JPH03252915A - 磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、スライダに磁気変換素子を備える浮上型の磁
気ヘッドに関し、スライダの媒体対向面の幅方向両端縁
に凹部を設け、凹部間を空気ベアリング面として利用す
るようにし、この空気ヘアリング面に磁気変換素子を配
置することにより、媒体対向面の凹面化を補正すると共
に、実質的に空気ベアリング面として作用する面積を縮
小して、高密度記録、高速アクセス、クラッシュ防止、
耐久性向上及び浮上特性向上に寄与し得る磁気ヘッド及
びその製造方法を提供できるようにしたものである。

〈従来の技術〉 従来より、磁気ディスク装置には、磁気記録媒体の走行
によって生じる動圧を利用して、磁気記録媒体との間に
微小な空気ヘアリングによる間隙を保って浮上する磁気
ヘッドが用いられている。

従来、この種の磁気ヘッドは、セラミック構造体でなる
スライダの磁気記録媒体と対向する媒体対向面側に、２
木のレール部を間隔を隔てて設け、このレール部の表面
を空気ベアリング面として作用させると共に、磁気記録
媒体との組合せにおいて、空気流入端となるレール部の
一端部側に、テーバ部を設けた構造となっていた。磁気
変換素子は、テーパ部とは反対側の空気流出端部側に付
着される。

この種の磁気ヘッドは、磁気記録の高密度化及び高速化
に対応するため、ますます、小型化される傾向にある。

小型化は、高密度記録を遠戚するのに必要な浮上量減少
及びスペーシングロス低下に有効である上に、シンバル
との組合せにおいて、共振周波数を高め、クラッシュ防
止及び耐久性向上に効果かあり、しかも、動圧と支持バ
ネ圧との間の適正なバランスを保ち、フライト姿勢を良
好に保ち、安定な浮上特性が得られるからである。更に
、小型化によるヘッドの質量減少は、ジンバルを支持す
るアームのアクセス運動の高速化をもたらす。

しかし、従来の浮上型磁気ヘッドは、媒体対向面側にレ
ール部及びテーパ部を有する複雑な構造となっており、
小型化には限界がある。これを解決する手段として特開
昭６４−２１７１３号公報のように、スライダの媒体対
向面を、レール部のない平面状とした磁気ヘッドが提案
されている。

第８図はかかる磁気ヘッドの一例の斜視図てあり、１は
スライダ、２は磁気変換素子、３．４は取出電極を示す
。

スライダ１は媒体対向面１１が、レール部及び揚力発生
用テーバ面を持たない平面状となっており、この面１１
の全体を空気ベアリング面として作用させるようになっ
ている。

磁気変換素子２は、磁気記録媒体との組合せにおいて、
空気流出端部側となる端面に付着させである。磁気変換
素子２は幅方向の略中間部に配置されている。

取出電極３．４は、磁気変換素子２を構成する導体コイ
ル膜の両端に接続されている。

磁気ディスク装置として使用する場合は、媒体対向面１
１と対向する面１２を、図示しないヘッド支持装置（ジ
ンバル）に接着し、媒体対向面１１を磁気ディスクの表
面にバネ接触させ、この状態で起動及び停止を行なう、
いわゆる、コンタクト、スタート、ストップ方式によっ
て駆動される。磁気ディスクが静止しているときは、ヘ
ッド支持装置のバネ圧により媒体対向面１１が磁気ディ
スクの表面に押付けられているが、磁気ディスクが回転
すると、スライダ１の媒体対向面１１に揚力動圧が発生
し、この動圧とヘッド支持装置のバネ圧と釣り合う浮上
量で動作する。

第８図に示す磁気ヘッドは、スライダ１の媒体対向面１
１かレール部のない単純な平面状となっているため、小
型化が容易であり、小型化による上記利点を確保できる
。

〈発明か解決しようとする課題〉 しかしながら、上述した磁気ヘッドは、加工歪等の影響
を受けて、媒体対向面１１か、第９図に誇張して示すよ
うに、幅方向の両端側で凸となり、中間部て凹となるこ
とがある。媒体対向面１１か凹面になると、磁気ディス
クとの組合せにおいて、ヘッドタッチが悪くなり、スペ
ーシングロスが大きくなると共に、ヘッドクラッシュを
生し易くなり、耐久性が低下する。

更に、全体形状が立方体状であるため、媒体対向面１１
の面積縮小により、媒体対向面１１とは反対側の面１２
の面積も縮小されてしまう。面１２は、ヘッド支持装置
が取付けられる部分であるので、面１２の面積縮小によ
り、ヘッド支持装置の取付は面積か小さくなる。このた
め、小型化するほど、ヘッド支持装置を取付けるのに必
要な面積が小さくなり、取付けが困難になる。

