JPH02251717A - 表面粗さ測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は表面粗さ測定装置に関し、詳しくは被測定物
の表面粗さを求めるべき面と検出手段の走査するスライ
ド方向とを所定状態にさせる表面粗さ測定装置に関する
。

［従来の技術］ 被測定物の表面粗さを求めるべき面と検出手段の走査す
るスライド方向とを所定状態にさせ得る表面粗さ測定装
置として、従来、実願昭６２−５２４７２号で示したも
のがある。

［発明が解決しようとする課題］ 実願昭６２−５２４７２号で示した表面粗さ測定装置で
は、被測定物の表面粗さを求めるべき面と検出手段の走
査するスライド方向とを所定状態にさせるためには、測
定前に予め検出手段である触針を被測定物に走査させる
ことによって被測定物の姿勢傾斜状態を求め、その結果
に基づいて被測定物の姿勢傾斜状態を所定のものとなる
ように調整する。次に、姿勢調整後の被測定物に対して
触針を姿勢調整前の初期の位置に戻してから、あらため
て表面粗さを測定する構成になっている。

従って、実願昭６２−５２４７２で示した表面粗さ測定
装置は触針を少なくとも二度走査させることになり、測
定において取扱いが煩雑であると共に時間を多く要する
という問題がある。又、検出手段が接触式の触針の場合
では被測定物を傷つけることになるが、被測定物が十分
な硬度を有していない場合には、−度目の走査によって
得られる測定結果と既に一度目の走査を行なった跡を更
に二度目の走査をして得られる測定結果とは大きく異な
り、データとして得るべき二度目の走査による測定結果
に信頼のおけない場合が出てくるという問題があった。

この発明は上記の事情に鑑みてなされたものであり、取
扱いが簡便であって、短時間で表面粗さの測定を済すこ
とができ、硬度が十分ではない被測定物を測定する場合
であっても測定結果の信頼性が確保される表面粗さ測定
装置を提供するものである。

［課題を解決するための手段］ この発明は、検出手段を最初に予め定めた所定距離だけ
走査させ、この走査で得られるデータに基づいて被測定
物の姿勢状態を調整し、且つその走査した被測定物部分
の表面粗さを求め、更に所定距離走査後の表面粗さ測定
を連続的におこなうように構成した表面粗さ測定装置で
ある。

その詳細な構成は、被測定物を載置支持するテーブルと
、そのテーブルに載置支持される被測定物の被測定表面
の粗さを検出する検出手段と、その検出手段がテーブル
に載置支持された被測定物の表面を走査してその表面粗
さを検出するために、検出器とテーブルとを平行の状態
で相対的にスライドさせるスライド手段と、検出手段が
検出した検出結果に基づき被測定物の表面粗さを演算表
示する演算表示手段が備えられ、加えて、上記検出手段
が予め定められた一定距離を走査してテーブルに載置支
持された被測定物の表面粗さを検出し、その検出結果か
らその走査した一定距離分の表面粗さの平均軌跡を演算
する平均軌跡演算手段と、その平均軌跡演算手段によっ
て得られる表面粗さの平均軌跡の上記スライド手段がス
ライドさせる方向に対する傾斜を検出する傾斜検出手段
と、その傾斜検出手段からの検出結果に基づき前記表面
粗さの平均軌跡とスライド手段をスライドさせる方向と
が平行になるようにテーブルの傾斜姿勢を補正する姿勢
補正手段が設けられてなる表面粗さ測定装置である。

又、表面粗さ測定装置は、検出手段が予め定められた一
定距離を走査することによって得られる被測定物の表面
粗さの検出結果を記憶、且つその記憶した検出結果を、
前記傾斜検出手段の検出結果に基づき、一定距離の走査
によって得られた表面粗さの平均軌跡をスライド手段の
スライドさせる方向に平行になるように姿勢補正手段に
よって姿勢補正された際のテーブル上に被測定物が載置
される状態の値に変換する変換手段を備えることができ
る。

更に、表面粗さ測定装置は、検出手段が表面粗さの検出
において検出可能な上方限界および下方限界を有してお
り、その検出手段がテーブルに載置支持された被測定物
の表面粗さを検出している際に、その検出結果が検出手
段の検出可能な上方限界、又は下方限界の近傍の値にな
る場合には、検出手段の検出結果が対応する検出可能な
限界から離隔するようにテーブルと検出手段との相対位
置をスライドさせる限界値スライド手段、およびその限
界値スライド手段の作動後に検出手段によって検出され
る検出結果が限界値スライド手段の作動前に検出した検
出結果に連続するように限界値スライド手段のスライド
量に基づき限界値スライド手段の作動後の検出結果を補
正するための信号を演算表示手段に出力する補正手段を
備えることができる。

