JPH0224963Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0224963Y2 JPH0224963Y2 JP1983152706U JP15270683U JPH0224963Y2 JP H0224963 Y2 JPH0224963 Y2 JP H0224963Y2 JP 1983152706 U JP1983152706 U JP 1983152706U JP 15270683 U JP15270683 U JP 15270683U JP H0224963 Y2 JPH0224963 Y2 JP H0224963Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- micro
- flapper
- oscillating member
- oscillating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Servomotors (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案、各種の油圧制御システム等に使用でき
るドライタイプのサーボバルブに関するものであ
る。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a dry type servo valve that can be used in various hydraulic control systems.
従来から、フラツパ等の微小揺動部材を電磁ア
クチユエータにより偏位させてボデイ内に配置し
たノズルの背圧等を変化させ、その背圧変化を利
用してスプール等の弁体を作動させ得るようにし
たサーボバルブが知られている。また、単にこれ
だけのものでは、前記ボデイ内の流体、例えば、
作動油が前記微小揺動部材の周囲を通つて前記ア
クチユエータ内に流入し該アクチユエータの作動
を阻害するおそれがあるため、前記ボデイ内を前
記アクチユエータから隔離したドライタイプのも
のも開発されている。そころで、従来のこの種サ
ーボバルブは、例えば、特公昭49−34228号公報
に示されるように、内方端を前記ボデイ内に連通
させるとともに外方端を閉塞したチユーブを設け
ておき、このチユーブを前記電磁アクチユエータ
の軸心部に圧入するとともに、このチユーブ内に
フラツパを、その先端部を前記ボデイ内に臨ませ
て収容するようにしたものが一般的である。そし
て、フラツパは、前記チユーブの外方端内部に片
持的に支持させてある。
Conventionally, a micro-oscillating member such as a flapper is deflected by an electromagnetic actuator to change the back pressure of a nozzle arranged in the body, and the back pressure change can be used to operate a valve body such as a spool. The servo valve made by the above is known. In addition, if this is only the case, the fluid in the body, for example,
Since there is a risk that hydraulic oil may flow into the actuator through the periphery of the micro-oscillating member and obstruct the operation of the actuator, a dry type has also been developed in which the inside of the body is isolated from the actuator. Conventional servo valves of this type, for example, as shown in Japanese Patent Publication No. 49-34228, are provided with a tube whose inner end communicates with the inside of the body and whose outer end is closed. This tube is generally press-fitted into the axial center of the electromagnetic actuator, and the flapper is housed within the tube with its tip facing into the body. The flapper is supported in a cantilever manner within the outer end of the tube.
ところが、このような構成のものでは、組立て
に際して前記フラツパの基端を前記チユーブの最
も奥まつた部位に固定したり、前記チユーブを前
記アクチユエータの軸心部に圧入するという作業
が不可欠であり、製作に手間がかかつてコストダ
ウンを図るのが難かしいという不都合がある。
However, with such a configuration, during assembly, it is essential to fix the proximal end of the flapper to the innermost part of the tube, and to press fit the tube into the axial center of the actuator. There are disadvantages in that it takes time and effort to manufacture and it is difficult to reduce costs.
本考案は、このような事情に着目してなされた
もので、ボデイ内の流体が電磁アクチユエータ側
に侵入するのを確実に防止することができるだけ
でなく、構造が簡単で製作が容易であり、性能の
低下を招くことなしに無理なくコストダウンを図
ることができ、しかも、保守性をも改善すること
ができるサーボバルブを提供することを目的とす
る。 The present invention was developed in view of these circumstances, and not only can it reliably prevent the fluid in the body from entering the electromagnetic actuator side, but it also has a simple structure and is easy to manufacture. It is an object of the present invention to provide a servo valve that can reasonably reduce costs without causing a deterioration in performance, and can also improve maintainability.
