JPH02253126A - 光波長検出器および光波長の検出方法 - Google Patents
光波長検出器および光波長の検出方法Info
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- JPH02253126A JPH02253126A JP7588189A JP7588189A JPH02253126A JP H02253126 A JPH02253126 A JP H02253126A JP 7588189 A JP7588189 A JP 7588189A JP 7588189 A JP7588189 A JP 7588189A JP H02253126 A JPH02253126 A JP H02253126A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は光波長検出器および光波長の検出方法に関する
。
。
［従来の技術］
従来、光源色または物体色を測定するために用いられる
光波長検出器としては、回折格子を用いた分光計とホト
ダイオードアレイもしくはＣＯＤとを組み込んだ分光光
度計または光スペクトルアナライザーがある。また、分
光感度特性の異なる複数のホトダイオードを組み合わせ
た半導体カラーセンサーも従来から用いられている。半
導体カラーセンサーには分光感度特性の異なる数種類、
通常２種類または３種類のホトダイオードを組み合わせ
たものや、分光透過率の異なるカラーフィルターをホト
ダイオード上に接着またはパターニングしたものかある
。
光波長検出器としては、回折格子を用いた分光計とホト
ダイオードアレイもしくはＣＯＤとを組み込んだ分光光
度計または光スペクトルアナライザーがある。また、分
光感度特性の異なる複数のホトダイオードを組み合わせ
た半導体カラーセンサーも従来から用いられている。半
導体カラーセンサーには分光感度特性の異なる数種類、
通常２種類または３種類のホトダイオードを組み合わせ
たものや、分光透過率の異なるカラーフィルターをホト
ダイオード上に接着またはパターニングしたものかある
。
［発明が解決しようとする課題］
上記の分光光度計または光スペクトルアナライザーで、
パルス変調または交流変調している光を出射している光
源の色、またはパルス変調らしくは交流変調した光で照
明している物体の色を測定する場合、光量が十分にとれ
る場合には問題はないが、光源のデユーティ比が小さく
なる場合には、ＣＯＤの蓄積時間を長くし、複数のパル
ス光による信号を積分処理することが必要となる。従っ
て、以下のような問題が生しる。
パルス変調または交流変調している光を出射している光
源の色、またはパルス変調らしくは交流変調した光で照
明している物体の色を測定する場合、光量が十分にとれ
る場合には問題はないが、光源のデユーティ比が小さく
なる場合には、ＣＯＤの蓄積時間を長くし、複数のパル
ス光による信号を積分処理することが必要となる。従っ
て、以下のような問題が生しる。
（］）積分処理に時間を要するので、高速で測定するこ
とができない。
とができない。
（２）積分処理の時間が長くなると暗電流が増加するの
で、検出信号のＳＮ比が悪くなる。
で、検出信号のＳＮ比が悪くなる。
（３）１つのパルス光では感度が不足して測定できない
ことがある。
ことがある。
また、」二足の半導体力ラーセンザーによりパルス変調
または交流変調した光を出射している光源の色を測定す
る場合、該センサーの波長分解能は低いことから、精度
よく光源色を測定することは困難である。
または交流変調した光を出射している光源の色を測定す
る場合、該センサーの波長分解能は低いことから、精度
よく光源色を測定することは困難である。
半導体レーザ、発光ダイオード（以下、これをＬ Ｅ
Ｄと略称ずろ）なとの半導体発光素子を光源として利用
した光波長検出器において、光源から出射する光をパル
ス変調または交流変調させることが可能であれば、検出
回路で外乱光の影響を除くことができる点、光源での熱
の発生を少なくできる点て有利である。また、光源のデ
ユーティ比を小さくすることができれば、上記の光源で