尚、検出手段は具体的に、被測定物に接触して表面粗さ
を検出する触針を備えた、いわゆる接触式が挙げられる
。また、姿勢補正手段は具体的に、被測定物側の状態を
補正するもの、検出手段側の状態を補正するもの、およ
び被測定物側の状態と検出手段の状態の二つを補正する
ものが挙げられる。

［作用］ 検出手段を一定距離だけ走査させてから演算手段を作動
させると前記走査によって求められた被測定物の表面粗
さからその表面粗さの平均軌跡が得られ、傾斜検出手段
はその得られた表面粗さの平均軌跡のスライド手段のス
ライドさせる方向に対する傾斜を検出し、姿勢補正手段
は傾斜検出手段によって得られたその傾斜に基づきテー
ブルの傾斜姿勢を補正する。

［実施例］ この発明を第１〜４図に示す実施例に従って詳述する。

しかし、この実施例によって、この発明が限定されるも
のではない。

表面粗さ測定装置１は第１図に示すように、基台２に垂
直上方に支柱３が立設されており、支柱３に被測定物の
粗さを測定する検出手段４が支持されている。基台２の
下方には、検出手段４によって検出した検出結果に基づ
き被測定物（図示省略）の表面粗さを演算表示する演算
表示手段５が配設されている。又、演算表示手段５の前
面には、表面粗さ測定装置１を操作するための操作パネ
ル６が組込まれていると共に、演算表示手段５の液晶式
の表示パネル７が設けられている。支柱３と検出手段４
との間には、ボールねじ８、駆動モータ９等から構成さ
れて、検出手段４を上下方向（矢印Ａ方向）にスライド
させてテーブル１０上に載置支持される被測定物の被測
定面（図示省略）の高さに合致させるための手段、及び
検出手段４の触針１１がテーブル１０上に載置支持され
る被測定物の被測定面に平行にスライドするように検出
手段４を水平方向（矢印Ｂ方向）にスライドさせ得るス
ライド手段１２が設けられている。

検出手段４は、被測定面に接触走査する触針１１と、触
針１１の接触部位の上下動を電気の量に変換する変換器
（図示省略）と、この変換器からの電気信号を演算表示
手段５に送るためのコネクタ（図示省略）と、筒形状で
、触針１１をその接触部位が上下可動に支持するケーシ
ング１３等を備えて構成されている。尚、検出手段４は
、触針１１の接触部位が上下動し、この上下動に対して
前記変換器が電気の量に変換して表面粗さを検出するこ
とにおいて、検出可能な上方限界及び下方限界を有して
いる。

スライド手段１２は、検出手段４を保持するホルダ１４
と、ホルダ１４のスライドを水平前後方向、つまり矢印
Ｂ方向にガイドするスライダ１５及びガイド１６と、ス
ライダ１５を駆動するボールねじ１７及び出力モータ１
８と、ケーシング１９から主に構成されている。

表面粗さ測定装置１は、検出手段４がテーブル１０に載
置支持された被測定物の表面粗さを検出している際に、
検出手段４の検出結果が検出可能な上方限界、もしくは
下方限界になる場合には、検出手段４の検出結果が対応
する検出可能な限界から離隔するように、テーブル１０
に対して検出手段４の触針１１を移動させる限界値スラ
イド手段２０が備えられている。限界値スライド手段２
０はその駆動部を第２図に示すように、基台２とテーブ
ル１０との間に介在され、ベース２１と、ベース２１に
立設されたピラー２２．２３．２４と、ピラー２２．２
３．２４によって水平状態に保たれて上下方向、つまり
矢印Ａ方向に案内されてスライドされ得るスライダ２５
と、スライダ２５とピラー２２．２３．２４との間に介
在されたクロスローラガイド２６と、スライダ２５の傾
斜した底面２７と係合し、水平前後方向（矢印Ｂ方向）
にスライドされることによってスライダ２５に上下方向
（矢印六方向）の移動のための力を与える滑動体２８と
、滑動体２８に矢印Ｂ方向のスライドの駆動力を与える
出力モータ２９および送りねじ３０とから主に構成され
ている。

