JPH02246761A - linear motor - Google Patents
linear motorInfo
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- JPH02246761A JPH02246761A JP6673189A JP6673189A JPH02246761A JP H02246761 A JPH02246761 A JP H02246761A JP 6673189 A JP6673189 A JP 6673189A JP 6673189 A JP6673189 A JP 6673189A JP H02246761 A JPH02246761 A JP H02246761A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はリニアモータに係り、特に、デイテント力を低
減させることのできるリニアモータに関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a linear motor, and particularly to a linear motor that can reduce detent force.
モータのコギングトルク(リニアモータではデ、イテン
ト力と呼ぶ)を低減させるためには、磁極歯をスキュー
することが一般的であるが、永久磁石をスキューすると
きの着磁精度やケイ素鋼板を積み重ねた時の角度の精度
により特性が変化する。In order to reduce the motor's cogging torque (called detent force in linear motors), it is common to skew the magnetic pole teeth. The characteristics change depending on the accuracy of the angle when
しかして、従来形リニアモータのスキューに関する技術
は、「リニアモータ応用ハンドブック)・山田−編著・
1986年12月10日工業調査会発行の第192頁・
写真2(b)に示されているように、スロットまたはマ
グネットをスキューする方法として、菱形の永久磁石を
可動子に配置するようにしている。Therefore, the technology related to the skew of conventional linear motors is
December 10, 1986, published by Kogyo Kenkyukai, page 192.
As shown in Photo 2(b), a method of skewing the slots or magnets is to arrange diamond-shaped permanent magnets on the mover.
しかしながら、前記したごとき従来技術にあっては、可
動子または固定子のどちらか一方の磁極をスキューする
必要があるため、次のような問題があった。However, in the prior art as described above, it is necessary to skew the magnetic poles of either the mover or the stator, which causes the following problems.
(1)永久磁石の磁極をスキューする場合には、菱形の
永久磁石を組み合わせて使うため、加工に時間がかかる
。(1) When skewing the magnetic poles of permanent magnets, a combination of diamond-shaped permanent magnets is used, which takes time to process.
(2)ケイ素鋼板をスキューしてコアを作る場合には、
ずらした角度が一直線にならずにギザギザとなるため、
磁極歯間のパーミアンスの変化が位置に対して一定にな
らず、スキュー効果が低下する。また、コアをスキュー
する場合には、工程が多くなる欠点がある。(2) When making a core by skewing a silicon steel plate,
Because the shifted angle is not in a straight line and becomes jagged,
Changes in permeance between magnetic pole teeth are not constant with respect to position, reducing the skew effect. Furthermore, when the core is skewed, there is a drawback that the number of steps is increased.
本発明の目的は、前記した従来技術の問題点を解決した
リニアモータを提供することにある。An object of the present invention is to provide a linear motor that solves the problems of the prior art described above.
前記目的は、スキューしない可動子磁極ユニットとスキ
ューしない固定子磁極ユニットとを組み合わせてリニア
モータを構成するに際し、前記両ユニットを相対的にス
キューしたのと同じ角度で面対向するように取付けるこ
とによって達成される。The above object is achieved by, when configuring a linear motor by combining a non-skewed mover magnetic pole unit and a non-skewed stator magnetic pole unit, by mounting the two units so that they face each other at the same angle as the relative skew. achieved.
しかして、本発明は、スキューしない可動子磁極ユニッ
トとスキューしない固定子磁極ユニットとを組み合わせ
てリニアモータを構成するに際し、前記両ユニットを相
対的にスキューしたのと同じ角度で面対向するように取
付けることにより、実質的なスキュー効果が得られ、永
久磁石を菱形に加工するとか、ケイ素鋼板をずらして作
成する等の工数を省略することができる。Accordingly, when the present invention configures a linear motor by combining a non-skewed mover magnetic pole unit and a non-skewed stator magnetic pole unit, the two units are arranged so that they face each other at the same angle as the relative skew of the two units. By attaching it, a substantial skew effect can be obtained, and the man-hours such as processing a permanent magnet into a rhombus shape or shifting silicon steel plates can be omitted.
