JPH02253172A - 物性測定装置 - Google Patents
物性測定装置Info
- Publication number
- JPH02253172A JPH02253172A JP7387289A JP7387289A JPH02253172A JP H02253172 A JPH02253172 A JP H02253172A JP 7387289 A JP7387289 A JP 7387289A JP 7387289 A JP7387289 A JP 7387289A JP H02253172 A JPH02253172 A JP H02253172A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- optical fiber
- low temperature
- extra
- physical property
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 title claims description 9
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims abstract description 20
- 239000002887 superconductor Substances 0.000 claims abstract description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 9
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 8
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 235000008708 Morus alba Nutrition 0.000 description 1
- 240000000249 Morus alba Species 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、冷凍機を用いた物性の測定装置に関する。
(従来の技術)
極低温冷凍機は、スターリングサイクルやギホードマク
マホン(GM)サイクルを利用して100に以下の極低
温を得ている。一方、ある物質を超低温に冷やすと電気
抵抗がゼロを示す。即ち、超電導物質であるが、この超
電導特性を示す物質か否かを判断するには、一般には、
結晶構造の確認、マイスナー効果の確認、電気抵抗が転
移点付近で急激に消失することの確認、テスト結果の再
現性の確認等が必要になり、又、ジョセフソン結合部に
光導電性半導体を付加した時には、光照射時の電流・電
圧特性を測定し物質特性を確認する必要がある。
マホン(GM)サイクルを利用して100に以下の極低
温を得ている。一方、ある物質を超低温に冷やすと電気
抵抗がゼロを示す。即ち、超電導物質であるが、この超
電導特性を示す物質か否かを判断するには、一般には、
結晶構造の確認、マイスナー効果の確認、電気抵抗が転
移点付近で急激に消失することの確認、テスト結果の再
現性の確認等が必要になり、又、ジョセフソン結合部に
光導電性半導体を付加した時には、光照射時の電流・電
圧特性を測定し物質特性を確認する必要がある。
このような極低温時の種々の特性を測定・確認する必要
が有るにも拘らず、このような要望を満たす測定装置が
提供されていない。
が有るにも拘らず、このような要望を満たす測定装置が
提供されていない。
(本発明が解決しようとする課題)
本発明は、前述したように極低温下での、たとえば、超
電導物質の確認を可能にする測定装置を提供することを
解決すべき課題とする。
電導物質の確認を可能にする測定装置を提供することを
解決すべき課題とする。
(課題を解決するだめの手段)
本発明は、前述した課題を解決するために、極低温冷凍
機のコールドステーションに関連して設けられた断熱シ
ールドケース、コールドステーションの極低温を受ける
よう被測定サンプルを断熱ケース内に支持するサンプル
サポート、サンプルに少くとも電流を印加する第1の電
極、サンプルに光を照射する光ファイバー、第1の電極
及び光ファイバーへの信号を処理するコンピュータより
なる物性測定装置を提供する。
機のコールドステーションに関連して設けられた断熱シ
ールドケース、コールドステーションの極低温を受ける
よう被測定サンプルを断熱ケース内に支持するサンプル
サポート、サンプルに少くとも電流を印加する第1の電
極、サンプルに光を照射する光ファイバー、第1の電極
及び光ファイバーへの信号を処理するコンピュータより
