JPH02246761A - リニアモータ - Google Patents
リニアモータInfo
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- JPH02246761A JPH02246761A JP6673189A JP6673189A JPH02246761A JP H02246761 A JPH02246761 A JP H02246761A JP 6673189 A JP6673189 A JP 6673189A JP 6673189 A JP6673189 A JP 6673189A JP H02246761 A JPH02246761 A JP H02246761A
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- JP
- Japan
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- magnetic pole
- pole unit
- linear motor
- stator
- mover
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はリニアモータに係り、特に、デイテント力を低
減させることのできるリニアモータに関する。
減させることのできるリニアモータに関する。
モータのコギングトルク(リニアモータではデ、イテン
ト力と呼ぶ)を低減させるためには、磁極歯をスキュー
することが一般的であるが、永久磁石をスキューすると
きの着磁精度やケイ素鋼板を積み重ねた時の角度の精度
により特性が変化する。
ト力と呼ぶ)を低減させるためには、磁極歯をスキュー
することが一般的であるが、永久磁石をスキューすると
きの着磁精度やケイ素鋼板を積み重ねた時の角度の精度
により特性が変化する。
しかして、従来形リニアモータのスキューに関する技術
は、「リニアモータ応用ハンドブック)・山田−編著・
1986年12月10日工業調査会発行の第192頁・
写真2(b)に示されているように、スロットまたはマ
グネットをスキューする方法として、菱形の永久磁石を
可動子に配置するようにしている。
は、「リニアモータ応用ハンドブック)・山田−編著・
1986年12月10日工業調査会発行の第192頁・
写真2(b)に示されているように、スロットまたはマ
グネットをスキューする方法として、菱形の永久磁石を
可動子に配置するようにしている。
しかしながら、前記したごとき従来技術にあっては、可
動子または固定子のどちらか一方の磁極をスキューする
必要があるため、次のような問題があった。
動子または固定子のどちらか一方の磁極をスキューする
必要があるため、次のような問題があった。
(1)永久磁石の磁極をスキューする場合には、菱形の
永久磁石を組み合わせて使うため、加工に時間がかかる
。
永久磁石を組み合わせて使うため、加工に時間がかかる
。
(2)ケイ素鋼板をスキューしてコアを作る場合には、
ずらした角度が一直線にならずにギザギザとなるため、
磁極歯間のパーミアンスの変化が位置に対して一定にな
らず、スキュー効果が低下する。また、コアをスキュー
する場合には、工程が多くなる欠点がある。
ずらした角度が一直線にならずにギザギザとなるため、
磁極歯間のパーミアンスの変化が位置に対して一定にな
らず、スキュー効果が低下する。また、コアをスキュー
する場合には、工程が多くなる欠点がある。
本発明の目的は、前記した従来技術の問題点を解決した
リニアモータを提供することにある。
リニアモータを提供することにある。
前記目的は、スキューしない可動子磁極ユニットとスキ
ューしない固定子磁極ユニットとを組み合わせてリニア
モータを構成するに際し、前記両ユニットを相対的にス
キューしたのと同じ角度で面対向するように取付けるこ
とによって達成される。
ューしない固定子磁極ユニットとを組み合わせてリニア
モータを構成するに際し、前記両ユニットを相対的にス
キューしたのと同じ角度で面対向するように取付けるこ
とによって達成される。
しかして、本発明は、スキューしない可動子磁極ユニッ
トとスキューしない固定子磁極ユニットとを組み合わせ
てリニアモータを構成するに際し、前記両ユニットを相
対的にスキューしたのと同じ角度で面対向するように取
付けることにより、実質的なスキュー効果が得られ、永
久磁石を菱形に加工するとか、ケイ素鋼板をずらして作
成する等の工数を省略することができる。
トとスキューしない固定子磁極ユニットとを組み合わせ
てリニアモータを構成するに際し、前記両ユニットを相
対的にスキューしたのと同じ角度で面対向するように取
付けることにより、実質的なスキュー効果が得られ、永
久磁石を菱形に加工するとか、ケイ素鋼板をずらして作
成する等の工数を省略することができる。
[実施例〕
以下1本発明を、2相のリニアモータに適用した場合を
例にとり、第1図〜第5図の一実施例にもとづいて説明