限界値スライド手段２０の作動に係わる構成は第３図に
示すように、検出手段４と、検出手段４の変換器からの
信号を受けて検出手段４の検出結果がゼロレベル、及び
検出可能な上方限界と下方限界であることを検出する信
号検査部３１と、信号検査部３１を経て来たデータの信
号にＡ／Ｄ変換等のデータ加工をおこなう演算処理部３
２と、信号検査部３１から検出結果が検出可能な上方限
界及び下方限界であることに基づいた制御信号を受けて
限界値スライド手段２０の出力モータ２９に駆動及び停
止の制御信号を出力すると共に、演算処理部３２にデー
タ加工の制御信号を出力するシステム制御部３３からな
っている。

又、表面粗さ測定装置１は、限界値スライド手段２０が
作動し、テーブル１０が検出手段４に対して矢印Ａ方向
に移動した際にその移動した距離に基づいて、移動の前
後で検出結果が連続するように移動後の検出結果を補正
するスライド値補正手段（図示省略）が備えられている
。スライド値補正手段はシステムとして第３図に示すよ
うに、信号検査部３１と、システム制御部３３と、限界
値スライド手段２０が作動した際にシステム制御部３３
から制御信号を受けて、信号検査部３１を経て来たデー
タ信号を補正する演算処理部３２と、演算処理部３２が
補正演算を行う際のデータを記憶しておく記憶部３４を
備えて構成されている。

更に、表面粗さ測定装置１は、テーブル１０に被測定物
を載置支持して表面粗さを検出手段４が予め定められた
一定距離を走査して測定した際に、その表面粗さの平均
軌跡とスライド手段１２のスライド方向とが平行である
か否かを判断するための手段、及びこの手段によるスラ
イド方向の判断結果に基づき前記中心軌跡がスライド手
段のスライド方向に平行になるようにテーブル１０の傾
斜姿勢を補正する姿勢補正手段３６が設けられている。

前記の表面粗さの平均軌跡とスライド手段１２のスライ
ド方向とが平行であるか否かを判断するための手段は、
検出手段４が一定距離分走査して測定した表面粗さに基
づきその表面粗さの平均軌跡を演算する平均軌跡演算手
段と、この平均軌跡演算手段からの平均軌跡のスライド
手段１２のスライド方向に対する傾斜を検出する傾斜検
出手段とから構成されている。前記平均軌跡演算手段は
具体的には、主に信号検査部３１及び演算処理部３２か
ら構成されている。又、傾斜検出手段は主に、記憶部３
４および演算処理部３２から構成されている。姿勢補正
手段３６はその駆動部が第２図に示すように、スライダ
２５の上面に固定されたマウント部材３７と、くさび状
であってスライダ２５の上面を矢印Ｂ方向にスライドし
得る滑動体３８と、上面がテーブル１０を載置固定し、
且つピン４０によってマウント部材３７に対して矢印Ｃ
方向に回転可能に枢支され、更に滑動体３８の斜面と係
合してテーブル１０の検出姿勢を変え得る支持部材３９
と、滑動体３８に矢印Ｂ方向にスライドする力を与える
駆動モータ４１及び送りねじ４２から主に構成されてい
る。４３及び４４はカバーであって、それぞれベース２
１及びテーブル１０に取付けられている。姿勢補正手段
３６はシステムとして第３図に示すように、検出手段４
と、信号検査部３１と、演算処理部３２と、システム制
御部３３と、記憶部３４と、駆動モータ４１から構成さ
れている。

表面粗さ測定装置１は更に、平均軌跡演算手段および傾
斜検出手段の作動に基づき姿勢補正手段３６が作動して
テーブル１０上の被測定物の被測定面の傾斜状態が変化
して被測定面の表面粗さの平均軌跡がスライド手段１２
のスライド方向と平行になった際に、検出手段４が予め
定めた一定距離を走査して得た検出結果を被測定面の表
面粗さの平均軌跡がスライド手段１２のスライド方向と
平行になった場合の値に変換する変換手段が備えられて
いる。変換手段は、信号検査部３１、演算処理部３２、
記憶部３４およびシステム制御部３３から主に構成され
ている。