本考案は、かかる目的を達成するために、サー
ボバルブを、先端部の偏位により流体の圧力変化
を惹起させるフラツパあるいはジエツトパイプ等
の微小揺動部材と、この微小揺動部材の先端部が
挿入される開口部を有し内部に前記流体が存在す
るボデイと、このボデイの開口端に装着され前記
微小揺動部材を偏位させる電磁アクチユエータ
と、前記ボデイの開口部を密閉するダイヤフラム
とを具備してなるものにし、このダイヤフラムに
前記微小揺動部材を貫通支持させてその支持部を
該微小揺動部材のヒンジ点としている。そして、
その微小揺動部材を、前記ダイヤフラムの内面側
に位置する先端部材と、外面側に位置する基端部
材とからなるものにし、前記先端部材の端面に突
設したボルト部を前記ダイヤフラムを貫通させて
前記基端部材の端面に開口させたねじ穴部に螺着
し締付けていることを特徴とする。
In order to achieve this purpose, the present invention has developed a servo valve with a micro-oscillating member such as a flapper or a jet pipe that causes a change in fluid pressure by deflection of the tip, and a micro-oscillating member such as a flapper or jet pipe, in which the tip of the micro-oscillating member is inserted. a body having an opening in which the fluid is present; an electromagnetic actuator attached to an open end of the body to deflect the minute swinging member; and a diaphragm sealing the opening of the body. The micro-oscillating member is supported through the diaphragm, and the supporting portion serves as a hinge point of the micro-oscillating member. and,
The minute swinging member is made up of a tip member located on the inner surface side of the diaphragm and a base end member located on the outer surface side, and a bolt portion protruding from the end surface of the tip member is passed through the diaphragm. The base end member is screwed into a screw hole opened in the end face of the proximal end member and tightened.
このような構成によれば、電磁アクチユエータ
を作動させて微小揺動部材に傾動力を付与する
と、この微小揺動部材を支持するダイヤフラムの
周縁部以外の部分が主体的に弾性変形し、この微
小揺動部材が略ヒンジ点を中心にして傾動するこ
とになる。その結果、微小揺動部材の先端部の位
置が変化し、従来のものと同様な作用により流体
の圧力が変化することになる。
According to such a configuration, when the electromagnetic actuator is actuated to apply a tilting force to the micro-oscillating member, the portion of the diaphragm other than the peripheral edge of the diaphragm that supports the micro-oscillating member is primarily elastically deformed, and this micro-oscillating member The swinging member tilts approximately around the hinge point. As a result, the position of the tip of the minute swinging member changes, and the pressure of the fluid changes due to the same effect as in the conventional structure.
しかして、このサーボバルブは、ダイヤフラム
によりボデイの開口部を密閉するようにしている
ため、摺動シール部分が無く、確実な密閉構造を
得ることができる。 Since this servo valve uses a diaphragm to seal the opening of the body, there is no sliding seal part, and a reliable sealing structure can be obtained.
なお、微小揺動部材は、前述のように先端部材
と基端部材とからなるものであるため、その先端
部材と、基端部材との螺合を解除することによ
り、この微小揺動部材をダイヤフラムから簡単に
離脱させることができる。そして、その逆の操作
により、前記微小揺動部材をダイヤフラムに装着
することができる。装着状態においては、先端部
材の端面と基端部材の端面とによつて、ダイヤフ
ラムの中央部を挟圧することになるため、がたつ
きのない装着状態が得られる。 As mentioned above, the micro-oscillating member consists of a distal end member and a proximal end member, so by unscrewing the distal end member and the proximal end member, the micro-oscillating member can be adjusted. It can be easily removed from the diaphragm. Then, by performing the reverse operation, the minute swinging member can be attached to the diaphragm. In the installed state, the end surface of the distal end member and the end surface of the proximal end member squeeze the central portion of the diaphragm, so that an installed state without wobbling can be obtained.