なる物性測定装置を提供する。
好ましくは、サンプルが超電導体であり、サンプルから
の電圧及び温度信号をコンピュータに送るようにする。
の電圧及び温度信号をコンピュータに送るようにする。
(作用)
極低温冷凍機により超低温とされたケース内の被測定部
から電流、電圧変化、光を照射した時の電流、電圧関係
の測定を可能にする。
から電流、電圧変化、光を照射した時の電流、電圧関係
の測定を可能にする。
(実施例)
第1図に物性測定装置の一例を示す。極低温冷凍機1は
、たとえば、特開昭60−207863号公報に開示さ
れる如き冷凍機を使用するごとが可能であり、この冷凍
機1のサンプルルーム2は、外部からドアの開閉により
接近自在である。冷凍機1のサンプルルーム2からの電
気信号は、コンピュータ3により演算処理され、ギホー
ドマクマポンサイクルの場合、コンプレッサーをコンピ
ュータ3と並設させる。
、たとえば、特開昭60−207863号公報に開示さ
れる如き冷凍機を使用するごとが可能であり、この冷凍
機1のサンプルルーム2は、外部からドアの開閉により
接近自在である。冷凍機1のサンプルルーム2からの電
気信号は、コンピュータ3により演算処理され、ギホー
ドマクマポンサイクルの場合、コンプレッサーをコンピ
ュータ3と並設させる。
第2図に、本発明の基本的者えを示す。コンピュータ3
は、GP−IBハスを介して、光コントローラ4、電圧
計5、定電流源6及び極低温温度計7に接続される。一
方、被測定物10の上面に対の電極8.8′を2組配し
、又、その下面に熱電対9を取付ける。各電極8.8′
は電圧計5と定電流源6に接続し、且つ熱電対9を極低
温温度計7に接続する。これとは別に、サンプルサポー
ト10の中央に光ファイバー11の端部を位置させ、こ
の光ファイバー11を光コントローラ4に接続する。
は、GP−IBハスを介して、光コントローラ4、電圧
計5、定電流源6及び極低温温度計7に接続される。一
方、被測定物10の上面に対の電極8.8′を2組配し
、又、その下面に熱電対9を取付ける。各電極8.8′
は電圧計5と定電流源6に接続し、且つ熱電対9を極低
温温度計7に接続する。これとは別に、サンプルサポー
ト10の中央に光ファイバー11の端部を位置させ、こ
の光ファイバー11を光コントローラ4に接続する。
サンプルルーム2は、極低温冷凍機1のコールドステー
ジ12の周囲に固定されたベース13、ベース13にボ
ルトで固定されるケース14を有ず。熱電対9に接続さ
れるワイヤー9′、電極8.8′に接続されるワイヤー
8″をベース13を貫通させてコールドステージ12上
に延出させる。
ジ12の周囲に固定されたベース13、ベース13にボ
ルトで固定されるケース14を有ず。熱電対9に接続さ
れるワイヤー9′、電極8.8′に接続されるワイヤー
8″をベース13を貫通させてコールドステージ12上
に延出させる。
光コントローラ4に接続される光ファイバー11のリー
ド部11′がベース13を貫通する。第4図に示す例は
、第3図の例と実質的に同しであるが、しかし、リード
部11’がケース14の中腹部を貫通している点で、第
3図例と相異する。
ド部11′がベース13を貫通する。第4図に示す例は
、第3図の例と実質的に同しであるが、しかし、リード
部11’がケース14の中腹部を貫通している点で、第
3図例と相異する。
第5図にサンプルサポート10の例の詳細を示す。サン
プルサポート10は、コールドヘッド12に固定された
断面コの字状の台15を有す。
プルサポート10は、コールドヘッド12に固定された
断面コの字状の台15を有す。
超電導体の如き被測定物のサンプル16は、この台15
の下のアーム16に支持され且つ光ファイバーIIの先
端が上のアーム17に固定され、す“ンブル16の指定
部への照射を可能にする。サンプルサポート10ば、コ
ールドヘッド12の極低温をサンプルに伝達可能な熱電
導率のよい材質のもので作る。
の下のアーム16に支持され且つ光ファイバーIIの先
端が上のアーム17に固定され、す“ンブル16の指定
部への照射を可能にする。サンプルサポート10ば、コ
ールドヘッド12の極低温をサンプルに伝達可能な熱電
導率のよい材質のもので作る。
サンプル16として超電導物質を用いた例を第6図に示
す。本例では、<100>面の単結晶のMgOからなる
基板18に、蒸着法により、Y−Ba −Cu−0の5
00nm超電導薄膜19を生成させたものをサンプルと
して用いている。このシンプル16は、薄膜19の一部
に凹部を設けて、いわゆるジョセフソン結合とし、この
結合部に光導電性半導体20を付加する。この半導体2
oに光ファイバー11を介して、光を照射し、電極8.