すると、第1図は可動子磁極ユニット1と固定子磁極ユ
ニット2との位置関係を示す斜視図、第2図は固定子磁
極ユニット2のみの斜視図、第3図は可動子磁極ユニッ
ト1の平面図、第4図は本発明リニアモータの平面図、
第5図は第4図のA−A’線断面図である。
例にとり、第1図〜第5図の一実施例にもとづいて説明
すると、第1図は可動子磁極ユニット1と固定子磁極ユ
ニット2との位置関係を示す斜視図、第2図は固定子磁
極ユニット2のみの斜視図、第3図は可動子磁極ユニッ
ト1の平面図、第4図は本発明リニアモータの平面図、
第5図は第4図のA−A’線断面図である。
第1図に示すように、可動子磁極ユニット1は永久磁石
11のN極とS極とを交互に配置している。しかして、
本実施例は、2相のモータに適用した例であるため、固
定子磁極ユニット2は、最低2個必要とするが、ここで
は、2相のうち、A相およびB相の固定子磁極をそれぞ
れ固定子磁極ユニット2aおよび2bとして以下に説明
する。
11のN極とS極とを交互に配置している。しかして、
本実施例は、2相のモータに適用した例であるため、固
定子磁極ユニット2は、最低2個必要とするが、ここで
は、2相のうち、A相およびB相の固定子磁極をそれぞ
れ固定子磁極ユニット2aおよび2bとして以下に説明
する。
すなわち、固定子磁極ユニット2bに設けられた固定子
磁極歯21bの位相は、固定子磁極歯21aに対し、電
気角で360度Xn±90度(nは整数)の関係となる
。
磁極歯21bの位相は、固定子磁極歯21aに対し、電
気角で360度Xn±90度(nは整数)の関係となる
。
また、固定子磁極ユニット2は、固定子ヨーク22の先
端に固定子磁極歯21が設けられていると共に、コイル
23がそれぞれ巻かれており、前記可動子磁極ユニット
1と固定子磁極ユニット2とは、固定子磁極ユニット2
の間隙に可動子磁極ユニット1が僅かな空隙を保って配
置されている。
端に固定子磁極歯21が設けられていると共に、コイル
23がそれぞれ巻かれており、前記可動子磁極ユニット
1と固定子磁極ユニット2とは、固定子磁極ユニット2
の間隙に可動子磁極ユニット1が僅かな空隙を保って配
置されている。
以上の構成において、リニアモータのデイテント力は、
磁極歯ピッチの周期で発生するが、本実施例においては
、前記デイテント力による影響を小さくするため、固定
子磁極ユニット2の取付位置を、可動子磁極ユニット1
の進行方向に対し1/4ピツチスキユーするようにずら
して配置したものである。
磁極歯ピッチの周期で発生するが、本実施例においては
、前記デイテント力による影響を小さくするため、固定
子磁極ユニット2の取付位置を、可動子磁極ユニット1
の進行方向に対し1/4ピツチスキユーするようにずら
して配置したものである。
そして、第2図に示すように、固定子磁極ユニット2は
、スキューしない構成になっており、また、第3図に示
すように、可動子磁極ユニット1に配置された永久磁石
11は、可動子磁極ユニット1の進行方向に対して直角
に着磁されており、以上の構成により、コアのスキュー
にともなう種種の問題点を生じることなしに、一般的に
知られている永久磁石をスキューしたり、コアをスキュ
ーしたりした場合と同様の効果を奏することができる。
、スキューしない構成になっており、また、第3図に示
すように、可動子磁極ユニット1に配置された永久磁石
11は、可動子磁極ユニット1の進行方向に対して直角
に着磁されており、以上の構成により、コアのスキュー
にともなう種種の問題点を生じることなしに、一般的に
知られている永久磁石をスキューしたり、コアをスキュ
ーしたりした場合と同様の効果を奏することができる。
なお1本発明リニアモータの平面図である第5図に示す
ように、固定子磁極ユニット2aと2bとには、それぞ
れコイル23aおよび23bが巻かれているため、外側
に広い構成となっている。
ように、固定子磁極ユニット2aと2bとには、それぞ
れコイル23aおよび23bが巻かれているため、外側
に広い構成となっている。
また、可動子磁極ユニット1は、台車Mに取り付けられ
ている。
ている。
第4図のA−A’線断面図である第5図に示すように、
可動子磁極ユニット1を取り付けた台車Mには、車輪S
が取り付けられており、ベースBに設けた溝に沿って進
行方向に対し、前後に移動可能である。さらに、固定子
磁極ユニット2は、可動子磁極と空隙を隔てて対向する
と共に、ベースBに固定されている。またさらに、可動
子磁極ユニット1に対し、固定子磁極ユニット2は、ス
キュー角度が任意に変化できるように、シャフト5とナ
ツト6等の回転機構および固定機構により、ベースBに
取り付けられている。
可動子磁極ユニット1を取り付けた台車Mには、車輪S
が取り付けられており、ベースBに設けた溝に沿って進
行方向に対し、前後に移動可能である。さらに、固定子
磁極ユニット2は、可動子磁極と空隙を隔てて対向する
と共に、ベースBに固定されている。またさらに、可動
