JPH02253550A - 荷電粒子ビーム装置 - Google Patents
荷電粒子ビーム装置Info
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- JPH02253550A JPH02253550A JP1074165A JP7416589A JPH02253550A JP H02253550 A JPH02253550 A JP H02253550A JP 1074165 A JP1074165 A JP 1074165A JP 7416589 A JP7416589 A JP 7416589A JP H02253550 A JPH02253550 A JP H02253550A
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- charged particle
- particle beam
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、走査電子顕微鏡などの試料上で荷電粒子ビー
ムを走査し、試料の像を観察するようにした荷電粒子ビ
ーム装置に関する。
ムを走査し、試料の像を観察するようにした荷電粒子ビ
ーム装置に関する。
（従来の技術）
走査電子顕微鏡などで、半導体ウェハの観察を行ってい
るが、ウェハの大きさは、年々大きくなり、現在では、
６インチのものが主として観察対象となっている。この
ウェハの大きさは、近い将来８インチ〜１０インチへと
ますます大型化することが予測されている。
るが、ウェハの大きさは、年々大きくなり、現在では、
６インチのものが主として観察対象となっている。この
ウェハの大きさは、近い将来８インチ〜１０インチへと
ますます大型化することが予測されている。
ところで、走査電子顕微鏡においては、試料を載せたス
テージを２次元的に移動させ、試料の全面を観察するよ
うにしている。この場合、試料の全面を観察するために
は、ステージは試料の直径に等しい移動スパンが必要と
なる。言い換えれば、試料室は、試料の直径の２倍の大
きさが必要となる。
テージを２次元的に移動させ、試料の全面を観察するよ
うにしている。この場合、試料の全面を観察するために
は、ステージは試料の直径に等しい移動スパンが必要と
なる。言い換えれば、試料室は、試料の直径の２倍の大
きさが必要となる。
（発明が解決しようとする課題）
このように、試料室は、試料の直径の２倍の長さが必要
となるが、ウェハを試料とすると、ウェハの大型化に伴
って、必然的に走査電子顕微鏡の試料室は著しく大型化
することになる。この結果、次のような点が問題となる
。
となるが、ウェハを試料とすると、ウェハの大型化に伴
って、必然的に走査電子顕微鏡の試料室は著しく大型化
することになる。この結果、次のような点が問題となる
。
■大容量の試料室内を高真空に排気するため、真空ポン
プが大型化する。
プが大型化する。
■試料ステージは数μｍという高い精度で製作しなけれ
ばならないが、大きなステージをこのような高い精度で
製作することは困難である。
ばならないが、大きなステージをこのような高い精度で
製作することは困難である。
■試料室の大型化により、走査電子顕微鏡の設置面積も
大きくなる。
大きくなる。
■試料室や真空ポンプが大型化することにより、装置の
コストが大幅にアップする。
コストが大幅にアップする。
本発明はこのような点に鑑みてなされたもので、その目
的は、大型試料を観察する場合であっても、試料室を小
さくすることができる荷電粒子ビーム装置を実現するこ
とにある。
的は、大型試料を観察する場合であっても、試料室を小
さくすることができる荷電粒子ビーム装置を実現するこ
とにある。
（課題を解決するための手段）
本発明の請求項１に基づく荷電粒子ビーム装置は、荷電
粒子ビームをターゲット上に集束するための集束レンズ
と、ターゲット上で荷電粒子ビームを２次元的に走査す
るための偏向器と、平面上を移動する第１のテーブルと
、第１のテーブル上に回転可能に配置され、ターゲット
が載せられる第２のテーブルと、第１のテーブルを駆動
する駆動手段と、第２のテーブルを９０＠毎に回転させ
るための回転駆動手段と、回転駆動手段による第２のテ
ーブルの回転に同期して偏向器による荷電粒子ビームの