[実施例〕
以下1本発明を、2相のリニアモータに適用した場合を
例にとり、第1図〜第5図の一実施例にもとづいて説明
すると、第1図は可動子磁極ユニット1と固定子磁極ユ
ニット2との位置関係を示す斜視図、第2図は固定子磁
極ユニット2のみの斜視図、第3図は可動子磁極ユニッ
ト1の平面図、第4図は本発明リニアモータの平面図、
第5図は第4図のA−A’線断面図である。[Example] The present invention will be explained below based on an example of FIGS. 1 to 5, taking as an example a case where the present invention is applied to a two-phase linear motor. FIG. 2 is a perspective view of only the stator magnetic pole unit 2, FIG. 3 is a plan view of the mover magnetic pole unit 1, and FIG. 4 is a perspective view of the linear motor of the present invention. Plan view,
FIG. 5 is a sectional view taken along the line AA' in FIG. 4.
第1図に示すように、可動子磁極ユニット1は永久磁石
11のN極とS極とを交互に配置している。しかして、
本実施例は、2相のモータに適用した例であるため、固
定子磁極ユニット2は、最低2個必要とするが、ここで
は、2相のうち、A相およびB相の固定子磁極をそれぞ
れ固定子磁極ユニット2aおよび2bとして以下に説明
する。As shown in FIG. 1, in the mover magnetic pole unit 1, the N pole and S pole of the permanent magnet 11 are arranged alternately. However,
Since this embodiment is an example applied to a two-phase motor, at least two stator magnetic pole units 2 are required. They will be described below as stator magnetic pole units 2a and 2b, respectively.
すなわち、固定子磁極ユニット2bに設けられた固定子
磁極歯21bの位相は、固定子磁極歯21aに対し、電
気角で360度Xn±90度(nは整数)の関係となる
。That is, the phase of the stator magnetic pole teeth 21b provided in the stator magnetic pole unit 2b has a relationship of 360 degrees Xn±90 degrees (n is an integer) in electrical angle with respect to the stator magnetic pole teeth 21a.
また、固定子磁極ユニット2は、固定子ヨーク22の先
端に固定子磁極歯21が設けられていると共に、コイル
23がそれぞれ巻かれており、前記可動子磁極ユニット
1と固定子磁極ユニット2とは、固定子磁極ユニット2
の間隙に可動子磁極ユニット1が僅かな空隙を保って配
置されている。Further, the stator magnetic pole unit 2 has stator magnetic pole teeth 21 provided at the tip of the stator yoke 22, and coils 23 are wound respectively, so that the movable magnetic pole unit 1 and the stator magnetic pole unit 2 are connected to each other. is stator magnetic pole unit 2
The mover magnetic pole unit 1 is arranged in the gap with a slight air gap.
以上の構成において、リニアモータのデイテント力は、
磁極歯ピッチの周期で発生するが、本実施例においては
、前記デイテント力による影響を小さくするため、固定
子磁極ユニット2の取付位置を、可動子磁極ユニット1
の進行方向に対し1/4ピツチスキユーするようにずら
して配置したものである。In the above configuration, the detent force of the linear motor is
Although this occurs at the period of the magnetic pole tooth pitch, in this embodiment, in order to reduce the influence of the detent force, the mounting position of the stator magnetic pole unit 2 is changed to the movable magnetic pole unit 1.
They are arranged at a 1/4 pitch skew with respect to the direction of travel.
そして、第2図に示すように、固定子磁極ユニット2は
、スキューしない構成になっており、また、第3図に示
すように、可動子磁極ユニット1に配置された永久磁石
11は、可動子磁極ユニット1の進行方向に対して直角
に着磁されており、以上の構成により、コアのスキュー
にともなう種種の問題点を生じることなしに、一般的に
知られている永久磁石をスキューしたり、コアをスキュ
ーしたりした場合と同様の効果を奏することができる。As shown in FIG. 2, the stator magnetic pole unit 2 has a structure that does not skew, and as shown in FIG. It is magnetized at right angles to the direction of movement of the child magnetic pole unit 1, and with the above configuration, it is possible to skew a generally known permanent magnet without causing various problems associated with core skew. It is possible to achieve the same effect as when the core is skewed or the core is skewed.