の熱の発生を抑制することができる点てより有利である
。
Ｄと略称ずろ）なとの半導体発光素子を光源として利用
した光波長検出器において、光源から出射する光をパル
ス変調または交流変調させることが可能であれば、検出
回路で外乱光の影響を除くことができる点、光源での熱
の発生を少なくできる点て有利である。また、光源のデ
ユーティ比を小さくすることができれば、上記の光源で
の熱の発生を抑制することができる点てより有利である
。
本発明の１つの目的は、光源光または物体からの反射光
が、パルス変調または交流変調されている場合でもその
光の波長を高分解能で測定することができろ光波長検出
器を提供することにある。
が、パルス変調または交流変調されている場合でもその
光の波長を高分解能で測定することができろ光波長検出
器を提供することにある。
本発明の他の１つの目的は、高分解能で光波長を検出ず
ろ方法を提供することにある。
ろ方法を提供することにある。
［課題を解決ずろための手段］
本発明によれば、上記の１つの目的は、検出光が入射す
る回折格子と、回折格子によって回折された光を収１束
するレンズと、回折光の収束面上に配置され、レンズに
より得られる収束光の位置を検出する半導体装置検出素
子（Ｐｏ５ｉｔｉｏｎ Ｓｅｎｓｉｎｇｌ）６ｖｉｃｅ
、以下こｔＬをＰＳＤと略称オる）と、ＰＳＤによる
出力信号にザンプリノグ信号を与えろ同期信号発生回路
と、出力信号によって上記検出光の波長に対応した検出
信号を得る信号処理回路とを備えることを特徴とする光
波長検出器を提供することによって達成されろ。
る回折格子と、回折格子によって回折された光を収１束
するレンズと、回折光の収束面上に配置され、レンズに
より得られる収束光の位置を検出する半導体装置検出素
子（Ｐｏ５ｉｔｉｏｎ Ｓｅｎｓｉｎｇｌ）６ｖｉｃｅ
、以下こｔＬをＰＳＤと略称オる）と、ＰＳＤによる
出力信号にザンプリノグ信号を与えろ同期信号発生回路
と、出力信号によって上記検出光の波長に対応した検出
信号を得る信号処理回路とを備えることを特徴とする光
波長検出器を提供することによって達成されろ。
本発明の光波長検出器はパルス変調または交流変調した
光を、検出光を出射する物体に対して照射する光源を備
えていてもよい。
光を、検出光を出射する物体に対して照射する光源を備
えていてもよい。
また本発明によれば、上記の他の１つの目的は、検出光
を回折格子に入射し、回折格子によって回折された光を
レンズで収束させ、回折光の収束面上に配置したＰＳＤ
によって回折光の収束（存置を検出し、ＰＳＤによる出
力信号にザンプリノグ信号を与えた後、信号処理するこ
とによって、上記検出光の波長に対応した検出信号を得
ろことを特黴とする光波長の検出方法を提供することに
よって達成される。
を回折格子に入射し、回折格子によって回折された光を
レンズで収束させ、回折光の収束面上に配置したＰＳＤ
によって回折光の収束（存置を検出し、ＰＳＤによる出
力信号にザンプリノグ信号を与えた後、信号処理するこ
とによって、上記検出光の波長に対応した検出信号を得
ろことを特黴とする光波長の検出方法を提供することに
よって達成される。
本発明の光波長検出器に用いられる回折格子は、透過型
であってら反射型であってもよい。回折格子のピッチは
０１１〜５μｍであることか好ましい。また、回折格子
の凹部と凸部との段差は００５〜２μｍであることか好
ましい。ブレーズ状の断面形状を有する回折格子は、回
折光の回折効率が高い点て、特に好ましい。
であってら反射型であってもよい。回折格子のピッチは
０１１〜５μｍであることか好ましい。また、回折格子
の凹部と凸部との段差は００５〜２μｍであることか好
ましい。ブレーズ状の断面形状を有する回折格子は、回
折光の回折効率が高い点て、特に好ましい。
［実施例］
以下、実施例により本発明を具体的に説明する。
実施例１
本発明の光波長検出器の一例の概略構成図を第１図に示
す。この光波長検出器によりパルス変調している半導体
レーザ光の強度が最大となる波長（以下、これをピーク
波長と略称する）を測定する場合を、第１図および第２
（ａ）図ないし第２（ｇ）図により説明する。光ファイ
バー１の端面から適当な距離だけ離して設置された半導
