JPH02252112A

JPH02252112A - 薄膜磁気ヘッド及びその製造方法

Info

Publication number: JPH02252112A
Application number: JP7346789A
Authority: JP
Inventors: Mikio Matsuzaki; 幹男松崎; Hiroshi Kanai; 金井　寛
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 1989-03-24
Filing date: 1989-03-24
Publication date: 1990-10-09

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〈産業上の利用分計〉本発明は、浮上面を有するスライダの端面に読み書き素
子を備える浮上型の薄膜磁気ヘッド及びその製造方法に
関し、読み書き素子の取出電極を、読み書き素子を備え
る端面とは異なる側端面に導出することにより、取出電
極面積による制限をあまり受けることなく小型化でき、
しかも、製造の容易な浮上型の薄膜磁気ヘッド及びその
製造方法を提供できるようにしたものである。

〈従来の技術〉従来より、磁気ディスク装置には、磁気記録媒体の走行
によって生じる動圧を利用して、磁気記録媒体との間に
微小な空気ベアリングによる間隙を保って浮上する薄膜
磁気ヘッドが用いられている。このような浮上型の薄膜
磁気ヘットは、例えば特公昭５８−２１３２９号、特公
昭５８−２８６５０号各公報等で公知であり、その基本
的な構成は、磁気記録媒体と対向する面側に浮上面を有
するスライダの空気流出端部側に読み書籾素子を備える
構造となっている。第７図は従来のこの種の薄膜磁気ヘ
ッドの斜視図を示し、１は例えばセラミック構造体でな
るスライダ、２Ａ、２Ｂは読み書き素子である。スライ
ダ１は磁気記録媒体と対向する面に、間隔をおいて２つ
のレール部１０１．１０２を形成すると共に、レール部
１０１．１０２の表面を平面度の高い浮上面１０３．１
０４としである。浮上面１０３．１０４側には、磁気記
録媒体との組合せにおいて、矢印ａ方向に流れる空気流
に対して流入端となる一端部側に、テーバ部１０３ａ、
１０４ａを設けである。読み書き素子２Ａ、２ＢはＩＣ
製造テクノロジと同様のプロセスにしたがって形成され
た薄膜磁気ヘッド素子であり、テーパ部１０３ａ、１０
４ａとは反対側の空気流出端部側に付着されている。

３はアルミナ等の保護膜である。読み書き素子２Ａ、２
Ｂはこの保護膜３によって覆われている。４１Ａ、４２
Ａは読み書き素子２Ａの取出電極、４１Ｂ、４２Ｂは読
み書き素子２Ｂの取出電極であり、読み書き素子２Ａ、
２Ｂの付着されている端面と同一の端面上において、保
護膜３の表面上に導出しである。取出電極（４１Ａ、４
２Ａ）、（４１Ｂ、４２Ｂ）は、読み書き素子の導体コ
イルに導通接続されていて、図示しない磁気ディスク装
置のリード線が接続固定される。

〈発明が解決しようとする課題〉この種の薄膜磁気ヘッドは、磁気記録の高密度化及び高
速化に対応するため、ますます、小型化される傾向にあ
る。小型化は、高密度記録を達成するのに必要な浮上量
減少及びスペーシングロス低下に有効であること、ジン
バルとの組合せにおいて、共振周波数を高め、クラッシ
ュ防止及び耐久性向上に効果があること、動圧と支持バ
ネ圧との間の適正なバランスを保ち、フライト姿勢を良
好に保ち、安定な浮上特性が得られること、更に、小型
化によるヘッドの質量減少はアームのアクセス運動の高
速化をもたらすこと等の種々のメリットが得られること
による。

しかし、従来の浮上型薄膜磁気ヘットは、読み書き素子
２Ａ、２Ｂを有する端面上に、取出電極（４１Ａ、４２
Ａ）、（４１Ｂ、４２Ｂ）を形成してあったので、取出
電極（４１Ａ、４２Ａ）、（４１Ｂ、４２Ｂ）の面積に
よる制限を受け、小型化に限界を生じていた。