なお1本発明リニアモータの平面図である第5図に示す
ように、固定子磁極ユニット2aと2bとには、それぞ
れコイル23aおよび23bが巻かれているため、外側
に広い構成となっている。As shown in FIG. 5, which is a plan view of the linear motor of the present invention, coils 23a and 23b are wound around the stator magnetic pole units 2a and 2b, respectively, so that the stator magnetic pole units 2a and 2b have a wide structure on the outside. .
また、可動子磁極ユニット1は、台車Mに取り付けられ
ている。Further, the mover magnetic pole unit 1 is attached to a truck M.
第4図のA−A’線断面図である第5図に示すように、
可動子磁極ユニット1を取り付けた台車Mには、車輪S
が取り付けられており、ベースBに設けた溝に沿って進
行方向に対し、前後に移動可能である。さらに、固定子
磁極ユニット2は、可動子磁極と空隙を隔てて対向する
と共に、ベースBに固定されている。またさらに、可動
子磁極ユニット1に対し、固定子磁極ユニット2は、ス
キュー角度が任意に変化できるように、シャフト5とナ
ツト6等の回転機構および固定機構により、ベースBに
取り付けられている。As shown in FIG. 5, which is a cross-sectional view taken along the line AA' in FIG.
The trolley M to which the mover magnetic pole unit 1 is attached has wheels S.
is attached to the base B, and is movable back and forth in the direction of travel along a groove provided in the base B. Further, the stator magnetic pole unit 2 faces the movable magnetic poles with an air gap in between, and is fixed to the base B. Furthermore, in contrast to the mover magnetic pole unit 1, the stator magnetic pole unit 2 is attached to the base B by a rotating mechanism and a fixing mechanism such as a shaft 5 and a nut 6 so that the skew angle can be changed arbitrarily.
第6図に本発明の第2の実施例を示す、すなわち、第6
図(a)は本発明の第2の実施例を示す可動子磁極ユニ
ット1と固定子磁極ユニット2との位置関係を示す平面
図、第6図(b)は第6図(a)のB−B’線断面図で
ある。A second embodiment of the invention is shown in FIG.
FIG. 6(a) is a plan view showing the positional relationship between the mover magnetic pole unit 1 and the stator magnetic pole unit 2 showing the second embodiment of the present invention, and FIG. 6(b) is the B of FIG. 6(a). -B' line sectional view.
しかして、第6図(a)に示すように、固定子磁極ユニ
ット2は回転調整範囲内において、可動子磁極ユニット
1に設けた永久磁石11に必ず全磁極歯が重なるように
配置されており、これにより、推力の低下を招くことな
く、スキュー効果を得ることができ、デイテント力の低
減効果がある。As shown in FIG. 6(a), the stator magnetic pole unit 2 is arranged so that all the magnetic pole teeth always overlap with the permanent magnet 11 provided in the mover magnetic pole unit 1 within the rotation adjustment range. , Thereby, a skew effect can be obtained without causing a reduction in thrust force, and there is an effect of reducing detent force.
また、第6図(b)に示すように、固定子磁極ユニット
2のベースBへの固定方法は、前記第1の実施例の場合
と同様であるが、可動子磁極ユニット1は、永久磁石1
1の強度の補強を兼ねることを目的に、永久磁石11.
11間に可動子ヨーク12を入れたもので、モータとし
ての特性およびスキュー効果は、前記第1の実施例の場
合と何等変わるところはない。Further, as shown in FIG. 6(b), the method of fixing the stator magnetic pole unit 2 to the base B is the same as in the first embodiment, but the mover magnetic pole unit 1 is fixed to the base B. 1
For the purpose of reinforcing the strength of the permanent magnet 11.
A movable yoke 12 is inserted between the movable elements 11 and 11, and the motor characteristics and skew effect are the same as in the first embodiment.
重さらに、モータ全体を小型化するためには、不要な固
定子ヨーク22を削り、磁気回路的に高密度な設計とす
ればよいが、この構成によれば、固定子ヨーク22の機
械的な強度が低下するため、当該固定子ヨーク22に巻
くコイル23を固定子ヨーク22の内側に当てるように
巻き、樹脂モールドすることにより、前記した機械的強
度を上げることができる。Furthermore, in order to downsize the entire motor, the unnecessary stator yoke 22 can be removed to create a design with a higher density magnetic circuit. Since the strength decreases, the above-mentioned mechanical strength can be increased by winding the coil 23 wound around the stator yoke 22 so as to contact the inside of the stator yoke 22 and molding it with resin.