走査方向を回転させる制御系とを備え、ターゲット上の
領域を仮想的に４つの象限に分け、第２のテーブルの９
０°毎の回転と第１のテーブルの平面移動とによって、
４つの象限を荷電粒子ビームによって観察するように構
成したことを特徴としている。
粒子ビームをターゲット上に集束するための集束レンズ
と、ターゲット上で荷電粒子ビームを２次元的に走査す
るための偏向器と、平面上を移動する第１のテーブルと
、第１のテーブル上に回転可能に配置され、ターゲット
が載せられる第２のテーブルと、第１のテーブルを駆動
する駆動手段と、第２のテーブルを９０＠毎に回転させ
るための回転駆動手段と、回転駆動手段による第２のテ
ーブルの回転に同期して偏向器による荷電粒子ビームの
走査方向を回転させる制御系とを備え、ターゲット上の
領域を仮想的に４つの象限に分け、第２のテーブルの９
０°毎の回転と第１のテーブルの平面移動とによって、
４つの象限を荷電粒子ビームによって観察するように構
成したことを特徴としている。
本発明の請求項２に基づく荷電粒子ビーム装置は、荷電
粒子ビームをターゲット上に集束するための集束レンズ
と、ターゲット上で荷電粒子ビームを２次元的に走査す
るための偏向器と、平面上を移動する第１のテーブルと
、第１のテーブル上に回転可能に配置され、ターゲット
が載せられる第２のテーブルと、第１のテーブルを駆動
する駆動手段と、第２のテーブルを９０°毎に回転させ
るための回転駆動手段と、回転駆動手段による第２のテ
ーブルの回転に同期して偏向器による荷電粒子ビームの
走査方向を回転させる制御系とを備え、ターゲット上の
領域を仮想的に４つの象限に分け、第２のテーブルの９
０°毎の回転と第１のテーブルの平面移動とによって、
４つの象限を荷電粒子ビームによって観察するように構
成すると共に、前記制御系は、象限境界領域に観察点が
ある場合には、第２のテーブルが９０°回転された後に
依然としてその観察点上で荷電粒子ビームの走査が行わ
れるように第２のテーブルを移動させる機能を有してい
ることを特徴としている。
粒子ビームをターゲット上に集束するための集束レンズ
と、ターゲット上で荷電粒子ビームを２次元的に走査す
るための偏向器と、平面上を移動する第１のテーブルと
、第１のテーブル上に回転可能に配置され、ターゲット
が載せられる第２のテーブルと、第１のテーブルを駆動
する駆動手段と、第２のテーブルを９０°毎に回転させ
るための回転駆動手段と、回転駆動手段による第２のテ
ーブルの回転に同期して偏向器による荷電粒子ビームの
走査方向を回転させる制御系とを備え、ターゲット上の
領域を仮想的に４つの象限に分け、第２のテーブルの９
０°毎の回転と第１のテーブルの平面移動とによって、
４つの象限を荷電粒子ビームによって観察するように構
成すると共に、前記制御系は、象限境界領域に観察点が
ある場合には、第２のテーブルが９０°回転された後に
依然としてその観察点上で荷電粒子ビームの走査が行わ
れるように第２のテーブルを移動させる機能を有してい
ることを特徴としている。
（作用）
請求項１の発明では、試料を回転テーブルの上に載せ、
回転テーブルを９０＠毎に回転させるようにし、試料表
面を４つの象限に仮想的に分割し、各象限毎に２次元的
な水平移動を行って、試料全面の観察を行う。
回転テーブルを９０＠毎に回転させるようにし、試料表
面を４つの象限に仮想的に分割し、各象限毎に２次元的
な水平移動を行って、試料全面の観察を行う。
請求項２の発明では、試料を回転テーブルの上に載せ、
回転テーブルを９０＠毎に回転させるようにし、試料表
面を４つの象限に仮想的に分割し、各象限毎に２次元的
な水平移動を行って、試料全面の観察を行い、更に、各
象限の境界部は、隣り合ったいずれの象限でも観察でき
るようにし、象限境界領域を観察中に試料を９０°回転
させた場合には、回転後その観察点を継続して観察する
ようにテーブルを水平方向に移動させる。
回転テーブルを９０＠毎に回転させるようにし、試料表
面を４つの象限に仮想的に分割し、各象限毎に２次元的
な水平移動を行って、試料全面の観察を行い、更に、各
象限の境界部は、隣り合ったいずれの象限でも観察でき
るようにし、象限境界領域を観察中に試料を９０°回転
させた場合には、回転後その観察点を継続して観察する
ようにテーブルを水平方向に移動させる。
（実施例）
