JPH02254776A - レーザ発振器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的コ （産業上の利用分野） 本発明はレーザ発振器に係り、更に詳細には光共振部を
支持するハウジングに関する。

（従来の技術） 従来、例えば高速軸流型のレーザ発振器においては、出
力ミラー、反射ミラーを備えた光共蛋器をハウジング内
に設けである。またハウジング内には熱交換器、ファン
が設けてあり、レーザ発振器が作動してハウジング内の
温度が所定の温度範囲を越えた場合には、熱交換器、フ
ァン等を適宜に操作して冷却空気を、ハウジング内に循
環させることにより、ハウジング内の温度を所定の温度
範囲まで下げていた。

（発明が解決しようとする１２題） しかし、館述のレーザ発振器においては発振器を作動さ
せてハウジング内の温度が所定の温度範囲を越えた場合
にハウジング内を冷却せしめるだけであり、ハウジング
内の温度を常時所定の温度範囲内に保持することができ
ない。

そのために、レーザ発振器の作動を停止せしめて長時間
経過した後は、ハウジング内の温度は外気の温度に近く
なり、特に外気の温度が低い場合には再びレーザ発ＴＸ
器を作動させてもハウジング内の−ｍｆｌが所定の温ｒ
ｊ１範囲内の温度になるには時間がかかるとと共に、レ
ーザ光の出力、レーザ光のモードが安定するまでに時間
がかかり、有効な１ノ一ザ発撮を行ない得ないという問
題点があった。

そこで、本発明は上記の問題点を解決するために、先具
振器を設けたハウジング内の温度を常時所定の温度範囲
内に保つことができるレーザ発振器を提供することを目
的とする。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 前述のごとき従来の問題点を解決するために、本発明に
おいては、光共振部を備えてなるレーザ発振器にして、
上記光共振部を支持するハウジングを設け、上記ハウジ
ングに、ハウジング内の温度が所定の温度範囲の下限の
温度より低いときにハウジング内を加熱する加熱装置を
設けると共に、ハウジング内の温度が所定の温度範囲の
上限の温度より高いときとにハウジング内を冷却する冷
却装置を設け、上記加熱装置と冷ｒＡ装置の作動を制御
する制御装置を設けてなるものである。

（作用） 前記の構成において、先具搬器を設けたハウジング内の
温度が所定の温度範囲の下限の温度より低いときは、制
御装置を適宜に操作して加熱装置を作動させて、ハウジ
ング内を加熱する。またハウジング内の温度が所定の温
度範囲の上限の温度より高いときは、Ｉｌ制御装置を適
宜に操作して冷却装置を作動させてハウジング内を冷却
する。これによって、ハウジング内の温度をほぼ所定の
温度範囲内に常時保つことができるものである。

（実施例） 以下、本発明に係る実施例について図面に基づいて説明
する。

第１図を参照するに、レーザ発振器１は、例えばＣＯ２
のごときレーザガスを充填させるための環状のレーザ容
器３を備えてあり、レーザ容器３の上部側の光共振部３
ａは、密閉状態の第１ハウジング５によって支持されて
おり、レーザ容器３の下部側は第２ハウジング７により
支持されている。上記レーザ容器３の下部側には、レー
ザガスを循環するためのファン９が設けてあり、レーザ
ガスを冷却せしめるため熱交換器１１が設けである。

上記レーザ容Ｂ３の光共振部３ａにはレーザガスをｔｌ
ｔｌ動電するための陽極１３と陰極１５とが適宜に配置
してあり、上記陽極１３と陰極１５は高圧電源回路（図
示省略）に接続しである。また、レーザ容器３の光共振
部３ａには放電励起により放出したレーザ光を共振増幅
するために先具振器として反射ミラー１７と出力ミラー
１９が設けである。

上記構成により、ファン９を適宜に操作してレーザ容器
３内にレーザガスを循環せしめて、陽極１３と陰極１５
との間に高電圧を印加してｗａ極１３と陰極１５との間
で放電励起を行う。そして、放電励起により放出したレ
ーザ光が出力ミラー１９と反射ミラー１７とによって共
振増幅されて、共振増幅されたレーザ光が出力ミラー１
９を介して出力される。

本実施例においては、レーザ光の出力、レーザ光のモー
ドの安定を図るために、上記第１ハウジング５内の温度
は常時所定の温度範囲に保てるようになっている。ここ
で上記所定の温度範囲とは下限の温度Ｔ１から上限の温
度Ｔ２までの温度範囲をいう。

詳細については、第１ハウジング５内の１１６が上記下
限の温度Ｔ１よりも下った場合に第１ハウジング５内の
温度を上げるために、第１ハウジング５には加熱装置の
一例としてヒータ２１が設けである。また、第１ハウジ
ング５内に温度が上゛記上限の温度Ｔ２よりも上った場
合に第１ハウジング５内の温度を下げるために、第１ハ
ウジング５の適宜位置には冷却装置の一例としてチラー
２３を備えた熱交換器２５が設けであるる。そして、ヒ
ータ２１により加熱した空気、または熱交換器２５によ
り冷却した空気を第１ハウジング５内に循環せしめるた
めに、第１ハウジング５の適宜位置にはファン２７が設
けである。