体レーザ光源３０からの検出光り、は、光ファイバー１
によってスリット２へ光り、として導かれる。スリット
２を通過した光Ｌ３は凸レンズ３により平行光にされ、
透過型回折格子４により各波長に分光される。分光され
た回折光Ｌ４は凸レンズ５により収束され、収束光Ｌ５
は一次元ＰＳＤ６で検出される。ここで、ＩフＳＤの位
置を収束光Ｌ５の収束面上で移動させることによって測
定される波長の範囲を変えることができる。ＰＳＤの出
力信号Ｓ＋（Ｓ２）を信号処理回路によって、ＰＳＤへ
の入射光の波長に対応して変化する検出信号ＳＩｌに変
換する。
す。この光波長検出器によりパルス変調している半導体
レーザ光の強度が最大となる波長（以下、これをピーク
波長と略称する）を測定する場合を、第１図および第２
（ａ）図ないし第２（ｇ）図により説明する。光ファイ
バー１の端面から適当な距離だけ離して設置された半導
体レーザ光源３０からの検出光り、は、光ファイバー１
によってスリット２へ光り、として導かれる。スリット
２を通過した光Ｌ３は凸レンズ３により平行光にされ、
透過型回折格子４により各波長に分光される。分光され
た回折光Ｌ４は凸レンズ５により収束され、収束光Ｌ５
は一次元ＰＳＤ６で検出される。ここで、ＩフＳＤの位
置を収束光Ｌ５の収束面上で移動させることによって測
定される波長の範囲を変えることができる。ＰＳＤの出
力信号Ｓ＋（Ｓ２）を信号処理回路によって、ＰＳＤへ
の入射光の波長に対応して変化する検出信号ＳＩｌに変
換する。
すなわち、ＰＳＤの両端からの出力信号５（Ｓ２）は増
幅回路１１ （１２）より増幅され増幅信号５３（Ｓ、
）となる。増幅信号Ｓ、（Ｓ４）はそれぞれ第２（ａ）
図または第２（ｂ）図に示すように、通常はパルス光に
対応する信号Ａに、ＰＳＤの暗電流、外乱光などのノイ
ズに対応する信号Ｂが重畳されている。上記信号Ｂはパ
ルス光が入射している時間Ｃにおける強度と入射してい
ない時間りにおける強度との差をとることによって除去
できる。差動増幅回路１３ （１４）により、増幅信号
Ｓ、（Ｓ、）からノイズに対応する信号が除去された差
動増幅信号５５（Ｓ６）が得らノする。これらを第２（
ｃ）図または第２（ｄ）図に示す。同期信号発生回路２
１による同期信号５２ｏ（Ｓ２．）を、時間Ｔ３、Ｔ２
およびＴ３にピークホールド回路１５ （１６）に送り
、差動増幅信号＄５（Ｓ６）を時間Ｔ１、Ｔ２およびＴ
３にサンプリングする。
幅回路１１ （１２）より増幅され増幅信号５３（Ｓ、
）となる。増幅信号Ｓ、（Ｓ４）はそれぞれ第２（ａ）
図または第２（ｂ）図に示すように、通常はパルス光に
対応する信号Ａに、ＰＳＤの暗電流、外乱光などのノイ
ズに対応する信号Ｂが重畳されている。上記信号Ｂはパ
ルス光が入射している時間Ｃにおける強度と入射してい
ない時間りにおける強度との差をとることによって除去
できる。差動増幅回路１３ （１４）により、増幅信号
Ｓ、（Ｓ、）からノイズに対応する信号が除去された差
動増幅信号５５（Ｓ６）が得らノする。これらを第２（
ｃ）図または第２（ｄ）図に示す。同期信号発生回路２
１による同期信号５２ｏ（Ｓ２．）を、時間Ｔ３、Ｔ２
およびＴ３にピークホールド回路１５ （１６）に送り
、差動増幅信号＄５（Ｓ６）を時間Ｔ１、Ｔ２およびＴ
３にサンプリングする。
ピークホールド回路１５ （１６）によって、パルス信
号であろ差動増幅信号５５（Ｓ６）をそれぞれ第２（ｅ
）図に示すピークホールド信号Ｓ７、および第２（ｆ）
図に示すピークホールド信号Ｓ６にする。ピークホール
ド信号Ｓ７およびＳ８を加算回路１７または減算回路１
８により、それぞれ加算信号Ｓ８または減算信号ＳＩＱ
に変換する。
号であろ差動増幅信号５５（Ｓ６）をそれぞれ第２（ｅ
）図に示すピークホールド信号Ｓ７、および第２（ｆ）
図に示すピークホールド信号Ｓ６にする。ピークホール
ド信号Ｓ７およびＳ８を加算回路１７または減算回路１
８により、それぞれ加算信号Ｓ８または減算信号ＳＩＱ
に変換する。
ここで、ＰＳＤの各出力用電極と受光部の中心との間の
距離をＬ１収束光Ｌ５のＰＳＤへの入射位置から受光部
の中心までの距離をχとし、ＰＳＤから発生する光電流
