JPH02251806A - 光ファイバと光導波路の接続構造の製造方法 - Google Patents
光ファイバと光導波路の接続構造の製造方法Info
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- JPH02251806A JPH02251806A JP7291889A JP7291889A JPH02251806A JP H02251806 A JPH02251806 A JP H02251806A JP 7291889 A JP7291889 A JP 7291889A JP 7291889 A JP7291889 A JP 7291889A JP H02251806 A JPH02251806 A JP H02251806A
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- JP
- Japan
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- optical fiber
- optical waveguide
- optical
- guide groove
- connection structure
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/30—Optical coupling means for use between fibre and thin-film device
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
この発明は光通信や光情報処理などに用いられ、基板上
に形成された光導波路と光ファイバの接続構造の製造方
法に関する。
に形成された光導波路と光ファイバの接続構造の製造方
法に関する。
「従来の技術」
第６図、第７図に示すように基板１１上に形成された光
導波路１２に光ファイバ１３を接続する場合、基板１１
を構成するｔ、ｖｂｏｚ にオブ酸すチェウム）などは
脆く欠けやすいため、従来においては加工容易なシリコ
ン材のファイバ設置台１４に溝を形成し、光ファイバ１
３を挟み込み、調芯後、接着剤で基板１１に固定してい
た。
導波路１２に光ファイバ１３を接続する場合、基板１１
を構成するｔ、ｖｂｏｚ にオブ酸すチェウム）などは
脆く欠けやすいため、従来においては加工容易なシリコ
ン材のファイバ設置台１４に溝を形成し、光ファイバ１
３を挟み込み、調芯後、接着剤で基板１１に固定してい
た。
あるいは第８図、第９図に示すようにグイシングツ−１
５を用いて、光導波路１２と垂直な第１溝１６を基板１
１に形成し、第１溝１６の壁面に現われた光導波路１２
の端面と一端が対向した案内溝１７をｉ［１１に形成し
、図に示してないが、その案内溝１７に光ファイバの端
部を設置し、その光ファイバの端面を光導波路１２の端
面に対接する。
５を用いて、光導波路１２と垂直な第１溝１６を基板１
１に形成し、第１溝１６の壁面に現われた光導波路１２
の端面と一端が対向した案内溝１７をｉ［１１に形成し
、図に示してないが、その案内溝１７に光ファイバの端
部を設置し、その光ファイバの端面を光導波路１２の端
面に対接する。
「発明が解決しようとする課題」
第６図、第７図に示す接続構造においては基板１１とフ
ァイバ設置台１４との物理的性質の違い、特に熱に対す
る性質の違いにより光ファイバと光導波路とにずれが生
じ、また接着剤を使用するため位置ずれが生じ、更に取
付精度などの問題により接続部での光学的損失が大きか
った。
ァイバ設置台１４との物理的性質の違い、特に熱に対す
る性質の違いにより光ファイバと光導波路とにずれが生
じ、また接着剤を使用するため位置ずれが生じ、更に取
付精度などの問題により接続部での光学的損失が大きか
った。
第８図、第９図について説明した接続構造のように機械
的方法、エツチング等で基板に直接溝を形成する場合は
第６図、第７図の接続構造の欠点は除去されるが、基板
の脆さのために案内溝のエッヂ部にかけが発生し、光フ
ァイバを正しく案内することができない場合がある。案
内溝を１本ずつ形成しなけれればならないため、それぞ
れの位置合せが大変であり、接続誤差にばらつきが生じ
、工作能率も低い欠点がある。
的方法、エツチング等で基板に直接溝を形成する場合は
第６図、第７図の接続構造の欠点は除去されるが、基板
の脆さのために案内溝のエッヂ部にかけが発生し、光フ
ァイバを正しく案内することができない場合がある。案
内溝を１本ずつ形成しなけれればならないため、それぞ
れの位置合せが大変であり、接続誤差にばらつきが生じ
、工作能率も低い欠点がある。
なお案内溝をＹＡＧレーザ又はＣｏｗ レーザにより加
工することが考えられるが、この場合は熔融、気化とい