上記ヒータ２１．熱交換器２５の作動を制御するために
、シーケンナ−（図示省略）を備えた制御装置２９が設
けて・ある。上記制御装置２９は、第１ハウジング５内
の温度が上記下限の温度Ｔ１より下った場合にはヒータ
２１をＯＮの状態にしてヒータ２１の作動を開始せしめ
、第１ハウジング５内の温度が所定温度Ｔ３　　（Ｔ３
　＞Ｔ＋　）になった場合にはヒータ２１をＯＦＦの状
態にしてヒータ２１の作動を停止せしめる。また、制御
装置２９は、第１ハウジング５内の温度が上限の温度Ｔ
２よりも高くなった場合には熱交ｊＡ器２５におけるチ
ラー２３をＯＮの状態にして水の冷却を開始せしめ１．
第１ハウジング５内の温度が前記所定温度Ｔ３　　（Ｔ
３　＜Ｔ２　）になった場合にはチラー２３をＯＦＦの
状態にして水の冷却を停止せしめる。なお、第１ハウジ
ング５内の温度がＴ＋　、　Ｔ２、Ｔ３になったことは
、第１ハウジング５の適宜位置に設けた温度センサ３１
により検出される。

前述のごとき構成に基づいて本実施例の作用について第
２図に基づいて説明する。

外気の温度が比較的低いために外気の温度に追従して第
１ハウジング５内の温度が所定の＠度範囲の下限の温度
Ｔ１よりも低い場合には、制ｔｉｌｌ装置２９を介して
ヒータ２１がＯＮの状態になり、ファン２７を介して加
熱した空気が第１ハウジング５内に循環され第ハウジン
グ５内の温度が上げられる。また、第１ハウジング５内
の所定温度が所定温度Ｔ３になった場合には、制御装置
２９を介してヒータ２１がＯＦＦの状態となり、第１ハ
ウジング５内の空気の加熱を停止せしめ、第１ハウジン
グ５内の温度を比較的低い外気の温度に）Ω従させる。

このように、外気の温度が比較的低゛い場合には、第１
ハウジング５内の温度は、前記所定温度範囲の下限の温
度Ｔ１と所定温度Ｔ３との間の温度にほぼ保たれている
。なお、このときチラー２３はＯＦＦの状態になる。

外気の温度が比較的高いために外気の温度に追従して第
１ハウジング５内の温度が所定の温度範囲の上限の温度
Ｔ２よりも高い場合には、制御］装置２９を介してチラ
ー２３がＯＮの状態になりファン２７を介して冷却した
空気が第１ハウジング５内に循環し、第１ハウジング５
内のＩＫが下げられる。また、第１ハウジング５内の温
度が所定温度Ｔ３になった場合には、制御装［２９を介
したチラー２１がＯＦＦの状態になり、第１ハウジング
５内の空気の冷却を停止せしめ、第１ハウジング５内の
温度を比較的高い外気の温度に近づける。このように外
気の温度が比較的高い場合には、第１ハウジング５内の
温度は、前記所定の温度範囲の上限の温度Ｔ２と所定の
温度Ｔ３との間の温度にほぼ保っている。

本実施例によれば、レーザ容器３．光共振部３ａを支持
する第１ハウジング５の温度をほぼ所定の温度範囲（Ｔ
＋　からＴ２　）内にしたことにより、レーザ光の出力
、レーザ光のモードが安定するまでの時間が比較的短く
なるものであり、有効なレーザが発掘を行い得るもので
ある。

なお、本発明は前述の実施例の詳細に限るものではなく
、適宜の変更を行うことにより、その他種々の態様で実
施可能である。

［発明の効果］ 以上のごとき実施例の説明により理解されるように、光
共振部ハウジング内の温度をほぼ所定の温度範囲内に常
時保つことができるために、レーザ光の出力、１ノーザ
光のモードが安定するまでの時間を比較的短くすること
ができ、有効なｊノーザ発振を行い得るものである。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の詳細な説明するものであり、第１図はレ
ーザ発振器の概略的な図である。第２図は本実施例の作
用を説明する作用説明図である。 １・・・レーザ発振器　　３ａ・・・光共振部５・・・
第１ハウジング　２１・・・ヒータ２５・・・熱交換器 代理人　弁理士　　三　好　秀　和

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　光共振部を備えてなるレーザ発振器にして、上記光共
   振部を支持するためのハウジングを設け、上記ハウジン
   グに、ハウジング内の温度が所定の温度範囲の下限の温
   度より低いときにハウジング内を加熱する加熱装置を設
   けると共に、ハウジング内の温度が所定の温度範囲の上
   限の温度より高いときとにハウジング内を冷却する冷却
   装置を設け、上記加熱装置と冷却装置の作動を制御する
   ための制御装置を設けてなることを特徴とするレーザ発
   振器。