8′間の電流・電圧特性を測定すると第7図の9nき特
性が、たとえば、得られる。このことがらも理解される
如く、超電導体の結合部の構成や材料、光出力の特性、
強度、時間等により電流・電圧特性がどのように異なる
か認識し、光集積回路の開発が可能となる。
す。本例では、<100>面の単結晶のMgOからなる
基板18に、蒸着法により、Y−Ba −Cu−0の5
00nm超電導薄膜19を生成させたものをサンプルと
して用いている。このシンプル16は、薄膜19の一部
に凹部を設けて、いわゆるジョセフソン結合とし、この
結合部に光導電性半導体20を付加する。この半導体2
oに光ファイバー11を介して、光を照射し、電極8.
8′間の電流・電圧特性を測定すると第7図の9nき特
性が、たとえば、得られる。このことがらも理解される
如く、超電導体の結合部の構成や材料、光出力の特性、
強度、時間等により電流・電圧特性がどのように異なる
か認識し、光集積回路の開発が可能となる。
第8図に光ファイバー11の一例を示す。光ファイバー
11の芯線21は、ヘッドカバー22内のレンズ23に
対接し、芯線21を通る光は、レンズ23により収束し
て、開口24によりサンプル16に照射される。光ファ
イバー11はコネクター25を介して光コントローラ4
に接続される。
11の芯線21は、ヘッドカバー22内のレンズ23に
対接し、芯線21を通る光は、レンズ23により収束し
て、開口24によりサンプル16に照射される。光ファ
イバー11はコネクター25を介して光コントローラ4
に接続される。
光ファイバー11の台15への取付は、ヘッドカバー2
2のビス穴26を利用して行えばよい。
2のビス穴26を利用して行えばよい。
光ファイバー11、サンプル16及び電極8.8′等の
数は、図示例に限定することなく、所望の数とすればよ
い。極低温、たとえば、約10に迄の温度調整は、コン
ピュータ3により自動制御させる。
数は、図示例に限定することなく、所望の数とすればよ
い。極低温、たとえば、約10に迄の温度調整は、コン
ピュータ3により自動制御させる。
(効果)
本発明によれば、被測定物、特に、超電導体の抵抗率や
帯磁率等の物性に加えて、光との相関データが、広い温
度域で容易に得られる。又、測定環境がシステムとして
固定しであるので、測定者を同定することなく、再現性
、信頼性の高いデータが得られる。さらに、本発明は、
異なったサンプルの物性を同条件下で同時に測定できる
利点を有す。
帯磁率等の物性に加えて、光との相関データが、広い温
度域で容易に得られる。又、測定環境がシステムとして
固定しであるので、測定者を同定することなく、再現性
、信頼性の高いデータが得られる。さらに、本発明は、
異なったサンプルの物性を同条件下で同時に測定できる
利点を有す。
第1図は本発明の一例の正面図、第2図は測定システム
を示す図、第3図と第4図は測定部を示す断面図、第5
図はサンプルサポートの断面図、第6図はサンプルの拡
大断面図、第7図は電圧と電流の関係を示すグラフ図、
第8図は光ファイバーを示す正面図である。 図中: 1・・・・・・冷凍機 2・・・・・・ザンプルルー
ム3・・・・・・コンピュータ 4・・・・・・光コン
トローラ5・・・・・・電圧計 6・・・・・・定電
流源7・・・・・・極低温温度計 8.8′・・・・・
・電極9・・・・・・熱電対 10・・・・・・サンプ
ルサポータ11・・・・・・光ファイバー 12・・・・・・コールドステージ 16・・・・・・サンプル 代理人 弁理士 桑 原 英 明11′
を示す図、第3図と第4図は測定部を示す断面図、第5
図はサンプルサポートの断面図、第6図はサンプルの拡
大断面図、第7図は電圧と電流の関係を示すグラフ図、
第8図は光ファイバーを示す正面図である。 図中: 1・・・・・・冷凍機 2・・・・・・ザンプルルー
ム3・・・・・・コンピュータ 4・・・・・・光コン
トローラ5・・・・・・電圧計 6・・・・・・定電
流源7・・・・・・極低温温度計 8.8′・・・・・
・電極9・・・・・・熱電対 10・・・・・・サンプ
ルサポータ11・・・・・・光ファイバー 12・・・・・・コールドステージ 16・・・・・・サンプル 代理人 弁理士 桑 原 英 明11′
Claims (3)
- (1)極低温冷凍機のコールドステーションに関連して
設けられた断熱シールドケース、コールドステーション
の極低温を受けるよう被測定サンプルを断熱ケース内に
支持するサンプルサポータ、サンプルに少くとも電流を
印加する第1の電極、サンプルに光を照射する光ファイ
バー、第1の電極及び光ファイバーへの信号を処理する
コンピュータよりなる物性測定装置。 - (2)サンプルが超電導体であり且つサンプルからの電
圧信号を受ける第2の電極を有する請求項(1)の物性
測定装置。 - (3)サンプルに熱電対を付け、サンプルの温度を測定
すると共に温度信号及び電圧信号をコンピュータに送る