尚、４５は、測定結果を記録するレコーダである。

表面粗さ測定装置１は、上述したように構成されている
。以下において、表面粗さ測定装置１の使用を説明する
。

測定者は、被測定物をテーブル１０上に載置してから操
作パネル６を操作して表面粗さ測定装置１の作動をスタ
ートさせる。ここで、まず駆動モータ９が出力し、予め
最高位置にセットしていたスライド手段１２は支柱３に
そって矢印Ａ方向下方にスライドを開始する。このスラ
イド手段１２のスライドと共に検出手段４も下方にスラ
イドするが、検出手段４のそのスライドの際に触針１１
の先端接触部位が被測定物に当接すると、検出手段４は
被測定物に当接したことを示すデータ信号を信号検査部
３１に送る。信号検査部３１は検出手段４からのデータ
信号を受けて、システム制御部３３に検出手段４がゼロ
レベルで位置するように駆動モータ９を停止させるため
の制御信号を出力する。システム制御部３３は信号検査
部３１からの制御信号を受けて、駆動モータ９に停止指
令の制御信号を出力すると共に、検出手段４に被測定物
を所定の距離だけ走査させるための制御信号を、スライ
ド手段１２に出力する。駆動モータ９はシステム制御部
３３からの制御信号を受けて停止し、検出手段４は被測
定物に対してゼロレベルで位置する。他方、スライド手
段１２はシステム制御部３３からの制御信号を受けて、
検出手段４は所定距離だけ矢印Ｂ方向にスライドされる
。ここで、検出手段４は被測定物を所定距離だけ走査し
、その走査によって得られたデータに基づき、平均軌跡
演算手段が作動する。つまり、そのデータを示す電気信
号は信号検査部３１を介して演算処理部３２に送られる
。演算処理部３２は検出手段４からのデータ信号に基づ
いて被測定物の被測定面の所定距離における表面粗さの
平均軌跡を算出する。つまり、平均軌跡の角度を算出す
る。又その算出した角度をシステム制御部３３に信号で
出力する。この角度を示す信号は、実質的に制御信号と
なる。システム制御部３３は演算処理部３２からの信号
を受けて、前記角度が許容範囲外であれば、つまりスラ
イド手段１２のスライド方向に対して前記平均軌跡が平
行ではなく角度を有している場合には、その角度が許容
範囲内となるように姿勢補正手段３６に作動し、つまり
駆動モータ４１に出力のための制御信号を出力する。駆
動モータ４１はこの出力のための制御信号を受けて、送
りねじ４２を回転させることによって滑動体３８を矢印
Ｂ方向にスライドさせ、結果的に支持部材３９と共にテ
ーブル１０を矢印Ｃ方向に回転させて前記平均軌跡をス
ライド手段１２のスライド方向に平行する。

ここで、変換手段が作動して検出手段４が予め一定距離
を走査して得た表面粗さの検出結果を被測定物の被測定
面がスライド手段１２のスライド方向と平行となってい
る状態の値に変換する。つまり、検出手段４が予め一定
距離を走査して得た検出結果を信号検査部３１は記憶部
３４に送る。

演算処理部３２は平均軌跡の角度が許容範囲の外である
と、この旨をシステム制御部３３に信号で送る。システ
ム制御部３３は、記憶部３４に記憶している一定距離走
査の検出結果を演算処理部３２に送るように制御し、且
つ演算処理部３２に前記記憶部３４からの検出結果と、
算出された平均軌跡の角度等に基づいて姿勢補正手段３
６の作動後の値に変換する信号を送る。変換して補正さ
れた結果が算出されると、表示パネル７に表示されると
共にレコーダ４５に記録される。この後、システムＭ御
部３３は、スライド手段１２に検出手段４が被測定物を
走査するための信号を出力する。スライド手段１２は、
出力モータ１８が出力して検出手段４を矢印Ｂ方向にス
ライドする。このスライドによって、検出手段４は触針
１１が被測定物を走査し、表面粗さのデータを信号検査
部３１に送る。信号検査部３１に送られたデータは演算
処理部３２及び記憶部３４に取込まれて演算処理され、
測定結果は表示パネル７に表示されると共にレコーダ４
５に記録される。