上述の媒体対向面の凹面化は、従来の製造工程に深く結
びついている。薄膜磁気ヘッドを得る場合を例にとって
説明すると、スライダとなるウェハ上に、ＩＣ製造テク
ノロジと同様のプロセスにしたがって、多数の磁気変換
素子を整列して形成した後、ウェハに切断、研削、研磨
等の加工を施して個々の磁気ヘッド素子を取出す。第１
０図は上述の工程中、ウェハから列単位の磁気ヘッド集
合体を取出した後の工程を示している。

第１０図（ａ）は列単位で取出された磁気ヘッド集合体
の斜視図を示し、スライダとなる基体１の同一面上に、
磁気変換素子２を間隔を隔てて配列しである。磁気変換
素子２の１個毎に磁気ヘッドを構成する場合は、図示で
は、９個の磁気ヘッドＱ１〜Ｑ９を有することとなる。

上述の磁気ヘッド集合体に対し、磁気変換素子２の変換
ギャップが位置する面１１に研磨を施してその表面性を
上げる。

次に、第１０図（ｂ）に示すように、磁気ヘッドのそれ
ぞれを個別に分離するように、切断線（Ｘｌ−Ｘ、）〜
（ｘ８〜ｘ８）で縦方向に分割する。

上述のように、従来の製造方法は、変換ギャップの位置
する面１１を研磨してから分割していたために、面１１
に切断ブレードが直接当り、加工歪を残す。このため、
第９図に示すような凹面形状の発生を防止することがで
きなかった。

そこで、本発明の課題は、上述した従来の問題点を解決
し、媒体対向面の凹面化を補正すると共に、空気ベアリ
ング面として作用する面積を縮小し、高密度記録、高速
アクセス、クラッシュ防止、耐久性向上及び浮上特性向
上に有効な磁気ヘッドを提供することである。

く課題を解決するための手段〉 上述した課題解決のため、本発明は、スライダに磁気変
換素子を備える磁気ヘッドであって、前記スライダは、
媒体対向面に長さ方向及び幅方向を仮想したとき、前記
媒体対向面の幅方向の両端縁に長さ方向に沿う凹部を有
し、前記凹部間が空気ベアリング面となっており、 前記磁気変換素子は、長さ方向の一端側において前記凹
部間に配置されていること を特徴とする。

また、上述の磁気ヘッドを得るため、本発明に係る磁気
ヘッド製造方法は、スライダとなる基体の同一面上に磁
気変換素子を配列した磁気ヘッド集合体から、１つ以上
の前記磁気変換素子を有する磁気ヘッドを取出す工程を
含む磁気ヘッド製造方ン去て・あって、 前記磁気変換素子の変換ギャップが位置するギャップ面
側において、隣接する磁気ヘッド間に浅溝を形成する工
程と、 前記ギャップ面側を研磨した後、前記浅溝内で当該浅溝
よりも狭い幅で、前記基体を切断する工程と を含むことを特徴とする。

く作用〉 スライダは、媒体対向面に長さ方向及び幅方向を仮想し
たとき、媒体対向面の幅方向の両端縁に長さ方向に沿う
凹部を有しているので、両端縁の加工歪による凸部が、
上述の凹部によって削除され、媒体対向面の凹面化が補
正される。このため、ヘッドタッチが良好で、スペーシ
ングロスが小さく、ヘッドクラッシュ等を生じにくい耐
久性の高い薄膜磁気ヘッドが得られる。

スライダは、媒体対向面の幅方向の両端縁に長さ方向に
沿う凹部を有し、空気ベアリング面を構成する中間部の
幅が狭くなり、面積が縮小される。このため、低浮上量
て、スペーシングロスが少なく、高密度記録に適した磁
気ヘッドか得られる。

スライダの媒体対向面と対向する面は、空気ベアリング
面の縮小化による影響を受けないので、ヘッド支持装置
との間に充分な接着面積を確保し、接着強度を上げるこ
とがてきる。

本発明に係る磁気ヘッド製造方法は、磁気変換素子の変
換ギャップが位置するギャップ面側において、隣接する
磁気ヘッド間に浅溝を形成しておき、ギャップ面側を研
磨した後、浅溝内て当該浅溝よりも狭い幅て、基体を切
断する工程を経るので、浅溝形成時の加工歪が研磨によ
って除去されるとともに、研磨後の切断工程において浅
溝側面に切断ブレードが接触するのを回避して切断てき
る。このため、媒体対向面となるギャップ面に切断加工
歪が残ることがない。

〈実施例〉 第１図は本発明に係る磁気ヘッドの斜視図である。図に
おいて、第８図と同一の参照符号は同一性ある構成部分
を示している。スライダ１は、媒体対向面１１の幅方向
の両端縁に、長さ方向に沿う凹部１１２．１１３を有し
、凹部１１２−１１３間が段部を持たない空気ベアリン
グ面１１１となっている。凹部１１２．１１３の深さｈ
ｌ及び幅ｄ１は、スライダ１の全幅Ｗ２を１．２ｍｍ、
全長を１．１ｍｍ、厚みを０．５５ｍｍに選定した場合
、０．１ｍｍ程度が適当である。