以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する
。第１図は、本発明の一実施例である走査電子顕微鏡を
示している。電子銃１からの電子ビームＥＢは、集束レ
ンズ２によって試料３上に細く集束される。試料３上の
電子ビーム照射点は、走査信号発生回路４からの走査信
号を偏向器５へ供給することによって変えられる。試料
３への電子ビームの照射に伴って発生した、例えば、２
次電子は、２次電子検出器６によって検出される。
。第１図は、本発明の一実施例である走査電子顕微鏡を
示している。電子銃１からの電子ビームＥＢは、集束レ
ンズ２によって試料３上に細く集束される。試料３上の
電子ビーム照射点は、走査信号発生回路４からの走査信
号を偏向器５へ供給することによって変えられる。試料
３への電子ビームの照射に伴って発生した、例えば、２
次電子は、２次電子検出器６によって検出される。
検出器６によって検出された信号は、増幅器７によって
増幅された後、制御装置８を介して走査信号発生回路４
から走査信号が供給されている陰極線管９に輝度変調信
号として供給される。
増幅された後、制御装置８を介して走査信号発生回路４
から走査信号が供給されている陰極線管９に輝度変調信
号として供給される。
試料３は、回転テーブル１０の上に載せられているが、
回転テーブル１０は、移動テーブル１１上に回転可能に
取り付けられている。回転テーブル１０は、回転駆動機
構１２によって回転させられ、移動テーブル１１は、水
平方向の移動駆動機構１３によって水平方向に移動させ
られる。回転駆動機構１２は、象限切換えスイッチ１４
の切換えによって駆動され、それによって回転テーブル
１０は回転させられる。移動駆動機構１３は、移動指示
回路１５による指示によって駆動され、それによって移
動テーブル１１は移動させられる。
回転テーブル１０は、移動テーブル１１上に回転可能に
取り付けられている。回転テーブル１０は、回転駆動機
構１２によって回転させられ、移動テーブル１１は、水
平方向の移動駆動機構１３によって水平方向に移動させ
られる。回転駆動機構１２は、象限切換えスイッチ１４
の切換えによって駆動され、それによって回転テーブル
１０は回転させられる。移動駆動機構１３は、移動指示
回路１５による指示によって駆動され、それによって移
動テーブル１１は移動させられる。
上述した構成の動作は次の通りである。試料３の観察範
囲は、第２図に示すように４つの象限によって仮想的に
分けられる。第２図（ａ）は、初期の状態であり、試料
３は（１）〜（４）の４つの象限に分けられているが、
電子ビームは、斜線が施された第１の象限（１）に照射
されている。
囲は、第２図に示すように４つの象限によって仮想的に
分けられる。第２図（ａ）は、初期の状態であり、試料
３は（１）〜（４）の４つの象限に分けられているが、
電子ビームは、斜線が施された第１の象限（１）に照射
されている。
この第１の象限（１）内の各部分の観察は、移動指示回
路１５の４つの矢印のついたボタンを任意に押すことに
よって移動テーブルを矢印の方向に移動させ、この機械
的な移動と移動後における電子ビームＥＢの２次元的な
走査によって行われる。
路１５の４つの矢印のついたボタンを任意に押すことに
よって移動テーブルを矢印の方向に移動させ、この機械
的な移動と移動後における電子ビームＥＢの２次元的な
走査によって行われる。
すなわち、移動指示回路１５のいずれかの矢印ボタンを
押し、移動テーブル１１を移動させて試料の所望領域を
電子ビーム光軸下に配置させた後、制御装置８による制
御によって走査信号発生回路４から偏向器５に走査信号
が供給され、試料３上の所望領域は電子ビームによって
２次元的に走査される。電子ビームの照射によって発生
した２次電子は、検出器６によって検出され、増幅器７
によって増幅された後に走査信号発生回路４から走査信
号が供給されている陰極線管９に供給されることから、
陰極線管９には試料の２次電子像が表示される。なお、
電子ビーム測長装置にあっては、検出信号に基づいて制
御装置８内で観察パターンの幅などの測長が行われる。
押し、移動テーブル１１を移動させて試料の所望領域を
電子ビーム光軸下に配置させた後、制御装置８による制
御によって走査信号発生回路４から偏向器５に走査信号
が供給され、試料３上の所望領域は電子ビームによって