子磁極ユニット1に対し、固定子磁極ユニット2は、ス
キュー角度が任意に変化できるように、シャフト5とナ
ツト6等の回転機構および固定機構により、ベースBに
取り付けられている。
第6図に本発明の第2の実施例を示す、すなわち、第6
図(a)は本発明の第2の実施例を示す可動子磁極ユニ
ット1と固定子磁極ユニット2との位置関係を示す平面
図、第6図(b)は第6図(a)のB−B’線断面図で
ある。
図(a)は本発明の第2の実施例を示す可動子磁極ユニ
ット1と固定子磁極ユニット2との位置関係を示す平面
図、第6図(b)は第6図(a)のB−B’線断面図で
ある。
しかして、第6図(a)に示すように、固定子磁極ユニ
ット2は回転調整範囲内において、可動子磁極ユニット
1に設けた永久磁石11に必ず全磁極歯が重なるように
配置されており、これにより、推力の低下を招くことな
く、スキュー効果を得ることができ、デイテント力の低
減効果がある。
ット2は回転調整範囲内において、可動子磁極ユニット
1に設けた永久磁石11に必ず全磁極歯が重なるように
配置されており、これにより、推力の低下を招くことな
く、スキュー効果を得ることができ、デイテント力の低
減効果がある。
また、第6図(b)に示すように、固定子磁極ユニット
2のベースBへの固定方法は、前記第1の実施例の場合
と同様であるが、可動子磁極ユニット1は、永久磁石1
1の強度の補強を兼ねることを目的に、永久磁石11.
11間に可動子ヨーク12を入れたもので、モータとし
ての特性およびスキュー効果は、前記第1の実施例の場
合と何等変わるところはない。
2のベースBへの固定方法は、前記第1の実施例の場合
と同様であるが、可動子磁極ユニット1は、永久磁石1
1の強度の補強を兼ねることを目的に、永久磁石11.
11間に可動子ヨーク12を入れたもので、モータとし
ての特性およびスキュー効果は、前記第1の実施例の場
合と何等変わるところはない。
重さらに、モータ全体を小型化するためには、不要な固
定子ヨーク22を削り、磁気回路的に高密度な設計とす
ればよいが、この構成によれば、固定子ヨーク22の機
械的な強度が低下するため、当該固定子ヨーク22に巻
くコイル23を固定子ヨーク22の内側に当てるように
巻き、樹脂モールドすることにより、前記した機械的強
度を上げることができる。
定子ヨーク22を削り、磁気回路的に高密度な設計とす
ればよいが、この構成によれば、固定子ヨーク22の機
械的な強度が低下するため、当該固定子ヨーク22に巻
くコイル23を固定子ヨーク22の内側に当てるように
巻き、樹脂モールドすることにより、前記した機械的強
度を上げることができる。
第7図は本発明の第3の実施例を示す可動子磁極ユニッ
ト1と固定子磁極ユニット2との位置関係を示す斜視図
であり、同図には、永久磁石11を2段構造に配置した
可動子磁極ユニット1を例示した。
ト1と固定子磁極ユニット2との位置関係を示す斜視図
であり、同図には、永久磁石11を2段構造に配置した
可動子磁極ユニット1を例示した。
第8図〜第11図はそれぞれ本発明の第4〜第7の実施
例を示す可動子磁極ユニット1と固定子磁極ユニット2
との位置関係を示す平面図であり。
例を示す可動子磁極ユニット1と固定子磁極ユニット2
との位置関係を示す平面図であり。
第8図および第9図に示す配置によっても、前記各実施
例と同様のスキュー効果を得ることができる。また、第
10図に示すように、固定子磁極ユニット2に対し、台
車Mを同図矢印で示すように斜めに進行させたり、ある
いは第11図に示すように、可動子磁極ユニット1をV
形に配置することによっても、これまた前記各実施例と
同様のスキュー効果を得ることができる。
例と同様のスキュー効果を得ることができる。また、第
10図に示すように、固定子磁極ユニット2に対し、台
車Mを同図矢印で示すように斜めに進行させたり、ある
いは第11図に示すように、可動子磁極ユニット1をV
形に配置することによっても、これまた前記各実施例と
同様のスキュー効果を得ることができる。
なお、前記各実施例においては、可動子磁極として永久
磁石を使用した場合について例示したが。
磁石を使用した場合について例示したが。
これに代えて、可変リラクタンス・ (VR)形の可動
子を用いることもできる。そして、その場合は、リニア
モータのデイテント力ではなく、発生推力の脈動分吸収
に有効である。
子を用いることもできる。そして、その場合は、リニア
モータのデイテント力ではなく、発生推力の脈動分吸収
に有効である。
また、図示を省略したが、可動子磁極ユニット1と固定
子磁極ユニット2との両方をずらして構成しても、前記
各実施例と同様の効果が得られることは言うまでもない
。
子磁極ユニット2との両方をずらして構成しても、前記
各実施例と同様の効果が得られることは言うまでもない
。
さらに、前記各実施例においては、コイル23の巻き方
についての説明を背略したが、コイル23がリニアモー