を１゜、信号処理回路の増幅倍率をαとすると、上記加
算信号Ｓ９および減算信号３１０は次式で表される。
距離をＬ１収束光Ｌ５のＰＳＤへの入射位置から受光部
の中心までの距離をχとし、ＰＳＤから発生する光電流
を１゜、信号処理回路の増幅倍率をαとすると、上記加
算信号Ｓ９および減算信号３１０は次式で表される。
Ｓ９−α１゜
５ＩＱ−α ｔｏ’ χ／Ｌ
これらの式より、Ｓ、、 Ｓ、。とχとの関係は次式Ｓ
ｈｏ／ Ｓｅ＝ χ／ Ｌ で表される。従って、割算回路１９により得られた検出
信号Ｓ＋＋によってＰＳＤへの入射位置を検出すること
ができる。回折格子により回折した光の回折角度は光の
波長によって決まることから、ＰＳＤへの収束光Ｌ５の
入射位置を検出することによって検出光Ｌ１の波長を求
めることができる。
ｈｏ／ Ｓｅ＝ χ／ Ｌ で表される。従って、割算回路１９により得られた検出
信号Ｓ＋＋によってＰＳＤへの入射位置を検出すること
ができる。回折格子により回折した光の回折角度は光の
波長によって決まることから、ＰＳＤへの収束光Ｌ５の
入射位置を検出することによって検出光Ｌ１の波長を求
めることができる。
ＰＳＤの出力信号Ｓ、（Ｓ２）から得られた検出信号Ｓ
、を比較回路２２において、予め記憶されている波長と
検出信号との対応データに基づきＲＯＭ２０が示す比較
信号Ｓ＋ｚと比較することによって検出光Ｌ１の波長を
示す信号Ｓ１３を求める。
、を比較回路２２において、予め記憶されている波長と
検出信号との対応データに基づきＲＯＭ２０が示す比較
信号Ｓ＋ｚと比較することによって検出光Ｌ１の波長を
示す信号Ｓ１３を求める。
上記ピークホールド回路の次に、ＡＤ変換器を設けて、
加算処理、減算処理および割算処理をディジタル処理す
ることにより、測定誤差を小さくすることができる。
加算処理、減算処理および割算処理をディジタル処理す
ることにより、測定誤差を小さくすることができる。
差動増幅信号５５（Ｓ１１）をサンプリングするｆこめ
の同期信号Ｓ、。（Ｓ７．）としてイよ、光波長検出器
の内部にまたは外部にクロック信号発生源を設け、これ
より発生するクロック信号を用いればよい。
の同期信号Ｓ、。（Ｓ７．）としてイよ、光波長検出器
の内部にまたは外部にクロック信号発生源を設け、これ
より発生するクロック信号を用いればよい。
実施例２
本発明の光波長検出器の一例の部分構成図を第３図に示
す。この光波長検出器における光学系および信号処理回
路は実施例１の光波長検出器におけると同様である。照
明用光源として、５０ＫＨｚでパルス変調した光を出射
するＬ Ｅ Ｄ ３１を用いた。
す。この光波長検出器における光学系および信号処理回
路は実施例１の光波長検出器におけると同様である。照
明用光源として、５０ＫＨｚでパルス変調した光を出射
するＬ Ｅ Ｄ ３１を用いた。
Ｌ Ｅ Ｄ ３１からの光Ｌ８は測定される物体３２に
より反射して、その一部の光Ｌ７がスリット２から入射
する。この場合、物体の反射率スペクトルとＬＥＤの発
光強度スペクトルとの積スペクトルがＰＳＤ６で検出さ
れる。ＬＥＤの発光強度スペクトルは一定であることか
ら、物体の反射率スペクトルが異なる場合は、ＰＳＤ６
による検出信号Ｓ１１に差が生しる。従って、ＬＥＤの
発光強度スペクトルに応じて、反射光のピーク波長と検
出信号との対応データをＲＯＭ２０に予め記憶させてお
くことにより、実施例１の光波長検出器におけると同様
にして、比較回路において検出信号Ｓｌｌを比較信号Ｓ
１２と比較することによって検出光Ｌイのピーク波長を
〒 正確に測定することかできろ。また、基準波長をＲＯＭ
２０に予め記憶させ、基準波長に対応した比較信号ＳＬ
２と検出信号３１１とを比較ずろことによって、基準波
長と反射光のピーク波長とのすね、の有無を識別するこ
とができる。
より反射して、その一部の光Ｌ７がスリット２から入射
する。この場合、物体の反射率スペクトルとＬＥＤの発
光強度スペクトルとの積スペクトルがＰＳＤ６で検出さ
れる。ＬＥＤの発光強度スペクトルは一定であることか
ら、物体の反射率スペクトルが異なる場合は、ＰＳＤ６
による検出信号Ｓ１１に差が生しる。従って、ＬＥＤの