２次元的に走査される。電子ビームの照射によって発生
した２次電子は、検出器６によって検出され、増幅器７
によって増幅された後に走査信号発生回路４から走査信
号が供給されている陰極線管９に供給されることから、
陰極線管９には試料の２次電子像が表示される。なお、
電子ビーム測長装置にあっては、検出信号に基づいて制
御装置８内で観察パターンの幅などの測長が行われる。
次に第１象限（１）内の観察が終了し、第２象限（２）
の観察を行う場合には、象限切換えスイッチ１４の（２
）のスイッチを押す。この（２）のスイッチが押される
と、制御装置８は、回転駆動機構１２を駆動し、回転テ
ーブル１０を９０＠回転させ、第２図（ｂ）に示すよう
に、電子ビーム光軸上には試料３の第２象限（２）が配
置される。この状態で第２象限内の観察が行われ、第３
象限の観察に当たっては、象限切換えスイッチ１４の（
３）のスイッチが押され、第２図（Ｃ）に示すように試
料３は更に９０″回転される。更に、第４象限の観察に
当たっては、象限切換えスイッチ１４の（４）のスイッ
チが押され、第２図（ｄ）に示すように、試料３は回転
させられる。
の観察を行う場合には、象限切換えスイッチ１４の（２
）のスイッチを押す。この（２）のスイッチが押される
と、制御装置８は、回転駆動機構１２を駆動し、回転テ
ーブル１０を９０＠回転させ、第２図（ｂ）に示すよう
に、電子ビーム光軸上には試料３の第２象限（２）が配
置される。この状態で第２象限内の観察が行われ、第３
象限の観察に当たっては、象限切換えスイッチ１４の（
３）のスイッチが押され、第２図（Ｃ）に示すように試
料３は更に９０″回転される。更に、第４象限の観察に
当たっては、象限切換えスイッチ１４の（４）のスイッ
チが押され、第２図（ｄ）に示すように、試料３は回転
させられる。
このように、試料３を９０°毎回転させ、試料の仮想的
に分けた４つの象限毎に試料を水平方向に移動させるよ
うにして試料の全面の観察を行うようにしたので、試料
の移動スパンは、試料の半分の径で良くなり、移動テー
ブルや移動機構を小さく構成できると共に、試料室の大
きさも小さくできる。
に分けた４つの象限毎に試料を水平方向に移動させるよ
うにして試料の全面の観察を行うようにしたので、試料
の移動スパンは、試料の半分の径で良くなり、移動テー
ブルや移動機構を小さく構成できると共に、試料室の大
きさも小さくできる。
なお、移動指示回路１５の矢印のボタンの内、第１の象
限で右方向の矢印を押して試料が、例えば、試料の絶対
座標のＸ方向に移動する場合、試料を９０°回転させた
場合、移動指示回路のみ右方向の矢印を押しても、依然
として試料は、試料の絶対座標のＸ方向に移動するよう
に制御されている。このような制御により、オペレータ
は、試料の回転を意識しないで試料の移動、すなわち、
視野の移動を行うことができる。
限で右方向の矢印を押して試料が、例えば、試料の絶対
座標のＸ方向に移動する場合、試料を９０°回転させた
場合、移動指示回路のみ右方向の矢印を押しても、依然
として試料は、試料の絶対座標のＸ方向に移動するよう
に制御されている。このような制御により、オペレータ
は、試料の回転を意識しないで試料の移動、すなわち、
視野の移動を行うことができる。
次に試料３の回転と電子ビームの走査方向について説明
する。第３図（ａ）に示すように、第１象限（１）の観
察を行っている時には、電子ビームは図に示すように、
偏向器５の座標におけるＸ方向に走査される。次に、試
料が９０″回転され、第３図（ｂ）に示すように第２象
限（２）の観察が行われるときには、制御装置８からの
指令によって走査信号発生回路４からの走査信号は切換
わり、電子ビームは図に示すように、偏向器５の座標の
Ｘ方向に走査される。この結果、試料を９００回転させ
ても、電子ビームの試料上の走査は常に試料の絶対座標
のＸ方向に行われることになり、陰極線管上の像観察に
おいて、像の方向が回転するようなことは防止される。
する。第３図（ａ）に示すように、第１象限（１）の観
察を行っている時には、電子ビームは図に示すように、
偏向器５の座標におけるＸ方向に走査される。次に、試
料が９０″回転され、第３図（ｂ）に示すように第２象
限（２）の観察が行われるときには、制御装置８からの
指令によって走査信号発生回路４からの走査信号は切換