そこで、本発明の課題は、上述する従来の問題点を解決
し、取出電極による制限をあまり受けることなく小型化
でき、しかも製造の容易な浮上型の薄膜磁気ヘッドを提
供することである。

〈課題を解決するための手段〉上述する課題を解決するため、本発明に係る薄膜磁気ヘ
ッドは、浮上面を有するスライダの端面に読み書き素子
を備えるる薄膜磁気ヘッドであって、前記読み書き素子の取出電極を、前記読み書き素子を備
える前記端面とは異なる前記スライダの側端面に導出し
たことを特徴とする。

また、本発明に係る薄膜磁気ヘッドの製造方法は、スラ
イダとなるウェハー上に薄膜磁気ヘッド要素を整列して
形成した後、前記ウェハーから複数の薄膜磁気ヘッド要
素を有する集合体を、列単位で取出す工程と、前記工程を経て取出された集合体を、各薄膜磁気ヘッド
要素の取出電極にかかる切断位置で切断して、薄膜磁気
ヘッドの単体を取出す工程とを含むことを特徴とする。

く作用〉読み書き素子の取出電極を、読み書き素子を有する端面
とは異なるスライダの側端面に導出したのて、読み書き
素子を有する端面の面積を、取出電極面積による制限を
、あまり受けることなく縮小し、薄膜磁気ヘッド全体を
小型化できる。

しかも、取出電極を導出した側端面は、製造行程におい
て、ウェハーから薄膜磁気ヘッド単体を切断して取り出
す時の切断面となるので、切断加工と同時に、取出電極
を側端面に露出させることが可能であり、製造が容易で
ある。

更に、取出電極は側端面に導出されているので、取出電
極を面出してリード線ホンデング個所を形成するために
従来必須であった保護膜の研磨加工か不要になり、製造
工程が短縮される。

〈実施例〉第１図は本発明に係る薄ＩＩＫ磁気ヘッドの斜視図であ
る。実施例において、スライダ１は磁気記録媒体と対向
する浮上面１０６が、レール部及び揚力発生用テーパ面
を持たない平面状となフている。空気流出方向ａで見た
浮上面１０６の端縁（イ）、（ロ）は、コンタクト、ス
タート時における磁気ディスクの表面との引掛りをなく
すため、弧状に形成するのが望ましい。他の端縁（ハ）
、（ニ）も弧状に形成できる。

読み書き素子２は、磁気記録媒体との組合せにおいて、
矢印ａ方向に流れる空気流に対して流出端部側となる端
面に付着させである。実施例において、読み書き素子２
は１個であり、幅方向の略中間部に配置されている。そ
して、読み書き素子２の取出電極４１．４２を、スライ
ダ１の側端面１０７に導出しである。

第２図は読み書き素子２及び取出電極４１．４２の構成
を示す図、第３図は読み書き素子２の拡大断面図である
。図において、２１は下部磁性膜、２２はアルミナ等で
なるギャップ膜、２３は上部磁性膜、２４は導体コイル
膜、２５はノボラック樹脂等の有機樹脂で構成された絶
縁膜、２６．２７はリード電極である。

スライダ１は、第３図に示すように、Ａｌ２Ｏ３・Ｔｉ
Ｃでなる基体１０９上にアルミナ等てなる絶縁ｊｌ！！
１１０を被着させてあり、絶縁ｔｌＨ１ｏの上に読み書
き素子２を形成しである。

下部磁性ｌｌｉ！２１及び上部磁性膜２３の先端部は、
微小厚みのギャップ膜２３を隔てて対向するボール部２
１１．２３１となっており、ボール部２１１．２３１に
おいて読み書きを行なう。