以下、本考案の一実施例を図面を参照して説明
する。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
第1図は、本考案に係るサーボバルブの要部を
示す正断面図であり、スプールの配設部等は通常
のものであるため図示を省略してある。この図面
に示すように、このサーボバルブは、微小揺動部
材たるフラツパ1と、このフラツパ1が挿入され
る開口部2を有し内部に対をなすノズル3,4を
収容したボデイ5と、このボデイ5の開口端に装
着され前記フラツパ1を偏位させる電磁アクチユ
エータ6と、前記ボデイ5の開口部2を密閉する
ダイヤフラム7とを具備してなり、このダイヤフ
ラム7に前記フラツパ1を貫通支持させてその支
持部を該フラツパ1のヒンジ点8としている。詳
述すれば、フラツパ1は、前記ダイヤフラム7の
内面7a側に位置する先端部材9と、外面7b側
に位置する基端部材10とからなるもので、前記
先端部材9の端面に突設したボルト部11を前記
ダイヤフラム7を貫通させて前記基端部材10の
端面に開口させたねじ穴部12に螺着し締付ける
ことによつて前記ダイヤフラム7の中心部に嵌着
固定されている。先端部材9の先端部9aは平板
状に形成されており、前記両ノズル3,4間に位
置させてある。また、基端部材10は、柱状の芯
部10aと、この芯部10aの先端に設けたアマ
チユア部10bとからなるもので、磁性材料によ
り作られている。また、前記ダイヤフラム7は、
弾性薄板材料により作られた円板状のもので、そ
の周縁部7cを前記ボデイ5の開口部2の段部端
面2aに添設させてある。そして、この周縁部7
cを、抑えリング13によつて前記段部端面2a
に液密に締付け固定している。一方、電磁アクチ
ユエータ6は、前記基端部材10の芯部10aを
囲繞する位置に配設したハウジング14内にソレ
ノイド15を配設するとともに、このハウジング
14の頂部に前記基端部材10のアマチユア部1
0bに両側から近接するヨーク16,17を載設
し、これら両ヨーク16,17間に永久磁石18
を架設したものである。 FIG. 1 is a front sectional view showing the main parts of the servo valve according to the present invention, and the spool arrangement part and the like are not shown because they are conventional. As shown in this drawing, this servo valve includes a flapper 1 as a micro-oscillating member, a body 5 having an opening 2 into which the flapper 1 is inserted, and housing a pair of nozzles 3 and 4 therein. It is equipped with an electromagnetic actuator 6 that is attached to the open end of the body 5 and deflects the flapper 1, and a diaphragm 7 that seals the opening 2 of the body 5, and the flapper 1 is supported through the diaphragm 7. The support portion thereof serves as the hinge point 8 of the flapper 1. More specifically, the flapper 1 consists of a distal end member 9 located on the inner surface 7a side of the diaphragm 7, and a proximal end member 10 located on the outer surface 7b side. The bolt portion 11 is fitted and fixed to the center of the diaphragm 7 by screwing and tightening the bolt portion 11 into a screw hole portion 12 that passes through the diaphragm 7 and opens at the end surface of the base end member 10. The distal end portion 9a of the distal end member 9 is formed into a flat plate shape, and is positioned between the nozzles 3 and 4. The proximal member 10 is made of a magnetic material and includes a columnar core portion 10a and an armature portion 10b provided at the tip of the core portion 10a. Further, the diaphragm 7 is
It is a disc-shaped member made of an elastic thin plate material, and its peripheral edge 7c is attached to the stepped end face 2a of the opening 2 of the body 5. And this peripheral part 7
c is fixed to the step end surface 2a by the restraining ring 13.
It is fixed in a liquid-tight manner. On the other hand, the electromagnetic actuator 6 has a solenoid 15 disposed within a housing 14 disposed at a position surrounding the core portion 10a of the proximal end member 10, and a solenoid 15 disposed in a housing 14 that surrounds the core portion 10a of the proximal end member 10. 1
Yokes 16 and 17 are placed close to 0b from both sides, and a permanent magnet 18 is placed between these yokes 16 and 17.