わり、電子ビームは図に示すように、偏向器５の座標の
Ｘ方向に走査される。この結果、試料を９００回転させ
ても、電子ビームの試料上の走査は常に試料の絶対座標
のＸ方向に行われることになり、陰極線管上の像観察に
おいて、像の方向が回転するようなことは防止される。
次に第４図に基づいて本発明の他の実施例を説明する。
この実施例では、４つの象限（１）〜（４）の各象限境
界に図中斜線を施した一定の幅の境界領域Ｒを設けてい
る。すなわち、移動テーブル１１の移動範囲が境界部で
数關オーバラップするようになっている。この幅は、走
査電子顕微鏡像の最大視野の大きさと等しくしである。
界に図中斜線を施した一定の幅の境界領域Ｒを設けてい
る。すなわち、移動テーブル１１の移動範囲が境界部で
数關オーバラップするようになっている。この幅は、走
査電子顕微鏡像の最大視野の大きさと等しくしである。
今、第１の象限（１）内を観察し、観察視野が第１の象
限と第２の象限との境界領域に入り、図中Ａ点となり、
このＡ点から第２の象限（２）の観察を始める場合、回
転テーブル１０の回転によっても、常に電子ビームがＡ
点から走査されるように、回転に同期して制御装置８は
移動駆動機構１３を制御する。その結果、試料３が９０
″回転されて第２象限の観察が開始されていても、第１
象限での観察視野が陰極線管９上に表示され、第１象限
から第２象限への切換えによっても試料は連続して観察
が行えることになる。
限と第２の象限との境界領域に入り、図中Ａ点となり、
このＡ点から第２の象限（２）の観察を始める場合、回
転テーブル１０の回転によっても、常に電子ビームがＡ
点から走査されるように、回転に同期して制御装置８は
移動駆動機構１３を制御する。その結果、試料３が９０
″回転されて第２象限の観察が開始されていても、第１
象限での観察視野が陰極線管９上に表示され、第１象限
から第２象限への切換えによっても試料は連続して観察
が行えることになる。
以上本発明の実施例を詳述したが、本発明は、この実施
例に限定されない。例えば、象限切換え時に、視野が大
きく移動してしまうので、オペレータが試料のどの部分
を現在観察しているかを常に確認できるように、陰極線
管９の画面りの一部に第５図（ａ）に示すように、試料
３の図を表示し、その図の中に点Ｐで示す観察点をスポ
ット状に表示することは有効である。この観察点を示す
スポット位置は、試料３を９０＠回転させて第２象限の
観察が行われると、第５図（ｂ）に示すようにＰ′の点
に移動する。又、走査電子顕微鏡を例に説明したが、イ
オンビームを試料に照射し、試料からの２次イオンや２
次電子を検出するようにした装置にも本発明を適用する
ことができる。
例に限定されない。例えば、象限切換え時に、視野が大
きく移動してしまうので、オペレータが試料のどの部分
を現在観察しているかを常に確認できるように、陰極線
管９の画面りの一部に第５図（ａ）に示すように、試料
３の図を表示し、その図の中に点Ｐで示す観察点をスポ
ット状に表示することは有効である。この観察点を示す
スポット位置は、試料３を９０＠回転させて第２象限の
観察が行われると、第５図（ｂ）に示すようにＰ′の点
に移動する。又、走査電子顕微鏡を例に説明したが、イ
オンビームを試料に照射し、試料からの２次イオンや２
次電子を検出するようにした装置にも本発明を適用する
ことができる。
（発明の効果）
以上詳細に説明したように、請求項１の発明では、試料
を回転テーブルの上に載せ、回転テーブルを９０＠毎に
回転させるようにし、試料表面を４つの象限に仮想的に
分割し、各象限毎に２次元的な水平移動を行って、試料
全面の観察を行うようにしたので、試料の水平方向の移
動スパンを試料の直径の半分とすることができ、試料移
動機構がコンパクトとなり、高い精度で移動機構を製作
することができる。又、試料室の長さが従来の３／４と
なり、面積は１／２となるので、高真空に排気し易くな
ると共に、真空ポンプを小形化できる。更に、装置の設
置面積も少なくし得、全体のコストを低くすることがで
きる。
を回転テーブルの上に載せ、回転テーブルを９０＠毎に
回転させるようにし、試料表面を４つの象限に仮想的に
分割し、各象限毎に２次元的な水平移動を行って、試料
全面の観察を行うようにしたので、試料の水平方向の移
動スパンを試料の直径の半分とすることができ、試料移