発光強度スペクトルに応じて、反射光のピーク波長と検
出信号との対応データをＲＯＭ２０に予め記憶させてお
くことにより、実施例１の光波長検出器におけると同様
にして、比較回路において検出信号Ｓｌｌを比較信号Ｓ
１２と比較することによって検出光Ｌイのピーク波長を
〒 正確に測定することかできろ。また、基準波長をＲＯＭ
２０に予め記憶させ、基準波長に対応した比較信号ＳＬ
２と検出信号３１１とを比較ずろことによって、基準波
長と反射光のピーク波長とのすね、の有無を識別するこ
とができる。
同期信号発生回路としては、ＬＥＤ３］の駆動回路３３
を用いることかできる。
を用いることかできる。
物体３２を透過し１こ光を上記光波長検出器に入射する
場合には、物体からの透過光のピーク波長を求めること
ができる。
場合には、物体からの透過光のピーク波長を求めること
ができる。
また、検出光が単一周波数で交流変調されている場合は
、上記の光波長検出器における信号処理回路で、交流変
調された光に対応する信号のみか取り出される。
、上記の光波長検出器における信号処理回路で、交流変
調された光に対応する信号のみか取り出される。
光源光または物体からの反射光かパルス変調されている
場合は、第２（ｃ）図および第２（ｄ）図に示したＴ、
ないしＴ３のように、差動増幅信号５５（ｓｅ）が該光
源光または反射光に対応して高い強度になる時点におい
て、同期信号Ｓ２０ （Ｓ２．）をピークホールド回路
に入力すればよい。光源光または物体からの反射光か単
一パルスである場合ら同様に、差動増幅信号５５（ｓｅ
）か該光源光または反射光に対応して高い強度になる時
点において、同期信号Ｓ、。（Ｓ２．）をピークホール
ド回路に入力ずれはよい。また光源光または物体からの
反射光か交流変調されている場合は、第４図に示したＴ
４ないしＴ６のように、差動増幅信号５５（ｓｅ）の強
度が最大になる時点において、同期信号Ｓ、。（Ｓ２．
）をピークホールド回路に入力すればよい。
場合は、第２（ｃ）図および第２（ｄ）図に示したＴ、
ないしＴ３のように、差動増幅信号５５（ｓｅ）が該光
源光または反射光に対応して高い強度になる時点におい
て、同期信号Ｓ２０ （Ｓ２．）をピークホールド回路
に入力すればよい。光源光または物体からの反射光か単
一パルスである場合ら同様に、差動増幅信号５５（ｓｅ
）か該光源光または反射光に対応して高い強度になる時
点において、同期信号Ｓ、。（Ｓ２．）をピークホール
ド回路に入力ずれはよい。また光源光または物体からの
反射光か交流変調されている場合は、第４図に示したＴ
４ないしＴ６のように、差動増幅信号５５（ｓｅ）の強
度が最大になる時点において、同期信号Ｓ、。（Ｓ２．
）をピークホールド回路に入力すればよい。
実施例３
ピッチか０５５μｍである回折格子を備えた、実施例１
の光波長検出器を用いて、発振波長が６７０ｎｍである
半導体レーザのピーク波長を測定した。半導体レーザ光
を、パルス変調（パルス幅、ｌμｓｅｃ、繰り返し周波
数１００μ５ｅｃ） ’Ｌ、て測淀すると、該半導体レ
ーザのピーク波長は６７０．１ｎｍであった。
の光波長検出器を用いて、発振波長が６７０ｎｍである
半導体レーザのピーク波長を測定した。半導体レーザ光
を、パルス変調（パルス幅、ｌμｓｅｃ、繰り返し周波
数１００μ５ｅｃ） ’Ｌ、て測淀すると、該半導体レ
ーザのピーク波長は６７０．１ｎｍであった。
測定に要した時間は１ｍ５ｅｃであった。
［発明の効果］
本発明によれば、光源光または物体からの反射＋１
光がパルス変調または交流変調されている場合でも、そ
の光の波長を高い分解能て測定することかできる光波長
検出器か提供され、また高分解能で光波長を検出する方
法か提供されろ。
の光の波長を高い分解能て測定することかできる光波長
検出器か提供され、また高分解能で光波長を検出する方
法か提供されろ。
第１図は実施例１の光波長検出器の概略構成図、第２（
ａ）図ないし第２（ｇ）図はそれぞれ実施例１の光波長
検出器における信号を表す波形図、第３図は実施例２の
光波長検出器の部分構成図、第４図はサンプリング信号
を説明するための波形図である。 ４・・・回折格子、 ５・・・レンズ、６・・・ＰＳ