It was constructed by
このような構成のものであれば、電磁アクチユ
エータ6の永久磁石18のN極から出た磁力線
は、ヨーク16、ギヤツプ19、アマチユア10
b、ギヤツプ20およびヨーク17を通つてS極
に入る。一方、図示しないサーボアンプからソレ
ノイド15に電流が供給されると、このソレノイ
ド15内に存在するフラツパ1の芯部10aおよ
びハウジング14に磁力線が発生するため、該フ
ラツパ1のアマチユア部10bに電流の方向によ
つてN極またはS極が生じる。この結果、このア
マチユア部10bとヨーク16,17との間に磁
力による吸引、反発作用が生じ、該フラツパ1が
ダイヤフラム7の中立保持力に抗して電流量に応
じた角度だけ傾動することになる。それによつ
て、流体、例えば、作動油を絶えず噴出する各ノ
ズル3,4と、このフラツパ1との対抗距離に違
いが生じ、これら各ノズル3,4の背圧に差が生
じ、この背圧の差によつて、スプール等が作動さ
せられる。 With such a configuration, the lines of magnetic force coming out from the N pole of the permanent magnet 18 of the electromagnetic actuator 6 are connected to the yoke 16, the gap 19, and the armature 10.
b, enters the S pole through the gap 20 and yoke 17. On the other hand, when a current is supplied to the solenoid 15 from a servo amplifier (not shown), magnetic lines of force are generated in the core part 10a of the flapper 1 and the housing 14 existing in the solenoid 15, so that the current is applied to the armature part 10b of the flapper 1. Depending on the direction, either a north pole or a south pole occurs. As a result, magnetic attraction and repulsion effects occur between the armature portion 10b and the yokes 16 and 17, and the flapper 1 tilts by an angle corresponding to the amount of current against the neutral holding force of the diaphragm 7. Become. This causes a difference in the opposing distance between each nozzle 3, 4 that constantly spouts fluid, for example, hydraulic oil, and this flapper 1, resulting in a difference in back pressure between these nozzles 3, 4, and this back pressure. The spool etc. are operated depending on the difference between the two.
このようにして、サーボ弁機能を発揮するわけ
であるが、本サーボバルブは、ボデイ5の開口部
2をダイヤフラム7により密閉しているので、ボ
デイ5内の作動油が電磁アクチユエータ6内に侵
入するのを確実に防止することができる。しか
も、ダイヤフラム7を用いてシールを行なうよう
にすれば、従来のもののようにチユーブ等をアク
チユエータ内に圧入するようなことが不要とな
り、組立てが簡単になる。その上、このダイヤフ
ラム7にフラツパ1を貫通支持させ、その支持部
をヒンジ点8にしている。つまり、このダイヤフ
ラム7によつて前記フラツパ1を傾動可能に弾性
支持するようにしているので、格別な復元ばねが
不要であり部品点数を削減することができるだけ
でなく、チユーブの奥にヒンジ点を設けるような
場合にくらべて製作がはるかに容易になる。そし
て、フラツパ1を、先端部材9と基端部材10と
からなるものにし、前記先端部材9のボルト部1
1を前記基端部材10のねじ穴部12へ螺着する
ことによつて、これら両部材9,10に介在させ
た前記ダイヤフラム7を挟圧しうるような構造に
しているので、該フラツパ1の前記ダイヤフラム
7に対する取り付けが特に簡単になり、保守性を
良好なものにすることができるという効果も得ら
れる。すなわち、従来のチユーブや本考案のダイ
ヤフラム7は、常に変形動作が加えられる部品で
あるため、内部組織に欠陥があると、亀裂等が発
生することがある。このような場合、従来のもの
では、チユーブ内にフラツパが固定されているた
め、チユーブを新しいものと交換するのは非常に
難かしいが、本考案のものは、先端部材9と基端
部材10との螺合を解除すれば、このフラツパ1
をダイヤフラム7から簡単に離脱させることがで
き、その逆の操作により、新たなダイヤフラム7
にフラツパ1を容易に装着することができる。 In this way, the servo valve function is achieved, but since the opening 2 of the body 5 is sealed by the diaphragm 7, the hydraulic oil in the body 5 does not enter the electromagnetic actuator 6. This can be reliably prevented. Moreover, if the diaphragm 7 is used for sealing, there is no need to press fit a tube or the like into the actuator as in the conventional case, which simplifies assembly. Moreover, the flapper 1 is supported through the diaphragm 7, and the support portion is used as the hinge point 8. In other words, since the flapper 1 is elastically supported in a tiltable manner by the diaphragm 7, a special restoring spring is not required, and the number of parts can be reduced. Manufacturing is much easier than in the case where it is provided. The flapper 1 is made up of a distal end member 9 and a proximal end member 10, and the bolt portion 1 of the distal end member 9 is