第7図は本発明の第3の実施例を示す可動子磁極ユニッ
ト1と固定子磁極ユニット2との位置関係を示す斜視図
であり、同図には、永久磁石11を2段構造に配置した
可動子磁極ユニット1を例示した。FIG. 7 is a perspective view showing the positional relationship between the mover magnetic pole unit 1 and the stator magnetic pole unit 2 showing a third embodiment of the present invention, and in the same figure, permanent magnets 11 are arranged in a two-stage structure. The movable magnetic pole unit 1 is illustrated as an example.
第8図〜第11図はそれぞれ本発明の第4〜第7の実施
例を示す可動子磁極ユニット1と固定子磁極ユニット2
との位置関係を示す平面図であり。FIGS. 8 to 11 show a mover magnetic pole unit 1 and a stator magnetic pole unit 2 respectively showing fourth to seventh embodiments of the present invention.
FIG.
第8図および第9図に示す配置によっても、前記各実施
例と同様のスキュー効果を得ることができる。また、第
10図に示すように、固定子磁極ユニット2に対し、台
車Mを同図矢印で示すように斜めに進行させたり、ある
いは第11図に示すように、可動子磁極ユニット1をV
形に配置することによっても、これまた前記各実施例と
同様のスキュー効果を得ることができる。The arrangement shown in FIGS. 8 and 9 also provides the same skew effect as in each of the embodiments described above. In addition, as shown in FIG. 10, the cart M is moved diagonally relative to the stator magnetic pole unit 2 as shown by the arrow in the figure, or as shown in FIG. 11, the movable magnetic pole unit 1 is
The same skew effect as in each of the above embodiments can also be obtained by arranging them in the same shape.
なお、前記各実施例においては、可動子磁極として永久
磁石を使用した場合について例示したが。In each of the above embodiments, the case where a permanent magnet is used as the movable magnetic pole is exemplified.
これに代えて、可変リラクタンス・ (VR)形の可動
子を用いることもできる。そして、その場合は、リニア
モータのデイテント力ではなく、発生推力の脈動分吸収
に有効である。Alternatively, a variable reluctance (VR) type mover may be used. In that case, it is effective to absorb not the detent force of the linear motor but the pulsation of the generated thrust.
また、図示を省略したが、可動子磁極ユニット1と固定
子磁極ユニット2との両方をずらして構成しても、前記
各実施例と同様の効果が得られることは言うまでもない
。Further, although not shown in the drawings, it goes without saying that even if both the mover magnetic pole unit 1 and the stator magnetic pole unit 2 are configured to be shifted from each other, the same effects as in each of the embodiments described above can be obtained.
さらに、前記各実施例においては、コイル23の巻き方
についての説明を背略したが、コイル23がリニアモー
タの幅方向に制限がある場合は、第6図(b)に示す巻
き方に代えて、第12図、すなわち本発明の第8の実施
例に示すような巻き方としてもよい。Further, in each of the above embodiments, explanations regarding the winding method of the coil 23 have been omitted; however, if the coil 23 is limited in the width direction of the linear motor, the winding method shown in FIG. 6(b) may be used instead. Alternatively, the winding method may be as shown in FIG. 12, ie, the eighth embodiment of the present invention.
第13図は本発明の第9の実施例を示す可動子磁極ユニ
ット1の平面図であり、同図に示すように、可動子磁極
ユニット1に取り付ける可動子ヨーク12に対して斜め
に(スキュー角を設けて)永久磁石11をユニット化し
て取り付け、固定子磁極ユニット2を可動子ヨーク12
に対して直角に取り付けることによっても、前記各実施
例と同様の効果を得ることができる。FIG. 13 is a plan view of a movable magnetic pole unit 1 showing a ninth embodiment of the present invention. The permanent magnets 11 are unitized and installed, and the stator magnetic pole unit 2 is attached to the movable yoke 12.
