果も得られる。
第１図（ｂ）はその正面図、第１図ｆｃ）はその斜視図
、第２図は本実施例による流速センサの電流／電圧特性
を示すグラフ、第３図はその温度／抵抗特性を示すグラ
フ、第４図はこの実施例の流速センサを用いた流速測定
装置を示す図、第５図は本願の請求項２の流速測定装置
の一実施例を示す回路図、第６図は本願の請求項３の流
速測定装置の一実施例を示す回路図、第７図は従来の熱
線流速計のブロック図である。
、第２図は本実施例による流速センサの電流／電圧特性
を示すグラフ、第３図はその温度／抵抗特性を示すグラ
フ、第４図はこの実施例の流速センサを用いた流速測定
装置を示す図、第５図は本願の請求項２の流速測定装置
の一実施例を示す回路図、第６図は本願の請求項３の流
速測定装置の一実施例を示す回路図、第７図は従来の熱
線流速計のブロック図である。
１０−−−−−−一流速センサ ＩＬ−・・−タング
ステン線１２−−−−−−−ボロン半導体 １３ ａ
、 １３ ｂ−−−一金属メッキ ２１・・−・
・−ブリッジ回路 ２２−・−・演算増幅器 ２３
−・−Ａ／Ｄ変換器 ２４２５−・・・・メモリ
３０〜−−−−ｍ−感温センサ特許出願人 日本科
学工業株式会社代理人 弁理士 岡本宜喜（他１名） −Ｈ （ａ） 第 図 （ｂ） （Ｃ） ｉｏ−−−−−−−−・−ミ免遂センサ１２−−−−−
−−−−− ｒ：ロン奉４ａ１３ａ、１３ｂ−−−−−
＆＆メ７λ 第 図 第 図 第 図 第 図
ステン線１２−−−−−−−ボロン半導体 １３ ａ
、 １３ ｂ−−−一金属メッキ ２１・・−・
・−ブリッジ回路 ２２−・−・演算増幅器 ２３
−・−Ａ／Ｄ変換器 ２４２５−・・・・メモリ
３０〜−−−−ｍ−感温センサ特許出願人 日本科
学工業株式会社代理人 弁理士 岡本宜喜（他１名） −Ｈ （ａ） 第 図 （ｂ） （Ｃ） ｉｏ−−−−−−−−・−ミ免遂センサ１２−−−−−
−−−−− ｒ：ロン奉４ａ１３ａ、１３ｂ−−−−−
＆＆メ７λ 第 図 第 図 第 図 第 図
Claims (3)
- （１）一定の径を有し、線状に形成されたボロン半導体
ワイヤの中央の所定範囲を除く両側に金属メッキを施し
、該金属メッキ部分を電極として構成したことを特徴と
する流速センサ。 - （２）一定の径を有し線状に形成されたボロン半導体ワ
イヤの中央の所定範囲を除く両側に金属メッキを施し該
金属メッキ部分を電極として構成し、流速測定領域に配
置された流速センサを一辺に有するブリッジ回路と、 前記ブリッジ回路の一対の端子が入力端に接続され前記
ブリッジ回路に帰還電流を供給することにより前記流速
センサの温度を一定に保つ帰還増幅器と、を具備し、 前記帰還増幅器の出力に基づいて前記流速センサを通過
する流体の流速を検出することを特徴とする流速測定装
置。 - （３）一定の径を有し線状に形成されたボロン半導体ワ
イヤの中央の所定範囲を除く両側に金属メッキを施し該
金属メッキ部分を電極として構成し、流速測定領域に配
置された流速センサ及び前記流速センサと同一の構造を
有し流速測定領域に配置した感温センサを含みこれらを
いずれも電源の一端に接続したブリッジ回路と、 前記ブリッジ回路の一対の端子が入力端に接続され前記
ブリッジ回路に帰還電流を供給することにより流体温度
と流速センサとの温度差を一定に保つ帰還増幅器と、具
備し、 前記帰還増幅器の出力に基づいて前記流速センサを通過
する流体の流速を検出することを特徴とする流速測定装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63174133A JP2531968B2 (ja) | 1988-07-12 | 1988-07-12 | 流速センサ及びそれを用いた流速測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63174133A JP2531968B2 (ja) | 1988-07-12 | 1988-07-12 | 流速センサ及びそれを用いた流速測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0224567A true JPH0224567A (ja) | 1990-01-26 |
| JP2531968B2 JP2531968B2 (ja) | 1996-09-04 |
Family
ID=15973238
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63174133A Expired - Lifetime JP2531968B2 (ja) | 1988-07-12 | 1988-07-12 | 流速センサ及びそれを用いた流速測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2531968B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007526481A (ja) * | 2004-03-03 | 2007-09-13 | ウオーターズ・インベストメンツ・リミテツド | 自己発熱サーミスタ制御回路を備えるリークディテクタ |
| CN108693220A (zh) * | 2017-04-10 | 2018-10-23 | 英飞凌科技股份有限公司 | 流体传感器、提供流体传感器的方法和确定流体组分的方法 |
| KR20220130092A (ko) * | 2020-01-22 | 2022-09-26 | 알트리아 클라이언트 서비시즈 엘엘씨 | 열선 풍속계 기류 측정, 퍼프 검출 및 주변 온도 추적 |
| JP2023511923A (ja) * | 2020-01-22 | 2023-03-23 | フィリップ・モーリス・プロダクツ・ソシエテ・アノニム | 熱線風速計空気流測定、吸煙検出、および周囲温度追跡 |
-
1988
- 1988-07-12 JP JP63174133A patent/JP2531968B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007526481A (ja) * | 2004-03-03 | 2007-09-13 | ウオーターズ・インベストメンツ・リミテツド | 自己発熱サーミスタ制御回路を備えるリークディテクタ |
| CN108693220A (zh) * | 2017-04-10 | 2018-10-23 | 英飞凌科技股份有限公司 | 流体传感器、提供流体传感器的方法和确定流体组分的方法 |
| CN108693220B (zh) * | 2017-04-10 | 2022-12-09 | 英飞凌科技股份有限公司 | 流体传感器、提供流体传感器的方法和确定流体组分的方法 |
| KR20220130092A (ko) * | 2020-01-22 | 2022-09-26 | 알트리아 클라이언트 서비시즈 엘엘씨 | 열선 풍속계 기류 측정, 퍼프 검출 및 주변 온도 추적 |
| JP2023511923A (ja) * | 2020-01-22 | 2023-03-23 | フィリップ・モーリス・プロダクツ・ソシエテ・アノニム | 熱線風速計空気流測定、吸煙検出、および周囲温度追跡 |
| US12329208B2 (en) | 2020-01-22 | 2025-06-17 | Altria Client Services Llc | Hot wire anemometer air flow measurement, puff detection and ambient temperature tracking |
| US12336571B2 (en) | 2020-01-22 | 2025-06-24 | Altria Client Services Llc | Hot wire anemometer air flow measurement, puff detection and ambient temperature tracking |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2531968B2 (ja) | 1996-09-04 |
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