この測定を行なっている際に、検出結果が検出手段４の
検出可能な上方限界の値になると、信号検査部３１は検
出手段４からの測定データを検査して上方限界であるこ
とを検知し、検出結果が検出可能な上方限界の値である
旨の信号をシステム制御部３３に出力する。システム制
御部３３は信号検査部３１からこの信号を受けると、ス
ライド手段１２に停止のための信号を出力すると共に、
ゼロレベルと上方限界との差だけテーブル１０を矢印Ａ
方向下方にスライドさせるように、限界値スライド手段
２０に作動の信号を出力する。スライド手段１２はシス
テム制御部３３からこの信号を受けて、出力モータ１８
が停止して検出手段４の走査は一時停止する。他方、限
界値スライド手段２０はシステム制御部３３からこの信
号を受けて、出力モータ２９が送りねじ３０を回転駆動
して滑動体２８を矢印Ｂ方向左方向にスライドさせ、結
果的にテーブル１０を矢印Ａ方向下方にゼロレベルと上
方限界との差だけスライドさせる。ここで、検出手段４
の触針１１の接触先端部位は、被測定物に対してゼロレ
ベルの位置になる。又、この時システム制御部３３は補
正手段に検出結果がスライド手段１２の一時停止の前後
で連続するための信号を出力する。つまり演算処理部３
２及び記憶部３４に上方限界の検出以後に得られる検出
結果にテーブル１０が移動した距離だけを加えるための
制御信号を出力する。記憶部３４はシステム制御部３３
から上記信号を受けて、予め記憶しているゼロレベルと
上方限界との差の距離を演算処理部３２に送る。演算処
理部３２はシステム制御部３３から上記信号を受けて、
前記上方限界の検出以後に得られる検出した検出結果に
記憶部３４からの前記差の距離を加えるよう演算式を交
換する。システム制御部３３は、限界値スライド手段２
０及び補正手段がそれぞれ上述した制御信号を受けてそ
の作動を終えると、スライド手段１２に再び作動を開始
する旨の制御信号を出力する。スライド手段１２はシス
テム制御部３３からこの制御信号を受けて、再び検出手
段４を矢印Ｂ方向にスライドする。再び矢印Ｂ方向にス
ライドを開始した検出手段４は、スライドの停止前の状
態に連続するように被測定物の被測定面の粗さを再び検
出し始めるが、その検出はゼロレベルを基準に開始され
る。しかし、この検出で得られる検出結果は、補正手段
で補正されることによって、検出手段４が検出した値に
ゼロレベルと上方限界の差の値が加わった値が表示パネ
ル７及びレコーダ４５にそれぞれ表示及び記録される。

つまり、表面粗さ測定装置１は、被測定物の被測定面の
粗さが検出手段４の検出可能な上方限界を越える場合で
は、テーブル１０を下方向にスライドすることでその被
測定面と検出手段４との相対位置を変え、且つ検出手段
４からのデータをそのスライドする量だけ補正する演算
処理をおこなう構成になっている。従って、被測定面の
粗さが検出手段４の信頼できる検出可能な上方限界を越
える場合であっても、得られる測定結果は信頼すること
ができる。又、検出手段４の触針１１は被測定面から強
く押圧されて触針１１の移動許容範囲を越えることがな
いから、検出手段４が破損するということは生じない。

表面粗さ測定装置１の上述した作動は検出手段４の検出
結果が検出可能な上方限界の値になる場合であるが、検
出結果が検出可能な下方限界の値になる場合には限界値
スライド手段２０が作動してテーブル１０を上方に移動
させることで被測定面を検出手段４のゼロレベルの位置
にスライドし、且つスライド後に得られる測定値は補正
手段の作動によって検出手段４の検出結果からそのスラ
イドした量だけを引いた値となって表示及び記録される
。

尚、第４図に、表面粗さ測定装置１の作動を示すフロー
チャートを図示する。

上述した表面粗さ測定装置１の作動において、スライド
手段１２による検出手段４のスライド方向と被測定物の
被測定面との関係は、検出手段４の一定距離の走査と姿
勢補正手段３６の作動等によって所望の状態にすること
ができる。しかも、所望の状態は検出手段の一定距離走
査に連続していることより、被測定面を複数回走査して
傷つけるということはなく、又取扱いが簡便で殊に測定
を短時間で済ますことができる。

又、変換手段を備えることによって、姿勢補正のための
検出手段４の走査によって得られる検出結果も被測定面
が所望の状態にある場合の検出結果として得ることがで
きる。

この実施例においては、限界値スライド手段２０及び補
正手段は検出手段４の検出結果が検出可能な上方限界の
値及び下方限界の値になる場合に作動する。しかし、検
出手段４の検出可能な上方限界近傍の値、及び下方限界
近傍の値になる場合、つまり例えばそれぞれ上方限界の
９０％の値及び下方限界の９０％の値になる場合に、限
界値スライド手段２０及び補正手段が作動するようにし
た構成であってもよい。この場合、記憶部に記憶される
補正のための値は限界値スライド手段２０のその場合の
移動距離の値となる。