By screwing the flapper 1 into the screw hole 12 of the proximal end member 10, the diaphragm 7 interposed between these members 9 and 10 can be compressed. There is also the effect that attachment to the diaphragm 7 is particularly simple and maintainability can be improved. That is, since the conventional tube and the diaphragm 7 of the present invention are parts that are constantly subject to deformation, cracks may occur if there is a defect in the internal structure. In such a case, it is very difficult to replace the tube with a new one in the conventional tube because the flapper is fixed inside the tube. If you unscrew it, this flap 1
can be easily removed from the diaphragm 7, and by reversing the operation, a new diaphragm 7 can be removed.
The flapper 1 can be easily attached to the.
なお、微小揺動部材は、フラツパに限らず、例
えば、受流口に対向させたジエツトパイプ等であ
つてもよい。 Note that the minute swinging member is not limited to the flapper, and may be, for example, a jet pipe facing the receiving port.
また、電磁アクチユエータの構成も図示実施例
のものに限られないのは勿論であり、本考案の趣
旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。 Furthermore, it goes without saying that the structure of the electromagnetic actuator is not limited to that of the illustrated embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.
本考案は、以上のような構成であるから、ボデ
イ内の流体が電磁アクチユエータ側に侵入するの
を確実に防止することができるだけでなく、構造
が簡単で製作が容易であり、性能の低下を招くこ
となしに無理なくコストダウンを図ることがで
き、しかも、微小揺動部材とダイヤフラムとの着
脱を容易に行なうことができるため、組立性を良
好なものにすることができるだけでなく、ダイヤ
フラムの交換にも簡単に対処することができ、保
守性を大幅に改善することができるサーボバルブ
を提供できるものである。
Since the present invention has the above-described configuration, it not only can reliably prevent the fluid in the body from entering the electromagnetic actuator side, but also has a simple structure and easy manufacture, and prevents deterioration in performance. It is possible to reasonably reduce costs without causing problems, and since it is possible to easily attach and detach the minute swinging member and the diaphragm, it not only makes it easier to assemble, but also makes it easier to assemble the diaphragm. It is possible to provide a servo valve that can be easily replaced and that can greatly improve maintainability.
図面は本考案の一実施例を示し、第1図は、正
断面図、第2図は平面図、第3図は第1図におけ
る−線断面図、第4図は第1図におけるA部
を示す拡大図である。
1……微小揺動部材(フラツパ)、2……開口
部、5……ボデイ、6……電磁アクチユエータ、
7……ダイヤフラム、8……ヒンジ点、9……先
端部材、10……基端部材、11……ボルト部、
12……ねじ穴部。
The drawings show one embodiment of the present invention, in which FIG. 1 is a front sectional view, FIG. 2 is a plan view, FIG. 3 is a sectional view taken along the - line in FIG. 1, and FIG. 4 is a section A in FIG. 1. FIG. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1...Minute swinging member (flapper), 2...Opening, 5...Body, 6...Electromagnetic actuator,
7... Diaphragm, 8... Hinge point, 9... Tip member, 10... Base end member, 11... Bolt part,
12...Screw hole part.