２１２．２３２はヨーク部であり、ボール部２１１．２
３１とは反対側の端部において、下部磁性膜２１及び上
部磁性Ｄ！＠２３を互いに結合させである。

絶縁膜２５は複数層の絶縁膜２５１〜２５３から構成さ
れていて、絶縁膜２５１．２５２の上に、ヨーク部２１
２．２３２の結合部のまわりを渦巻状にまわるように、
導体コイル膜２４を形成しである。

リード電極２６．２７は、一端側が導体コイル膜２４の
両端にそれぞれ導通接続されており、他端側に取出電極
４１．４２が形成されている。

取出電極４１．４２は、スライダ１の側端面１０７に露
出させである。この取出電極４１．４２は、側端面１０
７に露出する端面の面積がリード線接続に必要な面積と
なるように、メツキ膜として形成する。具体的には、幅
ｄ１が１００〜２５０μｍ程度、高さｈｌが５０μｍ程
度である。

取出電極４１．４２は保護膜３により覆われている。第
７図に示す従来例の場合、リード線ボンディングのため
に、保護ＩＩ！　３の表面を研磨して、取出電極（４１
Ａ、４２Ａ）、（４１Ｂ。

４２Ｂ）の電極表面を露出させる工程が必要があったが
、本発明においては、このような研磨工程が不要であり
、工程が簡略化される。

第４図は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの別の実施例にお
ける斜視図を示している。この実施例では、取出電極４
１．４２は、導出方向を互いに逆向きにし、スライダ１
の相対向する両側端面１０７．１０８にそれぞれ導出し
である。

本発明に係る薄膜磁気ヘッドは、読み書き素子２の取出
電極４１．４２を、スライダ１の側端面１０７または１
０８に導出しであるので、取出電極４１．４２を読み書
ぎ素子２の付着されている端面に設ける従来技術と異な
って、読み書ぎ素子２を付着させる端面の幅Ｗ、を縮小
して、面積を小さくし、薄膜磁気ヘッド全体を小型化で
きる。具体的には、スライダ１の大きさを、浮上面１０
６から反対側の対向面までの厚みＨｌが０．６５ｍｍ以
下、空気流出方向の長さＬｌが０．５ｍｍ〜２　ｍｍ、
空気流出方向と直交する方向の幅Ｗ１が０．５ｍｍ〜２
ｍｍ程度となるように小型化できる。

また、取出電極４１．４２を導出した側端面１０７．１
０８は、製造行程において、ウェハーから薄膜磁気ヘッ
ド単体を切断して取り出す時の切断面となるので、切断
加工と同時に、取出電極４１．４２を、側端面１０７ま
たは１０８に露出させることができる。次に、この点に
ついて、第５図及び第６図を参照して説明する。

第５図に示すように、通常の製造行程に従いスライダと
なるウェハー１上に薄膜磁気ヘッド要素Ｑ１〜Ｑｏを整
列して形成する。

ウェハー１から薄膜磁気ヘッドＱ１〜Ｑｎを取出すには
、まず、切断位置（Ｘ、−Ｘ＋）〜（Ｘ７Ｘ７）でウェ
ハー１を切断し、薄膜磁気ヘッド要素集合体を、列単位
で切出す。次に、切出された薄膜磁気ヘッド要素集合体
に対し、第６図に示すように、各薄膜磁気ヘッド要素Ｑ
＋　、Ｑ２　、Ｑｓの取出電極４１．４２にかかる切断
位置（Ｙｌ−Ｙｌ）、（ＹＳ−ＹＳ）及び（ｙｓ　　ｙ
ｓ）と、薄膜磁気ヘッド要素ＱＩ　　Ｑ２．Ｑ２　　Ｑ
３間の切断位置（Ｙ２　　Ｙ２）、（Ｙ４−Ｙ４）で切
断する。これにより、切断位置（Ｙ＋　　Ｙ＋）、（Ｙ
Ｓ　　ＹＳ）及び（ＹＳ−ｙｓ）に、取出電極４１．４
２の端面が露出し、第１図に示した形状の薄膜磁気ヘッ
ドが得られる。このように、切断加工と同時に、取出電
極４１．４２を側端面１０７または１０８に露出させる
ことができるので、その製造が容易になる。