表面粗さ測定装置１において、限界値スライド手段２０
は被測定物を上下方向に移動させる構成になっているが
、この他に検出手段４の触針１１をスライド手段１２に
対して上下方向に移動させる構成、触針１１の検出先端
部をスライド手段１２に対して回転移動させる構成、ス
ライド手段１２に対して検出手段４を上下方向に移動さ
せる構成、スライド手段１２を駆動モータ９の出力によ
って上下方向に移動させる構成、及びこれらの構成のい
（つかを組合せる構成のものであってもよい。

表面粗さ測定装置１は、姿勢補正手段３６が作動してい
る際に検出手段４の触針１１が検出手段４の検出可能な
限界の値になった場合においても、限界値スライド手段
２０を作動させて検出手段４が新たなゼロレベルをとる
ように構成してもよい。

表面粗さ測定装置１では検出手段４は触針１１を備え・
た接触式となっているが、例えば光学式の非接触式であ
ってもよい。

検出手段４が予め走査する距離は、被測定物に合せて適
宜選択できる構成としてもよい。

［発明の効果］ この発明によれば、被測定物の被測定面がスライド手段
のスライド方向と同じとなるための被測定物の姿勢補正
とその姿勢補正後の表面粗さの測定を自動的に連続して
おこなわせるように構成したことにより、走査が簡便で
且つ測定を短時間で済ますことができるという効果が得
られている。

また、検出手段が接触式で触針を備えてなる場合では、
検出手段の操作が一度だけで済むということから、被測
定物の被測定面を必要以上に傷付けなくてもよいという
効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す斜視図、第２図は第
１図のＩ−１断面図、第３図はこの実施例の構成を示す
構成説明図、第４図はこの実施例の作動を示すフローチ
ャートである。 １；表面粗さ測定装置、 基台、　　　　　　３；支柱、 検出手段、　　　５；演算表示手段、 操作パネル、　　　７；表示パネル、 テーブル、　　１２；スライド手段、 限界値スライド手段、 姿勢補正手段。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、被測定物を載置支持するテーブルと、そのテーブル
   に載置支持される被測定物の被測定表面の粗さを検出す
   る検出手段と、その検出手段がテーブルに載置支持され
   た被測定物の表面を走査してその表面粗さを検出するた
   めに、検出器とテーブルとを平行の状態で相対的にスラ
   イドさせるスライド手段と、検出手段が検出した検出結
   果に基づき被測定物の表面粗さを演算表示する演算表示
   手段が備えられ、 加えて、上記検出手段が予め定められた一定距離を走査
   してテーブルに載置支持された被測定物の表面粗さを検
   出し、その検出結果からその走査した一定距離分の表面
   粗さの平均軌跡を演算する平均軌跡演算手段と、その平
   均軌跡演算手段によって得られる表面粗さの平均軌跡の
   上記スライド手段がスライドさせる方向に対する傾斜を
   検出する傾斜検出手段と、その傾斜検出手段からの検出
   結果に基づき前記表面粗さの平均線とスライド手段をス
   ライドさせる方向とが平行になるようにテーブルの傾斜
   姿勢を補正する姿勢補正手段が設けられてなる表面粗さ
   測定装置。 ２、検出手段が予め定められた一定距離を走査すること
   によって得られる被測定物の表面粗さの検出結果を記憶
   、且つその記憶した検出結果を、前記傾斜検出手段の検
   出結果に基づき、一定距離の走査によって得られた表面
   粗さの平均軌跡をスライド手段のスライドさせる方向に
   平行になるように姿勢補正手段によって姿勢補正された
   際のテーブル上に被測定物が載置される状態の値に変換
   する変換手段が設けられてなる請求の範囲第１項に記載
   の表面粗さ測定装置。 ３、検出手段が表面粗さの検出において検出可能な上方
   限界および下方限界を有しており、その検出手段がテー
   ブルに載置支持された被測定物の表面粗さを検出してい
   る際に、その検出結果が検出手段の検出可能な上方限界
   、又は下方限界の近傍の値になる場合には、検出手段の
   検出結果が対応する検出可能な限界から離隔するように
   テーブルと検出手段との相対位置をスライドさせる限界
   値スライド手段、およびその限界値スライド手段の作動
   後に検出手段によって検出される検出結果が限界値スラ
   イド手段の作動前に検出した検出結果に連続するように
   限界値スライド手段のスライド量に基づき限界値スライ
   ド手段の作動後の検出結果を補正するための信号を演算
   表示手段に出力する補正手段を設けてなる請求の範囲第
   １項もしくは第２項に記載の表面粗さ測定装置。