Claims (1)
るフラツパあるいはジエツトパイプ等の微小揺動
部材と、この微小揺動部材の先端部が挿入される
開口部を有し内部に前記流体が存在するボデイ
と、このボデイの開口端に装着され前記微小揺動
部材を偏位させる電磁アクチユエータと、前記ボ
デイの開口部を密閉するダイヤフラムとを具備し
てなり、このダイヤフラムに前記微小揺動部材を
貫通支持させてその支持部を該微小揺動部材のヒ
ンジ点としたものであつて、前記微小揺動部材
を、前記ダイヤフラムの内面側に位置する先端部
材と、外面側に位置する基端部材とからなるもの
にし、前記先端部材の端面に突設したボルト部を
前記ダイヤフラムを貫通させて前記基端部材の端
面に開口させたねじ穴部に螺着し締付けているこ
とを特徴とするサーボバルブ。 A micro-oscillating member such as a flapper or a jet pipe that causes a pressure change in fluid by deflection of its tip; a body having an opening into which the distal end of the micro-oscillating member is inserted, and in which the fluid exists; , comprising an electromagnetic actuator attached to an open end of the body to deflect the micro-oscillating member, and a diaphragm sealing the opening of the body, and the micro-oscillating member is penetratingly supported by the diaphragm. The support portion is the hinge point of the micro-oscillating member, and the micro-oscillating member is composed of a distal end member located on the inner surface side of the diaphragm and a proximal end member located on the outer surface side. The servo valve is characterized in that a bolt portion protruding from the end surface of the tip member is screwed into a screw hole portion which penetrates the diaphragm and opens at the end surface of the base end member and is tightened.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15270683U JPS6059801U (en) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | servo valve |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15270683U JPS6059801U (en) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | servo valve |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6059801U JPS6059801U (en) | 1985-04-25 |
| JPH0224963Y2 true JPH0224963Y2 (en) | 1990-07-10 |
Family
ID=30338057
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15270683U Granted JPS6059801U (en) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | servo valve |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6059801U (en) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4725005U (en) * | 1971-04-10 | 1972-11-21 | ||
| JPS4934228U (en) * | 1972-06-28 | 1974-03-26 | ||
| JPS57137704U (en) * | 1981-02-25 | 1982-08-28 |
-
1983
- 1983-09-30 JP JP15270683U patent/JPS6059801U/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6059801U (en) | 1985-04-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5799696A (en) | Solenoid actuated toggle valve | |
| US5145147A (en) | Normally closed-type fluid control valve | |
| US4396199A (en) | Fluid pressure sealing member for a valve | |
| JPS6160308B2 (en) | ||
| US4019532A (en) | Flap valve | |
| JP3177328B2 (en) | Valve with metal seal | |
| JPH10281310A (en) | Valve | |
| US3960361A (en) | Solenoid valve | |
| US4637427A (en) | Magnetic valve | |
| US3456916A (en) | Ball valve assembly | |
| US4832313A (en) | Solenoid valve | |
| JPS602556B2 (en) | Small 3-way solenoid valve | |
| JPS6256679A (en) | Solenoid controlled valve | |
| JPS61136074A (en) | Solenoid operated valve for fluid | |
| JPH0319657Y2 (en) | ||
| JPH0514058Y2 (en) | ||
| JPH0143579Y2 (en) | ||
| JP2560882Y2 (en) | valve | |
| JPH11173443A (en) | Check valve | |
| JPH11193872A (en) | Check valve | |
| JPS603426Y2 (en) | three-way solenoid valve | |
| JP2519305Y2 (en) | Pilot operated solenoid valve for fluid control | |
| JPH0348462Y2 (en) | ||
| JPH0225026Y2 (en) | ||
| JPH045814Y2 (en) |