タの幅方向に制限がある場合は、第6図(b)に示す巻
き方に代えて、第12図、すなわち本発明の第8の実施
例に示すような巻き方としてもよい。
についての説明を背略したが、コイル23がリニアモー
タの幅方向に制限がある場合は、第6図(b)に示す巻
き方に代えて、第12図、すなわち本発明の第8の実施
例に示すような巻き方としてもよい。
第13図は本発明の第9の実施例を示す可動子磁極ユニ
ット1の平面図であり、同図に示すように、可動子磁極
ユニット1に取り付ける可動子ヨーク12に対して斜め
に(スキュー角を設けて)永久磁石11をユニット化し
て取り付け、固定子磁極ユニット2を可動子ヨーク12
に対して直角に取り付けることによっても、前記各実施
例と同様の効果を得ることができる。
ット1の平面図であり、同図に示すように、可動子磁極
ユニット1に取り付ける可動子ヨーク12に対して斜め
に(スキュー角を設けて)永久磁石11をユニット化し
て取り付け、固定子磁極ユニット2を可動子ヨーク12
に対して直角に取り付けることによっても、前記各実施
例と同様の効果を得ることができる。
以上、本発明によれば、可動子磁極および固定子磁極に
用いる永久磁石およびコアをスキューすることなく、リ
ニアモータのデイテント力を低減できるので、mしい斜
め加工や、ケイ素鋼板を斜めに積み重ねる等の工数低減
をはかることができ、リニアモータ製作作業の簡便化、
ひいては経済性の点ですぐれている。
用いる永久磁石およびコアをスキューすることなく、リ
ニアモータのデイテント力を低減できるので、mしい斜
め加工や、ケイ素鋼板を斜めに積み重ねる等の工数低減
をはかることができ、リニアモータ製作作業の簡便化、
ひいては経済性の点ですぐれている。
また、固定子磁極の取付角度(スキュー角度)によって
リニアモータのデイテント力と推力の大きさとを変化さ
せることができるため、用途に応じた機種に対応させる
ことができ、量産性の点でもすぐれている。
リニアモータのデイテント力と推力の大きさとを変化さ
せることができるため、用途に応じた機種に対応させる
ことができ、量産性の点でもすぐれている。
第1図、〜第5図は本発明の一実施例を示し、第1図は
可動子磁極ユニット1と固定子磁極ユニット2との位置
関係を示す斜視図、第2図は固定子磁極ユニット2のみ
の斜視図、第3図は可動子磁極ユニット1の平面図、第
4図は本発明リニアモータの平面図、第5図は第4図の
A−A’線断面図。 第6図(a)は本発明の第2の実施例を示す可動子磁極
ユニット1と固定子磁極ユニット2との位置関係を示す
平面図、第6図(b)は第6図(a)のB−B’線断面
図、第7図は本発明の第3の実施例を示す可動子磁極ユ
ニット1と固定子磁極ユニット2との位置関係を示す斜
視図、第8図〜第11図はそれぞれ本発明の第4図〜第
7図の実施例を示す可動子磁極ユニット1と固定子磁極
ユニット2との位置関係を示す平面図、第12図は本発
明の第8の実施例を示す第6図(b)相当図。 第13図は本発明の第9の実施例を示す可動子磁極ユニ
ット1の平面図である。 1・・・可動子磁極ユニット、2・・・固定子磁極ユニ
ット、11・・・永久磁石、21・・・固定子磁極歯、
22・・・固定子ヨーク、23・・・コイル。
可動子磁極ユニット1と固定子磁極ユニット2との位置
関係を示す斜視図、第2図は固定子磁極ユニット2のみ
の斜視図、第3図は可動子磁極ユニット1の平面図、第
4図は本発明リニアモータの平面図、第5図は第4図の
A−A’線断面図。 第6図(a)は本発明の第2の実施例を示す可動子磁極
ユニット1と固定子磁極ユニット2との位置関係を示す
平面図、第6図(b)は第6図(a)のB−B’線断面
図、第7図は本発明の第3の実施例を示す可動子磁極ユ
ニット1と固定子磁極ユニット2との位置関係を示す斜
視図、第8図〜第11図はそれぞれ本発明の第4図〜第
7図の実施例を示す可動子磁極ユニット1と固定子磁極
ユニット2との位置関係を示す平面図、第12図は本発
明の第8の実施例を示す第6図(b)相当図。 第13図は本発明の第9の実施例を示す可動子磁極ユニ
ット1の平面図である。 1・・・可動子磁極ユニット、2・・・固定子磁極ユニ
ット、11・・・永久磁石、21・・・固定子磁極歯、
22・・・固定子ヨーク、23・・・コイル。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、長手方向に一定のピッチで配置された可動子磁極を
有する可動子磁極ユニットと、前記可動子磁極ユニット
と僅かな空隙を保つて対向しかつ、磁性体により形成さ
れた凹凸磁極を有する複数の固定子磁極ユニットとから
なるリニアモータにおいて、前記固定子磁極ユニットの
取付位置を、可動子磁極ユニットの磁極の位相に対して
スキューせしめたことを特徴とするリニアモータ。 2、特許請求の範囲第1項記載の発明において、可動子
磁極ユニットを永久磁石として、N極とS極とを交互に
配置したリニアモータ。 3、特許請求の範囲第1項記載の発明において、可動子