う熱加工であるため加工後の形状を精度よく制御するこ
とは困難である。
工することが考えられるが、この場合は熔融、気化とい
う熱加工であるため加工後の形状を精度よく制御するこ
とは困難である。
「課題を解決するための手段」
この発明によれば案内溝をマスクパターンを使用したエ
キシマレーザ加工により形成する。
キシマレーザ加工により形成する。
エキシマレーザは希ガスハライドエキシマレーザであっ
て、紫外線域の高出力なレーザであり、非熱平衡的、低
温、微細、浅薄な加工が可能であり、半導体プロセスな
どの超微細加工に用いられている。
て、紫外線域の高出力なレーザであり、非熱平衡的、低
温、微細、浅薄な加工が可能であり、半導体プロセスな
どの超微細加工に用いられている。
「実施例」
第１図は光導波路と光ファイバとの接続構造の一例を示
す、 Ｉ、１ＮｂＯｚの基板１１に光導波路１２として
Ｙ分岐導波路が形成されている。光導波路１２と垂直に
第１溝１６をマイクロラッピングなどにより基板１１に
形成する。第１溝１６の壁面に現われた光導波路１２の
端面は鏡面仕上げされる。
す、 Ｉ、１ＮｂＯｚの基板１１に光導波路１２として
Ｙ分岐導波路が形成されている。光導波路１２と垂直に
第１溝１６をマイクロラッピングなどにより基板１１に
形成する。第１溝１６の壁面に現われた光導波路１２の
端面は鏡面仕上げされる。
その光導波路１２の端面と一端が対向した案内溝１７（
第２図）を基！、ｔｉｌｌに形成する。案内溝１７に光
ファイバ１３の端部が設置それ、その光ファイバ１３の
端面は光導波路１２の端面に対接される。この時第３図
に示すように光導波路１２と光ファイバ１３のコアとが
一致する。つまり光導波路１２と光ファイバ１３との光
学的結合効率が最大となるように案内溝１７が加工され
ている。
第２図）を基！、ｔｉｌｌに形成する。案内溝１７に光
ファイバ１３の端部が設置それ、その光ファイバ１３の
端面は光導波路１２の端面に対接される。この時第３図
に示すように光導波路１２と光ファイバ１３のコアとが
一致する。つまり光導波路１２と光ファイバ１３との光
学的結合効率が最大となるように案内溝１７が加工され
ている。
この発明においては基板１１に案内溝１７を次のように
形成する。すなわち第４図、第５図に示すように、レー
ザ本体２工からエキシマレーザビーム２２を発射し、そ
のレーザビーム２２を必要に応じてミラー２３で折り曲
げ、更に拡大製作されたマスクパターン２４を通し、そ
の後レンズ２５により基板１１上に収束させ、マスクパ
ターン２４に対応した案内溝１７を形成する。
形成する。すなわち第４図、第５図に示すように、レー
ザ本体２工からエキシマレーザビーム２２を発射し、そ
のレーザビーム２２を必要に応じてミラー２３で折り曲
げ、更に拡大製作されたマスクパターン２４を通し、そ
の後レンズ２５により基板１１上に収束させ、マスクパ
ターン２４に対応した案内溝１７を形成する。
「発明の効果」
以上述べたようにこの発明によればマスクパターンを使
用したエキシマレーザ加工により複数の案内溝を基板に
同時に形成するため、予め精度良くマスクパターンを製
作しておけば溝相互間の誤差、繰返し誤差の小さい目的
に合致した案内溝を形成でき、固着時の光フアイバ位置
ずれを大幅に減少できる０機械的加工と異なり案内溝の
エツジ部にクラックの発注もなく、光ファイバを正確に
案内することができ、また同時加工であるため、機械的
加工よりも短時間で加工することができる。
用したエキシマレーザ加工により複数の案内溝を基板に
同時に形成するため、予め精度良くマスクパターンを製
作しておけば溝相互間の誤差、繰返し誤差の小さい目的
に合致した案内溝を形成でき、固着時の光フアイバ位置
ずれを大幅に減少できる０機械的加工と異なり案内溝の
エツジ部にクラックの発注もなく、光ファイバを正確に
案内することができ、また同時加工であるため、機械的
加工よりも短時間で加工することができる。
エキシマレーザを用いるため基板が熱変形することなく
、案内溝の形状を精度よく制御することができる。
、案内溝の形状を精度よく制御することができる。
第１図は光ファイバと光導波路の接続構造の一例を示す
斜視図、第２図はその一部の拡大斜視図、第３図は光フ
ァイバと光導波路の接続部の断面図、第４図はこの発明
の実施例を示す概略図、第５図はその一部の拡大斜視図
、第６回及び第７図はそれぞれ従来の光ファイバと光導
波路の接続構造を示す斜視図、第８図は従来のグイシン
グツ−による案内溝の加工を示す図、第９図は第８図の
右側面図である。
斜視図、第２図はその一部の拡大斜視図、第３図は光フ
ァイバと光導波路の接続部の断面図、第４図はこの発明
の実施例を示す概略図、第５図はその一部の拡大斜視図
、第６回及び第７図はそれぞれ従来の光ファイバと光導
波路の接続構造を示す斜視図、第８図は従来のグイシン