磁気変換素子２は、長さ方向の一端側において凹部１１
２−１１３間の空気ベアリング面１１１にギャップが位
置するように配置されている。磁気変換素子２は、ウィ
ンチエスタ型、コンポジット型または薄膜素子の何れで
もよい。本実施例では薄膜素子を使用した薄膜磁気ヘッ
ドの例を示す。

スライダ１の媒体対向面１１のうち、凹部１１２−１１
３間の空気ベアリング面１１１の一端側に配置された磁
気変換素子２と、磁気記録媒体との間て、磁気記録再生
が行なわれる。ここて、中間部の空気ベアリング面１１
１は、その幅ｗ１が媒体対向面１１の全幅ｗ２に比較し
て狭くなるので、その面積が縮小される。このため、低
浮上量てスペーシングロスが少なく、高密度記録に適し
た磁気ヘッドが得られる。

また、加工歪の残り易い幅方向の両端縁に、長さ方向に
沿って凹部１１２．１１３が設けられていて、加工歪部
分が除去される。このため、ヘッドタッチが良好で、ス
ペーシングロスが小さく、ヘッドクラッシュ等を生じに
くい耐久性の高い磁気ヘッドが得られる。

更に、スライダ１の媒体対向面１１と対向する面１２は
、スライダ１の全幅ｗ２に対応した面積となり、空気ベ
アリング面１１１の縮小化による影響を受けない。この
ため、ヘッド支持装置との間に充分な接着面積を確保し
、接着強度を増大てきる。

空気ベアリング面１１１は、コンタクト、スタート時に
おける磁気ディスクの表面との引掛りをなくすため、空
気流入端及び流出端となる長さ方向の両端縁、幅方向の
両端縁及び隅部を弧状に形成するのが望ましい。

第２図は磁気変換素子２を中心とした拡大斜視図、第３
図は同じくその拡大断面図である。図において、２１は
下部磁性膜、２２はアルミナ等でなるギャップ膜、２３
は上部磁性膜、２４は導体コイル膜、２５はノボラック
樹脂等の有機樹脂で構成された絶縁膜、２６．２７はリ
ード電極、２８は保護膜である。

下部磁性膜２１及び上部磁性膜２３の先端部は微小厚み
のギャップ膜２２を隔てて対向するボール部２１１．２
３１となっており、ボール部２１１．２３１において読
み書きを行なう。

２１２．２３２はヨーク部であり、ボール部２１１．２
３１とは反対側にあるバックギャップ部において、磁気
回路を完成するように互いに結合されている。

絶縁膜２５は複数層の絶縁膜２５１〜２５３から構成さ
れていて、絶縁ｌｌ＠２５１．２５２の上に、ヨーク部
２１２．２３２の結合部のまわりを渦巻状にまわるよう
に、導体コイル膜２４を形成しである。リード電８ｉ２
６．２７は、一端側が導体コイル膜２４の両端にそれぞ
れ導通接続されており、他端側に取出電極３．４が形成
されている。

第４図〜第６図は本発明に係る磁気ヘッドの別々の実施
例を示している。まず、第４図の実施例では、凹部１１
２．１１３は、空気ヘアリング面１１１に連なる傾斜面
１１４．１１５と、段面１１６．１１７とで構成されて
いる。

第５図の実施例では、凹部１１２．１１３は、空気ベア
リング面１１１に連なる凸状の円弧面１１８．１１９と
、段面１２０．１２１とて構成されている。

第６図の実施例では、凹部１１２．１１３は凹曲面状と
なっている。

何れの実施例においても、第１図〜第３図と同様の作用
効果が得られる。

上記各実施例では、面内記録再生用の磁気ヘッドを示し
たが、垂直磁気記録再生用の磁気ヘッドにも、本発明は
適用できるし、実施例に示す２端子型の磁気ヘッドに限
らず、センタータップを有する３端子型の磁気ヘッド、
ウィンチエスタ型磁気ヘッドまたはコンポシフト型磁気
ヘッドにも通用できる。また、磁気変換素子の個数、位
置または取出電極の導出方向または位置等は、任意に選
定でき、図示の状態に限定されない。

第７図は本発明に係る磁気ヘッドの製造方法を示す図で
ある。まず、第７（ａ）に示すように、ウェハから列単
位で磁気ヘッド集合体を取出す。

磁気ヘッド集合体は、スライダとなる基体１の同一面上
に、磁気変換素子２を間隔を隔てて配列しである。磁気
変換素子２の１個毎に磁気ヘッドを構成する場合は、図
示では、９個の磁気ヘッドＱ＋−Ｑ９を有することとな
る。ただし、２個の磁気変換素子２を含むように切断す
ることも可能である。