動機構がコンパクトとなり、高い精度で移動機構を製作
することができる。又、試料室の長さが従来の３／４と
なり、面積は１／２となるので、高真空に排気し易くな
ると共に、真空ポンプを小形化できる。更に、装置の設
置面積も少なくし得、全体のコストを低くすることがで
きる。
請求項２の発明では、試料を回転テーブルの上に載せ、
回転テーブルを９０″毎に回転させるようにし、試料表
面を４つの象限に仮想的に分割し、各象限毎に２次元的
な水平移動を行って、試料全面の観察を行い、更に、各
象限の境界部は、隣り合ったいずれの象限でも観察でき
るようにし、象限境界領域を観察中に試料を９０°回転
させた場合には、回転後その観察点を継続して観察でき
るようにテーブルを水平方向に移動させるように構成し
たので、請求項１による効果に加えて、異なった象限に
またがった観察を、視野の飛びがなく、連続的に行うこ
とができる。
回転テーブルを９０″毎に回転させるようにし、試料表
面を４つの象限に仮想的に分割し、各象限毎に２次元的
な水平移動を行って、試料全面の観察を行い、更に、各
象限の境界部は、隣り合ったいずれの象限でも観察でき
るようにし、象限境界領域を観察中に試料を９０°回転
させた場合には、回転後その観察点を継続して観察でき
るようにテーブルを水平方向に移動させるように構成し
たので、請求項１による効果に加えて、異なった象限に
またがった観察を、視野の飛びがなく、連続的に行うこ
とができる。
第１図は、本発明の一実施例である走査電子顕微鏡を示
す図、第２図は、本発明に基づく装置による試料の観察
方式を説明するための図、第３図は、試料の回転と電子
ビームの走査方向を説明するための図、第４図および第
５図は、本発明の他の実施例を説明するための図である
。 １・・・電子銃 ２・・・集束レンズ３・・・
試料 ４・・・走査信号発生回路５・・・偏
向器 ６・・・検出器７・・・増幅器
８・・・制御装置９・・・陰極線管 １０・・・
回転テーブル１１・・・移動テーブル １２・・・回転
駆動機構１３・・・移動駆動機構 １４・・・象限切換えスイッチ １５・・・移動指示回路 第２ 図 第 ３図 第 図 第 ５図
す図、第２図は、本発明に基づく装置による試料の観察
方式を説明するための図、第３図は、試料の回転と電子
ビームの走査方向を説明するための図、第４図および第
５図は、本発明の他の実施例を説明するための図である
。 １・・・電子銃 ２・・・集束レンズ３・・・
試料 ４・・・走査信号発生回路５・・・偏
向器 ６・・・検出器７・・・増幅器
８・・・制御装置９・・・陰極線管 １０・・・
回転テーブル１１・・・移動テーブル １２・・・回転
駆動機構１３・・・移動駆動機構 １４・・・象限切換えスイッチ １５・・・移動指示回路 第２ 図 第 ３図 第 図 第 ５図
Claims (2)
- （１）荷電粒子ビームをターゲット上に集束するための
集束レンズと、ターゲット上で荷電粒子ビームを２次元
的に走査するための偏向器と、平面上を移動する第１の
テーブルと、第１のテーブル上に回転可能に配置され、
ターゲットが載せられる第２のテーブルと、第１のテー
ブルを駆動する駆動手段と、第２のテーブルを９０°毎
に回転させるための回転駆動手段と、回転駆動手段によ
る第２のテーブルの回転に同期して偏向器による荷電粒
子ビームの走査方向を回転させる制御系とを備え、ター
ゲット上の領域を仮想的に４つの象限に分け、第２のテ
ーブルの９０°毎の回転と第１のテーブルの平面移動と
によって、４つの象限を荷電粒子ビームによって観察す
るように構成した荷電粒子ビーム装置。 - （２）荷電粒子ビームをターゲット上に集束するための
集束レンズと、ターゲット上で荷電粒子ビームを２次元
的に走査するための偏向器と、平面上を移動する第１の
テーブルと、第１のテーブル上に回転可能に配置され、
ターゲットが載せられる第２のテーブルと、第１のテー
ブルを駆動する駆動手段と、第２のテーブルを９０°毎
に回転させるための回転駆動手段と、回転駆動手段によ
る第２のテーブルの回転に同期して偏向器による荷電粒
子ビームの走査方向を回転させる制御系とを備え、ター
ゲット上の領域を仮想的に４つの象限に分け、第２のテ
ーブルの９０°毎の回転と第１のテーブルの平面移動と
によって、４つの象限を荷電粒子ビームによって観察す