グツ−による案内溝の加工を示す図、第９図は第８図の
右側面図である。
Claims (1)
- （１）光導波路が形成された基板に、その光導波路と垂
直に第１溝を形成し、その第１溝の壁面に現われた上記
光導波路の端面と一端が対向した案内溝を上記基板に形
成し、上記光導波路の端面に光ファイバの端面を対接さ
せてその光ファイバの端部を上記案内溝内に設置する光
ファイバと光導波路の接続構造において、 上記案内溝をマスクパターンを使用したエキシマレーザ
加工により形成することを特徴とする光ファイバと光導
波路の接続構造の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7291889A JPH02251806A (ja) | 1989-03-24 | 1989-03-24 | 光ファイバと光導波路の接続構造の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7291889A JPH02251806A (ja) | 1989-03-24 | 1989-03-24 | 光ファイバと光導波路の接続構造の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02251806A true JPH02251806A (ja) | 1990-10-09 |
Family
ID=13503215
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7291889A Pending JPH02251806A (ja) | 1989-03-24 | 1989-03-24 | 光ファイバと光導波路の接続構造の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02251806A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100456468B1 (ko) * | 2002-11-15 | 2004-11-10 | (주) 포코 | 레이저 미세가공을 이용한 광송수신 모듈 및 그 제조 방법 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63121015A (ja) * | 1986-10-14 | 1988-05-25 | アラーガン インコーポレーテッド | エキシマーレーザーによる眼用レンズの製造方法及び装置 |
| JPS63220991A (ja) * | 1987-03-06 | 1988-09-14 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 光加工方法 |
| JPS6444292A (en) * | 1987-08-11 | 1989-02-16 | Brother Ind Ltd | Method or grooving substrate of optical material |
| JPH02168210A (ja) * | 1988-12-22 | 1990-06-28 | Brother Ind Ltd | レーザによる溝加工方法 |
-
1989
- 1989-03-24 JP JP7291889A patent/JPH02251806A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63121015A (ja) * | 1986-10-14 | 1988-05-25 | アラーガン インコーポレーテッド | エキシマーレーザーによる眼用レンズの製造方法及び装置 |
| JPS63220991A (ja) * | 1987-03-06 | 1988-09-14 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 光加工方法 |
| JPS6444292A (en) * | 1987-08-11 | 1989-02-16 | Brother Ind Ltd | Method or grooving substrate of optical material |
| JPH02168210A (ja) * | 1988-12-22 | 1990-06-28 | Brother Ind Ltd | レーザによる溝加工方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100456468B1 (ko) * | 2002-11-15 | 2004-11-10 | (주) 포코 | 레이저 미세가공을 이용한 광송수신 모듈 및 그 제조 방법 |
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