The same effects as in each of the embodiments described above can also be obtained by mounting at right angles to the above-mentioned embodiments.
以上、本発明によれば、可動子磁極および固定子磁極に
用いる永久磁石およびコアをスキューすることなく、リ
ニアモータのデイテント力を低減できるので、mしい斜
め加工や、ケイ素鋼板を斜めに積み重ねる等の工数低減
をはかることができ、リニアモータ製作作業の簡便化、
ひいては経済性の点ですぐれている。As described above, according to the present invention, the detent force of a linear motor can be reduced without skewing the permanent magnets and cores used for the mover magnetic poles and the stator magnetic poles, so that it is possible to reduce the detent force of the linear motor. It can reduce man-hours, simplify linear motor manufacturing work,
Furthermore, it is excellent in terms of economic efficiency.
また、固定子磁極の取付角度(スキュー角度)によって
リニアモータのデイテント力と推力の大きさとを変化さ
せることができるため、用途に応じた機種に対応させる
ことができ、量産性の点でもすぐれている。In addition, since the magnitude of the detent force and thrust of the linear motor can be changed by changing the mounting angle (skew angle) of the stator magnetic poles, it is possible to adapt the model to suit the application, and it is also excellent in terms of mass production. There is.
第1図、〜第5図は本発明の一実施例を示し、第1図は
可動子磁極ユニット1と固定子磁極ユニット2との位置
関係を示す斜視図、第2図は固定子磁極ユニット2のみ
の斜視図、第3図は可動子磁極ユニット1の平面図、第
4図は本発明リニアモータの平面図、第5図は第4図の
A−A’線断面図。
第6図(a)は本発明の第2の実施例を示す可動子磁極
ユニット1と固定子磁極ユニット2との位置関係を示す
平面図、第6図(b)は第6図(a)のB−B’線断面
図、第7図は本発明の第3の実施例を示す可動子磁極ユ
ニット1と固定子磁極ユニット2との位置関係を示す斜
視図、第8図〜第11図はそれぞれ本発明の第4図〜第
7図の実施例を示す可動子磁極ユニット1と固定子磁極
ユニット2との位置関係を示す平面図、第12図は本発
明の第8の実施例を示す第6図(b)相当図。
第13図は本発明の第9の実施例を示す可動子磁極ユニ
ット1の平面図である。
1・・・可動子磁極ユニット、2・・・固定子磁極ユニ
ット、11・・・永久磁石、21・・・固定子磁極歯、
22・・・固定子ヨーク、23・・・コイル。1 to 5 show an embodiment of the present invention, FIG. 1 is a perspective view showing the positional relationship between a mover magnetic pole unit 1 and a stator magnetic pole unit 2, and FIG. 2 is a stator magnetic pole unit. 3 is a plan view of the mover magnetic pole unit 1, FIG. 4 is a plan view of the linear motor of the present invention, and FIG. 5 is a sectional view taken along the line AA' in FIG. 4. FIG. 6(a) is a plan view showing the positional relationship between the mover magnetic pole unit 1 and the stator magnetic pole unit 2 showing a second embodiment of the present invention, and FIG. FIG. 7 is a perspective view showing the positional relationship between the mover magnetic pole unit 1 and the stator magnetic pole unit 2 showing the third embodiment of the present invention, and FIGS. 8 to 11 are 12 is a plan view showing the positional relationship between the mover magnetic pole unit 1 and the stator magnetic pole unit 2, respectively showing the embodiments of FIGS. 4 to 7 of the present invention, and FIG. 12 shows the eighth embodiment of the present invention. A diagram corresponding to FIG. 6(b) shown. FIG. 13 is a plan view of a mover magnetic pole unit 1 showing a ninth embodiment of the present invention. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Mover magnetic pole unit, 2... Stator magnetic pole unit, 11... Permanent magnet, 21... Stator magnetic pole tooth,
22... Stator yoke, 23... Coil.