るように構成すると共に、前記制御系は、象限境界領域
に観察点がある場合には、第２のテーブルが９０°回転
された後に依然としてその観察点上で荷電粒子ビームの
走査が行われるように第２のテーブルを移動させる機能
を有していることを特徴とする荷電粒子ビーム装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1074165A JPH02253550A (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 | 荷電粒子ビーム装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1074165A JPH02253550A (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 | 荷電粒子ビーム装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02253550A true JPH02253550A (ja) | 1990-10-12 |
Family
ID=13539269
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1074165A Pending JPH02253550A (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 | 荷電粒子ビーム装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02253550A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002075773A1 (en) * | 2001-03-19 | 2002-09-26 | Seiko Instruments Inc. | Focused ion beam system enabling observation/machining of large sample |
| WO2020188781A1 (ja) * | 2019-03-20 | 2020-09-24 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子線装置 |
-
1989
- 1989-03-27 JP JP1074165A patent/JPH02253550A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002075773A1 (en) * | 2001-03-19 | 2002-09-26 | Seiko Instruments Inc. | Focused ion beam system enabling observation/machining of large sample |
| JP2002279924A (ja) * | 2001-03-19 | 2002-09-27 | Seiko Instruments Inc | 大きな試料の観察・加工を可能とする集束イオンビーム装置 |
| WO2020188781A1 (ja) * | 2019-03-20 | 2020-09-24 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子線装置 |
| JPWO2020188781A1 (ja) * | 2019-03-20 | 2021-10-21 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子線装置 |
| US11747292B2 (en) | 2019-03-20 | 2023-09-05 | Hitachi High-Tech Corporation | Charged particle beam apparatus |
| US12169182B2 (en) | 2019-03-20 | 2024-12-17 | Hitachi High-Tech Corporation | Charged particle beam apparatus |
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