次に、第７図（ｂ）に示すように、磁気変換素子２の変
換ギャップが位置するギャップ面１１側において、隣接
する磁気ヘッド間の線（ＸＯ−ＸＯ）〜（Ｘ９〜Ｘ９）
に沿って、縦方向に浅溝１２２を形成する。

次に、第７図（Ｃ）に示すように、ギャップ面１１を研
磨する。この研磨により、第７図（ｂ）で生じた加工歪
が除去され、ギャップ面１１の凹面化が補正される。

次に第７図（ｄ）に示すように、切断線（Ｘｌ−Ｘｌ）
〜（Ｘ８〜Ｘ８）に沿い、浅溝１２２内でその幅よりも
狭い幅で切断する。

１２４は切断溝を示している。この切断工程において、
浅溝１２２の側面に切断ブレードが接触することなく、
切断される。このため、媒体対向面となるギャップ面１
１に切断加工歪が残ることがない。

〈発明の効果〉 以上述べたように、本発明によれは、次のような効果が
得られる。

（ａ・）スライダは、媒体対向面の幅方向の両端縁に長
さ方向に沿う凹部を有し、凹部間が空気ベアリング面と
なっており、磁気変換素子は、長さ方向の一端側におい
て凹部間に配置されているので、空気ベアリング面の面
積を縮小し、低浮上量て、スペーシングロスが少なく、
高密度記録に適し、ジンバルとの組合せにおいては、共
振周波数を高め、クラッシュを防止し、耐久性を向上さ
せた磁気ヘッドを提供できる。また、ジンバルとの組合
せにおいて、動圧と支持バネ圧との間の適正なバランス
を保ち、フライト姿勢を良好に保ち、浮上特性を安定さ
せ、更にアクセス運動の高速化を図り得る磁気ヘッドを
提供できる。

（ｂ）加工歪等に起因して、スライダの媒体対向面の凹
面を補正し、ヘッドタッチが良好で、スベーシンロスが
小さく、ヘッドクラッシュ等を生しにくい耐久性の高い
磁気ヘッドを提供できる。

（ｅ）スライダの媒体対向面と対向する面は、空気ベア
リング面の縮小化に影響を受けないので、ヘッド支持装
置との間に充分な接着面積を確保し、接着強度を向上さ
せた磁気ヘッドを提供てきる。

（ｄ）本発明に係る磁気ヘッド製造方法は、磁気変換素
子の変換ギャップが位置するギャップ面側において、隣
接する磁気ヘッド間に浅溝を形成する工程と、ギャップ
面側を研磨した後、浅溝内て当該浅溝よりも狭い幅で、
基体を切断する工程とを含むので、浅溝形成時の加工歪
が研磨によって除去されるとともに、研磨後の切断工程
において、切断ブレードが媒体対向面となるギャップ面
に接触するのを回避し、切断加工歪が残ることがないよ
うにした磁気ヘッド製造方法を提供できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る磁気ヘッドの斜視図、第２図は磁
気変換素子の構成を示す斜視図、第３図は磁気変換素子
の拡大断面図、第４図〜第６図は本発明に係る磁気ヘッ
ドの別の実施例における正面図、第７図（ａ）〜（ｄ）
は本発明に係る磁気ヘッド製造方法を示す図、第８図は
従来の磁気ヘッドの斜視図、第９図は従来の磁気ヘッド
の問題点を示す図、第１０図（ａ）、（ｂ）は従来の磁
気ヘッド製造方法を示す図である。 １・・・スライダ　　２・・・磁気変換素子１１・・・
媒体対向面 １１１・・・空気ベアリング面 １１２．１１３・・・凹部

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）スライダに磁気変換素子を備える磁気ヘッドであ
   って、 前記スライダは、媒体対向面に長さ方向及び幅方向を仮
   想したとき、前記媒体対向面の幅方向の両端縁に長さ方
   向に沿う凹部を有し、前記凹部間が空気ベアリング面と
   なっており、 前記磁気変換素子は、長さ方向の一端側において前記凹
   部間に配置されていること を特徴とする磁気ヘッド。
2. （２）スライダとなる基体の同一面上に磁気変換素子を
   配列した磁気ヘッド集合体から、１つ以上の前記磁気変
   換素子を有する磁気ヘッドを取出す工程を含む磁気ヘッ
   ド製造方法であって、前記磁気変換素子の変換ギャップ
   が位置するギャップ面側において、隣接する磁気ヘッド
   間に浅溝を形成する工程と、 前記ギャップ面側を研磨した後、前記浅溝内で当該浅溝
   よりも狭い幅で、前記基体を切断する工程と を含むことを特徴とする磁気ヘッド製造方法。