Claims (1)
有する可動子磁極ユニットと、前記可動子磁極ユニット
と僅かな空隙を保つて対向しかつ、磁性体により形成さ
れた凹凸磁極を有する複数の固定子磁極ユニットとから
なるリニアモータにおいて、前記固定子磁極ユニットの
取付位置を、可動子磁極ユニットの磁極の位相に対して
スキューせしめたことを特徴とするリニアモータ。 2、特許請求の範囲第1項記載の発明において、可動子
磁極ユニットを永久磁石として、N極とS極とを交互に
配置したリニアモータ。 3、特許請求の範囲第1項記載の発明において、可動子
磁極ユニットの取付位置を、固定子磁極ユニットの磁極
の位相に対してスキューせしめたリニアモータ。 4、特許請求の範囲第1項記載の発明において、可動子
磁極ユニットを、永久磁石を2段以上に配列して構成し
たリニアモータ。 5、特許請求の範囲第1項記載の発明において、可動子
磁極ユニットに対し、永久磁石を斜めに複数個ユニット
化して配置したリニアモータ。 6、特許請求の範囲第1項記載の発明において、可動子
磁極ユニットを、その移動方向に対して斜めに配置した
リニアモータ。 7、特許請求の範囲第1項記載の発明において、平行に
配置した固定子磁極の平行線に対し、可動子磁極ユニッ
トの進行角度を90度以外の角度としたリニアモータ。 8、特許請求の範囲第1項記載の発明において、平行に
固定子磁極を配置し、可動子を前記平行線に対して直角
方向に移動させかつ、可動子磁極ユニットの進行方向に
対して斜めに可動子磁極を取り付けたリニアモータ。 9、特許請求の範囲第1項〜第8項のいずれかに記載の
発明において、固定子磁極ユニットを回転可能として、
固定子磁極ユニットのスキュー角度を変角自在としたリ
ニアモータ。 10、特許請求の範囲第9項記載の発明において、固定
子磁極ユニットの回転調整範囲内での可動子磁極の取付
位置が、固定子磁極と重なつているリニアモータ。[Scope of Claims] 1. A movable magnetic pole unit having movable magnetic poles arranged at a constant pitch in the longitudinal direction, facing the movable magnetic pole unit with a slight gap therebetween, and formed of a magnetic material. 1. A linear motor comprising a plurality of stator magnetic pole units having concave and convex magnetic poles, characterized in that the mounting position of the stator magnetic pole units is skewed with respect to the phase of the magnetic poles of the mover magnetic pole unit. 2. In the invention described in claim 1, a linear motor in which the mover magnetic pole unit is a permanent magnet and N poles and S poles are alternately arranged. 3. The linear motor according to claim 1, wherein the mounting position of the mover magnetic pole unit is skewed with respect to the phase of the magnetic pole of the stator magnetic pole unit. 4. The linear motor according to claim 1, wherein the movable magnetic pole unit is constructed by arranging permanent magnets in two or more stages. 5. The linear motor according to claim 1, in which a plurality of permanent magnets are diagonally arranged as a unit with respect to the movable magnetic pole unit. 6. The linear motor according to claim 1, in which the movable magnetic pole unit is arranged diagonally with respect to the moving direction thereof. 7. The linear motor according to claim 1, in which the moving angle of the movable magnetic pole unit is at an angle other than 90 degrees with respect to the parallel line of the stator magnetic poles arranged in parallel. 8. In the invention set forth in claim 1, stator magnetic poles are arranged in parallel, and the movable element is moved in a direction perpendicular to the parallel line and oblique to the moving direction of the movable magnetic pole unit. A linear motor with magnetic poles attached to the mover. 9. In the invention according to any one of claims 1 to 8, the stator magnetic pole unit is rotatable,
A linear motor with variable skew angle of the stator magnetic pole unit. 10. The linear motor according to claim 9, wherein the mounting position of the mover magnetic pole within the rotation adjustment range of the stator magnetic pole unit overlaps with the stator magnetic pole.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6673189A JPH02246761A (en) | 1989-03-18 | 1989-03-18 | linear motor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6673189A JPH02246761A (en) | 1989-03-18 | 1989-03-18 | linear motor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02246761A true JPH02246761A (en) | 1990-10-02 |
Family
ID=13324328
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6673189A Pending JPH02246761A (en) | 1989-03-18 | 1989-03-18 | linear motor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02246761A (en) |
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