請求項(2)の物性測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7387289A JPH02253172A (ja) | 1989-03-28 | 1989-03-28 | 物性測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7387289A JPH02253172A (ja) | 1989-03-28 | 1989-03-28 | 物性測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02253172A true JPH02253172A (ja) | 1990-10-11 |
Family
ID=13530719
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7387289A Pending JPH02253172A (ja) | 1989-03-28 | 1989-03-28 | 物性測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02253172A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006258774A (ja) * | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Fujitsu Ltd | 4探針プローブヘッドおよび半導体特性の評価方法 |
-
1989
- 1989-03-28 JP JP7387289A patent/JPH02253172A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006258774A (ja) * | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Fujitsu Ltd | 4探針プローブヘッドおよび半導体特性の評価方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100315605B1 (ko) | 고양된 온도에서의 반도체 소자의 급속테스팅장치및방법 | |
| US4791364A (en) | Thermal fixture for testing integrated circuits | |
| US4162401A (en) | High-resolution, cryogenic, side-entry type specimen stage | |
| US4870355A (en) | Thermal fixture for testing integrated circuits | |
| JPH1131724A (ja) | サーモチャック及び回路板検査装置 | |
| JPH0697246A (ja) | 低温における半導体材料の性質を試験する装置および方法 | |
| CN117368255A (zh) | 一种丝状或薄膜材料导热系数的测试系统和测量方法 | |
| US2687036A (en) | Thermal conductivity bridge-block | |
| WO2020218690A1 (ko) | 저온 초정밀 열수송 측정용 프로브 시스템 및 이를 포함하는 측정장치 | |
| US6605949B2 (en) | Quasi-hemispherical fabry-perot resonator and method of operating the same | |
| JP3129417B2 (ja) | 加熱冷却装置及び電気特性評価装置 | |
| JPH02253172A (ja) | 物性測定装置 | |
| JPS58220438A (ja) | 半導体ウエハ測定載置台 | |
| JP2020126039A (ja) | Hts超伝導体の電気特性を評価する方法 | |
| JPH0714855Y2 (ja) | 低温測定装置での試料固定装置 | |
| Xin et al. | Computer‐controlled thermoelectric power measurement for bulk high T c superconductors | |
| Reece | Progress in diagnostic techniques for sc cavities | |
| JPH0323651Y2 (ja) | ||
| JPH01303733A (ja) | プローブ装置 | |
| JP3372496B2 (ja) | 電気特性評価装置 | |
| JPS62165325A (ja) | ランプアニ−ル装置 | |
| JPS59172284A (ja) | 低温テスタ | |
| Tye et al. | Application of new instrumentation and measurement techniques to thermal analysis of materials | |
| Shu et al. | A novel rotating temperature and radiation mapping system in superfluid He and its successful diagnostics | |
| CN120971494A (zh) | 一种高温固体材料发射率测量方法 |