Ｄ、 ２１ ・・・同期信号発生回路。 特許出願人 株式会社 り ラ し
ａ）図ないし第２（ｇ）図はそれぞれ実施例１の光波長
検出器における信号を表す波形図、第３図は実施例２の
光波長検出器の部分構成図、第４図はサンプリング信号
を説明するための波形図である。 ４・・・回折格子、 ５・・・レンズ、６・・・ＰＳ
Ｄ、 ２１ ・・・同期信号発生回路。 特許出願人 株式会社 り ラ し
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、検出光が入射する回折格子と、回折格子によつて回
折された光を収束するレンズと、回折光の収束面上に配
置され、レンズにより得られる収束光の位置を検出する
半導体装置検出素子と、半導体装置検出素子による出力
信号にサンプリング信号を与える同期信号発生回路と、
出力信号によつて上記検出光の波長に対応した検出信号
を得る信号処理回路とを備えることを特徴とする光波長
検出器。 ２、パルス変調または交流変調した光を、検出光を出射
する物体に対して照射する光源を備えることを特徴とす
る請求項１記載の光波長検出器。 ３、検出光を回折格子に入射し、回折格子によって回折
された光をレンズで収束させ、回折光の収束面上に配置
した半導体装置検出素子によって回折光の収束位置を検
出し、半導体装置検出素子による出力信号にサンプリン
グ信号を与えた後、信号処理することによつて、上記検
出光の波長に対応した検出信号を得ることを特徴とする
光波長の検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7588189A JPH02253126A (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 | 光波長検出器および光波長の検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7588189A JPH02253126A (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 | 光波長検出器および光波長の検出方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02253126A true JPH02253126A (ja) | 1990-10-11 |
Family
ID=13589069
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7588189A Pending JPH02253126A (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 | 光波長検出器および光波長の検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02253126A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04113037U (ja) * | 1991-03-20 | 1992-10-01 | 株式会社アドバンテスト | 分光分析装置 |
| WO2009128338A1 (ja) * | 2008-04-15 | 2009-10-22 | 株式会社トプコン | 測光装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6131931A (ja) * | 1984-07-25 | 1986-02-14 | Ricoh Co Ltd | 半導体レ−ザの発振波長測定方法 |
| JPS62237411A (ja) * | 1986-04-09 | 1987-10-17 | Konika Corp | 自動合焦装置 |
-
1989
- 1989-03-27 JP JP7588189A patent/JPH02253126A/ja active Pending
Patent Citations (2)
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