第４図に示した薄膜磁気ヘッドを製造する場合は、第５
図のウェハー１上に整列して形成される薄膜磁気ヘッド
要素Ｑ、〜Ｑｎの取出電極を、互いに逆向きに形成する
。

上記実施例では、面内記録再生用の薄膜磁気ヘッドを示
したが、垂直磁気記録再生用の薄膜磁気ヘッドにも、本
発明は適用できる。また、浮上面にレール部や揚力発生
用テーバ部を有し、２個の読み書き素子を有する薄膜磁
気ヘッド（第７図参照）であっても、リード電極及び取
出電極の導出方向を逆にすることで、本発明を適用でき
る。更に、実施例に示す２端子型の薄膜磁気ヘッドに限
らず、センタータップを有する３端子型の薄膜磁気ヘッ
ドにも、本発明は適用できる。

〈発明の効果〉以上述べたように、本発明は、浮上面を有するスライダ
の端面に読み書き素子を備える薄膜磁気ヘッドであって
、読み書き素子の取出電極を、読み書き素子を備える端
面とは異なるスライダの側端面に導出したので、次のよ
うな効果が得られる。

（ａ）読み書き素子を備える端面の面積を、取出電極面
積による制限を受けることなく縮小し、全体形状を小型
化した薄膜磁気ヘッドを提供できる。

（ｂ）取出電極を導出した側端面は、製造行程において
、ウェハーから薄膜磁気ヘッド単体を切断して取り出す
時の切断面となるので、切断加工と同時に、取出電極を
側端面に露出させることが可能で、製造の容易な薄膜磁
気ヘッドを提供できる。

（Ｃ）取出電極を面出してリード線ボンデング個所を形
成するために従来必須であった保護膜の研磨加工が不要
で、製造の容易な薄膜磁気ヘッドを第１図は本発明に係
る薄膜磁気ヘッドの斜視図、第２図は読み書き素子及び
取出電極の構成を示す図、第３図は読み書き素子の拡大
断面図、第４図は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの別の実
施例における斜視図、第５図及び第６図は本発明に係る
薄膜磁気ヘッドの製造行程の１例を示す図、第７図は従
来の薄膜磁気ヘッドの斜視図である。

１・・・スライダ　　２・・・読み書き素子４１．４２
・・・取出電極１０６・・・浮上面１０７．１０８・・・側端面手続ネ由正書

Claims

【特許請求の範囲】

（１）浮上面を有するスライダの端面に読み書き素子を
備える薄膜磁気ヘッドであって、前記読み書き素子の取出電極を、前記読み書き素子を備
える前記端面とは異なる前記スライダの側端面に導出し
たことを特徴とする薄膜磁気ヘッド
（２）前記スライダは、浮上面が平面状であることを特
徴とする特許請求の範囲第１項に記載の薄膜磁気ヘッド
。
（３）前記取出電極は、相対向する両側端面の一方にの
み導出したことを特徴とする特許請求の範囲第１項また
は第２項に記載の薄膜磁気ヘッド。
（４）前記取出電極は、相対向する両側端面のそれぞれ
に導出したことを特徴とする特許請求の範囲第１項また
は第２項に記載の薄膜磁気ヘッド。
（５）スライダとなるウェハー上に薄膜磁気ヘッド要素
を整列して形成した後、前記ウェハーから複数の薄膜磁
気ヘッド要素を有する集合体を、列単位で取出す工程と
、前記工程を経て取出された集合体を、各薄膜磁気ヘッド
要素の取出電極にかかる切断位置で切断して、薄膜磁気
ヘッドの単体を取出す工程とを含むことを特徴とする薄
膜磁気ヘッドの製造方法。