磁極ユニットの取付位置を、固定子磁極ユニットの磁極
の位相に対してスキューせしめたリニアモータ。 4、特許請求の範囲第1項記載の発明において、可動子
磁極ユニットを、永久磁石を2段以上に配列して構成し
たリニアモータ。 5、特許請求の範囲第1項記載の発明において、可動子
磁極ユニットに対し、永久磁石を斜めに複数個ユニット
化して配置したリニアモータ。 6、特許請求の範囲第1項記載の発明において、可動子
磁極ユニットを、その移動方向に対して斜めに配置した
リニアモータ。 7、特許請求の範囲第1項記載の発明において、平行に
配置した固定子磁極の平行線に対し、可動子磁極ユニッ
トの進行角度を90度以外の角度としたリニアモータ。 8、特許請求の範囲第1項記載の発明において、平行に
固定子磁極を配置し、可動子を前記平行線に対して直角
方向に移動させかつ、可動子磁極ユニットの進行方向に
対して斜めに可動子磁極を取り付けたリニアモータ。 9、特許請求の範囲第1項〜第8項のいずれかに記載の
発明において、固定子磁極ユニットを回転可能として、
固定子磁極ユニットのスキュー角度を変角自在としたリ
ニアモータ。 10、特許請求の範囲第9項記載の発明において、固定
子磁極ユニットの回転調整範囲内での可動子磁極の取付
位置が、固定子磁極と重なつているリニアモータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6673189A JPH02246761A (ja) | 1989-03-18 | 1989-03-18 | リニアモータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6673189A JPH02246761A (ja) | 1989-03-18 | 1989-03-18 | リニアモータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02246761A true JPH02246761A (ja) | 1990-10-02 |
Family
ID=13324328
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6673189A Pending JPH02246761A (ja) | 1989-03-18 | 1989-03-18 | リニアモータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02246761A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006108513A1 (de) * | 2005-04-15 | 2006-10-19 | Compact Dynamics Gmbh | Linearaktor |
| US7362013B2 (en) | 2003-11-18 | 2008-04-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Linear motor, exposure apparatus using the same, and device manufacturing method |
| JP2010130892A (ja) * | 2008-12-01 | 2010-06-10 | Sinfonia Technology Co Ltd | リニアモータシステムの製造方法及びリニアモータシステム |
| WO2010067837A1 (ja) * | 2008-12-10 | 2010-06-17 | 株式会社日立製作所 | 推力発生機構、駆動装置,xyステージ及びxyzステージ |
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| US7841309B2 (en) | 2005-04-15 | 2010-11-30 | Compact Dynamics Gmbh | Gas exchange valve actuator for a valve-controlled internal combustion engine |
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| JP2013034385A (ja) * | 2012-11-19 | 2013-02-14 | Hitachi Ltd | 推力発生機構 |
| JP5655071B2 (ja) * | 2010-06-08 | 2015-01-14 | 株式会社日立製作所 | リニアモータ |
-
1989
- 1989-03-18 JP JP6673189A patent/JPH02246761A/ja active Pending
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